一种膜厚监测装置.pdf

本发明提供一种膜厚监测装置，包括主机和振荡器，所述的膜厚监测装置还包括探头；所述的探头上方设置有防护罩，所述的防护罩与外部的机架固定连接；所述的防护罩为立方体，所述防护罩中部设置有凹槽。所述的防护罩顶部分别设置有进气口和出气口，本发明的有益效果是结构简单、操作简单、探头能够长时间在高温条件下工作。

1.  一种膜厚监测装置，包括主机（1）和振荡器（2），其特征在于：所述的膜厚监测装置还包括探头（3）；所述的探头（3）上方设置有防护罩（4），所述的防护罩（4）与外部的机架固定连接；所述的防护罩（4）为立方体，所述防护罩（4）中部设置有凹槽（7）；所述的防护罩（4）顶部分别设置有进气口（5）和出气口（6）；所述。

2.  根据权利要求1所述的一种膜厚监测装置，其特征在于：所述防护罩（4）为耐高温的隔热材料。

一种膜厚监测装置
技术领域
本发明涉及一种监测装置，尤其是涉及一种膜厚监测装置。
背景技术
随着薄膜技术的飞速发展，对镀膜厚度及镀膜速率的控制要求越来越高，在现有的技术中，膜厚监测设备中，总是将探头装入镀膜机中，而蒸渡的物质往往需要高温，才能蒸渡到基片上，由于蒸渡过程中，探头长时间处在高温的条件下，有时候探头就会监测不准确，或者探头失效，影响我们的工作进程。
发明内容
本发明的目的是提供一种膜厚监测装置，结构简单、操作简单、探头能够长时间在高温条件下工作。
本发明的技术方案是：一种膜厚监测装置，包括主机和振荡器，所述的膜厚监测监测装置还包括探头；所述的探头上方设置有防护罩，所述的防护罩与外部的机架固定连接；所述的防护罩为立方体，所述防护罩中部设置有凹槽；所述的防护罩顶部分别设置有进气口和出气口。
进一步的，所述防护罩为耐高温的隔热材料。
本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，结构简单、操作简单、探头能够长时间在高温条件下工作。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图中：
1、主机 2、振荡器 3、探头 4、防护罩 5、进气口 6、出气口
7、凹槽
具体实施方式
下面结合附图对本发明做详细说明。
如图1所示，本发明一种膜厚监测装置，包括主机1和振荡器2，所述的膜厚监测监测装置还包括探头3；所述的探头3上方设置有防护罩4，所述的防护罩4与外部的机架固定连接；所述的防护罩4为立方体，所述防护罩中部设置有凹槽7；所述的防护罩顶部 分别设置有进气口5和出气口6。
进一步的，所述防护罩4为耐高温的隔热材料。
使用时，进气口5和出气口6分别连接外部的冷却气体系统，冷却气体将防护罩4冷却，防护罩4的作用，其一是控制探头3周围的温度；其二是利用冷却气体来降低蒸渡过程中探头的温度。
以上对本发明的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。