《蚀刻液配制系统.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《蚀刻液配制系统.pdf（7页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201410783350.X(22)申请日 2014.12.17201410060819.7 2014.02.24 CNB01F 15/04(2006.01)B01F 15/02(2006.01)B01F 3/08(2006.01)B01D 36/04(2006.01)(71)申请人 惠晶显示科技（苏州）有限公司地址 215612 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村惠晶显示科技（苏州）有限公司(72)发明人 滕祥飞 阮军(74)专利代理机构 张家港市高松专利事务所( 普通合伙 ) 32209代理人 陈晓岷(54) 发明名称蚀刻液配制系统(5。
2、7) 摘要本发明涉及蚀刻液配制系统，包括：多个单酸贮池组、至少一个混合贮池、至少一个成品混酸贮池、至少一个蚀刻设备贮池，所述的蚀刻液配制系统还包括有：至少一个回收贮池、至少一个压滤机、至少一个过滤贮池、至少一个沉淀贮池组、至少一个废液贮池和至少一个废液池。本发明可对蚀刻废液进行回收利用，解决了蚀刻领域蚀刻废弃药液直接排放造成使用和处理成本过高等问题，降低了生产成本，而且也有利于环保。另外，本发明还配备浓度自动测定仪，混合贮池中设置有称重装置，可以自动完成配比，杜绝人为计算配比出现偏差，提高配制精度。(66)本国优先权数据(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利。
3、申请权利要求书1页 说明书4页 附图1页(10)申请公布号 CN 104492339 A(43)申请公布日 2015.04.08CN 104492339 A1/1 页21.蚀刻液配制系统，包括 ：多个单酸贮池组、至少一个混合贮池、至少一个成品混酸贮池、至少一个蚀刻设备贮池，其特征在于 ：所述的蚀刻液配制系统还包括有 ：至少一个回收贮池、至少一个压滤机、至少一个过滤贮池、至少一个沉淀贮池组、至少一个废液贮池和至少一个废液池 ；每个单酸贮池组均包括有至少两个单酸贮池，同一个单酸贮池组中的所有单酸贮池用于存储同一种类酸，同一个单酸贮池组中，每个单酸贮池的出液口上均连接有单酸出液管，每个单酸出液管的管。
4、路上均串设有单酸出液阀，所有单酸出液管的出液端连通、汇合成单酸出液总管，每个单酸贮池的进液口上均连接有单酸进液管，每个单酸进液管的管路上均串设有单酸进液阀，所有单酸进液管的进液端连通、汇合成单酸进液总管 ；每个沉淀贮池组均包括有至少两个沉淀贮池，同一个沉淀贮池组中，每个沉淀贮池上设置有沉淀进液口、沉淀上出液口和沉淀下出液口，沉淀进液口上均连接有沉淀进液管，每个沉淀进液管的管路上均串设有沉淀进液阀，所有沉淀进液管的进液端连通、汇合成沉淀进液总管，沉淀下出液口均连接有沉淀出液管，每个沉淀出液管的管路上串设有沉淀出液阀，所有沉淀出液管的出液端连通、汇合成沉淀出液总管，沉淀上出液口上连接有收集出液管，。
