用于激光切割机的切割头.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201010557977.5

申请日:

2010.11.23

公开号:

CN102476245A

公开日:

2012.05.30

当前法律状态:

终止

有效性:

无权

法律详情:

未缴年费专利权终止IPC(主分类):B23K 26/38申请日:20101123授权公告日:20150121终止日期:20161123|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/36申请日:20101123|||公开

IPC分类号:

B23K26/36

主分类号:

B23K26/36

申请人:

武汉楚天激光(集团)股份有限公司

发明人:

周钢; 彭琦明; 邓传经; 李忠浩; 喻锐; 孙文

地址:

430074 湖北省武汉市东湖高新技术开发区关山二路楚天激光科技楼武汉楚天激光(集团)股份有限公司

优先权:

专利代理机构:

代理人:

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内容摘要

本发明涉及一种用于激光切割机的切割头,固定套通过联接螺母固定在切割头连接件上,固定套连接保护片安装座,保护片安装座通过联接螺母固定,保护片安装座上嵌有定位销,保护片安装座内装有保护片,保护片安装座的下方装有气嘴,移动环与快插接头、调节螺杆连接,快插接头与弹簧压杆连接,弹簧压杆与水冷环连接,水冷环套在聚焦镜座的外,聚焦镜在聚焦镜座内,弹簧套、弹簧穿在弹簧压杆上,调节螺杆的一端顶住水冷环,另一端通过螺套固定在移动环上,调节螺杆上有锁紧螺母,所述转接头位于固定套下部,固定套还与驱动销连接,驱动销与动套、调节套连接,调节套与移动环连接。本发明操作简便,有水冷、风冷、防尘的功能,调整聚焦精度高。

权利要求书

1: 一种用于激光切割机的切割头, 其特征在于 : 固定套通过联接螺母固定在切割头连 接件上, 固定套连接保护片安装座, 保护片安装座通过联接螺母固定, 保护片安装座上嵌有 定位销, 保护片安装座内装有保护片, 用保护片压圈固定, 保护片安装座的最下方装有气 嘴, 移动环与快插接头、 调节螺杆连接, 快插接头与弹簧压杆连接, 弹簧压杆与水冷环连接, 水冷环套在聚焦镜座的外面, 聚焦镜安装在聚焦镜座内, 弹簧套、 弹簧穿在弹簧压杆上, 调 节螺杆的一端顶住水冷环, 另一端通过螺套固定在移动环的一个螺口上, 调节螺杆最外面 有锁紧螺母, 所述转接头位于固定套下部, 第一气室位于固定套底部内, 第二气室位于水冷 环的外表面, 第三气室位于聚焦镜座上方, 固定套还与驱动销连接, 驱动销与动套、 调节套 连接, 调节套与移动环连接。
2: 按照权利要求 1 所述的一种用于激光切割机的切割头, 其特征在于 : 所述移动环有 四个螺纹开口, 呈 “十” 字, 分别装有 2 个快插接头和 2 个调节螺杆, 其中, 每一个快插接头 与一个调节螺杆对应。
3: 按照权利要求 1 所述的一种用于激光切割机的切割头, 其特征在于 : 所述第一气室 是由固定套, 保护片, 保护片压圈, 聚焦镜, 聚焦镜座、 动套组成的空间。
4: 按照权利要求 1 所述的一种用于激光切割机的切割头, 其特征在于 : 所述第二气室 由水冷环的外表面、 动套的底部和下方内壁、 聚焦镜座组成的空间。
5: 按照权利要求 1 所述的一种用于激光切割机的切割头, 其特征在于 : 所述调节套下 方整个圆周上均匀设置数字刻度。

