平面显示器制造设备技术领域
本发明涉及一种平面显示器(Flat Panel Display，以下简称“FPD”)制造设备。
背景技术
干式蚀刻器(Dty Etcher)、化学汽相淀积器(Chemical Vapor Deposition Apparatus)
及溅镀机(Sputter)等FPD制造设备通常包括三个真空室，即承载室和处理室、传送
室：承载室(Load lock Chamber)的作用是从外部接收进入制程的基板或者向外部传
送完成加工的基板；处理室(Process Chamber)的作用是利用电浆或热能蚀刻或真空
蒸发(vacuum evaporation)薄膜；而传送室(Transfer Chamber)则把基板从承载室运送
至处理室或者反向退出。
如图1所示，传送室20内设有机械手(robot)22。机械悬臂22a的作用是将FPD
基板40举起由承载室10运送至处理室30或者反向运送。在处理室30内，基板
40放置在基板支架(substrate supporting plate)36上面时进入制程，而基板40是通
过升降杆32或升降条34的帮助，从基板支架36向上举起或者返回基板支架36上
的。
升降杆32位于基板40底部，而升降条34位于基板40的外侧，升降条34顶
部呈垂直状；当升降条34顶部的弯曲部位向基板40方向水平旋转时，基板40与
升降条34的上端相扣。
如图2a～图2f所示，当处理室30结束规定制程后，加工完毕的基板40b在基
板支架36上面暂待。此时，介于传送室20和处理室30之间的门被打开，机械悬
臂22a取走待加工的基板40a运送至处理室30。此时，将看到升降条34升起并举
起基板40a，而机械悬臂22a离开处理室30回到传送室20(如图2a，图2b所示)。
当机械悬臂22a回到传送室20后，升降杆32向上升起，同时举起放在基板支
架36上的加工完成的基板40b，而传送室20内的机械悬臂22a再次进入处理室30，
此时，升降杆32向下降并把基板40b放回机械悬臂22a上，而机械悬臂22a举起
完成加工的基板40b进入传送室20(如图2c，图2d所示)。
随着处理室30和传送室20之间门被关闭，升降杆32和升降条34向下降，并
把基板40a放到基板支架36上进入规定制程(如图2e所示)。
传送室20内的机械悬臂22a把完成加工的基板40b放到承载室10内的基板存
放处(图中未示)上，并取走承载室10其他基板存放处(图中未示)内的待加工基板
40c旋转180度后，直到处理室30制程结束为止(如图2f所示)。
与此同时，承载室10和传送室20之间的门被关闭，加工完毕的基板40b退出
承载室10，同时另一个待加工的基板(图中未示)进入承载室10完成基板替换。最
好是在处理室30进行加工制程时，完成上述基板替换。因此，承载室10的排气
(venting)和抽气(pumping)应快速完成。
如图3a及图3b所示，现有FPD制造设备防止电浆流向处理室30底部，并把
隔板(baffle)38设置在基板支架36周围，从而保持障处理室30内的气流均匀。
执行电浆制程时，为防止升降条34露在电浆里导致工程副产物堆积在升降条
34上面，把升降条34设置在隔板38底部，而在隔板38上穿一个可以升降升降条
34的小孔，并在小孔上面设置可以开关的机盖34a。机盖34a在升降条34升起时
开启，下降时关闭。未说明的符号30a是处理室30的抽气口(pumping port)。
上述现有FPD制造设备需要在隔板38上端留一空间作为机盖34a开关装置的
安装空间。在隔板上留一个安装空间，可能会导致隔板38宽面和上述升降用小孔
周围的电气特性不同、以及机盖34a加工不均匀导致机盖34a边缘产生飞弧(arcing)
现象。此外，由于带有机盖34a，可能导致处理室30内的气流不均匀。
另外，基板40大小达到2m×2m或者更大，并利用升降杆32或升降条34举
起基板40时，容易出现基板40明显下垂的现象。为了防止下垂以及平行举起基板
40，升降条34顶端的水平弯曲部位要长一些，以及增设多个升降条34。这就要求
增设隔板38上的机盖34a。这样一来，上述问题就会更加严重。
发明内容
本发明的目的是提供一种可防止电浆流向处理室底部，使处理室内的气流均匀
的平面显示器制造设备。
为实现上述目的，本发明采取以下设计方案：一种平面显示器制造设备，其特
征在于：其是由包括起到支持基板作用的基板支架在内处理室、水平设置在上述基
板支架和上述处理室壁之间隔开上述基板支架的上部空间和底部空间的隔板、垂直
设置在上述隔板的底部空间上下调节上述基板支架上的上述基板的升降条、以及连
接上述处理室壁内的隔板部位和上述升降条，使之当上述升降条升起时，上述基板
支架相对上述处理室壁上升使隔板倾斜；相反，当上述升降条下降时，上述隔板恢
复到水平状态并关闭的连杆组成。
升降条的顶部呈直角状。
环绕上述升降条设置圆筒环，使上述升降条独立水平旋转以防止上下移动，而
上述连杆与上述圆筒环相连。
本发明的优点是：本发明由于采用以上设计方案，无需在隔板138上钻孔、无
需设置机盖，也能保持处理室130内的一定气流使电浆均匀，以及整个隔板138的
电气特性均匀以防止产生飞弧；无需另设机盖以及机盖开关装置，设备结构简单。
此外，可以设置大小不同的多个升降条134，这与基板大小无关。
附图说明
图1是有关现有FPD制造设备的说明平面图；
图2a～图2f是关于说明图1的FPD制造设备操作方法的截面图；
图3a～图3b是上述现有FPD制造设备的缺陷说明图；
图4a～图4d是有关本发明各实施例的FPD制造设备说明图。
具体实施方式
如图4a以及图4b所示，隔板138水平设置在基板支架136和处理室130壁之
间，从而隔开基板支架136的上部空间和底部空间，与现有设备所不同的是无需钻
孔、无需另设机盖。
升降条134垂直设置在隔板138的底部空间内，顶部水平弯曲，从而上下调整
基板支架136上的基板140。
隔板138和升降条134用连杆150连接。当升降条134升起时，开启与此连动
的隔板138；相反，当升降条134下降时关闭隔板138。因此，无需另设机盖，由
整个隔板138充当覆盖升降条134的机盖作用。
130a是处理室130的抽气口(pumping port)，而137a、137b是底部隔板起到隔
离作用，因此，即使波纹管(bellows)136a膨胀、折叠，电浆等也不会流向波纹管
136a部位。此外，137c是设置在隔板138和基板支架136之间的陶瓷隔板。
隔板38和升降条34的连动如图4c以及图4d所示，缠绕升降条134的圆筒环
134a设置在升降条134垂直杆的规定部位上，并在圆筒环134a的两端设置固定环
134b，以防止圆筒环134a上下移动。升降条134可在圆筒环134a内独立自由的水
平旋转。
靠近处理室130壁的隔板138部位和圆筒环134a通过连杆150相连，其连接
方法是通过固定螺丝150a，150b完成，从而保障连杆150在连接部位自由旋转。
如图4d所示，当升降条134升起时，基板支架136相对处理室130壁上升使
隔板138倾斜；如图4c所示，当升降条134下降时，隔板138恢复到水平状态并
关闭。因此，无需另设机盖，由整个隔板138充当覆盖升降条134的机盖作用。此
外，在升降条134升降过程中，升降条134可以在圆筒环134a内自由水平旋转。