薄膜片材切除装置及切除方法.pdf

本发明提供一种薄膜片材切除装置及切除方法，通过将自长带薄膜切除薄膜片材后的残留部薄膜适当地处理获得正确形状。通过夹具抓持辊状卷绕的长带薄膜，且通过夹具移动机构将该前端的既定长度部分载置于切除用基台上，且通过切除机构将薄膜片材切除。将薄膜片材被切除后的长带薄膜通过裁断刃由前述部分的边界裁断，将被裁断的长带薄膜即残留部薄膜通过搬送辊对搬送于逆方向并自切除用基台取出，且自具有对应该残留部薄膜的宽幅的横幅及狭窄的纵幅的接收口接收至具备吸引装置的吸引收容部。

权利要求书1.  一种薄膜片材切除装置，自长带薄膜切除薄膜片材，其特征在于，其具备：切除用基台；第1搬送手段，其为搬送长带薄膜并将其一端的既定长度的部分载置于所述切除用基台上；切除手段，其为自长带薄膜的所述既定长度的部分切除薄膜片材；切断手段，其为将所述薄膜片材被切除后的长带薄膜自所述既定长度的部分的边界切断；第2搬送手段，其为将被切除切断的长带薄膜即残留部薄膜，搬送于与第1搬送手段逆向的方向并自所述切除用基台取出；以及吸引收容部，其具备接收自所述切断用基台取出的残留部薄膜并具有对应该残留部薄膜的宽幅的横幅及狭窄的纵幅的接收口、及吸引装置。2.  根据权利要求1所述的薄膜片材切除装置，其特征在于，所述第1搬送手段是抓持所述长带薄膜的前端并拉入所述切断用基台上的夹具。3.  根据权利要求1或2所述的薄膜片材切除装置，其特征在于，所述第2搬送手段是将所述残留部薄膜由两根辊夹持并搬送于与第1搬送手段逆向的搬送辊对，且该搬送辊对中上方的辊能够向上方移动。4.  根据权利要求3所述的薄膜片材切除装置，其特征在于，于所述搬送辊对中上方的辊，设有将所述残留部薄膜的前端即切断端部导至所述接收口的薄膜导件。5.  根据权利要求3所述的薄膜片材切除装置，其特征在于，于所述搬送辊对中下方的辊设有薄膜导件，该薄膜导件用于在所述残留部薄膜的前端即切断端部进入所述接收口时使其卷绕于该下方的辊且不使其卷绕过度。6.  根据权利要求4所述的薄膜片材切除装置，其特征在于，于所述搬送辊对中下方的辊设有薄膜导件，该薄膜导件用于在所述残留部 薄膜的前端即切断端部进入所述接收口时使其卷绕于该下方的辊且不使其卷绕过度。7.  根据权利要求1所述的薄膜片材切除装置，其特征在于，于所述吸引收容部的内部，设有用于在所述接收口的下方将所述残留部薄膜收容多个的收容部，且所述吸引装置设于较该收容部上方且不干涉自所述接收口落下来的残留部薄膜的落下通路的位置。8.  一种薄膜片材切除方法，自长带薄膜切除薄膜片材，其特征在于，其具有：第1搬送步骤，其为搬送长带薄膜并将其一端的既定长度的部分载置于切除用基台上；切除步骤，其为自长带薄膜的所述部分切除薄膜片材；切断步骤，其为将所述薄膜片材被切除后的长带薄膜自所述部分的边界切断；第2搬送步骤，其为将被切除切断的长带薄膜的残留部薄膜，搬送于与第1搬送步骤逆向的方向并自所述切除用基台取出；以及废材收容步骤，其为将自所述切除用基台取出的残留部薄膜，由具备具有对应该残留部薄膜的宽幅的横幅及狭窄的纵幅的接受部及吸引装置的吸引收容部接收。

说明书薄膜片材切除装置及切除方法
技术领域
本发明涉及一种为将离型薄膜片材自长带薄膜切除的装置及其切除方法，其在将半导体晶片等电子零件树脂封装时，尤其是为了压缩成型，将颗粒状、粉末状、糊状等的树脂材料(以下，仅将此等总称为“树脂材料”)供给至成型模具腔时所用。
背景技术
