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1、(10)申请公布号 CN 102921198 A(43)申请公布日 2013.02.13CN102921198A*CN102921198A*(21)申请号 201210467735.6(22)申请日 2012.11.19B01D 19/02(2006.01)G03F 7/32(2006.01)(71)申请人天津市中环高科技有限公司地址 300385 天津市西青区微电子工业区微三路6号(72)发明人胡义杰 李冬 柳清(74)专利代理机构天津中环专利商标代理有限公司 12105代理人莫琪(54) 发明名称剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置(57) 摘要本发明涉及一种剥膜显影液KOH/NaOH的消。
2、泡装置，基片传动箱上方安装有抽风管和若干药液喷淋，下方为传送滚轮，传送滚轮下方设有网状加热管，加热管下面为网状消泡棉，箱体底部设有药液排放口，基片传动箱的两个侧面有连接前后工序的用于玻璃基片传送的通道开口，药液槽上的药液回流口置于药液液位之下，药液槽药液的上方装有新药液喷淋，药液排放口通过管道连通药液槽，药液槽的出液口通过管道与喷淋泵连接，通过供液管道连接基片传动箱的喷淋，形成一个完整的供液系统；消泡装置可以保证生产过程中产生的泡沫绝大部分都破灭，对生产工艺进行配合，且不污染药液，从而保证生产的正常进行，提高产品品质。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书3页 附图1页(19)中华人民共。
3、和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页1/1页21.剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置，包括生产线中的基片传动箱和药液槽，其特征在于，基片传动箱上方安装有抽风管和若干药液喷淋，药液喷淋的下方为传送滚轮，传送滚轮下方设有网状加热管，网状加热管下面为网状消泡棉，基片传动箱底部设有药液排放口，基片传动箱的两个侧面有连接前后工序的用于玻璃基片传送的通道开口，药液槽上的药液回流口置于药液液位之下，药液槽药液的上方装有添加新的冷药液的喷淋；基片传动箱底部的药液排放口通过管道连通药液槽，药液槽的出液口通过管道与喷淋泵连接，喷淋泵通过供液管道连接生产线机体的药。
4、液喷淋，形成一个完整的供液系统；使用剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置对生产过程中剥膜显影液KOH/NaOH产生的泡沫进行消泡的方法，包括如下步骤： )选用KOH或NaOH为剥膜显影液，剥膜显影液通过药液喷淋冲刷运行在滚轮上的玻璃基片；)玻璃基片上有光刻胶，剥膜显影液与光刻胶发生反应并从玻璃基片上冲刷流下，产生很多泡沫，参加反应后的剥膜显影液和泡沫流下，落在网状加热管上，气泡瞬间接触加热温度为80180度的网状加热管时破裂； )参加反应后的剥膜显影液和剩余的泡沫通过网状加热管下方的网状消泡棉时，利用网状消泡棉内部弯曲结构，增加药液和气泡流下的流动路径、增加气泡和网状消泡棉的摩擦，使一部分泡沫。
5、破裂，另一部分泡沫被滞留在网状消泡棉的网内，经过上面不断流下的经网状加热管高温加热的剥膜显影液的冲刷，再使部分泡沫随之而破裂；)通过抽风管抽走基片传动箱内的空气和水气，将部分气泡抽走，造成箱体内负压，对泡沫的破裂产生加速作用；e)剥膜显影液通过管道流回药液槽，管道中填充了网状消泡棉，继续增加促使泡沫破裂的流动路径，药液回流管出口置于剥膜显影液液面以下，减少因下流速度太快而产生新的气泡；f)在药液槽的上面，装有添加新剥膜显影液的新药液喷淋，喷出剥膜显影液的形状为伞形，以增加药液喷洒的面积，新的剥膜显影液的温度为020度，剩余的泡沫会漂浮在药液槽上表层，热的泡沫接触喷洒出来的冷药液后因冷热温差而破。
