一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201410386245.2

申请日:

2014.08.07

公开号:

CN104120026A

公开日:

2014.10.29

当前法律状态:

驳回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C10M 175/00申请公布日:20141029|||实质审查的生效IPC(主分类):C10M 175/00申请日:20140807|||著录事项变更IPC(主分类):C10M 175/00变更事项:发明人变更前:张跃宏变更后:王允佳 张跃宏|||公开

IPC分类号:

C10M175/00; C01B31/36; C10N40/22(2006.01)N

主分类号:

C10M175/00

申请人:

佳明新材料科技有限公司

发明人:

张跃宏

地址:

212216 江苏省镇江市扬中市经济开发区扬中大道段66号

优先权:

专利代理机构:

南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249

代理人:

杨晓玲

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内容摘要

本发明公开了一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,采用以下技术方案:先线切割废砂浆进行分级离心分离,在所得到固体混合物中进行搅拌稀释,得到混合砂粉;加入溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物,进行磁选分离,搅拌,反应,去除杂质,加入氢氧化钠进行碱洗,得到具有切割性能的碳化硅微粒;将所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,进入真空蒸馏装置回收,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。本发明提供的一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,碳化硅粉含量高于99%,本发明工艺简洁,操作可控,经济性能优异且无二次污染。可使切割液和碳化硅微粉的成本降低至少50%。

权利要求书

1.  一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物、滤液;
(2)在所得到固体混合物中加入二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉,回收滤液重复利用;
(3)对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复多次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物;
(4)对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基,含Cr、Ni、Ti、Mn多种合金元素的金属杂质,加入氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质,加入重量浓度为2~20%的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒;
(5)将步骤(1)、(2)所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。

2.
  根据权利要求1所述一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于:二硫化碳乙醇溶液的重量浓度为2%~10%。

3.
  根据权利要求1所述一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于:氢氟酸溶液重量浓度为2~10%的。

4.
  根据权利要求1所述一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于:氢氧化钠溶液重量浓度为2~20%的。

5.
  根据权利要求1所述一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于:三溴甲烷乙醇溶液密度控制在2.4~3.1g/cm3

6.
  根据权利要求1所述一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于:所述步骤(3)中对砂粉加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物的次数重复3次或者4次。

说明书

一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法
技术领域
本发明涉及太阳能硅片切割领域,特别涉及一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法。
背景技术
随着太阳能硅片切割行业的重新洗牌以及利润的持续下降,硅片切割企业不约而同地打起来控制生产过程,降低生产成本的牌。最直接的就是对三大辅料中的切割液和碳化硅微粉的回收再利用。国内外已对废线锯砂浆的回收利用进行了一些研究,其中针对废砂浆中SiC、PEG回收的研究比较多,并已进入硅片切割生产系统或形成专业化回收厂商;而对在线锯过程中混入砂浆的那部分硅料的回收则研究相对得较少,至今亦未见有生产应用。中国专利CN200610058747提供一种切削悬浮液回收的方法,该专利通过固液分离、悬浮液的初级过滤、悬浮液的精滤、悬浮液的浓缩干燥,回收PEG,而其中一些有用物质则当作废物流失掉,经济性不高。CN2010138035公开了“硅片切割废砂浆的回收处理方法”,其中涉及的硅粉回收成品含量仅为90%,其纯度远远达不到太阳级硅料的要求,并且该专利中对切割液的处理新增成分多,工艺复杂,经济性不高难于在工业中应用。CN101130237提供“一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法”,该专利采用气流浮选技术和液相重力浮选技术分离碳化硅粉和硅粉,但是对切割液未进行处理。
发明内容
发明目的:针对现有技术中的缺陷,提供一种工艺简洁,经济性高的SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法。
为实现上述发明目的,采用以下的技术方案是:一种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,包括如下步骤:
(1)先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物、滤液;
(2)在所得到固体混合物中加入二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉,回收滤液重复利用;所述二硫化碳乙醇溶液的重量浓度为2%~10%;
(3)对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复多次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物,所述三溴甲烷乙醇溶液密度控制在2.4~3.1g/cm3
(4)对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基, 含Cr、Ni、Ti、Mn等多种合金元素的金属杂质,加入重量浓度为2~10%的氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质,加入重量浓度为2~20%的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒,可应用到切割液中;
(5)将步骤(1)、(2)所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。
所述步骤(3)中对砂粉加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物的次数重复3次或者4次。
根据以上的技术方案,可以实现以下的有益效果:本发明提供的种SiC切割液废砂浆的综合回收利用方法,碳化硅粉含量高于99%,可用作太阳能硅片线切割磨粒,本发明工艺简洁,操作可控,经济性能优异且无二次污染。该方法适于工业中推广应用。由于通过对废砂浆的回收利用,可以使切割液和碳化硅微粉的成本降低至少50%。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步地详细说明,但是本发明要求保护的范围并不局限于实施例表示的范围。
实施例1:
线切割废砂浆组成为(重量%):PEG为45%,硅粉6.5%,碳化硅磨粒46.6%,金属1.5%,未知物0.4%。取1吨废切割砂浆。
(1)先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物540kg,滤液459kg;
(2)在所得到固体混合物中加入重量浓度为8%的二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉525.5kg,回收滤液重复利用至不能再用;
(3)对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液(密度2.75g/cm3)进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复3次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物407kg;
(4)对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基,含Cr、Ni、Ti、Mn等多种合金元素的金属杂质,加入重量浓度为2%的氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质,加入重量浓度为5%的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒318kg,含量高于99.1%,可应用到切割液中;
(5)将步骤(1)、(2)所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进 入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液302kg,根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。
实施例2:
线切割废砂浆组成为(重量%):PEG为45%,硅粉6.5%,碳化硅磨粒46.6%,金属1.5%,未知物0.4%。取1吨废切割砂浆。
(1)先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物540kg,滤液459kg;
(2)在所得到固体混合物中加入重量浓度为10%的二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉523.5kg,回收滤液重复利用至不能再用;
(3)对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液(密度2.55g/cm3)进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复4次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物404kg;
(4)对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基,含Cr、Ni、Ti、Mn等多种合金元素的金属杂质,加入重量浓度为5%的氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质,加入重量浓度为10%的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒316kg,含量高于99.3%,可应用到切割液中;
(5)将步骤(1)、(2)所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液301.2kg,根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。

