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1、(10)申请公布号 CN 102910810 A(43)申请公布日 2013.02.06CN102910810A*CN102910810A*(21)申请号 201210213889.2(22)申请日 2012.06.252011-168232 2011.08.01 JPC03B 33/033(2006.01)(71)申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本大阪(72)发明人成尾彻(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287代理人沈锦华(54) 发明名称基板断开方法(57) 摘要本发明是可以通过较少的刻划次数使单位基板上的电极端子露出。本发明是如下基板断开方法：在横截粘接用密封。
2、件的部分，使上下划线一致地进行刻划，且在粘接用密封件横截后，分别对其他位置进行刻划，在再次横截粘接用密封件的部分，再次使划线一致，结束刻划，并沿着该划线将母基板断开。由此，可仅由上下各一次刻划而使电极端子露出。(30)优先权数据(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书6页 附图10页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 6 页 附图 10 页1/1页21.一种基板断开方法，其特征在于：其是在通过设置在外周缘部的粘接用密封件将第1、第2基板粘贴而成的母基板的两面形成划线，且通过沿着所形成的划线进行断开而切取复数个单位基板的基板断开方法，且包含如下。
3、步骤：在所述第1基板上，形成横截所述粘接用密封件的第1划线；及在所述第2基板上，形成横截所述粘接用密封件的第2划线；至少横截所述粘接用密封件的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在相同的位置上，形成所述第1、第2划线，并且，相较所述粘接用密封件为内侧的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在不同的位置上，形成所述第1、第2划线。2.一种基板断开方法，其特征在于：其是在通过设置在外周缘部的粘接用密封件将第1、第2基板粘贴而成的母基板的两面形成划线，且通过沿着所形成的划线进行断开而切取复数个单位基板的基板断开方法，且包含在所述第1基板上形成横截所述粘接用密封件的第1划线，并且在所述第2基板上形成。
4、横截所述粘接用密封件的第2划线的步骤，至少横截所述粘接用密封件的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在相同的位置上，形成所述第1、第2划线，并且，相较所述粘接用密封件为内侧的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在不同的位置上，形成所述第1、第2划线。3.根据权利要求1或2所述的基板断开方法，其特征在于：所述第1、第2划线是使用高渗透型划线轮而形成。4.一种基板断开方法，其特征在于：其是在通过设置在外周缘部的粘接用密封件将第1、第2基板粘贴而成的母基板的两面形成划线，且通过沿着所形成的划线进行断开而切取复数个单位基板的基板断开方法，且包含如下步骤：在所述第1基板上，形成横截所述粘接用密封件的。
5、第1划线；按压所述第2基板的面上与所述第1划线对向的部分，沿着所述第1划线，将所述第1基板折断；在所述第2基板上，形成横截所述粘接用密封件的第2划线；以及按压所述第1基板的面上与所述第2划线对向的部分，沿着所述第2划线，将所述第2基板折断；至少横截所述粘接用密封件的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在相同的位置上，形成所述第1、第2划线，并且，相较所述粘接用密封件为内侧的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在不同的位置上，形成所述第1、第2划线。权 利 要 求 书CN 102910810 A1/6页3基板断开方法技术领域0001 本发明是关于一种通过自两面将液晶等的母基板刻划断开，而使电。