6、裂，完成了整个体系中最后的除泡过程。权 利 要 求 书CN 102921198 A1/3页3剥膜显影液 KOH/NaOH 的消泡装置技术领域0001 本发明涉及消泡装置，特别涉及一种剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置，主要针对KOH和NaOH的溶液作为剥膜液和显影液生产时产生的泡沫，或者其他生产过程中一些药液产生的泡沫，在生产线上进行一系列改造，使泡沫通过物理的方法自动破裂，以达到消除泡沫的目的，此装置可以沿用到很多需要消泡的领域。背景技术0002 在LCD，TFT和TP加工行业中，常用到KOH或NaOH溶液作为剥膜液和显像液，这种无机碱性药液在生产线的生产过程中容易产生泡沫，当浓度达到3%。
7、-5%（g/L），温度为45-50时，药液的反应和冲刷造成的泡沫非常多，而且不容易消除，给生产造成了非常大的不便。0003 常用的消泡方法有使用消泡剂，加大抽气和将泡沫溢出排走，但是消泡剂容易污染生产中的产品，故不能添加；将抽气排风加大，可以将一部分泡沫抽走，形成负压，加速了泡沫的破灭，但是由于生产中要维持在一定的温度（如50），抽气加大，同样也会将热量抽走，造成药液温度下降，不符合生产工艺的要求，因此使用的抽气量有限，泡沫又非常多，达不到所需要的除泡效果；第三种方法是让泡沫流进药液槽，药液槽中增加一挡板，泡沫高过挡板上边缘而溢出，由于泡沫太多，药液流量比较大，所以流进药液槽的泡沫很有限，很多。
8、泡沫还停留在生产线的箱体内，因此效果也不明显，所以急需一种更有效的消泡方案。发明内容0004 本发明的目的是针对现有技术的不足，提供一种网状加热管和网状消泡棉及冷药液喷淋装置，力求保证生产过程中产生的泡沫绝大部分都被消灭，与生产工艺进行配合，且不污染药液，从而保证生产的正常进行，提高产品品质。0005 本发明是通过这样的技术方案实现的：剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置，包括生产线中的基片传动箱和药液槽，其特征在于，基片传动箱上方安装有抽风管和若干药液喷淋，药液喷淋的下方为传送滚轮，传送滚轮下方设有网状加热管，网状加热管下面为网状消泡棉，基片传动箱底部设有药液排放口，基片传动箱的两个侧面有连。
9、接前后工序的用于玻璃基片传送的通道开口，药液槽上的药液回流口置于药液液位之下，药液槽药液的上方装有添加新的冷药液的喷淋；基片传动箱底部的药液排放口通过管道连通药液槽，药液槽的出液口通过管道与喷淋泵连接，喷淋泵通过供液管道连接生产线机体的药液喷淋，形成一个完整的供液系统；使用剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置对生产过程中剥膜显影液KOH/NaOH产生的泡沫进行消泡的方法，包括如下步骤： a)选用KOH或NaOH为剥膜显影液，剥膜显影液通过药液喷淋冲刷运行在滚轮上的玻璃基片；b)玻璃基片上有光刻胶，剥膜显影液与光刻胶发生反应并从玻璃基片上冲刷流下，产说 明 书CN 102921198 A2/3页。
10、4生很多泡沫，参加反应后的剥膜显影液和泡沫流下，落在网状加热管上，气泡瞬间接触加热温度为80180度的网状加热管时破裂； c)参加反应后的剥膜显影液和剩余的泡沫通过网状加热管下方的网状消泡棉时，利用网状消泡棉内部弯曲结构，增加药液和气泡流下的流动路径、增加气泡和网状消泡棉的摩擦，使一部分泡沫破裂，另一部分泡沫被滞留在网状消泡棉的网内，经过上面不断流下的经网状加热管高温加热的剥膜显影液的冲刷，再使部分泡沫随之而破裂；d)通过抽风管抽走基片传动箱内的空气和水气，将部分气泡抽走，造成箱体内负压，对泡沫的破裂产生加速作用；e)剥膜显影液通过管道流回药液槽，管道中填充了网状消泡棉，继续增加促使泡沫破裂的。