说明书


用于激光切割机的切割头

    【技术领域】
     本发明涉及一种激光切割头。具体涉及一种用于激光切割机的切割头。背景技术
     本发明作出以前, 在激光加工时, 只是单纯的为水冷或者风冷, 并且只具备轴向调 节功能, 吹气嘴跟工件之间的距离确定后, 不能调节离焦量。 单纯的水冷和风冷对冷却的均 匀性有很大的影响, 引起激光焦点位置的改变, 在聚焦镜上方空间, 虽然有封光的结构, 但 是不能阻止灰尘的进入。由于机械加工方面的问题, 一般的切割头并不能保证激光是从聚 焦镜的中心入射, 此时便成为轴外光, 轴外光聚焦会引起更大的像差, 功率密度减小, 影响 切割性能和效果。发明内容
     本发明的目的是提供一种操作方便, 调整聚焦精度高的激光切割头, 具有水冷、 风 冷的功能, 在聚焦镜上表面的局部空间有防尘功能, 在水平面内可在两个垂直的方向调整, 当吹气嘴与工件距离确定时, 还能调节离焦量, 并且能通过读数度量离焦量。
     为了达到上述目的, 本发明有如下技术方案 :
     本发明的一种用于激光切割机的切割头, 其特征在于 : 固定套通过联接螺母固定 在切割头连接件上, 固定套连接保护片安装座, 保护片安装座通过联接螺母固定, 保护片安 装座上嵌有定位销, 保护片安装座内装有保护片, 用保护片压圈固定, 保护片安装座的最下 方装有气嘴, 移动环与快插接头、 调节螺杆连接, 快插接头与弹簧压杆连接, 弹簧压杆与水 冷环连接, 水冷环套在聚焦镜座的外面, 聚焦镜安装在聚焦镜座内, 弹簧套、 弹簧穿在弹簧 压杆上, 调节螺杆的一端顶住水冷环, 另一端通过螺套固定在移动环的一个螺口上, 调节螺 杆最外面有锁紧螺母, 所述转接头位于固定套下部, 第一气室位于固定套底部内, 第二气室 位于水冷环的外表面, 第三气室位于聚焦镜座上方, 固定套还与驱动销连接, 驱动销与动 套、 调节套连接, 调节套与移动环连接。
     其中, 所述移动环有四个螺纹开口, 呈 “十” 字, 分别装有 2 个快插接头和 2 个调节 螺杆, 其中, 每一个快插接头与一个调节螺杆对应。
     其中, 所述第一气室是由固定套, 保护片, 保护片压圈, 聚焦镜, 聚焦镜座、 动套组 成的空间。
     其中, 所述第二气室由水冷环的外表面、 动套的底部和下方内壁、 聚焦镜座组成的 空间。
     其中, 所述调节套下方整个圆周上均匀设置数字刻度。
     由于采取了以上技术方案, 本发明的优点在于 :
     1 本发明能够冷却聚焦镜的侧面, 且同时能进行风冷, 局部能起到防尘作用。
     2 本发明能够在水平面内沿两个垂直方向独立调节。
     3 当吹气嘴和工件相对位置保持不变时, 可以改变激光切割的离焦量, 且有刻度度量离焦量。
     4、 操作方便, 调整激光聚焦的精度高。 附图说明 图 1 为本发明结构示意图 ;
     图 2 为本发明转接头的示意图。
     图中 : 1 气嘴 ; 2 保护片安装座 ; 3 联接螺母 ; 4 定位销 ; 5 保护片压圈 ; 6 固定套 ; 7 聚焦镜座 ; 8 垫圈 ; 9 压圈 ; 10 水冷环 ; 11 快插接头 ; 12 弹簧压杆 ; 13 调节圈 ; 14 弹簧套 ; 15 弹簧 ; 16 移动环 ; 17 调节套 ; 18 驱动销 ; 19 联接螺母 ; 20 切割头连接件 ; 21 连接板 ; 22 动 套; 23 压圈 ; 24 垫圈 ; 25 垫片 ; 26 螺套 ; 27 锁紧螺母 ; 28 调节螺杆 ; 29 转接头 ; 30 第三气室 ; 31 第二气室 ; 32 第一气室 ; 33 聚焦镜 ; 34 保护片。
