《放射线拍摄装置.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《放射线拍摄装置.pdf(40页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102918417 A(43)申请公布日 2013.02.06CN102918417A*CN102918417A*(21)申请号 201180025282.5(22)申请日 2011.05.312010-125314 2010.05.31 JPG01T 1/20(2006.01)A61B 6/00(2006.01)G03B 42/02(2006.01)G03B 42/04(2006.01)(71)申请人富士胶片株式会社地址日本国东京都(72)发明人中津川晴康 西纳直行 大田恭义(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司 11021代理人王亚爱(54) 发明名称放。
2、射线拍摄装置(57) 摘要放射线拍摄装置具有2个对放射线图像进行拍摄的放射线检测器(20(20A、20B)。能单独地读出对由放射线检测器(20A、20B)拍摄到的放射线图像进行表示的图像信息,且包含通过对光进行光接收来产生电荷的有机光电变换材料而构成了构成至少1个放射线检测器(20)的各传感器部(13)。由此,放射线拍摄装置能拍摄多样的放射线图像。(30)优先权数据(85)PCT申请进入国家阶段日2012.11.21(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2011/062530 2011.05.31(87)PCT申请的公布数据WO2011/152419 JA 2011.12.08(51)Int。
3、.Cl.权利要求书2页 说明书16页 附图21页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 2 页 说明书 16 页 附图 21 页1/2页21.一种放射线拍摄装置,具备拍摄部,该拍摄部设置有分别对光具有灵敏度的多个传感器部,并具有至少2个对由在通过被照射放射线来产生光的发光层产生的光表现的放射线图像进行拍摄的拍摄系统,且被设为能单独地读出对由各拍摄系统拍摄到的放射线图像进行表示的图像信息,其中,将构成了至少1个拍摄系统的各传感器部构成为包含通过对光进行光接收来产生电荷的有机光电变换材料。2.根据权利要求1所述的放射线拍摄装置,其中,所述放射线拍摄装置还具备:读出部,其。
4、单独地读出对由各拍摄系统拍摄到的放射线图像进行表示的图像信息;和图像处理部,其进行对由所述读出部读出的各图像信息进行相加或加权相加的图像处理。3.根据权利要求1或2所述的放射线拍摄装置,其中,所述拍摄部对所述发光层、与形成有所述多个传感器部以及用于读出在该传感器部产生的电荷的多个开关元件的2个基板进行层叠而构成。4.根据权利要求3所述的放射线拍摄装置,其中,所述基板由塑料树脂、芳纶、生物纳米纤维、具有可挠性的玻璃基板之中的任一种构成。5.根据权利要求3或4所述的放射线拍摄装置,其中,将所述开关元件设为了在活性层包含非晶质氧化物而构成的薄膜晶体管。6.根据权利要求35中任一项所述的放射线拍摄装置。
5、,其中,所述拍摄部设有2个所述发光层,并设有对光进行遮光的遮光层,且在该遮光层的一面侧以及另一面侧层叠所述发光层与所述基板而构成。7.根据权利要求6所述的放射线拍摄装置,其中,2个所述发光层针对放射线的发光特性不同。8.根据权利要求7所述的放射线拍摄装置,其中,对2个所述发光层进行了各发光层的厚度、被填充至各发光层且通过被照射放射线来发光的粒子的粒径、该粒子的多层结构、该粒子的填充率、活化剂的掺杂量、各发光层的材料、及各发光层的层结构当中的至少1个的变更、以及用于使所述光向着各发光层的与所述基板为非对置的面反射的反射层的形成之中的任一种。9.根据权利要求68中任一项所述的放射线拍摄装置,其中,。