6、极端子露出并且断开为单位功能基板的基板断开方法。背景技术0002 以往，液晶显示面板或液晶投影机基板等平板显示器(FPD，Flat Panel Display)等是在制造过程中，粘贴母玻璃基板之后，以成为特定大小的单个面板的方式断开。在母玻璃基板等脆性材料基板的断开中，存在有刻划步骤与裂片步骤，且在刻划步骤中使用刻划装置。在FPD的制造中，对一片母基板进行刻划，并且通过裂片步骤，取出复数个面板基板。0003 例如，在刻划装置中，如专利文献1、2所示，设置有载置台，载置并保持作为母基板的脆性材料基板；及划线头，对于脆性材料基板可相对地在水平方向上移动，也可以在上下方向上自由移动。在划线头的下端部。
7、安装有自由旋转地保持划线轮的轮座。0004 如图1、图2A、图2B所示，液晶显示面板用母基板100是夹隔着封入有液晶的密封材料，将图案形成有复数个彩色滤光片的第1基板即CF(Conductive Film，导电膜)基板101、与图案形成有复数个TFT(Thin Film Transistor，薄膜场效应晶体管)及电极端子的第2基板即TFT基板102粘贴而成。TFT基板102的电极端子区域是在内部的TFT与外部设备之间连接有信号线的区域，因此，必须在断开的最终阶段露出至外部。0005 在母基板100上，预先形成有复数个单位基板，且各单位基板分别设置有用以封入液晶的环状密封材料，将内部的液晶封入。。
8、而且，与用以封入液晶的密封材料不同，设置有用以粘接2片玻璃基板的粘接用密封件103，以避免分割母基板时所产生的切割片飞散。例如，如图1所示，粘接用密封件103是部分性地设置在液晶母面板的外周缘部或各单位基板之间。0006 背景技术文献0007 专利文献0008 专利文献1：WO2008-149515号公报0009 专利文献2：WO2009-154022号公报发明内容0010 发明所要解决的问题0011 在沿x轴方向刻划如此的母基板时，如图1的右下圆形部分在图2A中放大表示所示，必须使形成在下表面的TFT基板102上的各单位基板的电极端子露出。因此，使上部的CF基板101的划线L1、与下部的TF。
9、T基板102的划线L2的位置错开足以使电极端子露出的程度进行刻划，且沿着该划线将各单位面板断开。0012 然而，若沿着划线L1仅刻划CF基板101，且沿着划线L2仅刻划TFT基板102，则会导致粘接用密封件103部分性地残留在划线L1、L2之间。因此，存在上部的CF基板101与下部的TFT基板102保持着粘接状态而无法使电极端子露出的问题。说 明 书CN 102910810 A2/6页40013 因此，在将该基板断开时，首先，沿着划线L1仅刻划上部的CF基板101，其次，如图2B所示，沿着划线L2同时地刻划CF基板101、TFT基板102。在此时间点，相较划线L2为外侧的多余部分被切除。而且，。
10、通过划线L10在y轴方向上沿着面板的端面进行刻划、断开时，右侧的缘部分被切除，进而，CF基板101的多余部分被切除，从而可使TFT基板102的电极端子露出。0014 但是，在如此的方法中，在x轴方向上必须进行2次刻划，存在刻划或裂片较为费事的问题。0015 本发明是提供一种可通过将x轴方向的刻划简化而易于使各单位基板上的电极端子露出的基板断开方法。0016 解决问题的技术手段0017 为解决该问题，第1发明的基板断开方法是在通过设置在外周缘部的粘接用密封件将第1、第2基板粘贴而成的母基板的两面形成划线，且通过沿着所形成的划线进行断开而切取复数个单位基板的基板断开方法，且包含如下步骤：在所述第1。
11、基板上，形成横截所述粘接用密封件的第1划线；及在所述第2基板上，形成横截所述粘接用密封件的第2划线；且至少横截所述粘接用密封件的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在相同的位置上，形成所述第1、第2划线，并且，相较所述粘接用密封件为内侧的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在不同的位置上，形成所述第1、第2划线。0018 第2发明的基板断开方法是在通过设置在外周缘部的粘接用密封件将第1、第2基板粘贴而成的母基板的两面形成划线，且通过沿着所形成的划线进行断开而切取复数个单位基板的基板断开方法，且包含在所述第1基板形成横截所述粘接用密封件的第1划线，并且在所述第2基板形成横截所述粘接用密封件的。