     具体实施方式
     以下实施例用于说明本发明, 但不用来限制本发明的范围。
     参见附图 1、 图 2, 本发明是一种用于激光切割机的多功能激光切割头, 由气嘴 1、 保护片安装座 2、 联接螺母 3、 定位销 4、 保护片压圈 5、 固定套 6、 聚焦镜座 7、 垫圈 8、 压圈 9、 水冷环 10、 快插接头 11、 弹簧压杆 12、 调节圈 13、 弹簧套 14、 弹簧 15、 移动环 16、 调节套 17、 驱动销 18、 联接螺母 19、 切割头连接件 20、 连接板 21、 动套 22、 压圈 23、 垫圈 24、 垫片 25、 螺 套 26、 锁紧螺母 27、 调节螺杆 28、 转接头 29、 第三气室 30、 第二气室 31、 第一气室 32、 聚焦镜 33、 保护片 34 组成。整体切割头以固定套 6 为主体, 固定套 6 通过联接螺母 19 固定在切割 头连接件 20 和连接板 21 上面。在固定套 6 的下面, 连接着保护片安装座 2, 保护片安装座 2 靠联接螺母 3 固定, 在保护片安装座 2 上嵌有定位销 4, 在固定套 6 的上开有槽, 以便安装 时的定位。 在保护片安装座 2 的最下方, 装有气嘴 1, 保护片安装座 2 内装有保护片 34, 用保 护片压圈 5 固定。水冷功能部分由快插接头 11, 弹簧压杆 12, 调节圈 13, 移动环 16, 水冷环 10, 聚焦镜座 7, 聚焦镜 33, 垫圈 8 和压圈 9 组成。其中移动环 16 有四个螺纹开口, 呈 “十” 字, 分别装有 2 个快插接头 11 和 2 个调节螺杆 12, 每一个快插接头和一个调节螺杆对应。 在一组对应中, 快插接头 11 连接在弹簧压杆 12 上, 弹簧压杆 12 是空心的, 里面有水道, 一 端连着快插接头 11, 另一端连在水冷环 10 上, 水冷环 10 套在聚焦镜座 7 的外面。在聚焦镜 座上, 弹簧压杆 12 空心水道正对着的部位, 开有槽, 构成冷却水通道。冷却水充满这部分空 间后, 再从另外一个弹簧压杆 12 中流出, 两者互相垂直。聚焦镜 33 安装在聚焦镜座 7 内, 上面垫有垫圈 8, 并由压圈 9 固定。冷却水在水槽内流动, 通过热传导的方式冷却聚焦镜座 7, 同样的方式, 聚焦镜座 7 也以热传导的方式, 冷却聚焦镜 33, 实现水冷的功能。
     风冷功能部分由固定套 6, 保护片安装座 2, 保护片 34, 保护片压圈 5, 动套 22, 聚焦 镜座 7, 聚焦镜 33, 水冷环 16 和转接头 29 组成。 在固定套 6 的下部, 开有螺口, 转接头 29 的 另一端连接冷却气体的快插接头。 在固定套 6 的里面, 由固定套 6, 保 一端连接在此螺口上, 护片 34, 保护片压圈 5, 聚焦镜 33, 聚焦镜座 7 和动套 22 组成第一气室 31。经过转接头 29 的冷却气体直接进入此气室。 通过热传导的方式, 冷却聚焦镜的下表面。 在动套 22 的下部, 开有一小孔, 当冷却气体充满第一气室 31 后, 经此小孔, 流动到第二气室, 第二气室由水冷 环 10 的外表面, 动套 22 的底部和下方内壁, 聚焦镜座 7 组成。第二气室是冷却气体流动到聚焦镜 33 上表面过渡的地方。冷却气体充满第二气室 31 后, 从聚焦镜座 7 上方的开口进 入第三气室 30。在第三气室 30, 冷却气体通过热传导的方式, 冷却聚焦镜 33 的上表面, 然 后逐渐向上充满。充满第三气室 30 后, 与外界形成正压, 通过间隙向外排出气体, 使得外界 的灰尘无法进入到第三气室, 起到局部防尘的作用。