6、将2个所述发光层中的其中一个设为画质重视的发光特性,另一个设为灵敏度重视的发光特性。10.根据权利要求68中任一项所述的放射线拍摄装置,其中,2个所述发光层在从一侧被照射了放射线时针对放射线的发光特性大致相同。11.根据权利要求310中任一项所述的放射线拍摄装置,其中,所述2个基板的读出所蓄积的电荷的信号的读出特性不同。12.根据权利要求211中任一项所述的放射线拍摄装置,其中,所述放射线拍摄装置具备:拍摄单元,其形成为平板状,并内置所述拍摄部,且在该平板的一面侧、另一面侧中的权 利 要 求 书CN 102918417 A2/2页3任一面侧均能拍摄基于所照射的放射线的放射线图像;控制单元,其内。
7、置有所述读出部以及所述图像处理部;和连结构件,其以所述拍摄单元与所述控制单元并排的展开状态、以及所述拍摄单元与所述控制单元重合地被折叠的收纳状态来可开闭地进行连结。13.根据权利要求211中任一项所述的放射线拍摄装置,其中,所述放射线拍摄装置具备:拍摄单元,其形成为平板状,并内置所述拍摄部,且在该平板的一面侧、另一面侧中的任一面侧均能拍摄基于所照射的放射线的放射线图像;控制单元,其内置有所述读出部以及所述图像处理部;和连结构件,其相对于所述控制单元可翻转地连结所述拍摄单元的一面、另一面。权 利 要 求 书CN 102918417 A1/16页4放射线拍摄装置技术领域0001 本发明涉及放射线拍。
8、摄装置。背景技术0002 近年,在TFT(薄膜晶体管)有源矩阵基板上配置放射线感应层、能将X射线等放射线直接变换成数字数据的FPD(平板探测器)等放射线检测器正在实用化。使用了该放射线检测器的放射线拍摄装置与现有的使用了X射线薄膜或成像板的放射线拍摄装置相比,具有能即时确认图像、且还能执行连续地进行放射线图像的拍摄的透视拍摄(运动图像拍摄)的优点。0003 作为这种放射线检测器,提出了各种类型。例如,存在先将放射线以CsI:Tl、GOS(Gd2O2S:Tb)等闪烁器变换成光、再将变换所得到的光由光电二极管等传感器部变换成电荷来进行蓄积的间接变换方式。放射线拍摄装置将放射线检测器中所蓄积的电荷作。
9、为电信号进行读出,并在将读出的电信号由放大器放大后由A/D(模拟/数字)变换部变换成数字数据。0004 作为与这种放射线检测器相关的技术,在日本特开2002-168806号公报中公开了如下技术:按照透过了被摄体的放射线从闪烁器侧入射的方式来配置放射线检测器,将闪烁器的放射线的照射面侧的一部分以由放射线通不过的材料构成的掩模构件来覆盖,并对从以掩模构件所覆盖的区域和未覆盖的区域的光电二极管分别输出的暗电流进行比较,由此来求取放射线检测器的劣化程度。0005 另外,在日本特开2009-32854号公报中,记载有通过有机光电变换材料来形成了传感器部的放射线检测器。0006 发明要解决的课题0007 。
10、然而,放射线检测器既可以从设有闪烁器的正面侧被照射放射线(正面照射),也可以从基板侧(背面侧)被照射放射线(背面照射)。0008 放射线检测器在被进行了背面照射的情况下,闪烁器处的发光在基板附近产生,因此将得到鲜锐度高的图像。但在放射线透过基板时,在基板会发生放射线的吸收,因此灵敏度会下降。0009 另一方面,在放射线检测器被进行了正面照射的情况下,没有基板中的放射线的吸收,因此不会发生灵敏度的下降。但闪烁器越厚,闪烁器处的发光离基板越远,因此所得到的图像的鲜锐度变得越低。发明内容0010 本发明鉴于上述事实而提出,其目的在于,提供能拍摄多样的放射线图像的放射线摄像装置。0011 用于解决课题。