随着电子零件的薄型化，近来压缩成型被使用着。在压缩成型中，将树脂材料供给至由离型薄膜片材被覆的下膜具的腔，且将该树脂材料加热熔融，并使安装于上模具且装设有电子零件的基板浸渍至该熔融树脂后，由下模具及上模具的闭膜将该树脂压缩进行成型，为此，将于腔内既定量的树脂以均一且无过与无不及地供给变得重要。
专利文献1中，于腔内将颗粒状树脂R以均一厚度且无过与无不及地供给方法如下所记载(参照图1A至图1G)。首先，上下具有对应下模具8的腔18a的开口形状的开口的框架11的下部开口由离型薄膜片材12被覆，且吸附于框架11的下表面制作凹状收容部13。此凹状收容部13载于载置台14，且自送料器15将颗粒状树脂R于离型薄膜片材上以成为均一厚度的方式供给。其后，将收容颗粒状树脂R的凹状收容部13，以由框架11包围的离型薄膜片材12的部分进入腔18a的正上方的方式载置于下模具18的模具面，且于框架11的下表面的离型薄膜片材12的吸附解除后，将离型薄膜片材12，与于其上方的颗粒状树脂R吸引至腔18a内并拉入。由此，均一厚度的颗粒状树脂R被供给至腔18a内。其后，将颗粒状树脂R加热熔融，将含有此熔融树脂Rm于腔18a内的下模具18，及安装有电子零件20的基板21，以其安装面向下方的状态与组装的上模具19闭模，由此将电子零件20浸渍至熔融树脂R，并且将熔融树脂Rm通过树脂加压用的腔底面构件18b按压。熔融树脂固化后，通过将上模具19及下模具18开模，而得 到电子零件20的树脂封装成型品。
欲将其树脂成型的基板为晶圆等圆盘状的情况下，为使用上述方法的圆形离型薄膜片材，由自供给辊拉出的长带离型薄膜依次圆型地切除、制作。具体而言，如图2所示，自供给辊27卷出的离型薄膜F通过搬送机构22被搬送至切断用基台23，且搬送机构22于来到切除用基台23上的时间点停止，且通过旋转切断刃25，离型薄膜被以圆型地切除。被切除的离型薄膜片材是通过设于切除用基台23的片材降下台，保持其状态向下方降下，且自切除用基台23卸除。并且，搬送机构22作动，将被切除的残留部的离型薄膜F自切除用基台23搬送至卷取辊26处，且下一个切断部位被配置于切除用基台23上。于卷取辊26这样做使被圆形地切除的离型薄膜(残留部薄膜)辊状地被卷取。
如上述的现有技术，将离型薄膜片材被切除后的长带残留部薄膜辊状地卷取的情况，被卷取的辊的两侧端部分，离型薄膜被确实地卷取，但被切除的部分于松动地重合的中央部分，离型薄膜逐渐地变得庞大，导致无法正常地卷取。并且，其影响也波及被拉出且载置于切除用基台上的离型薄膜，变得产生扭曲及皱褶。其结果，于被切除的离型薄膜片材产生扭曲，产生无法切除正确形状的问题。如此的问题不仅限于树脂封装成型装置用的离型薄膜，自长带的薄膜切除薄膜片材的情况也为共通者。
专利文献1日本特开2010-036542号公报
发明内容
为了解决现有技术存在的问题，本发明的目的在于：提供一种通过适当地处理自长带薄膜将薄膜片材切除后的残留部薄膜，将薄膜始终于适当地状态下切除，能够得到无扭曲且正确形状的薄膜片材的薄膜片材切除装置及切除方法。
为达上述目的，本发明提供一种薄膜片材切除装置，
自长带薄膜切除薄膜片材，其具备：切除用基台；第1搬送手段，搬送长带薄膜并将其一端的既定长度的部分载置于前述切除用基台上；切除手段，自长带薄膜的前述部分切除薄膜片材；切断手段，将前述薄膜片材被切除后的长带薄膜自前述部分的边界切断；第2搬送 手段，将被切除切断的长带薄膜即残留部薄膜，搬送于与第1搬送手段逆向的方向并自前述切除用基台取出；以及吸引收容部，其具备接收自前述切断用基台取出的残留部薄膜并具有对应该残留部薄膜的宽幅的横幅及狭窄的纵幅的接收口、及吸引装置。
