部件高度测量方法及其装置.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 102829724 A(43)申请公布日 2012.12.19CN102829724A*CN102829724A*(21)申请号 201210196178.9(22)申请日 2012.06.142011-134553 2011.06.16 JPG01B 11/02(2006.01)(71)申请人株式会社日立高新技术仪器地址埼玉县(72)发明人吉田实 渡边正浩 驹池国宗(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司 11243代理人张敬强 严星铁(54) 发明名称部件高度测量方法及其装置(57) 摘要本发明提供一种部件高度测量方法及其装置，其以如下方式测量部件的高度，。

2、从垂直于在载置面上载置被测量部件并能够沿被测量部件的高度方向移动的台的载置面的方向，经由物镜向载置于载置面上的被测量部件投影光图案，使台沿被测量部件的高度方向依次步进移动，按照各步进移动，经由物镜对投影有光图案的被测量部件进行拍摄，并获取光图案的图像，对按照台的各步进移动进行拍摄而获取的光图案的多个图像进行处理，获得被测量部件的各部分的高度信息，生成被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像。(30)优先权数据(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书7页 附图9页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 9 页1/1页21.一种部件高度。

3、测量方法，其特征在于，从垂直于在载置面上载置被测量部件并能够沿该被测量部件的高度方向移动的台的上述载置面的方向，经由物镜向载置于该载置面上的上述被测量部件投影光图案，使上述台沿上述被测量部件的高度方向依次步进移动，按照各步进移动，经由上述物镜对投影有上述光图案的上述被测量部件进行拍摄，获取上述光图案的图像，对按照上述台的各步进移动进行拍摄而获取的上述光图案的多个图像进行处理，获得上述被测量部件的各部分的高度信息，生成上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像。2.根据权利要求1所述的部件高度测量方法，其特征在于，在画面上显示上述生成的上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像，在该画面上显。

4、示上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像的同时，显示表示上述被测量部件的高度信息的上述高度图像的波形信号。3.根据权利要求1所述的部件高度测量方法，其特征在于，利用处理上述图像而获得的上述被测量部件的各部分的高度信息，计算出上述被测量部件的重量，在显示上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像的同时，显示该计算出的上述被测量部件的重量的信息。4.一种部件高度测量装置，其特征在于，具备：台单元，其在载置面上载置被测量部件并能够沿该被测量部件的高度方向移动；光图案投影单元，其从垂直于该台单元的上述载置面的方向，经由物镜向载置在该载置面上的上述被测量部件投影光图案；拍摄单元，其经由上述物镜，。

5、对由该光图案投影单元投影到上述被测量部件的光图案的像进行拍摄；以及图像处理单元，对使上述台单元沿上述被测量部件的高度方向依次步进移动并按照各步进移动由上述拍摄单元进行拍摄而获取的上述光图案的像进行处理，获得上述被测量部件的各部分的高度信息，生成该被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像。5.根据权利要求4所述的部件高度测量装置，其特征在于，还具备显示由上述图像处理单元生成的上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像的显示单元，在该显示单元上显示上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像的同时，显示表示上述被测量部件的高度信息的上述高度图像或者包含高度信息的图像的波形信号。6.根据权利要求5。

6、所述的部件高度测量装置，其特征在于，还具备利用由上述图像处理单元获得的上述被测量部件各部分的高度信息，计算出上述被测量部件的重量的部件重量计算单元，上述显示单元显示上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像的同时，显示由上述部件重量计算单元计算出的上述被测量部件的重量的信息。权 利 要 求 书CN 102829724 A1/7页3部件高度测量方法及其装置技术领域0001 本发明涉及检测对象物的立体形状的方法及其装置，特别是涉及如下的部件高度测量方法及其装置，能够根据焦点位置不同的多个图像，检测出任意对象物的高度形状，并能够基于高度信息生成电子部件搭载设备的调度所需的信息，且能够将该信息提供给。

7、电子部件搭载设备。背景技术0002 以往，提出了很多根据检测得到的图像来检测出对象物高度形状的方法。特别是关于电子部件搭载设备中的部件的高度测量，存在专利文献1中记载的方式。本方式中，在安装到基板之前从斜下方对由吸嘴等保持的电子部件照射线状光（line light），从上方检测出来自部件的镜面反射光。测量整个部件的高度时，能够从横向扫描部件并取得镜面反射光。根据本发明，由于倾斜地向部件照射线状光，所以线状光沿部件的高度投影，因此如果从上方观察线状光，根据高度投影位置会错开，从而通过测量错开量能够换算出部件的高度。0003 另外，根据专利文献2，计算出部件高度，基于该高度信息，即使上表面有凹凸也。