11、的手段0012 为了达成上述目的,本发明的第1技术方案具备拍摄部,该拍摄部设置有分别对说 明 书CN 102918417 A2/16页5光具有灵敏度的多个传感器部,并具有至少2个对由在通过被照射放射线来产生光的发光层产生的光表现的放射线图像进行拍摄的拍摄系统,且被设为能单独地读出对由各拍摄系统拍摄到的放射线图像进行表示的图像信息,其中,将构成了至少1个拍摄系统的各传感器部构成为包含通过对光进行光接收来产生电荷的有机光电变换材料。0013 根据本发明的第1技术方案,在拍摄部设有分别对光具有灵敏度的多个传感器部,拍摄部具有至少2个对由在通过被照射放射线来产生光的发光层产生的光表现的放射线图像进行拍。
12、摄的拍摄系统。拍摄部被设为能单独地读出对由各拍摄系统拍摄到的放射线图像进行表示的图像信息。0014 而且,拍摄部中,将构成至少1个拍摄系统的各传感器部构成为包含对光进行光接收来产生电荷的有机光电变换材料。0015 如此,根据本发明的第1技术方案,拍摄部具有至少2个对放射线图像进行拍摄的拍摄系统,并被设为能单独地读出对由各拍摄系统拍摄到的放射线图像进行表示的图像信息。将构成至少1个拍摄系统的各传感器部构成为包含通过对光进行光接收来产生电荷的有机光电变换材料。通过由各拍摄系统单独地拍摄放射线图像、或对各拍摄系统所拍摄到的放射线图像进行合成,能拍摄多样的放射线图像。0016 此外,根据本发明的第2技。
13、术方案,可以是,还具备:读出部,其单独地读出对由各拍摄系统拍摄到的放射线图像进行表示的图像信息;和图像处理部,其进行对由所述读出部读出的各图像信息进行相加或加权相加的图像处理。0017 另外,根据本发明的第3技术方案,可以是,所述拍摄部对所述发光层、与形成有所述多个传感器部以及用于读出在该传感器部产生的电荷的多个开关元件的2个基板进行层叠而构成。0018 另外,根据本发明的第4技术方案,可以是,所述基板由塑料树脂、芳纶、生物纳米纤维、具有可挠性的玻璃基板之中的任一种构成。0019 另外,根据本发明的第5技术方案,可以是,将所述开关元件设为了在活性层包含非晶质氧化物而构成的薄膜晶体管。0020 。
14、另外,根据本发明的第6技术方案,可以是,所述拍摄部设有2个所述发光层,并设有对光进行遮光的遮光层,且在该遮光层的一面侧以及另一面侧层叠所述发光层与所述基板而构成。0021 另外,根据本发明的第7技术方案,可以是,2个所述发光层针对放射线的发光特性不同。0022 另外,根据本发明的第8技术方案,可以是,对2个所述发光层进行了各发光层的厚度、被填充至各发光层且通过被照射放射线来发光的粒子的粒径、该粒子的多层结构、该粒子的填充率、活化剂的掺杂量、各发光层的材料、及各发光层的层结构当中的至少1个的变更、以及用于使所述光向着各发光层的与所述基板为非对置的面反射的反射层的形成之中的任一种。0023 另外,。
15、根据本发明的第9技术方案,可以是,将2个所述发光层中的其中一个设为画质重视的发光特性,另一个设为灵敏度重视的发光特性。0024 另外,根据本发明的第10技术方案,可以是,2个所述发光层在从一侧被照射了放射线时针对放射线的发光特性大致相同。说 明 书CN 102918417 A3/16页60025 另外,根据本发明的第11技术方案,可以是,所述2个基板的读出所蓄积的电荷的信号的读出特性不同。0026 另外,根据本发明的第12技术方案,可以是,所述放射线拍摄装置具备:拍摄单元,其形成为平板状,并内置所述拍摄部,且在该平板的一面侧、另一面侧中的任一侧均能拍摄基于所照射的放射线的放射线图像;控制单元,。
16、其内置有所述读出部以及所述图像处理部;和连结构件,其以所述拍摄单元与所述控制单元并排的展开状态、以及所述拍摄单元与所述控制单元重合地被折叠的收纳状态来可开闭地进行连结。0027 另外,根据本发明的第13技术方案,可以是,所述放射线拍摄装置具备:拍摄单元,其形成为平板状,并内置所述拍摄部,且在该平板的一面侧、另一面侧中的任一侧均能拍摄基于所照射的放射线的放射线图像;控制单元,其内置有所述读出部以及所述图像处理部;和连结构件,其相对于所述控制单元可翻转地连结所述拍摄单元的一面、另一面。0028 发明效果0029 本发明的放射线拍摄装置具有能拍摄多样的放射线图像这样的卓越的效果。附图说明0030 图。