优选地，所述第1搬送手段是抓持所述长带薄膜的前端并拉入所述切断用基台上的夹具。
优选地，所述第2搬送手段是将所述残留部薄膜由两根辊夹持并搬送于与第1搬送手段逆向的搬送辊对，且该搬送辊对中上方的辊能够向上方移动。
优选地，于所述搬送辊对中上方的辊，设有将所述残留部薄膜的前端即切断端部导至所述接收口的薄膜导件。
优选地，于所述搬送辊对中下方的辊设有薄膜导件，该薄膜导件用于在所述残留部薄膜的前端即切断端部进入所述接收口时使其卷绕于该下方的辊且不使其卷绕过度。
优选地，于所述搬送辊对中下方的辊设有薄膜导件，该薄膜导件用于在所述残留部薄膜的前端即切断端部进入所述接收口时使其卷绕于该下方的辊且不使其卷绕过度。
优选地，于所述吸引收容部的内部，设有用于在所述接收口的下方将所述残留部薄膜收容多个的收容部，且所述吸引装置设于较该收容部上方且不干涉自所述接收口落下来的残留部薄膜的落下通路的位置。
换言之，本发明的薄膜片材切除装置进行如下的动作。首先，通过第1搬送手段，将长带薄膜的一端的既定长度部分(当然，此部分较欲切除的薄膜片材大)载置于前述切除用基台上。并且，于此切除用基台上，通过切除手段切除薄膜片材。于此的切除无论其方式、手段，也能以切刀进行切除，也能以冲裁进行切除。被切除的薄膜片材通过另外设有的手段自切除用基台取出。
接下来的切断手段，将目标的薄膜片材被切除的长带薄膜由前述部分及接下来的部分的边界切断。由于前述部分载置于切除用基台上的部分，故此边界为切除用基台的端或稍为外侧。第2搬送手段，将如此被切除、切断且变短的长带薄膜(残留部薄膜)搬送于与第1搬 送手段逆向的方向(即返回方向)并自前述切除用基台取出。被取出的残留部薄膜是开头通过切断手段形成被切断的端部。残留部薄膜，虽自此切断端部进入吸引收容部的接收口，但在此，由于此吸引收容部具备吸引装置，残留部薄膜于纵幅的狭窄接收口通过由吸引所形成的空气层流，不接触其接收口的壁面等而平顺地进入吸引收容部内。薄型薄膜因应其材质于搬送时因摩擦而产生静电，若欲自狭窄口进入，则附着于口的周围的壁面而产生干扰的事态为多数，但本发明的薄膜片材切除装置中，为使吸引收容部自接收口将空气吸引并接收残留部薄膜，通过如前述的空气层流防止其向壁面附着，使其能够平顺地接收。
于本发明的薄膜片材切除装置，第1搬送手段，能够做到抓持长带薄膜的前端并拉入前述切断用基台上的夹具，第2搬送手段，能够将残留部薄膜由两根辊夹持并做为搬送于与前述夹具逆方向的搬送辊对。在此，第2搬送手段的搬送辊对中，上方的辊于第1搬送手段的夹具将长带薄膜搬送时，为不形成阻碍，能够预先移动至上方。
而且，于第2搬送手段的搬送辊对之中的上方辊，为将残留部薄膜搬送而向下方下降时，为使残留部薄膜的前端(即前述切断端部)顺利地进入前述接收口，较佳为设有薄膜导件(上薄膜导件)。
同样地，也于第2搬送手段的搬送辊对之中的下方辊，较佳为设有，为不使残留部薄膜的前端(前述切断端部)于进入前述接收口时过度卷绕于下方的辊的薄膜导件(下薄膜导件)。
于前述吸引收容部的内部，为于接收口的下方将残留部薄膜多个收容而设有收容部，且较佳为，前述吸引装置设于较其收容部上方，且不干涉自该接收口落下来的残留部薄膜的落下通路的位置。
为达上述目的，本发明同时提供的薄膜片材切除方法，自长带薄膜切除薄膜片材，其具有：
第1搬送步骤，搬送长带薄膜并将其一端的既定长度的部分载置于切除用基台上；