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1、10申请公布号CN104120026A43申请公布日20141029CN104120026A21申请号201410386245222申请日20140807C10M175/00200601C01B31/36200601C10N40/2220060171申请人佳明新材料科技有限公司地址212216江苏省镇江市扬中市经济开发区扬中大道段66号72发明人张跃宏74专利代理机构南京瑞弘专利商标事务所普通合伙32249代理人杨晓玲54发明名称一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法57摘要本发明公开了一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,采用以下技术方案先线切割废砂浆进行分级离心分离,在所得到固体混合。

2、物中进行搅拌稀释,得到混合砂粉;加入溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物,进行磁选分离,搅拌,反应,去除杂质,加入氢氧化钠进行碱洗,得到具有切割性能的碳化硅微粒;将所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,进入真空蒸馏装置回收,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。本发明提供的一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,碳化硅粉含量高于99,本发明工艺简洁,操作可控,经济性能优异且无二次污染。可使切割液和碳化硅微粉的成本降低至少50。51INTCL权利要求书1页说明书3页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页10申请公布号CN104120。

3、026ACN104120026A1/1页21一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于,包括如下步骤1先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物、滤液;2在所得到固体混合物中加入二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉,回收滤液重复利用;3对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复多次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物;4对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基,含CR、NI、TI、MN多种合金元素的金属杂质,加入氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量。

4、氧化硅杂质,加入重量浓度为220的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒;5将步骤1、2所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。2根据权利要求1所述一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于二硫化碳乙醇溶液的重量浓度为210。3根据权利要求1所述一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于氢氟酸溶液重量浓度为210的。4根据权利要求1所述一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于氢氧化钠溶液重量浓度为220的。

5、。5根据权利要求1所述一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于三溴甲烷乙醇溶液密度控制在2431G/CM3。6根据权利要求1所述一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,其特征在于所述步骤3中对砂粉加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物的次数重复3次或者4次。权利要求书CN104120026A1/3页3一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法技术领域0001本发明涉及太阳能硅片切割领域,特别涉及一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法。背景技术0002随着太阳能硅片切割行业的重新洗牌以及利润的持续下降,硅片切割企业不约而同地打起来控制生产过程,降低生产成本的牌。最直接的。