17、1是表示实施方式所涉及的放射线检测器的3像素部分的概略构成的截面示意图。0031 图2是概略地表示实施方式所涉及的放射线检测器的1像素部分的信号输出部的构成的截面图。0032 图3是表示实施方式所涉及的放射线检测器的构成的俯视图。0033 图4是表示实施方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0034 图5是表示闪烁器的小粒子和大粒子的多层结构的示意图。0035 图6是表示在闪烁器的与TFT基板为相反侧的面形成了反射层的情况下的构成的截面图。0036 图7是表示实施方式所涉及的电子盒的构成的立体图。0037 图8是表示实施方式所涉及的电子盒的构成的截面图。0038 图9是表示实施方式所涉及的电子盒的。
18、电气系统的要部构成的框图。0039 图10是表示实施方式所涉及的2个放射线检测器、栅极线驱动器以及信号处理部的层叠构成的立体图。0040 图11是表示实施方式所涉及的图像读出处理程序的处理的流程的流程图。0041 图12是用于说明放射线X对放射线检测器的正面照射和背面照射的截面图。0042 图13是表示其他方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0043 图14是表示其他方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0044 图15是表示其他方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0045 图16是表示其他方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0046 图17是表示其他方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0047 图18是。
19、表示其他方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0048 图19是表示其他方式所涉及的拍摄部的构成的截面图。0049 图20是表示其他方式所涉及的2个放射线检测器、栅极线驱动器以及信号处理部说 明 书CN 102918417 A4/16页7的层叠构成的立体图。0050 图21是表示其他方式所涉及的可开闭的电子盒的构成的立体图。0051 图22是表示其他方式所涉及的可开闭的电子盒的构成的立体图。0052 图23是表示其他方式所涉及的可开闭的电子盒的构成的截面图。0053 图24是表示其他方式所涉及的可翻转的电子盒的构成的立体图。0054 图25是表示其他方式所涉及的可翻转的电子盒的构成的立体图。005。
20、5 图26是表示其他方式所涉及的可翻转的电子盒的构成的截面图。具体实施方式0056 以下,参照附图来说明用于实施本发明的方式。0057 首先,先说明本实施方式所涉及的间接变换方式的放射线检测器20的构成。0058 图1是概略地表示作为本发明的一实施方式的放射线检测器20的3个像素部分的构成的截面示意图。0059 在该放射线检测器20,在绝缘性的基板1上依次层叠有信号输出部14、传感器部13、以及闪烁器8。由信号输出部14、以及传感器部13构成了像素部。像素部在基板1上排列有多个,按照各像素部中的信号输出部14与传感器部13有重合的方式来构成。0060 闪烁器8隔着透明绝缘膜7而形成于传感器部1。
21、3上,是对将从上方(与基板1为相反侧)入射来的放射线变换成光进行发光的荧光体进行成膜而得到的。通过设置这样的闪烁器8,来吸收透过了被摄体的放射线而发光。0061 优选使由闪烁器8发出的光的波长域位于可见光域(波长360nm830nm),为了能由该放射线检测器20进行单色摄像,进一步优选包含绿色的波长域。0062 作为用于闪烁器8的荧光体,具体而言,在使用X射线作为放射线进行摄像的情况下,优选包含碘化铯(CsI),特别优选使用X射线照射时的发光光谱位于420nm700nm的CsI(Tl)(添加了铊的碘化铯)。此外,CsI(Tl)的可见光域中的发光峰值波长是565nm。0063 传感器部13具有上。
