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本发明涉及热能和动力领域,具体公开了一种多级变界流体机构及包括其的装置,所述的多级变界流体机构包括两个以上串联连通的单级变界流体机构,至少一组相邻的两个所述单级变界流体机构之间的排量比与另外一组相邻两个所述单级变界流体机构之间的排量比不同。本发明还公开了包括所述多级变界流体机构的膨胀单元、压缩单元及发动机。本发明公开的所述多级变界流体机构及其装置能够减少泄露损失,提高了效率。。