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本发明提供了一种极片干燥装置,其包括:放卷机构,提供、输送并将待干燥的极片接地;收卷机构,将干燥后的极片进行收卷并接地;微波烘烤机构,设置于放卷机构和收卷机构之间。微波烘烤机构包括:金属箱体,接地且具有相对入口和出口;绝缘内层,贴覆在金属箱体的内壁;微波发生器,设置于金属箱体外部;微波导波管,连接微波发生器和金属箱体,将微波发生器产生的微波导入金属箱体内部,以对待干燥的极片进行烘烤;微波吸收组件,。