5、每个收集出液管的管路上串设有收集出液阀，所有收集出液管的出液端连通、汇合成收集出液总管 ；每个单酸贮池组的单酸出液总管通过泵和管路以及串设在管路上的单酸控制阀与混合贮池的进液口相连，混合贮池的出液口通过管路和设置在管路上的泵和混合控制阀与成品混酸贮池的进液口相连，成品混酸贮池的出液口通过管路和设置在管路上的泵和成品控制阀与蚀刻设备贮池的进液口相连，蚀刻设备贮池的出液口上设置有蚀刻出液管，蚀刻出液管的管路上串设有蚀刻控制阀、并分成两路，一路通过管路和设置在管路上的废液收集控制阀与废液贮池的进液口相连，另一路通过管路和设置在管路上的第一废液控制阀与废液池相连，废液贮池的出液口通过管路和设置在管路上。
6、的过滤控制阀与过滤贮池的进液口相连，过滤贮池的出液口通过管路和设置在管路上的泵与压滤机的进液口相连，压滤机的出液口通过管路、设置在管路上的压滤输出控制阀与沉淀贮池的进液总管相连，沉淀贮池的沉淀出液总管串设沉淀输出阀和泵后分成两路，一路通过管路和串设在管路上的再滤控制阀与设置在过滤贮池上的再滤进液口相连，另一路通过管路和串设在管路上的第二废液控制阀与废液池相连，沉淀贮池的收集出液总管上串设有回收输入控制阀，并与回收贮池的进液口相连，回收贮池的出液口通过管路和管路上的回收输出控制阀和泵与混合贮池的进液口相连。2.根据权利要求 1 所述的蚀刻液配制系统，其特征在于 ：所述废液贮池的数量为两个，两个废。
7、液贮池并联设置。3.根据权利要求 1 所述的蚀刻液配制系统，其特征在于 ：所述废液贮池中设置有压缩空气鼓包系统。4.根据权利要求 1 所述的蚀刻液配制系统，其特征在于 ：所述沉淀贮池的数量为四个，分成两个交替使用的沉淀贮池组。5.根据权利要求 1 所述的蚀刻液配制系统，其特征在于 ：所述压滤机的数量为两个，两个压滤机并联设置。6.根据权利要求 1 至 5 之一所述的蚀刻液配制系统，其特征在于 ：所述混合贮池上设置有能精确的测量配制过程中每种单酸的注入量的称重装置、能对配制后的药液进行浓度检测的药液浓度检测仪和冷水降温系统。权 利 要 求 书CN 104492339 A1/4 页3蚀刻液配制系统。
8、技术领域0001 本发明涉及 TFT-LCD 蚀刻领域，尤其涉及一种蚀刻液配制系统。背景技术0002 传统的蚀刻液配制系统只具备简单的配制混合、成品药液存贮功能，而不具有废弃药液回收处理功能，它只能配制全新的蚀刻液，而无法将使用过的蚀刻液进行回收利用，因此大大增加了耗材的使用成本及废液的处理成本，而且作为半自动配制，配制精度也较低。发明内容0003 本发明所要解决的第一个技术问题是 ：提供一种能对蚀刻后的药液进行回收再利用的蚀刻液配制系统。0004 为解决上述问题，本发明采用的技术方案是 ：蚀刻液配制系统，包括 ：多个单酸贮池组、至少一个混合贮池、至少一个成品混酸贮池、至少一个蚀刻设备贮池，所。
9、述的蚀刻液配制系统还包括有 ：至少一个回收贮池、至少一个压滤机、至少一个过滤贮池、至少一个沉淀贮池组、至少一个废液贮池和至少一个废液池 ；每个单酸贮池组均包括有至少两个单酸贮池，同一个单酸贮池组中的所有单酸贮池用于存储同一种类酸，同一个单酸贮池组中，每个单酸贮池的出液口上均连接有单酸出液管，每个单酸出液管的管路上均串设有单酸出液阀，所有单酸出液管的出液端连通、汇合成单酸出液总管，每个单酸贮池的进液口上均连接有单酸进液管，每个单酸进液管的管路上均串设有单酸进液阀，所有单酸进液管的进液端连通、汇合成单酸进液总管 ；每个沉淀贮池组均包括有至少两个沉淀贮池，同一个沉淀贮池组中，每个沉淀贮池上设置有沉淀。
