《一种应变薄膜的结构及制备方法.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《一种应变薄膜的结构及制备方法.pdf(11页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。
本发明涉及地下管线测量技术领域,具体涉及应变薄膜的结构及制备方法,该结构包括硅基底,所述硅基底上形成有沟道,所述沟道上覆设有复数个压敏电阻,复数个压敏电阻分成两排排列,并形成惠斯通电桥桥臂,所述复数个压敏电阻将所述沟道密封,形成真空沟道,所述复数个压敏电阻对应于所述真空沟道的部分为应力集中区,所述硅基底上还形成有源区、漏区和漂移区,所述沟道设置在源区和漂移区之间,且沟道与源区和漂移区之间通过保护层。