     所述的固定套 6 在一外侧面开有圆孔, 驱动销 18 从圆孔中穿过, 一端固定在动套 22 上, 另一端卡在调节套 17 的矩形螺纹中。调节套 17 被下面的移动环 16 卡住, 当调节套 17 旋转时, 动套 22 上下移动, 进而带动聚焦镜上下移动。由于气嘴 1 是连在固定套 6 上面 的, 当调节套 17 旋转时, 气嘴 1 并不移动, 故实现当气嘴 1 固定的调焦功能。调节套 17 下 方整个圆周上均匀涂有数字刻度, “0” 在中间, 左右均匀标记到数字 “5” , 各相邻数字之间都 有 10 小格, 其中数字 “5” 共用, 此时 “0” 和 “5” 在同一条直线上。在移动环 16 上边缘, 涂 有等腰三角形标记, 三角形两等腰的夹角 ( 尖角 ) 指向数字刻度。转动调节套 17, 使聚焦 镜 33 从最高移动到最低, 测量聚焦镜 33 移动的距离, 再读取三角形标记滑过的刻度数, 就 可以确定一个比例。 并做适当调整, 使得当聚焦量移动在整个行程中间时, 三角形尖角刚好 指向调节套 17 上的 “0” 刻度线。当实际加工时, 根据读数标记的读数和这个比例, 换算出 实际的离焦量了。实现量化离焦量的功能。 如前所述, 移动环 16 有四个螺纹开口, 呈 “十” 字, 分别装有 2 个快插接头 11 和 2 个调节螺杆, 一个快插接头 11 和一个调节螺杆 12 对应。在一组对应中, 弹簧压杆 12 一端 固定在水冷环 10 上, 另一端连着快插接头 11, 弹簧压杆 12 有一个部位的直径稍大, 刚好挡 住穿在弹簧压杆 12 的弹簧 15, 弹簧 15 的另一端被弹簧套 14 挡住, 弹簧套 14 也穿在弹簧压 杆 12 上, 在弹簧套 14 的后面, 调节圈 13 挡住弹簧套 14, 调节圈 13 也被弹簧压杆 12 穿过, 其通过螺纹固定在移动环 16 的一个螺口中。这样, 弹簧 15 在弹簧套 14 和弹簧压杆 12 之 间呈压缩状态, 并把力作用在水冷环 10 上。在弹簧压杆 12 的对面, 有一个调节螺杆 28, 其 一端顶住水冷环 10, 另一端通过螺套 26 固定在移动环 16 的一个螺口上, 调节螺杆 28 最外 面有锁紧螺母 27, 这样, 当旋转调节螺杆 28 时, 就能推动水冷环 10 在此方向上移动, 带动 聚焦镜 33 在此方向上移动。实现这个方向上的调节。同样的道理, 在水平面内垂直此方向 上, 也有一组与之相同的调节装置, 实现移动功能。至此, 实现在聚焦镜 33 在水平面内的两 维调节功能。至此, 全部功能实现。
     显然, 本发明的上述实例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例, 而并非是对本 发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说, 在上述说明的基础上还可以 做出其它不同形式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本发明 的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。
    