切除步骤，自长带薄膜的前述部分切除薄膜片材；
切断步骤，将前述薄膜片材被切除后的长带薄膜自前述部分的边界切断；
第2搬送步骤，将被切除切断的长带薄膜的残留部薄膜，搬送于与第1搬送步骤逆向的方向并自前述切除用基台取出；以及
废材收容步骤，将自前述切除用基台取出的残留部薄膜，由具备具有对应该残留部薄膜的宽幅的横幅及狭窄的纵幅的接受部及吸引装置的吸引收容部接收。
于此本发明的薄膜片材切除方法，于切除步骤后进行切断步骤，于切除薄膜片材时，由于施加张力于长带薄膜而能够进行正确的切除，但若于切断步骤采取另外的措施(例如，切除时将长带薄膜吸附于切除用基台)等，则此等步骤为逆向也无所谓。
本发明的有益效果在于：
本发明的薄膜片材切除装置及薄膜片材切除方法中，不会发生于将残留部薄膜以原状态卷取的现有方法中产生切除时薄膜的扭曲等问题，能够切除正确形状的薄膜片材。另外，将残留部薄膜自长带薄膜切断，且欲以短状态处理的情况，因于薄膜产生静电使残留部薄膜附着于接触其的部分而产生安装困难的问题，但本发明的装置及方法中，通过使用具有新的构造的吸引收容部将其问题解决，且将残留部薄膜适当地处理，不对薄膜片材切断装置整体的作业造成影响。
附图说明
图1A-图1G为现有的压缩成型的顺序的概略图。
图2A为现有的薄膜切除装置的概略构成图。
图2B为现有的薄膜切除装置的概略剖面图。
图3为本发明的一实施例的薄膜片材切除装置的概略构成图。
图4为说明向同实施例的吸收收容部取出残留部薄膜的状态的概略图。
图5为说明于同实施例的薄膜片材切除装置的薄膜片材切除方法的流程图。
主要符号说明：
30       薄膜片材切除装置
40       薄膜供给部
41       辊保持部
42        夹具
43        夹具移动机构
50        薄膜片材切除部
51        切除用基台
52        槽
53        片材降下台
54        切除导件
55        切除机构
56        旋转轴
57        臂部
58        旋转切刀
60        残留部搬送部
61        搬送辊对
61a       上辊
61b       下辊
62        裁断刃
63        裁断驱动机构
64        马达
65        辊升降机构
66        上片材导件
67        下片材导件
70        吸引收容部
71        收容箱
72        吸引口
73        真空泵
74        导入路
75        接收口
76        隔离版
77        贯通孔
80        控制部
F         离型薄膜
Fr        残留部薄膜。
具体实施方式
一面参照图3及图4一面进行下列说明，为了制作于具备具有圆形腔的下膜的树脂封装压缩成型装置被使用的离型薄膜片材的本发明的薄膜片材切除装置(以下，仅称为“切除装置”)30。
本实施例的切除装置30，具备：薄膜供给部40，将辊状地卷绕的离型薄膜保持，且将其前端向前方(即，往薄膜切除部50的方向)供给；切除部50，自离型薄膜F将圆形离型薄膜片材切除；残留部搬送部60，将离型薄膜片材被切除后的离型薄膜F其全幅切断，且做为残留部离型薄膜Fr向后方搬送；吸引收容部70，将向后方搬送的残留部薄膜Fr吸引且收容；控制部80，控制其等各部。
