《输液膜厚度测控装置.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《输液膜厚度测控装置.pdf（7页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102455675 A(43)申请公布日 2012.05.16CN102455675A*CN102455675A*(21)申请号 201110442908.4(22)申请日 2011.12.27G05B 19/05(2006.01)(71)申请人宁波市佳音机电科技有限公司地址 315408 浙江省宁波市余姚市兰江街道肖东工业园区高畈路22号(72)发明人鲁定尧(74)专利代理机构余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239代理人胡小永(54) 发明名称输液膜厚度测控装置(57) 摘要本发明公开了一种输液膜厚度测控装置，包括闭环控制系统、传感与测控技术控制单元，PLC。
2、控制单元、主计算机、计算机接口卡、数据采集卡、石英晶体探头、光探头、挡板驱动器经电路连接构成。数据采集卡有两部分构成，分别对应石英晶体探头和光探头。探头可以多至16个。数据采集卡与接口卡之间由长屏蔽线连接。采用本发明，用多探头和微机测控，可以监测多个蒸发源，测量整个系统中的膜厚分布，并可同时监测风各镀膜机。本装置操作方便，工作稳定，成本低廉，易于推广使用。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书2页 附图3页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 3 页1/1页21.一种输液膜厚度测控装置，其特征在于：所述测控装置包括闭环控制系统、。
3、传感与测控技术控制单元，PLC控制单元、主计算机、计算机接口卡、数据采集卡、石英晶体探头、光探头、挡板驱动器经电路连接构成，传感与测控技术控制单元通过闭环控制系统将信号输到PLC控制单元，PLC控制单元所采集的数据传输到主计算机，数据采集卡由两部分组成，一部分为对应于光探头并与之连接的光电数据采集器，由光探头电路、计数器、移位寄存器经电路连接构成；另一部分为对应于石英晶体探头并与之连接的振荡信号数据采集器，由振荡器、计数器、驱动器和继电路、移位寄存器经电路连接构成；计算机接口卡上设有清零、时基信号、移位信号、输入端口、输出端口；数据采集卡的各路计数器的一个端点与接口卡的清零端连接，另一个端点与。
4、接口卡的时基信号端连接，移位寄存器的一个端点与接口卡的移位信号端连接，另一个端点分别与接口卡的输入端口连接；各挡板驱动器分别与接口卡的输出端口连接。2.如权利要求1所述的输液膜厚度测控装置，其特征在于：所述石英晶体探头和光探头数量可多到16个，相应的数据采集卡的线路也可多至16路，接口卡的输入端口、输出端口分别多至16个，挡板驱动器也多至16个。3.如权利要求1所述的输液膜厚度测控装置，其特征在于：所述数据采集卡和计算机接口卡之间采用多芯长屏蔽线连接以实现两者之间的并行通信。4.如权利要求1至3任一项所述的输液膜厚度测控装置，其特征在于：所述输液膜厚度测控装置还包括一个触摸屏，PLC控制单元通。
5、过信号线与触摸屏连接，触摸屏上显示工作参数。权 利 要 求 书CN 102455675 A1/2页3输液膜厚度测控装置技术领域0001 本发明涉及医疗用品技术领域，尤其涉及一种输液膜厚度测控装置。背景技术0002 输液膜厚度是输液膜研究和工业应用中的一个重要参数。输液膜的电阻率、电阻温度系数、磁阻、霍尔系数、热电系数、光学反射率、趋肤效应等参数均与输液膜厚度有密切的关系，测量这些参数必须知道输液膜的厚度。而且，人们在设计具有一定功髓的输液膜时，对其厚度往往有比较严格的要求，这就需要在输液膜沉积过程中对膜厚进行实时的监控。0003 在真空系统中输液膜沉积时对膜厚进行实时监测的方法常用的主要有石英。
6、晶体振荡法、光学法、反射高能电子衍射法等。其中，石英晶体振荡法可用于监测光学膜、电学膜等多种膜的沉积；光学法主要用于光学膜的沉积反射高能电子衍射法多用于分子束外延设备中，监测晶体材料的沉积，价格十分昂贵。目前，相应于上述方法的膜厚监控设备一般采用单片机，用数码管显示膜厚和输液膜沉积速率，不够直观。膜厚监测设备价格昂贵，使用的测量方法一般都是单一的(即多用石英晶体振荡法)，而且，只能进行单探头测。发明内容0004 (一)要解决的技术问题0005 本发明要解决的问题是用微机控制、具有多探头测量、操作方便、工作稳定、成本低廉的输液膜测控装置。0006 (二)技术方案0007 为解决上述技术问题，本发。