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1、(10)申请公布号 CN 102476245 A(43)申请公布日 2012.05.30CN102476245A*CN102476245A*(21)申请号 201010557977.5(22)申请日 2010.11.23B23K 26/36(2006.01)(71)申请人武汉楚天激光(集团)股份有限公司地址 430074 湖北省武汉市东湖高新技术开发区关山二路楚天激光科技楼武汉楚天激光(集团)股份有限公司(72)发明人周钢 彭琦明 邓传经 李忠浩喻锐 孙文(54) 发明名称用于激光切割机的切割头(57) 摘要本发明涉及一种用于激光切割机的切割头,固定套通过联接螺母固定在切割头连接件上,固定套连。

2、接保护片安装座,保护片安装座通过联接螺母固定,保护片安装座上嵌有定位销,保护片安装座内装有保护片,保护片安装座的下方装有气嘴,移动环与快插接头、调节螺杆连接,快插接头与弹簧压杆连接,弹簧压杆与水冷环连接,水冷环套在聚焦镜座的外,聚焦镜在聚焦镜座内,弹簧套、弹簧穿在弹簧压杆上,调节螺杆的一端顶住水冷环,另一端通过螺套固定在移动环上,调节螺杆上有锁紧螺母,所述转接头位于固定套下部,固定套还与驱动销连接,驱动销与动套、调节套连接,调节套与移动环连接。本发明操作简便,有水冷、风冷、防尘的功能,调整聚焦精度高。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书3页 附图1页(19)中华人民共和国国家知识产权局。

3、(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页1/1页21.一种用于激光切割机的切割头,其特征在于:固定套通过联接螺母固定在切割头连接件上,固定套连接保护片安装座,保护片安装座通过联接螺母固定,保护片安装座上嵌有定位销,保护片安装座内装有保护片,用保护片压圈固定,保护片安装座的最下方装有气嘴,移动环与快插接头、调节螺杆连接,快插接头与弹簧压杆连接,弹簧压杆与水冷环连接,水冷环套在聚焦镜座的外面,聚焦镜安装在聚焦镜座内,弹簧套、弹簧穿在弹簧压杆上,调节螺杆的一端顶住水冷环,另一端通过螺套固定在移动环的一个螺口上,调节螺杆最外面有锁紧螺母,所述转接头位于固定套下部,第一气室位。

4、于固定套底部内,第二气室位于水冷环的外表面,第三气室位于聚焦镜座上方,固定套还与驱动销连接,驱动销与动套、调节套连接,调节套与移动环连接。2.按照权利要求1所述的一种用于激光切割机的切割头,其特征在于:所述移动环有四个螺纹开口,呈“十”字,分别装有2个快插接头和2个调节螺杆,其中,每一个快插接头与一个调节螺杆对应。3.按照权利要求1所述的一种用于激光切割机的切割头,其特征在于:所述第一气室是由固定套,保护片,保护片压圈,聚焦镜,聚焦镜座、动套组成的空间。4.按照权利要求1所述的一种用于激光切割机的切割头,其特征在于:所述第二气室由水冷环的外表面、动套的底部和下方内壁、聚焦镜座组成的空间。5.按。

5、照权利要求1所述的一种用于激光切割机的切割头,其特征在于:所述调节套下方整个圆周上均匀设置数字刻度。权 利 要 求 书CN 102476245 A1/3页3用于激光切割机的切割头技术领域0001 本发明涉及一种激光切割头。具体涉及一种用于激光切割机的切割头。背景技术0002 本发明作出以前,在激光加工时,只是单纯的为水冷或者风冷,并且只具备轴向调节功能,吹气嘴跟工件之间的距离确定后,不能调节离焦量。单纯的水冷和风冷对冷却的均匀性有很大的影响,引起激光焦点位置的改变,在聚焦镜上方空间,虽然有封光的结构,但是不能阻止灰尘的进入。由于机械加工方面的问题,一般的切割头并不能保证激光是从聚焦镜的中心入射。

6、,此时便成为轴外光,轴外光聚焦会引起更大的像差,功率密度减小,影响切割性能和效果。发明内容0003 本发明的目的是提供一种操作方便,调整聚焦精度高的激光切割头,具有水冷、风冷的功能,在聚焦镜上表面的局部空间有防尘功能,在水平面内可在两个垂直的方向调整,当吹气嘴与工件距离确定时,还能调节离焦量,并且能通过读数度量离焦量。0004 为了达到上述目的,本发明有如下技术方案:0005 本发明的一种用于激光切割机的切割头,其特征在于:固定套通过联接螺母固定在切割头连接件上,固定套连接保护片安装座,保护片安装座通过联接螺母固定,保护片安装座上嵌有定位销,保护片安装座内装有保护片,用保护片压圈固定,保护片安。