12、第2划线的步骤，至少横截所述粘接用密封件的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在相同的位置上，形成所述第1、第2划线，并且相较所述粘接用密封件为内侧的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在不同的位置上，形成所述第1、第2划线。0019 此处，所述第1、第2划线也可以使用高渗透型划线轮进行刻划。0020 第3发明的基板断开方法是在通过设置在外周缘部的粘接用密封件将第1、第2基板粘贴而成的母基板的两面形成划线，且通过沿着所形成的划线进行断开而切取复数个单位基板的基板断开方法，且包含下述步骤：在所述第1基板上，形成横截所述粘接用密封件的第1划线；挤压所述第2基板的面上与所述第1划线对向的部分，沿。
13、着所述第1划线将所述第1基板折断；在所述第2基板上，形成横截所述粘接用密封件的第2划线；及挤压所述第1基板的面上与所述第2划线对向的部分，沿着所述第2划线将所述第2基板折断；且，至少横截所述粘接用密封件的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在相同的位置上，形成所述第1、第2划线，并且，相较所述粘接用密封件为内侧的部分是自与所述母基板的面垂直的方向观察在不同的位置上，形成所述第1、第2划线。0021 发明的效果0022 根据具有如此特征的本发明，自母基板的外侧至粘接用密封件的内侧为止，使上下的基板的划线一致地进行刻划，且在粘接用密封件的内侧，以使各单位基板上的电极端子露出的方式进行刻划。而且，。
14、沿着该划线进行断开。以此方式，获得可减少刻划次数而进行刻划及断开的效果。说 明 书CN 102910810 A3/6页5附图说明0023 图1是表示利用以往的刻划装置进行刻划及断开的母基板的一例的图。0024 图2A是表示利用以往的刻划装置进行刻划时母基板的端部的刻划位置的图。0025 图2B是进行刻划的母基板的来自A方向的箭线图。0026 图3是实现本发明实施方式的基板断开方法的基板断开装置的正视图。0027 图4是表示作为本实施方式的基板断开对象的母基板的一例的图。0028 图5是表示本实施方式的基板断开装置的构成的框图。0029 图6是表示利用本实施方式的基板断开装置进行刻划时的母基板的。
15、划线的图。0030 图7A是表示母基板的右下端部的刻划位置的图。0031 图7B是母基板的来自A方向的箭线图。0032 图8A是表示母基板的左下端部的刻划位置的图。0033 图8B是母基板的来自B方向的箭线图。0034 图9A是表示本发明另一实施方式的刻划方法的母基板的右下部分的划线的图。0035 图9B是表示利用本发明进而另一实施方式的刻划方法的母基板的右下部分的划线的图。0036 图10是表示使用本发明的常规划线轮的刻划与断开的过程的图。0037 符号的说明0038 1 基板断开装置0039 11 上游载置台0040 12 下游载置台0041 13 上部刻划机构0042 14 下部刻划机构。
16、0043 20 导杆0044 21 轨道0045 23 轨道0046 30 刻划部0047 34 划线头0048 35 划线轮0049 36 轮座0050 40 刻划部0051 44 划线头0052 45 划线轮0053 46 轮座0054 50 母基板0055 51 上侧基板0056 52 下侧基板0057 53 粘接用密封件0058 54a54i 单位基板说 明 书CN 102910810 A4/6页6具体实施方式0059 图3是实现本发明实施方式的基板断开方法的基板断开装置1的正视图。基板断开装置1包含用以载置母基板50的上游载置台11及下游载置台12。上游载置台11及下游载置台12可沿。
17、着箭头Y1所示的水平方向移动。基板断开装置1包含配置在载置台11、12之间的上部刻划机构13与下部刻划机构14，以刻划粘贴有第1、第2基板而成的母基板50。0060 其次，对上部刻划机构13进行说明。上部刻划机构13具有未图示的一对支柱，且在一对支柱，以在上游载置台11及下游载置台12的上方，跨越进行搬送的母基板50的方式架设有导杆20。在导杆20的下表面形成有一对轨道21。在导杆20上，以沿着轨道21在与图3的纸面垂直方向上自由滑动的方式设置有刻划部30。刻划部30是为刻划构成母基板50的2片基板中的上侧基板(第1基板)51而设置，且具有可沿着轨道21自由移动的移动体31。在移动体31的下表。
