基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 101989068 A(43)申请公布日 2011.03.23CN101989068A*CN101989068A*(21)申请号 201010537806.6(22)申请日 2010.11.05G05B 17/02(2006.01)(71)申请人北京七星华创电子股份有限公司地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号(72)发明人杨宇 陈远谋 赵雪(74)专利代理机构北京凯特来知识产权代理有限公司 11260代理人郑立明 赵镇勇(54) 发明名称基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法(57) 摘要本发明公开了一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法，包括集气罐，集。

2、气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，质量流量控制器设有数字通信单元，数字通信单元通过串口与主控计算机连接，进行数字通讯，主控计算机可实时控制和获取MFC的流量检测数据，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制，这样就省去了人工的参与过程。(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页CN 101989068 A 1/1页21.一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统，包括集气罐，其特征在于，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分。

3、别设有质量流量控制器，所述质量流量控制器设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接。2.根据权利要求1所述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统，其特征在于，所述集气罐有多个，每个气体入口之后的质量流量控制器为不同规格的质量流量控制器，多个气体入口包括不同种类气体的入口。3.一种权利要求1所述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，其特征在于，包括步骤：首先，主控计算机通过串口通讯将各个气体入口的气体流量的设定值和控制时间数据写入质量流量控制器的芯片中；然后，主控计算机通过串口通讯向所有质量流量控制器发送启动指令，进行工艺模拟流程，并实时控制和获取质量流量控。

4、制器的流量检测数据；待全部质量流量控制器处于关闭状态后，工艺模拟完成。权 利 要 求 书CN 101989068 A 1/3页3基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法技术领域0001 本发明涉及一种数字式气体质量流量控制器的装置，尤其涉及一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法。背景技术0002 目前，我们在做混合气体的操作中，当需要涉及到控制多种气体和多种量程这种复杂的工作时，大多数采用专人进行控制，计算时间等一系列流程，最后得出相关的结果。这样大大浪费了人力物力，而且结果也会因为人为原因不够准确。发明内容0003 本发明的目的是提供一种能直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制的基于质量流量控。

5、制器的模拟工艺系统和方法。0004 本发明的目的是通过以下技术方案实现的：0005 本发明的基于质量流量控制器的模拟工艺系统，包括集气罐，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，所述质量流量控制器设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接。0006 本发明的上述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，包括步骤：0007 首先，主控计算机通过串口通讯将各个气体入口的气体流量的设定值和控制时间数据写入质量流量控制器的芯片中；0008 然后，主控计算机通过串口通讯向所有质量流量控制器发送启动指令，进行工艺模拟流程，并实时控制和获取质。

6、量流量控制器的流量检测数据；0009 待全部质量流量控制器处于关闭状态后，工艺模拟完成。0010 由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法，由于在各个气体入口后安装不同流量规格的质量流量控制器(MFC)产品，其中MFC都可以进行数字通讯。通过串口通讯可实时控制和获取MFC的流量检测数据，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制，这样就省去了人工的参与过程。附图说明0011 图1为现有技术中质量流量控制器的结构原理图；0012 图2为本发明基于质量流量控制器的模拟工艺系统的气路原理图。具体实施。

7、方式0013 本发明的基于质量流量控制器的模拟工艺系统，其较佳的具体实施方式如图2所示，包括集气罐，所述集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制说 明 书CN 101989068 A 2/3页4器，所述质量流量控制器设有数字通信单元，所述数字通信单元通过串口与主控计算机连接。0014 所述集气罐可以有多个，每个气体入口之后的质量流量控制器为不同规格的质量流量控制器，多个气体入口包括不同种类气体的入口。0015 本发明的上述的基于质量流量控制器的模拟工艺系统对工艺步骤进行模拟控制的方法，包括步骤：0016 首先，主控计算机通过串口通讯将各个气体入口的气体流量的设定值和控制时间。

8、数据写入质量流量控制器的芯片中；0017 然后，主控计算机通过串口通讯向所有质量流量控制器发送启动指令，进行工艺模拟流程，并实时控制和获取质量流量控制器的流量检测数据；0018 待全部质量流量控制器处于关闭状态后，工艺模拟完成。0019 本发明可以自动定时控制多条气路开关以及大小的调整，可以对数字式质量流量控制器进行自动控制，该方法突破了传统的人工方法，大大提高了结果的准确度和生产过成的效率。0020 下面对本发明的工作原理进行详细的描述：0021 首先介绍一下质量流量控制器的工作原理和控制原理：0022 工作原理：质量流量控制器(MFCs)用于对气体质量流量进行精密测量及控制，其测量及控制精。

9、度不受一定范围的气压及温度变化影响。质量流量计(MFMs)用于对气体的质量流量进行精密测量。0023 如图1所示，质量流量控制器包括分流器、传感器、电路板及调节阀等四个部分。0024 分流器、传感器及电路板的测量部分组成了质量流量控制器的流量测量单元，它们也组成了质量流量计。0025 调节阀与电路板的控制部分组成了质量流量控制器的控制单元，它们只存在于质量流量控制器中。因此，每台质量流量控制器都包含一台质量流量计。0026 控制原理：质量流量控制器的控制单元接收到输入设定信号后，根据收到的信号对调节阀进行控制，从而实现对流量大小的控制。0027 根据上面对工作原理和控制原理的描述，可以看出通过。

10、设定信号可以控制气体的流量。本发明正是设计了一个模拟工艺系统，通过软件控制每个质量流量控制器来完成自动的工艺流程。0028 如图2所示，是本发明的气路原理图，在各种气体入口后安装不同浏览规格的质量流量控制器(MFC)产品。其中MFC都可以进行数字通讯。0029 本发明通过串口通讯可实时控制和获取MFC的流量检测数据。这样就省去了人工的参与过程，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制。0030 具体的模拟控制过程是：0031 首先通过电脑通讯将各个气体流量的设定值和控制时间数据写入MFC的芯片中。0032 接下来就是在向所有质量流量控制器(MFC)产品发送启动指令，这样就可以进行工艺模拟流程了。待全部质量流量控制器(MFC)产品处于关闭状态后，说明工艺模拟完成。0033 以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，说 明 书CN 101989068 A 3/3页5任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。说 明 书CN 101989068 A 1/1页6图1图2说 明 书 附 图。