8、能够正确地选择出部件搭载设备的拾取（pick up）装置。0004 另外，专利文献3中记载了，沿高度方向渐渐移动部件并取得多张图像，基于该取得的多张图像测量图案的对比度，求出部件的立体形状信息。0005 专利文献1：日本国专利文献“特开2009-94295号公报”0006 专利文献2：日本国专利文献“特开2009-302265号公报”0007 专利文献3：日本国专利文献“特开平3-6350号公报”0008 在专利文献1所记载的高度测量方法中，由于是从斜方向向部件投影线状光，对根据部件的高度而变化的反射光进行检测的方式，所以在检测器的检测范围上产生极限。而且，由于对部件倾斜地进行照明，检测反射光。

9、，所以在凹型部件的情况下，在部件内侧产生照明无法投影、无法检测出反射光的未检测部，而存在无法测量整个部件的形状的问题。0009 另外，专利文献2中，根据计算部件的高度的方法，使台座的位置移动至部件的高度而求出照相机的焦距位置，制作部件的3D图像，但该方法中，照相机的焦点深度内的部位全部被检测为相同的高度，所以无法检测出微小的凹凸。并且，没有详细说明该方法。发明内容0010 本发明鉴于以上问题点，提供在计测部件的高度时，即使在由壁将周边包围的凹型部件中，也能够正确计测部件的内侧形状的部件高度测量方法及其装置。0011 本发明的部件高度测量方法中，从垂直于在载置面上载置被测量部件并能够沿被测量部件。

10、的高度方向移动的台的载置面的方向，经由物镜向载置于载置面上的被测量部件投影光图案，使台沿被测量部件的高度方向依次步进移动，按照各步进移动，经由物镜对投影有光图案的被测量部件进行拍摄，获取光图案的图像，对按照台的各步进移动进行拍摄说 明 书CN 102829724 A2/7页4而获取的光图案的多个图像进行处理，获得被测量部件的各部分的高度信息，生成被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像。0012 而且，本发明的部件高度测量装置中，具备：台单元，其在载置面上载置被测量部件并能够沿被测量部件的高度方向移动；光图案投影单元，其从垂直于台单元的载置面的方向，经由物镜向载置在载置面上的被测量部件投影光图。

11、案；拍摄单元，其经由物镜对由该光图案投影单元投影到被测量部件的光图案的像进行拍摄；以及图像处理单元，对使台单元沿被测量部件的高度方向依次步进移动并对按照各步进移动由拍摄单元进行拍摄而获取的光图案的像进行处理，获得被测量部件的各部分的高度信息，生成该被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像。0013 根据上述的本发明的部件高度测量方法及其装置，不仅能够计测部件外形也能够计测内侧的形状。并且，具有能够根据高度检测结果计算出体积，从而能够计算出部件的大致重量的优良效果。附图说明0014 图1是表示本发明的一个实施例的包含部件高度测量装置和电子部件搭载设备的系统构成的框图。0015 图2是表示本发明的。

12、一个实施例的部件高度检测单元的构成的框图。0016 图3A是表示本发明的一个实施例的掩模图案的俯视图。0017 图3B是表示本发明的一个实施例的掩模图案投影到摄像元件上的状态的摄像元件的俯视图。0018 图3C是表示本发明的一个实施例的拍摄掩模图案的摄像元件的检测波形的图。0019 图4是表示本发明的一个实施例的检测光学系统的图，左侧是表示计测开始时的Z工作台的位置的检测光学系统的主视图，右侧是表示计测结束时Z工作台的位置的检测光学系统的主视图。0020 图5是表示本发明的一个实施例的高度运算的处理的流程的流程图。0021 图6是表示本发明的一个实施例的计算Z位置的对比度的变化量和焦点位置的方。