薄膜供给部40，具备：辊保持部41，将被辊状卷绕的长带离型薄膜F保持；夹具42，抓持自该辊被拉出的离型薄膜F的前端(前方端)；夹具移动机构43，将该夹具42于薄膜切除部50的切除用基台51的表面略为升起的位置前后移动。
薄膜切除部50具备：切除用基台51；切除机构55，设于该切除用基台51的上方；切除导件54，于该切除用基台51的表面及其上方之间形成为可上下移动。切除机构55具备：自上方垂直垂下至切除用基台51且成为可升降的旋转轴56；臂部57，自该旋转轴垂直地(即，平行于切除用基台51)延伸；旋转切刀58，垂直于臂部57向下方安装。于切除用基台51的上面设有，具有与制作的离型薄膜F同直径且仅于两侧具有宽度的圆形的槽52，且前述旋转轴56设于此圆形的槽52的中心垂线上。另外，前述臂部57的长度相等于此圆的半径。切除用基台51的前述槽52的中心线较内侧的部分形成有，为取出被切除的离型薄膜片材的片材降下台53。切除导件54夹持切除用基台51的圆形的槽，且由其内侧及外侧的双同心圆的固定具形成。
残留部搬送部60，除了包含将残留部薄膜Fr向后方搬送的上下两根的搬送辊对61之外，包含：裁断刃62，设于其搬送辊对61的正后方(即，辊保持部41侧)；裁断驱动机构63，驱动该裁断刃62。搬送辊对61中的下辊61b，其上部设于与前述切除用基台51的上面大致 同样高度，且通过马达64驱动。上辊61a通过辊升降机构65能够升降，且下降至与下辊61b上的残留部薄膜Fr接触时带动旋转。于上辊61a将残留部薄膜Fr的端部向下压，且为引导至收容部的接收口75，于下方设有曲折的L字型的上薄膜导件66。另外，于下辊61b，其残留部薄膜Fr的端部伴随着辊61b的旋转，卷绕于辊61b，且设有为正确地引导进入接收口75的下薄膜导件67。
吸引收容部70，设于较下辊61b后方，且较切除用基台51的上面为下方，且具备：收容箱77，将被切断的残留部薄膜F收容；真空泵73，将该收容箱71内的空气吸引；导入路74，自该收容箱71的上部向上方延伸。导入路74，具有：于下辊61b的后方正下方开口，且具有较残留部薄膜Fr的宽度(即，离型薄膜F的宽度)略为大的横幅及狭窄的纵幅的接收口75。收容部71的下方，能够将累积的残留部薄膜取出，而能够卸除。于收容部71的侧面上方设有吸引口72，且前述真空泵连接此吸引口72。吸引口72于收容箱71内通过具有多个贯通孔77的隔离板76包围，且自收容有残留部薄膜Fr的部分即收容部78(图4，虚线部分)隔离。再者，于前述能够卸除的部分或其上部，也可设有为确认残留部薄膜Fr的收容状况的确认窗。
控制部80，自长带离型薄膜F将圆形的离型薄膜片材切除，且为了通过适当地将残留部薄膜Fr回收处理，使其切除连续且安定地进行，上述各部以如图5的流程图的顺序控制。再者，图5的流程图的处理是对于连续的长带薄膜反复进行。
首先，夹具移动机构43将夹具42移动至辊保持部41处，夹具42抓持长带离型薄膜F的端部。然后，夹具移动机构43通过将夹具42移动至切除用基台51侧，将离型薄膜F自辊拉出。于离型薄膜F的前方端到达切除用基台51的后端(与辊保持部41相反侧的端)的时间点，夹具42停止，将离型薄膜F配置于切除用基台51上(步骤S11)。
接下来控制部80，切除导件54下降至切除用基台51上，将离型薄膜F按压。然后，旋转轴56下降至旋转切刀58的前端刺穿离型薄膜F，使旋转轴56旋转一圈。由此将切除用基台51上的离型薄膜F被圆形地切除，且制作圆形的离型薄膜片材(步骤S12)。
