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本发明提供一种盘夹紧装置,具有:对转盘(20)上的盘(1)的A面(1A)进行定心的A面用定心部件(21)、具有以A面定心状态支撑盘的B面(1B)的盘支撑部(25AD)和对B面进行定心的B面用定心部(25BC)的夹紧部件(25)、设置在转盘与夹紧部件上的引力发生机构、以及使夹紧部件旋转以在与A面定心状态对应的第一夹紧模式和与B面定心状态对应的第二夹紧模式之间切换夹紧模式的夹紧部件旋转机构;当从第一夹。