13、法的图。0022 图7A是本发明的一个实施例的计测整个检测视场为平面的部件的高度时的高度图像。0023 图7B是本发明的一个实施例的计测整个检测视场为平面的部件和小型部件的高度时的高度图像。0024 图7C是表示图7A和图7B的剖面波形的图表。0025 图8是本发明的一个实施例的输入设定画面的主视图。0026 图9是表示本发明的一个实施例的处理的结果的画面的主视图。0027 图10是表示本发明的一个实施例的部件高度测量处理的流程的流程图。0028 图中：0029 1-检测光学系统，2-控制部，3-运算部，4-设定显示部，5-输出部，6-计测对象部件，7-试料台，8-Z工作台，9-照明光源，10。

14、-透镜，11-掩模图案，12-目镜，13-半透半反镜，14-物镜，15-目镜，16-检测器，16a-摄像元件，17-光量调整模块，18-照相机控制模说 明 书CN 102829724 A3/7页5块，19-Z工作台控制模块，20-图像存储模块，21-高度运算模块，22-噪声滤波器设定模块，23-像面修正模块，24-重量计算模块，25-计测设定模块，26-计测结果显示模块，500-部件高度检测单元，501-计算机，502-输入输出单元，503-电子部件搭载设备。具体实施方式0030 以下，根据附图，对本发明的实施例进行说明。0031 实施例10032 图1至图10是实施本发明的部件高度测量方法及。

15、其装置的方式的第一个例子。0033 图1表示了本实施例的部件高度测量装置100的构成。部件高度测量装置100具备部件高度检测单元500、计算机501、输入输出单元502而构成，由部件高度测量装置100获取的数据504发送至电子部件搭载设备503。0034 部件高度检测装置500由检测光学系统1、能够搭载被测量部件6且能够沿高度方向移动的Z工作台8、以及试料台7构成。在计算机501通过未图示的方法搭载有控制部件高度检测装置500及对获取的图像进行运算的程序。输入输出单元502用于显示控制计算机501的画面以及检测结果等。在计算机501，部件高度等结果作为数据504能够传送至电子部件搭载设备503。

16、。0035 接下来，在图2以后，详细说明部件高度检测单元500、计算机501、输入输出单元502。0036 对部件高度检测单元500的检测光学系统1的构成进行说明。检测光学系统1具备照明光源9、透镜10、掩模图案11、透镜12、半透半反镜13、物镜14、目镜15以及照相机16。被测量部件6搭载于试料台7，试料台7通过Z工作台8可在光轴方向（Z方向）上移动。Z工作台8通过外部控制，能够在上下方向（Z方向）对其进行控制。0037 这样的构成中，从照明光源9射出的光透过透镜10之后照射掩膜图案11。在掩模图案11中形成有由使光透过的部分和遮住光的部分构成的图案，由透过掩模图案11的光形成的掩膜图案1。

17、1的像透过透镜12入射至半透半反镜13，通过半透半反镜13所入射的光量的一半被反射到物镜14的一侧，通过物镜14，被投影到被测量部件6上。0038 照明光源9使用例如像LED这样的能够调整光量的光源。来自照射有透过掩膜图案11的光的被测量部件6的反射光再次透过物镜14入射至半透半反镜13，所入射的光量的一半透过半透半反镜13，通过目镜15，成像于照相机16的摄像元件16a上。照相机16使用将多个检测元件（像素）排列为二维状的面型（area type）摄像元件。此外，物镜14的焦点位置和掩模图案11、摄像元件16a配置在共轭位置。0039 图3A至图3C表示了掩模图案11和摄像元件16a的关系。。

18、图3A是掩膜图案11的配置图、图3B是摄像元件16a的配置图、图3C是由摄像元件16a检测出的情况下的波形。0040 在图3A中，掩模图案11是将遮光部28和透过部29配置为方格图案或者棋盘状图案而得到的。图3B表示在摄像元件16a的像素30上投影掩模图案11的像的状态，在摄像元件16a上投影的掩模图案11的遮光部28和透过部29的各图案的像的倍率分别被调整为，由照相机16的摄像元件16a的多个像素30成为1个图案的尺寸。0041 图3C表示在图3B所示的摄像元件16a的1行（例如图3B的L-L上的元件群）的输出波形。横轴表示像素，纵轴表示光量。根据被测量部件6的焦点位置，输出波形变化。说 明。