11、流动路径，药液回流管出口置于剥膜显影液液面以下，减少因下流速度太快而产生新的气泡；f)在药液槽的上面，装有添加新剥膜显影液的新药液喷淋，喷出剥膜显影液的形状为伞形，以增加药液喷洒的面积，新的剥膜显影液的温度为020度，剩余的泡沫会漂浮在药液槽上表层，热的泡沫接触喷洒出来的冷药液后因冷热温差而破裂，完成了整个体系中最后的除泡过程。0006 本发明的优点：通过在剥膜显影生产基片传动箱和药液槽上进行一系列的物理改造以达到物理消泡的效果，消泡装置可以保证生产过程中产生的泡沫绝大部分都破灭，对生产工艺进行配合，且不污染药液，从而保证生产的正常进行，提高产品品质。附图说明0007 图1为剥膜显影液KOH/。
12、NaOH的消泡装置应用示意图；图2为剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置中基片传动箱示意图。0008 图中： 1. 基片传动箱，2.玻璃基片，3.药液喷淋，4.抽风管，5.传送滚轮，6. 通道开口，7. 药液排放口， 8.网状加热管， 9.网状消泡棉，10.药液气泡，11.网状消泡棉，12.新药液喷淋，13.药液槽，14. 供药管道，15. 喷淋泵，16.气泡。具体实施方式0009 为了更清楚的理解本发明，结合附图和实施例详细描述本发明：如图1-2所示，剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置,包括基片传动箱1，基片传动箱1为正常生产过程中的一段剥膜显影设备箱体，基片传动箱1上方安装有若干药液喷淋。
13、3和抽风管4，药液喷淋3的下方为一组传送滚轮5，传送滚轮5下方设有网状加热管8，网状加热管8下面为网状消泡棉9，基片传动箱1底部设有药液排放口7，基片传动箱1的两个侧面设有用于玻璃基片2传送的通道开口6; 基片传动箱1底部的药液排放口7通过管道连通药液槽13的回流口，药液槽13的出液口通过管道与喷淋泵15进液口连接，喷淋泵15的出液口与供药管道14连接，从而将药液从药液槽输送进入基片传动箱1上方的药液喷淋，完成生产和消泡的全过程。0010 使用剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置对生产过程中剥膜显影液KOH/NaOH产生的泡沫进行消泡的方法，包括如下步骤： a)采用的剥膜显影液为KOH或NaO。
14、H，剥膜显影液通过药液喷淋3冲刷运行在滚轮上的说 明 书CN 102921198 A3/3页5玻璃基片2；b)玻璃基片2上有光刻胶，剥膜显影液与光刻胶发生反应并从玻璃基片2上冲刷流下，产生很多泡沫，剥膜显影液和泡沫流下，落在网状加热管8上，气泡瞬间接触加热温度为80180度的网状加热管时破裂； c)剥膜显影液和剩余的泡沫继续通过网状加热管8下方的网状消泡棉9，网状消泡棉9内部弯曲的结构，增加了剥膜显影液和气泡流下的流动路径，增加气泡和网状消泡棉9的摩擦，使一部分泡沫破裂；另一部分泡沫被停留在网状消泡棉9的网内，经过上面不断流下的高温液体的冲刷，部分泡沫随之而破裂；d)通过抽风管4抽走基片传动箱。
15、1箱体内的空气和水气，将部分气泡抽走，造成箱体内负压，对泡沫的破裂产生加速作用；e)药液通过管道流回药液槽13，管道中填充了网状消泡棉9，网状消泡棉9继续增加促使泡沫破裂的流动路径，药液回流管出口置于剥膜显影液液面以下，减少因下流速度太快而产生新的气泡；f)在药液槽13的上面，装有添加新剥膜显影液的新药液喷淋12，喷出药液的形状为伞形，以增加药液喷洒的面积，新药液的温度为020度，剩余的泡沫会漂浮在药液槽上表层，热的泡沫接触喷洒出来的冷药液后因冷热温差而破裂，完成了整个体系中最后的除泡过程。0011 根据上述说明，结合公知技术即可再现本发明。说 明 书CN 102921198 A1/1页6图1图2说 明 书 附 图CN 102921198 A。