其后，切除用基台51中央的片材降下台53向下方降下。离型薄 膜片材通过无图示的装置或是通过作业者，自切除用基台51取出(步骤S13)。
控制部80接着通过裁断驱动机构63将长带离型薄膜F裁断(步骤14)。此时，为使离型薄膜F通过切除导件54固定于切除机台上，通过裁断刃62确实裁断。其后，控制部80将切断导件54上升至上方。由此，离型薄膜片材被切除，以较短长度被裁断的废材即离型薄膜F(残留部薄膜F)于切除基台上解除固定，成为自由状态(步骤S15)。
其后，控制部80，首先启动吸引收容部70的真空泵73(步骤S16)。再者，真空泵73的启动也可与以下的马达64同时驱动。或者，真空泵也可以不反复启动、停止，而持续地运作。
接下来控制部80通过辊升降机构65，使上辊61a下降至接于辊61b。由此残留部薄膜Fr其裁断端侧被夹于搬送辊对61之间。接下来，下辊61b通过马达61旋转驱动，上辊61a也被下辊61带动旋转。由此，残留部薄膜Fr自切除用基台51被拉出且向后方搬送(步骤S17、图4)。此时，夹具移动机构43以夹具42将残留部薄膜Fr的前侧端抓持着向上，同时与搬送辊对61的旋转同时向后方移动。由此，平顺地进行残留部薄膜Fr向后方的搬送。如无此的夹具42进行的搬送的情况，搬送时残留部Fr通过切断用基台51之上的滑动产生静电，具有附着于切除用基台51或其他部分且无法平顺地进行搬送的可能性。夹具移动机构43，于夹具42来到搬送对61处的时间点，解除将残留部薄膜Fr的前方端抓持的夹具42。通过搬送辊对61将残留部薄膜Fr向后方搬送时，残留部薄膜Fr的裁断端通过设于上辊61a的上薄膜导件以及设于下辊61b的下薄膜导件，向吸引收容部70的导入路74的接收口45平顺地被导入。
于吸引收容部70，通过真空泵73自导入路74的接收口75通过导入路74于收容箱71内吸引空气。由于接收口75的纵幅狭窄，于其处产生空气层流，残留部薄膜Fr乘着其空气层流附着于接收口75的上下壁面而平顺地导入导入路74。
联接于真空泵71的吸引口72设于收容箱71的侧面上方，且因于隔离板76的上方设有大贯通孔77，于自导入路74的出处的收容箱71上方，空气较为强力地吸引。其结果，导入路74将除去的残留部薄膜 Fr以强大力量吸进收容箱71内。另一方面，因设于隔离板76下方的贯通孔77为小，自吸引口72于远处收容箱71下方空气的吸引成为稳定，且被吸进收容箱71内的残留部通过其自体重量落至收容箱71的下方(图4)。
落下至收容箱71的下方的残留部薄膜Fr即使通过自吸引口71的吸引多少上浮，因收容箱71的底及吸引口72之间有隔离板76，残留部薄膜Fr被吸进吸引口72且不停止吸引。
控制部80，仅使下辊61b旋转既定圈数后，使马达64停止。由此，残留部薄膜Fr整体通过搬送辊对61，且收容至吸引收容部70的收容箱内。另外，真空泵73停止，并且通过辊升降机构65使上辊61a上升(步骤S18)。如以上所为，废材即残留部薄膜Fr自切除用基台51卸除。
其后，回到步骤S11，反复步骤S11～S18。如以上所为，圆形的离型薄膜片材被连续且安定地制作。
如此，若通过本实施例的薄膜片材切除装置30，将每制作一片离型膜片材所产生的残留部薄膜Fr(废材)自长带离型薄膜F裁断且自切除用基台51卸除，因长带离型薄膜F通过夹具42重新配置，不会产生如以往就此卷取的状况产生的扭曲或皱褶。另外，于残留部薄膜Fr的回收，也通过利用空气的吸引形成的层流，能够防止静电造成残留部薄膜Fr向导入路74的附着等问题。