10、进液口、沉淀上出液口和沉淀下出液口，沉淀进液口上均连接有沉淀进液管，每个沉淀进液管的管路上均串设有沉淀进液阀，所有沉淀进液管的进液端连通、汇合成沉淀进液总管，沉淀下出液口均连接有沉淀出液管，每个沉淀出液管的管路上串设有沉淀出液阀，所有沉淀出液管的出液端连通、汇合成沉淀出液总管，沉淀上出液口上连接有收集出液管，每个收集出液管的管路上串设有收集出液阀，所有收集出液管的出液端连通、汇合成收集出液总管 ；每个单酸贮池组的单酸出液总管通过泵和管路以及串设在管路上的单酸控制阀与混合贮池的进液口相连，混合贮池的出液口通过管路和设置在管路上的泵和混合控制阀与成品混酸贮池的进液口相连，成品混酸贮池的出液口通过管。
11、路和设置在管路上的泵和成品控制阀与蚀刻设备贮池的进液口相连，蚀刻设备贮池的出液口上设置有蚀刻出液管，蚀刻出液管的管路上串设有蚀刻控制阀、并分成两路，一路通过管路和设置在管路上的废液收集控制阀与废液贮池的进液口相连，另一路通过管路和设置在管路上的第一废液控制阀与废液池相连，废液贮池的出液口通过管路和设置在管路上的过滤控制阀与过滤贮池的进液口相连，过滤贮池的出液口通过管路和设置在管路上的泵与压滤机的进液口相连，压滤机的出液口通过管路、设置在管路上的压滤输出控制阀与沉淀贮池的进液总管相连，沉淀贮池的沉淀出液总管串设沉淀输出阀和泵后分成两路，一路通过管说 明 书CN 104492339 A2/4 页4。
12、路和串设在管路上的再滤控制阀与设置在过滤贮池上的再滤进液口相连，另一路通过管路和串设在管路上的第二废液控制阀与废液池相连，沉淀贮池的收集出液总管上串设有回收输入控制阀，并与回收贮池的进液口相连，回收贮池的出液口通过管路和管路上的回收输出控制阀和泵与混合贮池的进液口相连。0005 所述废液贮池的数量为两个，两个废液贮池并联设置。0006 所述废液贮池中设置有压缩空气鼓包系统。0007 所述沉淀贮池的数量为四个，分成两个交替使用的沉淀贮池组。0008 所述压滤机的数量为两个，两个压滤机并联设置。0009 本发明所要解决的第二个技术问题是 ：提供一种能提高配制精度的蚀刻液配制系统。0010 为解决上。
13、述问题，本发明采用的技术方案是 ：所述混合贮池上设置有能精确的测量配制过程中每种单酸的注入量的称重装置、能对配制后的药液进行浓度检测的药液浓度检测仪和冷水降温系统。0011 本发明的有益效果是 ：上述的蚀刻液配制系统，可对蚀刻废液进行回收利用，解决了蚀刻领域蚀刻废弃药液直接排放造成使用和处理成本过高等问题，降低了生产成本，而且也有利于环保。另外，本发明还配备浓度自动测定仪，混合贮池中设置有称重装置，可以自动完成配比，杜绝人为计算配比出现偏差，提高配制精度。附图说明0012 图 1 是本发明的结构原理示意图 ；0013 图中 ：1、单酸贮池，2、混合贮池，3、成品混酸贮池，4、蚀刻设备贮池，5、。
14、回收贮池，6、压滤机，7、过滤贮池，8、沉淀贮池，9、废液贮池，10、废液池，1、单酸出液管，2、单酸出液阀，13、单酸出液总管，4、单酸进液管，5、单酸进液阀，6、单酸进液总管，17、沉淀进液口，18、沉淀上出液口，9、沉淀下出液口，20、沉淀进液管，1、沉淀进液阀，22、沉淀进液总管，23、沉淀出液管，4、沉淀出液阀，5、沉淀出液总管，6、收集出液管，27、收集出液阀，8、收集出液总管，29、单酸控制阀，30、混合控制阀，1、成品控制阀，32、蚀刻出液管，3、蚀刻控制阀，34、废液收集控制阀，35、第一废液控制阀，36、过滤控制阀，7、压滤输出控制阀，38、沉淀输出阀，39、再滤控制阀，4。