19、 书CN 102829724 A4/7页6例如，若远离焦点位置，则成为像波形33那样的振幅较小的波形，若焦距接近对焦点，则振幅渐渐地变大成为波形32。并且在对焦点成为波形31，振幅最大。若远离对焦点位置，则再次从波形32变化为波形31。此外，掩模图案11的配置也可以不是图示的方格图案状，而是千鸟格子等，不作特别限定。并且，遮光部28和透过部29的尺寸也不作特别限定，对于光学系统的分辨率、检测器16的像素尺寸选择效率好的尺寸即可。0042 计算机501具备控制部2和运算部3。首先，说明控制部2。如图2所示，控制部2具备光量调整模块17、照相机控制模块18、以及Z工作台控制模块19。光量调整模块1。

20、7用于控制检测光学系统1的照明光源9的光量。照相机控制模块18用于控制检测光学系统1的照相机16的摄像时间、灵敏度等。Z工作台控制模块19用于控制检测光学系统1的Z工作台8的上下移动范围、移动步（Step）数，步进距离等。0043 接下来，说明运算部3。如图2所示，运算部3具备图像存储模块20、高度运算模块21、噪声滤波器设定模块22、像面修正模块23、以及重量计算模块24，并进行图像处理和利用所处理的图像信息的运算处理。图像存储部20用于保存被照相机控制模块18控制的图像。被保存的图像能够被自由地调出。高度运算模块21利用保存于图像存储部20的多张图像，进行用于根据这些图像得到被测量部件6的。

21、高度信息的运算。0044 噪声滤波器设定模块22用于在高度运算模块21中设定用于去除噪声的滤波器，主要进行平面的平滑化。像面修正模块23用于修正通过检测光学系统1中的物镜14以及目镜15得到的图像的像差，特别是因像面弯曲所产生的检测图像的畸变。重量计算模块24用于根据由高度运算模块21得到的被测量部件6的外形形状和预先存储的被测量部件6的密度数据计算出大致的重量。控制部2和运算部3能够互相进行数据的输入输出。0045 输入输出单元502具备输入显示部4和输出模块5。输入显示部4显示用于设定计测条件的计测条件设定画面300（参照图8）和显示计测结果的计测结果显示画面350（参照图9）。计测条件设。

22、定画面300用于在由照相机16拍摄而得到的图像中输入高度计测所需的范围、检测光量以及Z工作台移动范围等计测条件。计测结果显示画面350用于显示由高度运算模块21计算出的被测量部件6的高度、大致重量、以及其他由计测设定模块设定的项目的结果。0046 输出模块5用于将由输入显示部4显示的计测结果输出到未图示的打印机、外部存储装置等。0047 在以上的构成中，在被测量部件6搭载于试料台7的状态下，一边使Z工作台8的高度渐渐变化，一边用照相机16拍摄投影到被测量部件6的掩模图案11的像。控制部2的光量调整模块17和照相机控制模块18预先将从照明光源9射出的照明光的光量以及照相机16的检测灵敏度调整为适。

23、当的状态。0048 在图4的左侧示出移动开始时的Z工作台8的位置，是物镜14的焦点位置设定在被测量部件6的底面位置的状态。将该位置设为Z1，通过控制部2的Z工作台制御模块19来控制Z工作台8，使Z工作台8以移动量Z等间距地进行步进移动。本实施例中，在Z1、Z2、Z2、Z3、Z4、Z5的位置，通过检测器16获取图像，保存到运算部3的图像存储部20。0049 在图4的右侧示出移动结束时的Z工作台8的位置，是物镜14的焦点位置设定在被测定部件6的顶点的状态。将该位置设为Z5。Z工作台8的移动量设定为包含被测定部件6的高度。由高度运算模块21对保存于图像存储器20的图像进行运算处理，求出被测说 明 书。

24、CN 102829724 A5/7页7量部件6的高度信息。0050 接下来，使用图5所示的流程图，说明用于在运算模块21中求出被测量部件6的高度信息的运算处理的详细内容。首先，如上所述，一边使Z工作台8沿Z方向进行等间距移动，一边获取N张图像Iz（x，y），Z1N（S1000）。0051 使用Z1位置的图像，为了提取图像的边缘进行最优化拉普拉斯处理（S1001）。该实施例中基于以下的式（式1）计算。0052 式10053 0054 L（x，y）表示拉普拉斯系数。0055 接下来，为了进行图像的平滑化，基于式（式2）利用nn的像素进行（S1002）。0056 式20057 0058 Sz（x，y。