22、部电极6、下部电极2、以及配置于该上下的电极间的光电变换膜4。光电变换膜4由对闪烁器8所发出的光进行吸收来产生电荷的有机光电变换材料构成。0064 上部电极6由于需要使由闪烁器8生成的光入射至光电变换膜4,因此优选以至少相对于闪烁器8的发光波长为透明的导电性材料来构成,具体而言,优选使用针对可见光的透过率高、电阻值小的透明导电性氧化物(TCO;Transparent Conducting Oxide)。此外,尽管还能使用Au等的金属薄膜来作为上部电极6,但若想得到90以上的透过率,则电阻值容易增大,因此更优选TCO。例如,优选地,能使用ITO、IZO、AZO、FTO、SnO2、TiO2、ZnO。
23、2等,从工艺简易性、低电阻性、透明性的观点出发,最优选ITO。此外,上部电极6既可以设为在全部像素部中公共的一片构成,也可以按每个像素部进行分割。0065 光电变换膜4包含有机光电变换材料,吸收从闪烁器8发出的光,并产生与吸收的光相应的电荷。若是如此包含有机光电变换材料的光电变换膜4,则在可见域具有尖锐的吸收光谱,基于闪烁器8的发光以外的电磁波几乎不会被光电变换膜4吸收。能有效地抑制因X射线等放射线被光电变换膜4吸收而产生的噪声。0066 构成光电变换膜4的有机光电变换材料为了效率最好地吸收在闪烁器8发出的说 明 书CN 102918417 A5/16页8光,优选使其吸收峰值波长与闪烁器8的发。
24、光峰值波长越接近越好。尽管有机光电变换材料的吸收峰值波长与闪烁器8的发光峰值波长一致是理想情况,但若双方的差小,则也能充分吸收从闪烁器8发出的光。具体而言,优选使有机光电变换材料的吸收峰值波长、与闪烁器8针对放射线的发光峰值波长之差为10nm以内,进一步优选为5nm以内。0067 作为能满足这样的条件的有机光电变换材料,例如列举喹吖啶酮系有机化合物以及酞菁系有机化合物。例如喹吖啶酮的可见域中的吸收峰值波长是560nm,因此若使用喹吖啶酮作为有机光电变换材料,使用CsI(Tl)作为闪烁器8的材料,则能使上述峰值波长之差为5nm以内,从而能使在光电变换膜4产生的电荷量几乎为最大。0068 接下来,。
25、具体地说明能应用于本实施方式所涉及的放射线检测器20的光电变换膜4。0069 本发明所涉及的放射线检测器20中的电磁波吸收/光电变换部位能由1对电极2、6、该电极2、6间所夹持的包含有机光电变换膜4的有机层构成。该有机层,更具体而言,能通过吸收电磁波的部位、光电变换部位、电子输送部位、空穴输送部位、电子阻挡部位、空穴阻挡部位、结晶化防止部位、电极、以及层间接触改良部位等的堆叠或者混合来形成。0070 上述有机层优选含有有机p型化合物或有机n型化合物。0071 有机p型半导体(化合物)是主要以空穴输送性有机化合物为代表的施主性有机半导体(化合物),是指具有易于供给电子的性质的有机化合物。进一步详。
26、细地说,有机p型半导体(化合物)在使2个有机材料接触来进行使用时是指电离势更小的那个有机化合物。因此,作为施主性有机化合物,只要是具有电子供给性的有机化合物,就能使用任一种有机化合物。0072 有机n型半导体(化合物)是主要以电子输送性有机化合物为代表的受主性有机半导体(化合物),是指具有易于接受电子的性质的有机化合物。进一步详细地说,有机n型半导体(化合物)在使2个有机化合物接触来进行使用时是指电子亲和力更大的那个有机化合物。因此,作为受主性有机化合物,只要是具有电子接受性的有机化合物,就能使用任一种有机化合物。0073 关于能应用为该有机p型半导体以及有机n型半导体的材料、以及光电变换膜4。