15、0、再滤进液口，41、第二废液控制阀，42、回收输入控制阀，43、回收输出控制阀，44、药液浓度检测仪。具体实施方式0014 下面通过具体实施例对本发明所述的蚀刻液配制系统作进一步的详细描述。0015 如图 1 所示，蚀刻液配制系统，包括 ：多个单酸贮池组、至少一个混合贮池 2、至少一个成品混酸贮池 3、至少一个蚀刻设备贮池 4，还包括有 ：至少一个回收贮池 5、至少一个压滤机6、至少一个过滤贮池7、至少一个沉淀贮池组、至少一个废液贮池9和至少一个废液池10；0016 每个单酸贮池组均包括有至少两个单酸贮池 1，同一个单酸贮池 1 组中的所有单酸贮池 1 用于存储同一种类酸，同一个单酸贮池 1。
16、 组中，每个单酸贮池 1 的出液口上均连接有单酸出液管11，每个单酸出液管11的管路上均串设有单酸出液阀12，所有单酸出液管11说 明 书CN 104492339 A3/4 页5的出液端连通、汇合成单酸出液总管 13，每个单酸贮池 1 的进液口上均连接有单酸进液管14，每个单酸进液管 14 的管路上均串设有单酸进液阀 15，所有单酸进液管 14 的进液端连通、汇合成单酸进液总管 16 ；0017 每个沉淀贮池组均包括有至少两个沉淀贮池 8，同一个沉淀贮池 8 组中，每个沉淀贮池 8 上设置有沉淀进液口 17、沉淀上出液口 18 和沉淀下出液口 19，所述沉淀贮池 8 呈上圆柱体下圆锥体设置，其。
17、中沉淀下出液口19设置于圆锥体的底部，沉淀上出液口18设置于圆柱体与圆锥体交界处的偏上位置，沉淀进液口 17 上均连接有沉淀进液管 20，每个沉淀进液管 20 的管路上均串设有沉淀进液阀 21，所有沉淀进液管 20 的进液端连通、汇合成沉淀进液总管 22，沉淀下出液口 19 均连接有沉淀出液管 23，每个沉淀出液管 23 的管路上串设有沉淀出液阀 24，所有沉淀出液管 23 的出液端连通、汇合成沉淀出液总管 25，沉淀上出液口 18 上连接有收集出液管 26，每个收集出液管 26 的管路上串设有收集出液阀 27，所有收集出液管 26 的出液端连通、汇合成收集出液总管 28 ；0018 每个单酸。
18、贮池 1 组的单酸出液总管 13 通过泵和管路以及串设在管路上的单酸控制阀 29 与混合贮池 2 的进液口相连，混合贮池 2 的出液口通过管路和设置在管路上的泵和混合控制阀 30 与成品混酸贮池 3 的进液口相连，成品混酸贮池 3 的出液口通过管路和设置在管路上的泵和成品控制阀 31 与蚀刻设备贮池 4 的进液口相连，蚀刻设备贮池 4 的出液口上设置有蚀刻出液管 32，蚀刻出液管 32 的管路上串设有蚀刻控制阀 33、并分成两路，一路通过管路和设置在管路上的废液收集控制阀34与废液贮池9的进液口相连，另一路通过管路和设置在管路上的第一废液控制阀 35 与废液池 10 相连，废液贮池 9 的出液。
19、口通过管路和设置在管路上的过滤控制阀 36 与过滤贮池 7 的进液口相连，过滤贮池 7 的出液口通过管路和设置在管路上的泵与压滤机6的进液口相连，压滤机6的出液口通过管路、设置在管路上的压滤输出控制阀 37 与沉淀贮池 8 的沉淀进液总管 22 相连，沉淀贮池 8 的沉淀出液总管 25 串设沉淀输出阀 38 和泵后分成两路，一路通过管路和串设在管路上的再滤控制阀 39与设置在过滤贮池7上的再滤进液口40相连，另一路通过管路和串设在管路上的第二废液控制阀 41 与废液池 10 相连，沉淀贮池 8 的收集出液总管 28 上串设有回收输入控制阀 42，并与回收贮池 5 的进液口相连，回收贮池 5 的。