7、装座的最下方装有气嘴,移动环与快插接头、调节螺杆连接,快插接头与弹簧压杆连接,弹簧压杆与水冷环连接,水冷环套在聚焦镜座的外面,聚焦镜安装在聚焦镜座内,弹簧套、弹簧穿在弹簧压杆上,调节螺杆的一端顶住水冷环,另一端通过螺套固定在移动环的一个螺口上,调节螺杆最外面有锁紧螺母,所述转接头位于固定套下部,第一气室位于固定套底部内,第二气室位于水冷环的外表面,第三气室位于聚焦镜座上方,固定套还与驱动销连接,驱动销与动套、调节套连接,调节套与移动环连接。0006 其中,所述移动环有四个螺纹开口,呈“十”字,分别装有2个快插接头和2个调节螺杆,其中,每一个快插接头与一个调节螺杆对应。0007 其中,所述第一气。

8、室是由固定套,保护片,保护片压圈,聚焦镜,聚焦镜座、动套组成的空间。0008 其中,所述第二气室由水冷环的外表面、动套的底部和下方内壁、聚焦镜座组成的空间。0009 其中,所述调节套下方整个圆周上均匀设置数字刻度。0010 由于采取了以上技术方案,本发明的优点在于:0011 1本发明能够冷却聚焦镜的侧面,且同时能进行风冷,局部能起到防尘作用。0012 2本发明能够在水平面内沿两个垂直方向独立调节。0013 3当吹气嘴和工件相对位置保持不变时,可以改变激光切割的离焦量,且有刻度度说 明 书CN 102476245 A2/3页4量离焦量。0014 4、操作方便,调整激光聚焦的精度高。附图说明001。

9、5 图1为本发明结构示意图;0016 图2为本发明转接头的示意图。0017 图中:1气嘴;2保护片安装座;3联接螺母;4定位销;5保护片压圈;6固定套;7聚焦镜座;8垫圈;9压圈;10水冷环;11快插接头;12弹簧压杆;13调节圈;14弹簧套;15弹簧;16移动环;17调节套;18驱动销;19联接螺母;20切割头连接件;21连接板;22动套;23压圈;24垫圈;25垫片;26螺套;27锁紧螺母;28调节螺杆;29转接头;30第三气室;31第二气室;32第一气室;33聚焦镜;34保护片。具体实施方式0018 以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。0019 参见附图1、图2,本发明是。

10、一种用于激光切割机的多功能激光切割头,由气嘴1、保护片安装座2、联接螺母3、定位销4、保护片压圈5、固定套6、聚焦镜座7、垫圈8、压圈9、水冷环10、快插接头11、弹簧压杆12、调节圈13、弹簧套14、弹簧15、移动环16、调节套17、驱动销18、联接螺母19、切割头连接件20、连接板21、动套22、压圈23、垫圈24、垫片25、螺套26、锁紧螺母27、调节螺杆28、转接头29、第三气室30、第二气室31、第一气室32、聚焦镜33、保护片34组成。整体切割头以固定套6为主体,固定套6通过联接螺母19固定在切割头连接件20和连接板21上面。在固定套6的下面,连接着保护片安装座2,保护片安装座2靠。

11、联接螺母3固定,在保护片安装座2上嵌有定位销4,在固定套6的上开有槽,以便安装时的定位。在保护片安装座2的最下方,装有气嘴1,保护片安装座2内装有保护片34,用保护片压圈5固定。水冷功能部分由快插接头11,弹簧压杆12,调节圈13,移动环16,水冷环10,聚焦镜座7,聚焦镜33,垫圈8和压圈9组成。其中移动环16有四个螺纹开口,呈“十”字,分别装有2个快插接头11和2个调节螺杆12,每一个快插接头和一个调节螺杆对应。在一组对应中,快插接头11连接在弹簧压杆12上,弹簧压杆12是空心的,里面有水道,一端连着快插接头11,另一端连在水冷环10上,水冷环10套在聚焦镜座7的外面。在聚焦镜座上,弹簧压。