27、的构成,在日本特开2009-32854号公报中进行了详细的说明,故省略说明。0074 光电变换膜4的厚度在吸收来自闪烁器8的光这一点上优选为膜厚越大越好,但若考虑对电荷分离不做贡献的比例,则优选为30nm以上300nm以下,进一步优选为50nm以上250nm以下,特别优选为80nm以上200nm以下。0075 此外,在图1所示的放射线检测器20中,光电变换膜4既可以是在全部像素部中为公共的一片构成,也可以按每个像素部进行分割。0076 将下部电极2设为按每个像素部进行分割后的薄膜。下部电极2能以透明或不透明的导电性材料来构成,能优选地使用铝、银等。0077 下部电极2的厚度例如能设为30nm以。
28、上300nm以下。0078 传感器部13通过对上部电极6与下部电极2之间施加给定的偏置电压,能使在光电变换膜4产生的电荷(空穴、电子)之中的一者向着上部电极6移动,另一者向着下部电极2移动。在本实施方式的放射线检测器20中,设与上部电极6连接有布线,并经由该布线对上部电极6施加偏置电压。另外,关于偏置电压,设按照在光电变换膜4产生的电子向说 明 书CN 102918417 A6/16页9上部电极6移动、空穴向下部电极2移动的方式决定了其极性,但该极性也可以相反。0079 构成各像素部的传感器部13至少包含下部电极2、光电变换膜4、以及上部电极6即可,但为了抑制暗电流的增加,优选设置电子阻挡膜3。
29、以及空穴阻挡膜5的至少一种,更优选设置两者。0080 能将电子阻挡膜3设置于下部电极2与光电变换膜4之间。电子阻挡膜3能抑制在对下部电极2与上部电极6间施加了偏置电压时从下部电极2向光电变换膜4注入电子从而暗电流增加的情形。0081 电子阻挡膜3能使用电子供给性有机材料。0082 根据相邻的电极的材料以及相邻的光电变换膜4的材料等来选择实际用于电子阻挡膜3的材料即可。作为用于电子阻挡膜3的材料,优选电子亲和力(Ea)比相邻的电极的材料的功函数(Wf)大1.3eV以上、且具有与相邻的光电变换膜4的材料的电离势(Ip)相等的Ip或者比其小的Ip的材料。关于能应用为该电子供给性有机材料的材料,在日本。
30、特开2009-32854号公报中进行了详细的说明,故省略说明。0083 电子阻挡膜3的厚度为了能不仅使暗电流抑制效果可靠地发挥,而且防止传感器部13的光电变换效率的下降,优选为10nm以上200nm以下,进一步优选为30nm以上150nm以下,特别优选为50nm以上100nm以下。0084 能将空穴阻挡膜5设置于光电变换膜4与上部电极6之间。空穴阻挡膜5能抑制在对下部电极2与上部电极6间施加了偏置电压时从上部电极6向光电变换膜4注入空穴从而暗电流增加的情形。0085 空穴阻挡膜5能使用电子接受性有机材料。0086 空穴阻挡膜5的厚度为了不仅能使暗电流抑制效果可靠地发挥,而且防止传感器部13的光。
31、电变换效率的下降,优选为10nm以上200nm以下,进一步优选为30nm以上150nm以下,特别优选为50nm以上100nm以下。0087 根据相邻的电极的材料以及相邻的光电变换膜4的材料等来选择实际用于空穴阻挡膜5的材料即可。作为用于空穴阻挡膜5的材料,优选电离势(Ip)比相邻的电极的材料的功函数(Wf)大1.3eV以上、且具有与相邻的光电变换膜4的材料的电子亲和力(Ea)相等的Ea或者比其大的Ea的材料。关于能应用为该电子接受性有机材料的材料,在日本特开2009-32854号公报中进行了详细的说明,故省略说明。0088 此外,在按照光电变换膜4产生的电荷之中空穴向上部电极6移动、电子向下部。
32、电极2移动的方式设定偏置电压的情况下,使电子阻挡膜3与空穴阻挡膜5的位置相反即可。另外,也可以不设置电子阻挡膜3和空穴阻挡膜5这两者,只要设置其中一者,就能得到一定程度的暗电流抑制效果。0089 在各像素部的下部电极2下方的基板1的表面形成有信号输出部14。0090 图2概略地示出了信号输出部14的构成。0091 与下部电极2对应地,形成有对移动至下部电极2的电荷进行蓄积的电容器9、以及将电容器9中所蓄积的电荷变换成电信号并输出的电场效应型薄膜晶体管(Thin Film Transistor,以下,有时仅称为薄膜晶体管。)10。形成有电容器9以及薄膜晶体管10的区域俯视下具有与下部电极2重合的。