25、）表示nn的RMS（Root Mean Square）平滑化后的图像，判定是否对全部图像进行了处理（S1003），在全部图像的处理结束的时刻完成预处理。0059 接下来，在全部图像范围内，对每个对应于各图像所对应的位置的像素数据，基于式（式3）进行Z方向的平滑化（S1004）。0060 式30061 0062 GZ表示高斯函数，Az（x，y）表示图像的清晰度。0063 接下来，利用具有最大对比度的Z位置和其前后的1点，基于式（式4）进行2次函数插补（S1005）。0064 式40065 (Az-1(x，y)，Az(x，y)，Az+1(x，y)0066 图6示出二次函数插补的说明图。横轴是Z位置。

26、，纵轴是对比度值。作为对比度最高的Z位置的Zmax的对比度设为Az（x，y），设为点100。其前后的Z位置（Zmax-1和Zmax1）的对比度分别设为Az-1（x，y）和Az1（x，y），设为点101、点102。根据该点100、101、102求出进行二次函数插补后的结果曲线103。该曲线103的最大点的对比度设为Fp，此时的Z位置设为Zp，将该Zp设定为对焦点。在本实施例中以二次函数插补进行了说明，但也可以采用三次以上的高次函数插补。只是，即使采用二次函数插补，在插补精度上也没有问题，所以本实施例中采用了二次函数插补。0067 对整个视场的像素进行该处理（S1006），输出高度图像（S1007。

27、）。另外，该处理可以采用日本专利特开平3-6350号公报所记载的方式来进行。0068 运算部3的噪声滤波器设定模块22为了对以上述方式计算出的高度图像的平坦部进行平滑化，例如可以使用双边滤波器（bilateral filter）。双边滤波器具有在保存边缘部的状态下模糊图像的特性。因此，在平坦部对噪声平滑化，边缘部不会变钝而能够正确地表示出部件的外形形状。0069 接下来，对运算部3的像面修正模块23进行说明。检测光学系统1用于通过物镜14和目镜15，利用检测器16拍摄被测量部件6的像。一般来说，这样的光学系统中存在透说 明 书CN 102829724 A6/7页8镜的像差。计测高度时，透镜的像。

28、面弯曲的影响最大。例如计测平面的高度时，有时检测结果不是平面，而是得到凹面状歪曲的结果。这就是像面弯曲。如果忽略该像面弯曲，则成为在部件的高度上加上了像面弯曲的结果，无法进行正确的高度计测，因此，通过像面修正模块23来修正检测光学系统1的像面。0070 图7A是通过本实施例检测出的平面的高度计测结果的一个例子。是对整个检测视场为平面的部件200的高度进行计测的结果。图像是高度方向的深浅图像，浅颜色表示高，深颜色表示低。0071 图7B是在图7A中使用的平面部件上搭载小型部件201时的高度计测结果的一个例子。图7C表示将横轴设为宽度，纵轴设为高度的图表。波形202是图7A的剖面A-A，虽然对象部。

29、件200是平面，但是呈中央部突起的弯曲形状。波形203是图7B的剖面B-B，虽然计测了小型部件201的形状，但呈整个视场的中央部突起的形状。0072 若比较波形202和波形203，可知除小型部件201的形状以外的周边几乎一致。即，该弯曲的形状是光学系统的像面弯曲，与检测的部件无关地产生。因此，预先调查好由检测光学系统1拍摄得到的图像的像面弯曲的状态，通过从对象部件的计测结果中去除该预先调查的像面弯曲的影响，从而能够去除像面弯曲的影响。0073 该像面修正模块23中，像这样，进行求出根据对对象部件进行拍摄而得到的图像所求出的计测结果和预先测量的像面弯曲的数据的差的处理。波形204是在像面修正模块。

30、23求出的波形203与波形202的差的结果。像这样在像面补正模块23中进行像面弯曲的修正，从而去除视场周边的弯曲，能够正确地求出小型部件201的高度形状。0074 接下来，对输入输出单元502的输入显示部4中的计测条件设定画面300进行说明。图8是本实施例的输入显示部4的计测条件设定画面300的一个例子。计测条件设定画面300具备条件设定区域301、显示检测器16的检测图像的图像显示区域302、测量开始指示区域306。0075 在条件设定区域301中，能够设定部件的材质、计测次数、高度计测范围、检测条件等的备注。图像显示区域302能够显示部件303。另外，配合部件图像，可设定范围设定光标304。