12、杆12空心水道正对着的部位,开有槽,构成冷却水通道。冷却水充满这部分空间后,再从另外一个弹簧压杆12中流出,两者互相垂直。聚焦镜33安装在聚焦镜座7内,上面垫有垫圈8,并由压圈9固定。冷却水在水槽内流动,通过热传导的方式冷却聚焦镜座7,同样的方式,聚焦镜座7也以热传导的方式,冷却聚焦镜33,实现水冷的功能。0020 风冷功能部分由固定套6,保护片安装座2,保护片34,保护片压圈5,动套22,聚焦镜座7,聚焦镜33,水冷环16和转接头29组成。在固定套6的下部,开有螺口,转接头29的一端连接在此螺口上,另一端连接冷却气体的快插接头。在固定套6的里面,由固定套6,保护片34,保护片压圈5,聚焦镜3。

13、3,聚焦镜座7和动套22组成第一气室31。经过转接头29的冷却气体直接进入此气室。通过热传导的方式,冷却聚焦镜的下表面。在动套22的下部,开有一小孔,当冷却气体充满第一气室31后,经此小孔,流动到第二气室,第二气室由水冷环10的外表面,动套22的底部和下方内壁,聚焦镜座7组成。第二气室是冷却气体流动到说 明 书CN 102476245 A3/3页5聚焦镜33上表面过渡的地方。冷却气体充满第二气室31后,从聚焦镜座7上方的开口进入第三气室30。在第三气室30,冷却气体通过热传导的方式,冷却聚焦镜33的上表面,然后逐渐向上充满。充满第三气室30后,与外界形成正压,通过间隙向外排出气体,使得外界的灰。

14、尘无法进入到第三气室,起到局部防尘的作用。0021 所述的固定套6在一外侧面开有圆孔,驱动销18从圆孔中穿过,一端固定在动套22上,另一端卡在调节套17的矩形螺纹中。调节套17被下面的移动环16卡住,当调节套17旋转时,动套22上下移动,进而带动聚焦镜上下移动。由于气嘴1是连在固定套6上面的,当调节套17旋转时,气嘴1并不移动,故实现当气嘴1固定的调焦功能。调节套17下方整个圆周上均匀涂有数字刻度,“0”在中间,左右均匀标记到数字“5”,各相邻数字之间都有10小格,其中数字“5”共用,此时“0”和“5”在同一条直线上。在移动环16上边缘,涂有等腰三角形标记,三角形两等腰的夹角(尖角)指向数字刻。

15、度。转动调节套17,使聚焦镜33从最高移动到最低,测量聚焦镜33移动的距离,再读取三角形标记滑过的刻度数,就可以确定一个比例。并做适当调整,使得当聚焦量移动在整个行程中间时,三角形尖角刚好指向调节套17上的“0”刻度线。当实际加工时,根据读数标记的读数和这个比例,换算出实际的离焦量了。实现量化离焦量的功能。0022 如前所述,移动环16有四个螺纹开口,呈“十”字,分别装有2个快插接头11和2个调节螺杆,一个快插接头11和一个调节螺杆12对应。在一组对应中,弹簧压杆12一端固定在水冷环10上,另一端连着快插接头11,弹簧压杆12有一个部位的直径稍大,刚好挡住穿在弹簧压杆12的弹簧15,弹簧15的。

16、另一端被弹簧套14挡住,弹簧套14也穿在弹簧压杆12上,在弹簧套14的后面,调节圈13挡住弹簧套14,调节圈13也被弹簧压杆12穿过,其通过螺纹固定在移动环16的一个螺口中。这样,弹簧15在弹簧套14和弹簧压杆12之间呈压缩状态,并把力作用在水冷环10上。在弹簧压杆12的对面,有一个调节螺杆28,其一端顶住水冷环10,另一端通过螺套26固定在移动环16的一个螺口上,调节螺杆28最外面有锁紧螺母27,这样,当旋转调节螺杆28时,就能推动水冷环10在此方向上移动,带动聚焦镜33在此方向上移动。实现这个方向上的调节。同样的道理,在水平面内垂直此方向上,也有一组与之相同的调节装置,实现移动功能。至此,实现在聚焦镜33在水平面内的两维调节功能。至此,全部功能实现。0023 显然,本发明的上述实例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。说 明 书CN 102476245 A1/1页6图1图2说 明 书 附 图CN 102476245 A。

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