18、面，沿着箭头Y2的方向设置有轨道，移动体32设置为可通过电动机M1在箭头Y2的方向上移动。在移动体32上固定有基座33，且在基座33上安装有电动机M2、及设置为通过滚珠螺杆可在箭头Z1的方向(上下方向)上移动的划线头34。在划线头34的下端设置有自由旋转地支撑划线轮35的轮座36。轮座36可通过未图示的轴承，围绕与上侧基板51的面垂直的轴进行旋转，以能够使划线轮35的朝向自由变化。0061 其次，对下部刻划机构14进行说明。在基底22上，以沿着轨道23在与图3的纸面垂直的方向上自由滑动的方式设置有刻划部40。刻划部40是为刻划构成母基板50的2片基板中的下侧基板(第2基板)52而设置。刻划部4。
19、0具有与所述刻划部30相同的构成，且以与刻划部30对向的方式配置。刻划部40具有可沿着轨道23自由移动的移动体41。在移动体41的上表面沿着箭头Y3的方向设置有轨道，移动体42设置为可利用电动机M3在箭头Y3方向上移动。在移动体42上固定有基座43，且在基座43上安装有电动机M4、及设置为利用滚珠螺杆可在箭头Z2方向(上下方向)上移动的划线头44。在划线头44的上端设置有自由旋转地支撑划线轮45的轮座46。轮座46可通过未图示的轴承，围绕与下侧基板52的面垂直的轴进行旋转，以能够使划线轮45的朝向自由变化。0062 划线轮35及45是沿着刻划预定线分别同时地刻划构成母基板50的上侧基板51及下。
20、侧基板52。本实施方式的划线轮35及45是使用日本专利第3074143号中揭示的高渗透型划线轮。该划线轮是在沿着碟状轮圆周的V字形刀尖形成有复数个小突起。若使用该划线轮35及45进行刻划，则可形成抵达上侧基板51及下侧基板52的内侧表面为止的较深的垂直裂纹。0063 而且，在该基板断开装置，设置有配置在上游载置台11或下游载置台12的上部，用以判别母基板50的位置的一对CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)摄像机62a、62b。0064 图4是表示由基板断开装置1断开的母基板50的一例的图。母基板50是例如液晶母面板等的粘贴基板，且如图4所示，使各边对齐地栅格状配置。
21、有9片单位基板54a54i。与以往例相同，在母基板50上，在上部基板51、下部基板52之间粘贴有粘接用密封件53。该粘接用密封件53是设置在母基板50的外周部分与各单位基板之间，以避免产生分割母基板50时所产生的切屑。说 明 书CN 102910810 A5/6页70065 其次，使用框图对基板断开装置1的控制器的构成进行说明。图5是基板断开装置1的控制器的框图。在该图中，来自2台CCD摄像机62a、62b的输出是经由控制器70的图像处理部71供给至控制部72。输入部73是输入关于母基板的刻划的数据。搬送驱动部74是驱动在Y方向上搬送基板的搬送部。控制部72中连接有电动机驱动部75a75d。电。
22、动机驱动部75a75d是分别驱动电动机M1M4。而且，载置台驱动部76是分别驱动上游载置台11、下游载置台12。控制部72中连接有监控器77及数据保存部78。数据保存部78是保存与用以刻划母基板50的划线L1L15相关的数据等。该数据是一面在监控器77中确认输入，一面由输入部73输入。控制部72是基于刻划预定线的数据等，以下述的时序控制载置台的位置或各电动机。0066 图6图8B是用以说明本实施方式的基板断开方法的图。如图6所示，在母基板50设置有X轴方向的划线L1L9及Y轴方向的划线L10L15。另外，实际上在刻划之前是刻划预定线。此处，将图6的右下方以点划线表示的圆形部分的放大图示于图7A。
23、，且将来自该A方向的箭线图示于图7B。如图6所示，自母基板50的外侧至粘接用密封件53的内侧为止，使上下划线L1、L2一致地进行刻划。而且，若穿过粘接用密封件53的内端部，则驱动电动机M3，使移动体42一面沿着图3中由箭头Y3表示的右方向移位固定距离，一面沿着与纸面垂直的方向移动，其后，与纸面垂直地移动至母基板50的端部附近为止。此时，由于轮座46的轴由滚珠轴承自由旋转地保持，所以，可通过改变划线头的移动方向而利用主销后倾稳定效应改变刀尖的朝向，使划线蜿蜒前进。如此的动作在此处称为仿形动作。通过该仿形动作而使下方划线L2如图7A所示与划线L1错位地蜿蜒前进至基板的电极端子的外侧为止，其后，与划。