31、、305，可在图像显示画面302内自由地改变大小、位置、个数。通过运算部3能够进行在该设定范围求出高度的平均值、改变滤波器处理的条件、求出范围A和范围B的差，求出该范围内的大致重量、以及其他处理。测量开始指示区域306在完成计测设定后开始测量时使用，若用光标310点击测量开始指示区域306，则根据后述图10所述的流程，执行测量。0076 接下来，对输入输出单元502的显示部4中的计测结果显示画面350进行说明。图9是本实施例的计测结果显示画面350的一个例子。计测结果显示画面350具备设定条件显示区域351、照相机图像显示区域352、高度图像显示区域353、3D图像显示区域354、计测结果显示。

32、区域355、高度波形（横剖面）显示区域356以及高度波形（纵剖面）显示区域357。0077 设定条件显示区域351用于显示从图8中说明的条件设定区域301输入的内容。照相机图像显示区域352显示在图8中说明的计测条件设定画面300进行了条件设定时显示于图像显示区域302的图像、即部件303、范围设定光标303、304等。在高度图像显示区域353中以深浅图像显示高度方向的变化。0078 在3D图像显示区域354中从斜方显示高度图像。在计测结果显示区域355中显说 明 书CN 102829724 A7/7页9示以在设定条件显示区域351中设定的条件进行计测的结果。例如，计测日、部件的密度、大致重量。

33、、表面积、指定部分的高度等。高度波形（横剖面）显示区域356、高度波形（纵剖面）显示区域357显示用光标358在高度图像显示区域353中所设定的部分的波形。0079 接下来，利用图10，对本实施例的高度计测装置的动作流程进行说明。0080 首先，将被测量部件6搭载到试料台7（S2001）。接下来，使Z工作台8沿z方向移动，使其停止于照相机图像清晰的位置（S2002），由检测光学系统1拍摄被测量部件6并获取图像（S2003）。0081 接下来，在输入显示模块4显示计测条件设定画面300，在条件设定区域301输入计测条件后，使光标308移动到画面上的测量开始指示区域306后点击，从而开始测量（S2。

34、004）。0082 首先，Z工作台8沿Z方向移动到部件的底面即试料台7的表面到达检测光学系统1的焦点位置为止（S2005）。接下来，由检测光学系统1拍摄被测量部件6并获取图像，保存到图像存储模块20（S2006）。接下来，使Z工作台8沿Z方向等间距地步进移动，按照各步进移动反复获取被测量部件6的图像并保存到图像存储模块20（S2006）。在使Z工作台8沿z方向等间距地步进移动，被测量部件6的顶点到达检测光学系统1的焦点位置的时刻，停止Z工作台8（S2007）。0083 接下来，在高度运算模块21中根据图像存储模块20的图像，基于图5中说明的处理流程实施高度运算（S2008）。进行由其他计测条件。

35、设定的项目的运算、即，利用由噪声滤波器设定模块22设定的噪声滤波器对由高度运算模块21求出的高度图像进行噪声去除处理，由像面修正模块23对进行该噪声去除处理后的高度图像实施像面修正处理，由重量计算模块24根据进行像面修正处理后的高度图像进行计算出被测量部件6的重量的处理（S200 9）。0084 接下来，这些处理结束之后，在输入显示模块4显示计测结果显示画面350（S2010）。进行显示项目的确认，如果需要，则从输出单元5向未图示的外部终端输出数据（S2011）。0085 在上述的实施例中，向计测对象部件投影掩模图案的像，用检测器检测该图案像，基于图案的对比度的变化，进行高度计测。例如，被测量部件的高度计测面为梨状表面、或有图案，则能够检测出对比度。可知这样的部件不用投影掩模图案，利用来自计测对象部件的反射光就能够计测。0086 以上，基于实施例具体说明了本发明者完成的发明，但本发明不限于上述实施例，包含各种变形例。例如，在不脱离其宗旨的范围内能够将实施例的构成的一部分替换为其他的实施例的构成，而且，也能够在某实施例的构成上加上其他实施例的构成。而且，对于各实施例的构成的一部分，能够追加、删除、替换其他的公知的构成。说 明 书CN 102829724 A1/9页10图1说 明 书 附 图CN 102829724 A10。