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本发明属光电材料领域。它提供了一种获得近化学计量比铌酸锂晶片的方法:利用气相传输平衡(Vaportransport equilibration,简称VTE)技术,在高温、富锂的气氛中,通过锂离子的扩散,使铌酸锂(包括名义纯和掺杂)晶片达到近化学计量比。该技术制作的晶片中Li2O的含量49mol.%以上,可非常接近50mol.%,且均匀性很好,适用于产业化。在表面波滤波器、电光调制、电光开关、光波导。