20、出液口通过管路和管路上的回收输出控制阀43 和泵与混合贮池 2 的进液口相连。0019 作为优选方案，所述废液贮池 9 的数量为两个，两个废液贮池 9 并联设置。两个废液贮池 9 可以做到交替使用，降低故障率，实现无间断作业。0020 作为优选方案，所述废液贮池 9 中设置有压缩空气鼓包系统。设置压缩空气鼓包系统的作用在于 ：可防止废液中的沉淀物在废液贮池9内堆积结块，造成废液贮池9容积变小，及后期难以清理等问题。0021 作为优选方案，所述沉淀贮池 8 的数量为四个，分成两个交替使用的沉淀贮池组。当一组沉淀贮池 8 在进行沉淀作业的时候，另一组沉淀贮池 8 进行输送作业可以将已经沉淀好的废液。
21、通过磁力离心泵送入回收贮池 5。0022 作为优选方案，所述压滤机 6 的数量为两个，两个压滤机 6 并联设置。采用双压滤机6机方案，可以实现双倍速作业，无间断作业，挡一台压滤机6需要清理的时候，另外一台可以继续工作满足不间断生产要求。0023 作为优选方案，所述混合贮池 2 上设置有能精确的测量配制过程中每种单酸的注说 明 书CN 104492339 A4/4 页6入量的称重装置、能对配制后的药液进行浓度检测的药液浓度检测仪 44 和冷水降温系统，所述称重装置能够精确的测量配置过程中每一种单酸的注入量，所述冷水降温系统能够快速的降低酸液混合过程中产出的热量，加快混酸配置速度，从而可以自动完成。
22、配比，杜绝人为计算配比出现偏差，提高配制精度。0024 本发明的工作原理是 ：从原理工厂采购过来的单酸，分别注入到单酸贮池 1 中，根据生产要求在混合贮池2内设置配酸量，配置过程中药液浓度检测仪44会对配置后的蚀刻液进行浓度检测，根据实际测定的结果进行微调配酸，确保混酸中每一种酸的浓度的准确性，称重装置能够精确的测量配置过程中每一种单酸的注入量，所述冷水降温系统能够快速的降低酸液混合过程中产出的热量，加快混酸配置速度。调配后的蚀刻液通过泵进入成品混酸贮池 3 中进行储存，当蚀刻设备需要使用蚀刻液时，打开成品控制阀 31，通过泵将蚀刻液注入蚀刻设备贮池 4 中，使用后，蚀刻设备贮池 所排出的废液。
23、经蚀刻出液管 32，可以打开第一废液控制阀 35，直接输送至废液池 10 ；也可以打开废液收集控制阀 34，使废液进入废液贮池 9 进行临时存储，废液贮池 9 中的废液通过泵后进入过滤贮池 7，然后通过泵将废液打入压滤机 6 进行过滤，过滤后的废液经压滤输出控制阀 37 后，经沉淀进液总管 22 后进入沉淀贮池 8，在沉淀贮池 8 中静置药液，完成药液中细微颗粒的结晶沉淀工作后，沉淀贮池 8 中的上部清洁药液从沉淀上出液口 18 排出，经收集出液管 26 后进入收集出液总管28，并与回收贮池 5 的进液口相连，进入回收贮池 5 ；沉淀贮池 8 中的底部含有一定异物的药液从沉淀下出液口 19 排。
24、出，经沉淀出液管 23 后，进入沉淀出液总管 25，一部分经再滤控制阀 39 后送回过滤贮池 7 进行过滤，确保沉淀贮池 8 的洁净度 ；另一部分经第二废液控制阀 41 后进入废液池 10。所述蚀刻液配制系统还设置有两个废液池 10，可以根据实际生产中产品品质的情况，排掉不可以再利用的废液，废液池 10 中的废液可以用于其它用途，减少资源的浪费与环境的污染。进入回收贮池 5 中的药液经回收输出控制阀 43 后进入混合贮池 2 中进行再次利用，以此循环往复。0025 上述的实施例仅例示性说明本发明创造的原理及其功效，以及部分运用的实施例，而非用于限制本发明 ；应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。说 明 书CN 104492339 A1/1 页7图1说 明 书 附 图CN 104492339 A。