7、明提供了一种输液膜厚度测控装置，测控装置包括闭环控制系统、传感与测控技术控制单元，PLC控制单元、主计算机、计算机接口卡、数据采集卡、石英晶体探头、光探头、挡板驱动器经电路连接构成，传感与测控技术控制单元通过闭环控制系统将信号输到PLC控制单元，数据采集卡由两部分组成，一部分为对应于光探头并与之连接的光电数据采集器，由光探头电路、计数器、移位寄存器经电路连接构成；另一部分为对应于石英晶体探头并与之连接的振荡信号数据采集器，由振荡器、计数器、驱动器和继电路、移位寄存器经电路连接构成；计算机接口卡上设有清零、时基信号、移位信号、输入端口、输出端口；数据采集卡的各路计数器的一个端点与接口卡的清零端连。
8、接，另一个端点与接口卡的时基信号端连接，移位寄存器的一个端点与接口卡的移位信号端连接，另一个端点分别与接口卡的输入端口连接；各挡板驱动器分别与接口卡的输出端口连接。0008 进一步，石英晶体探头和光探头数量可多到16个，相应的数据采集卡的线路也可多至16路，接口卡的输入端口、输出端口分别多至16个，挡板驱动器也多至16个。0009 进一步，数据采集卡和计算机接口卡之间采用多芯长屏蔽线连接以实现两者之间的并行通信。0010 进一步，所述输液膜厚度测控装置还包括一个触摸屏，PLC控制单元通过信号线与说 明 书CN 102455675 A2/2页4触摸屏连接，触摸屏上显示工作参数。0011 (三)有。
9、益效果0012 本发明的一种输液膜厚度测控装置，使用多探头，并采用微机控制，给膜厚测控带来很多方便，可以用多个探头监测多个蒸发源，掌握每个蒸发源的蒸发速率、沉积膜厚；在真空系统中不同位置放多个探头，可以测量整个系统中的膜厚分布。而且，一块接口卡可以接几块数据采集卡(只要相应的总数不超16个)，能够同时监测几台镀膜机。本装置操作方便，工作稳定，成本低廉。附图说明0013 图l为本发明结构框图；0014 图2为本发明电路原理图；0015 图3使用石英晶体探头测控获得的膜厚一时间曲线，其中(a)为镀Al的结呆，(b)为镀MgF2的结果；0016 图4为光探头的降噪电路框图。具体实施方式0017 下面。
10、结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。0018 如图l至图4所示，从本装置的结构部件角度介绍，使用的各部件的型号参数，连接关系等。接口卡译码电路由六非门14HC04，双四输入与非门CD4082和双四输入与非门CD4012组成，振荡器采用555时基振荡电路，可变分频器采用HC292，并行接口芯片使用两片可编程并行接口芯片82C55，每片82css都有三个8位I/O口，缓冲驱动器用CD4041。传感与测控技术控制单元通过闭环控制系统将信号输到PLC控制单元，经过计算分析，厚度误差超过规定时，PLC控制单元控制挤出机模头调整规定。
11、的厚度范围之内。PLC控制单元通过触摸屏实时显示当前工作参数。0019 数据采集卡中，计数器使用了二片八位二进制计数器。74HC4040构成一路24位的计数器，移位寄存器则由三片并入/串出移位寄存器CD4021构成一路24位的移位寄存器，振荡器采用了非门振荡器。数据采集卡与I/O接口卡之间采用lo米长的多芯屏蔽线连接。按图l和图4所示进行电路连接，经调试即得本装置。0020 本发明的输液膜厚度测控装置，使用多探头，并采用微机控制，给膜厚测控带来很多方便，可以用多个探头监测多个蒸发源，掌握每个蒸发源的蒸发速率、沉积膜厚；在真空系统中不同位置放多个探头，可以测量整个系统中的膜厚分布。而且，一块接口卡可以接几块数据采集卡(只要相应的总数不超16个)，能够同时监测几台镀膜机。本装置操作方便，工作稳定，成本低廉。0021 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。说 明 书CN 102455675 A1/3页5图1说 明 书 附 图CN 102455675 A2/3页6图2说 明 书 附 图CN 102455675 A3/3页7图3图4说 明 书 附 图CN 102455675 A。