24、线L1并行地进行刻划。该划线L1、L2在基板面上的间隔d是设为足以使粘贴基板的电极端子露出的间隔。进而，在图6所示的左端部，如图8A、图8B所示，在粘接用密封件53的内侧端部，再次通过仿形动作，使划线L2蜿蜒前进，保持与划线L1一致。而且，在一致的状态下，穿过粘接用密封件53后结束划线L1、L2的刻划。另外，分别将划线L1、L2设为第1、第2划线。接着，沿着上下同一位置的划线L3，自上下同时地刻划该邻接3片单位基板54g、54h、54i的端部。0067 本实施方式是使划线轮35、45为高渗透型，所以，可形成具有分别抵达上侧基板51、下侧基板52的内侧的面的深度的垂直裂纹。因此，若形成划线，则断。
25、开实质上沿着划线结束。由此，可使3个单位基板54g54i的电极端子露出进行断开。0068 以此方式，沿着划线L10L15上下同时地刻划单位基板54g、54h、54i相连的条带状基板，将各单位基板断开。以此方式，与以往例相比，也可减少x轴方向的刻划次数，从而可使刻划效率化。此处，对于使单位基板54g54i的电极端子露出的边而言，沿着划线L1、L2自上下同时地进行刻划即可。因此，与以往例相比，也可减少x轴方向的刻划次数，从而可使刻划效率化。0069 对于单位基板54d、54e、54f，也同样地通过2条划线L4、L5自上下进行刻划。此时，划线L4、L5与粘接用密封件53未交叉，所以，分离使电极端子自。
26、单位基板露出的间隔d，始终平行地刻划2条划线L4、L5。其次，沿着上下同一位置的划线L6，自上下同时地刻划该邻接的3片单位基板54d、54e、54f的端部。0070 以此方式，沿着划线L10L15上下同时地刻划单位基板54d、54e、54f相连的条带状基板，将各单位基板断开。说 明 书CN 102910810 A6/6页80071 对于单位基板54a、54b、54c，也同样地通过2条划线L7、L8自上下进行刻划。此时，划线L7、L8与粘接用密封件53未交叉，所以，分离使电极端子自单位基板露出的间隔d，始终平行地刻划2条划线L7、L8。其次，沿着上下同一位置的划线L9，自上下同时地刻划该邻接的3。
27、片单位基板54a、54b、54c的端部。0072 以此方式，沿着划线L10L15上下同时地刻划单位基板54a、54b、54c相连的条带状基板，将各单位基板断开。0073 另外，所述仿形动作是如图7A、图8A所示，使划线L2蜿蜒前进。也可以取而代之，如图9A所示，在粘接用密封件53的外侧预先使线L1、L2一致，并通过仿形动作，使划线L1蜿蜒前进，顺着单位基板的边，刻划上部基板51，且使划线L2保持平移。进而，也可以如图9B所示，使划线L1、L2一致，自母基板的外侧开始进行刻划，直至抵达粘接用密封件53的内侧为止结束刻划之后，分别通过仿形动作，使划线L1、L2蜿蜒前进地进行刻划。0074 所述实施。
28、方式是如图3所示，使用可自粘贴基板的上下两面同时进行刻划的刻划装置。也可以取而代之，使用仅可自一面进行刻划的刻划装置。在此情形时，图6所示的母基板50的各划线的上表面的刻划与下表面的刻划中需要分别使基板反转的步骤。0075 而且，所述实施方式是使划线轮为高渗透型划线轮。也可以取而代之，使用普通的划线轮，在刻划后通过折断而将基板断开。图10是表示使用该普通划线轮的粘贴基板的断开过程的概略图。在此情形时，如图10(a)、(b)所示，首先，在上侧基板51的所需部分形成第1划线，且如图10(c)所示，使其反转。接着，通过挤压下侧基板52的面上与第1划线对向的部分而沿着第1划线将上侧基板51断开。接着，。
29、进行下侧基板52的刻划。在此情形时，如图10(d)所示，自母基板的外侧至粘接用密封件的内侧为止，与上侧基板51的第1划线一致地形成第2划线，接着，通过仿形动作使划线轮移动，使第2划线一面蜿蜒前进一面自单位基板的端部直至电极端子露出的位置为止进行刻划。如图10(e)所示，其他部分也进行刻划。进而，如图10(f)所示，使该基板反转，将基板52折断分离。以此方式，便可通过折断的部分，将母基板断开为单位基板。在此情形时，由于未使用高渗透型划线轮而进行折断及断开，所以，可使断开的端面精度提高。0076 工业上的可利用性0077 本发明可较佳地利用于自粘贴母基板切取具有电极端子的单位基板的装置。说 明 书CN 102910810 A1/10页9图1说 明 书 附 图CN 102910810 A2/10页10图2A图2B说 明 书 附 图CN 102910810 A10。