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本发明的目的在于提供一种甲基乙氧基二氯硅烷的新型合成方法,它的步骤如下:在冰水冷却下将氯甲酸乙酯逐滴加到(3-氨基丙基)三乙氧基硅烷、三乙胺和二甲苯的混合搅拌液中。滴加结束后,再将二甲苯和三乙胺的混合物通过搅拌加入,然后将甲基三氯硅烷逐滴加入。滴加完毕后,将混合物搅拌加热反应一段时间,然后过滤,用二甲苯将滤饼洗涤两次。将滤液和洗涤液合并,并通过在减压分馏获得甲基乙氧基二氯硅烷。本发明提高了甲基三氯。