6、就是对三大辅料中的切割液和碳化硅微粉的回收再利用。国内外已对废线锯砂浆的回收利用进行了一些研究,其中针对废砂浆中SIC、PEG回收的研究比较多,并已进入硅片切割生产系统或形成专业化回收厂商;而对在线锯过程中混入砂浆的那部分硅料的回收则研究相对得较少,至今亦未见有生产应用。中国专利CN200610058747提供一种切削悬浮液回收的方法,该专利通过固液分离、悬浮液的初级过滤、悬浮液的精滤、悬浮液的浓缩干燥,回收PEG,而其中一些有用物质则当作废物流失掉,经济性不高。CN2010138035公开了“硅片切割废砂浆的回收处理方法”,其中涉及的硅粉回收成品含量仅为90,其纯度远远达不到太阳级硅料的要求。

7、,并且该专利中对切割液的处理新增成分多,工艺复杂,经济性不高难于在工业中应用。CN101130237提供“一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法”,该专利采用气流浮选技术和液相重力浮选技术分离碳化硅粉和硅粉,但是对切割液未进行处理。发明内容0003发明目的针对现有技术中的缺陷,提供一种工艺简洁,经济性高的SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法。0004为实现上述发明目的,采用以下的技术方案是一种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,包括如下步骤00051先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物、滤液;00062在所得到固体混合物中加入二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,。

8、乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉,回收滤液重复利用;所述二硫化碳乙醇溶液的重量浓度为210;00073对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复多次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物,所述三溴甲烷乙醇溶液密度控制在2431G/CM3;00084对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基,含CR、NI、TI、MN等多种合金元素的金属杂质,加入重量浓度为210的氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质,加入重量浓度为220的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒,可应用到切割液中。

9、;00095将步骤1、2所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液根据原说明书CN104120026A2/3页4切割液组成进行补充调节,投入使用。0010所述步骤3中对砂粉加入三溴甲烷乙醇溶液进行浮选和重力分选,回收沉淀物的次数重复3次或者4次。0011根据以上的技术方案,可以实现以下的有益效果本发明提供的种SIC切割液废砂浆的综合回收利用方法,碳化硅粉含量高于99,可用作太阳能硅片线切割磨粒,本发明工艺简洁,操作可控,经济性能优异且无二次污染。该方法适于工业中推广应用。由于通过对废砂浆的回收利用,可以使。

10、切割液和碳化硅微粉的成本降低至少50。具体实施方式0012下面结合实施例对本发明做进一步地详细说明,但是本发明要求保护的范围并不局限于实施例表示的范围。0013实施例10014线切割废砂浆组成为重量PEG为45,硅粉65,碳化硅磨粒466,金属15,未知物04。取1吨废切割砂浆。00151先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物540KG,滤液459KG;00162在所得到固体混合物中加入重量浓度为8的二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉5255KG,回收滤液重复利用至不能再用;00173对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液密度275G/C。

11、M3进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复3次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物407KG;00184对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基,含CR、NI、TI、MN等多种合金元素的金属杂质,加入重量浓度为2的氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质,加入重量浓度为5的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒318KG,含量高于991,可应用到切割液中;00195将步骤1、2所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液。

12、302KG,根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。0020实施例20021线切割废砂浆组成为重量PEG为45,硅粉65,碳化硅磨粒466,金属15,未知物04。取1吨废切割砂浆。00221先将线切割废砂浆进行分级离心分离,得到固体混合物540KG,滤液459KG;00232在所得到固体混合物中加入重量浓度为10的二硫化碳乙醇溶液进行搅拌稀释,洗除悬浮杂质,过滤,乙醇洗涤,再次过滤,得到混合砂粉5235KG,回收滤液重复利用至不能再用;00243对上述所得砂粉,加入三溴甲烷乙醇溶液密度255G/CM3进行浮选和重力分选,回收沉淀物,该过程重复4次,然后用乙醇洗涤,干燥,得到碳化硅/金属混合物4。

13、04KG;说明书CN104120026A3/3页500254对所得碳化硅/金属混合物进行磁选分离,去除铁及铁的氧化物、以及以铁为基,含CR、NI、TI、MN等多种合金元素的金属杂质,加入重量浓度为5的氢氟酸溶液,搅拌,反应,去除微量金属杂质和少量氧化硅杂质,加入重量浓度为10的氢氧化钠进行碱洗,再水洗,烘干,筛选,得到具有切割性能的碳化硅微粒316KG,含量高于993,可应用到切割液中;00265将步骤1、2所回收滤液合并,加入氯化铝二聚体,搅拌均匀,过滤,进入真空蒸馏装置回收二硫化碳,乙醇,水,三溴甲烷,剩余溶液进行超精细过滤,得到滤液3012KG,根据原切割液组成进行补充调节,投入使用。说明书CN104120026A。

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