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本发明是有关一种化学桶槽气氛保持装置及其方法。该化学桶槽气氛保持装置,包含:一氮气预湿器、一温度感测器、一化学桶槽、一湿度感测器及一控制器。该化学桶槽气氛保持方法,包含:利用氮气及溶液进入氮气预湿器,经由出口、水气分离器将带有湿气氮气与纯水气分离,再将带有湿气氮气导入第三入口至化学桶槽内,使氮气含有水气,维持化学桶槽内特定温度与湿度;利用加热板温度升高时将氮气增加含水量,经由出口、第三入口至化学桶。