33、部分,通过设为这样的构成,各像素部中的信号输出部14与传感器部13在厚度方向上有重合。此外,为了使放射线检测器20(像素部)的平面面说 明 书CN 102918417 A7/16页10积最小,期望形成有电容器9以及薄膜晶体管10的区域被下部电极2完全覆盖。0092 电容器9经由贯穿设于基板1与下部电极2之间的绝缘膜11而形成的导电性材料的布线,来与对应的下部电极2电连接。由此,能使由下部电极2捕获的电荷向着电容器9移动。0093 在薄膜晶体管10上层叠栅极电极15、栅极绝缘膜16、以及活性层(沟道层)17,进而,源极电极18与漏极电极19空出给定的间隔而形成于活性层17上。另外,在放射线检测器。
34、20中,活性层17由非晶质氧化物形成。作为构成活性层17的非晶质氧化物,优选包含In、Ga以及Zn之中的至少1个在内的氧化物(例如In-O系),进一步优选包含In、Ga以及Zn之中的至少2个在内的氧化物(例如In-Zn-O系、In-Ga系、Ga-Zn-O系),特别优选包含In、Ga以及Zn在内的氧化物。作为In-Ga-Zn-O系非晶质氧化物,优选以结晶状态下的组成为InGaO3(ZnO)m(m为小于6的自然数)所表示的非晶质氧化物,特别地,更优选InGaZnO4。0094 若设薄膜晶体管10的活性层17以非晶质氧化物来形成,则不吸收X射线等放射线,或者即使吸收也只吸收极其微量,因此能有效地抑制。
35、信号输出部14中的噪声的产生。0095 在此,构成薄膜晶体管10的活性层17的非晶质氧化物、构成光电变换膜4的有机光电变换材料均能实现低温下的成膜。因此,作为基板1,不限于半导体基板、石英基板、以及玻璃基板等耐热性高的基板,还能使用塑料等可挠性基板、芳纶、生物纳米纤维。具体而言,能使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯等聚酯纤维、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚芳酯、聚酰亚胺、聚环烯、降冰片烯树脂、聚(三氟氯乙烯)等可挠性基板。若使用这样的塑料制的可挠性基板,则还能谋求轻量化,例如对搬运等有利。0096 另外,在基板1可以设置用于确保绝缘性的绝缘层、用于防止水分或氧的透。
36、过的气体阻隔层、用于提高平坦性或与电极等的贴紧性的底涂层等。0097 芳纶能应用200度以上的高温工艺,因此能使透明电极材料高温硬化从而低电阻化,另外,还能应对包含焊料的回流工序在内的驱动器IC的自动安装。另外,芳纶的热膨胀系数与ITO(铟锡氧化物)或玻璃基板接近,因此制造后的翘曲变形少,难开裂。另外,芳纶与玻璃基板等相比能将基板形成得较薄。此外,可以将超薄型玻璃基板与芳纶进行层叠来形成基板1。0098 生物纳米纤维是对细菌(醋酸菌,Acetobacter Xylinum)产出的纤维素微纤丝束(细菌纤维素)与透明树脂进行复合而得到的。纤维素微纤丝束具有宽50nm和相对于可见光波长为1/10的尺。
37、寸,且高强度、高弹性、低热膨胀。通过在细菌纤维素中使丙烯酸树脂、环氧树脂等透明树脂浸渍/硬化,来得到在含有60-70的纤维的同时以波长500nm呈约90的光透过率的生物纳米纤维。生物纳米纤维具有与硅晶体匹敌的低热膨胀系数(3-7ppm)、钢铁般的强度(460MPa)、高弹性(30GPa),且具挠性,因此与玻璃基板等相比能更薄地形成基板1。0099 在本实施方式中,在基板1上依次形成信号输出部14、传感器部13、以及透明绝缘膜7,在该基板1上使用光吸收性低的粘接树脂等来粘贴闪烁器8,由此形成了放射线检测器20。以下,将形成至透明绝缘膜7的基板1称为TFT基板30。0100 在TFT基板30,如图3所示,沿一定方向(图3的行方向)以及相对于一定方向的说 明 书CN 102918417 A10。