一种烤炉体装置.pdf

本发明涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种烤炉体装置，箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于主路上，主路上设有供电连接端子，支路的端部分别设有一个输出接线端子，输出接线端子用于连接炉体的接入接线端子，支路上均设有功率控制器，各功率控制器同时连接功率控制单元，功率控制单元用于向各支路上的功率控制器发送相同或不同的控制信号。该烤炉体装置配置多个输出接线端子，打破了传统装置单个输出接线端子的特点，可以达到对同台炉体分多段烘烤或者对多台多型号炉体同时烘烤的目的，使得工作效率和应用范围都得到显著的提高和拓展。

权利要求书
1.  一种烤炉体装置，包括用于烘烤炉体的箱体，其特征在于，所述箱体 的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于所述主路 上，所述主路上设有供电连接端子，所述支路的端部分别设有一个输出接线 端子，所述输出接线端子用于连接炉体的接入接线端子，所述支路上均设有 功率控制器，各所述功率控制器同时连接所述功率控制单元，所述功率控制 单元用于向各支路上的功率控制器发送相同或不同的控制信号。

2.  根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述功率控制单元 连接用于检测炉体温度的温度测量系统，所述温度测量系统将测量的温度值 反馈至所述功率控制单元，所述功率控制单元处理将测量的温度值与预设的 温度值进行分析对比，并发送控制信号至各功率控制器。

3.  根据权利要求2所述的烤炉体装置，其特征在于，所述温度测量系统 的包括至少两个温度测试点，所述温度测试点用于检测所述支路所对应的炉 体位置的温度。

4.  根据权利要求1～3任一项所述的烤炉体装置，其特征在于，所述支 路上均设有延时继电器，各所述延时继电器设置不同的延时参数，上电启动 时，各支路按所对应的延时参数依次启动。

5.  根据权利要求1～3任一项所述的烤炉体装置，其特征在于，所述主 路上设有主路过流保护器。

6.  根据权利要求1～3任一项所述的烤炉体装置，其特征在于，所述支 路上均设有支路过流保护器。

7.  根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述支路上均设有 输出端线路工作灯。

8.  根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体上还设置 有炉体冷却水控制单元，该炉体冷却水控制单元包括供水进排水接水管口、 进排水阀门以及水路流量表。

9.  根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体的顶部设 有故障报警灯。

10.  根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体上设有控 制面板，所述控制面板上设有急停按钮、功率控制单元显示屏、电力参数设 定面板以及装置工作灯。

11.  根据权利要求10所述的烤炉体装置，其特征在于，所述电力参数设 定面板上设有至少两个功率控制器的操作键以及显示屏。

12.  根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体的侧面设 有接地接线端。

13.  根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体的底端设 有用于平行移动的脚轮，所述箱体的顶端设有用于吊运的起吊环。

说明书一种烤炉体装置
技术领域
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种在炉体制作过程中使用的可对炉体分段烘烤的烤炉体装置。
背景技术
对于使用含强化剂的保温层制作的炉体，在炉体使用之前，要对保温层进行高温烘烤处理，从而对保温层进行纯化，目前，对炉体的烘烤温度多在800℃以上，而某些高温炉体，由于保温层较厚，需要更高的温度对保温层进行纯化。
传统的烤炉体装置对炉体进行烘烤纯化的加热源是炉体自身的电阻丝，由于烘烤过程中会有碳化物、硫化物等气体溢出，这种烘烤通常是不允许在机台上进行的，而对于一些高阻值的炉体，使用传统的烤炉体装置的烘烤温度往往达不到所需温度，必须要对炉体分段单独烘烤。
现有的烤炉体装置通常具有单个输出接线端子，随着炉体保温层材料多样性的发展，以及针对不同厚度的炉体保温层，如何对炉体进行分段烘烤，已成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。
发明内容
本发明目的是提供一种在炉体制作过程中使用的可对炉体分段烘烤的烤炉体装置。
为了实现上述目的，本发明提供了一种烤炉体装置，包括用于烘烤炉体的箱体，所述箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于所述主路上，所述主路上设有供电连接端子，所述支路的端部分别设有一个输出接线端子，所述输出接线端子用于连接炉体的接入接线端子， 所述支路上均设有功率控制器，各所述功率控制器同时连接所述功率控制单元，所述功率控制单元用于向各支路上的功率控制器发送相同或不同的控制信号。
优选的，所述功率控制单元连接用于检测炉体温度的温度测量系统，所述温度测量系统将测量的温度值反馈至所述功率控制单元，所述功率控制单元处理将测量的温度值与预设的温度值进行分析对比，并发送控制信号至各功率控制器。
优选的，所述温度测量系统的包括至少两个温度测试点，所述温度测试点用于检测所述支路所对应的炉体位置的温度。
优选的，所述支路上均设有延时继电器，各所述延时继电器设置不同的延时参数，上电启动时，各支路按所对应的延时参数依次启动。
优选的，所述主路上设有主路过流保护器。
优选的，所述支路上均设有支路过流保护器。
优选的，所述支路上均设有输出端线路工作灯。
优选的，所述箱体上还设置有炉体冷却水控制单元，该炉体冷却水控制单元包括供水进排水接水管口、进排水阀门以及水路流量表。
优选的，所述箱体的顶部设有故障报警灯。
优选的，所述箱体上设有控制面板，所述控制面板上设有急停按钮、功率控制单元显示屏、电力参数设定面板以及装置工作灯。
优选的，所述电力参数设定面板上设有至少两个功率控制器的操作键以及显示屏。
优选的，所述箱体的侧面设有接地接线端。
优选的，所述箱体的底端设有用于平行移动的脚轮，所述箱体的顶端设有用于吊运的起吊环。
本发明提供烤炉体装置在供电电路的主路上并联多个支路，每个支路的端部分别设置一个输出接线端子，所述输出接线端子分别与每段被烤炉体的接线端连接，为炉体提供电力，以实现对炉体进行分段烘烤，或者所述输出接线端子分别与多台炉体的接线端连接，以实现对多台炉体同时进行烘烤。该烤炉体装置，不需要设置变压器，配置多个输出接线端子，打破了传统装 置单个输出接线端子的特点，可以达到对同台炉体分多段烘烤或者对多台多型号炉体同时烘烤的目的，使得工作效率和应用范围都得到显著的提高和拓展。
附图说明
图1为本发明所提供的烤炉体装置一种具体实施方式的左视立体结构示意图；
图2为图1中烤炉体装置的右视立体结构示意图；
图3为图1中烤炉体装置的上电原理图；
图4为图1中烤炉体装置的功率控制原理图。
其中，图1～图4中：
1、箱体；2、脚轮；3、输出接线端子；31、第一输出接线端子；32、第二输出接线端子；33、第三输出接线端子；34、第四输出接线端子；35、第五输出接线端子；4、供水进排水接管口；5、进水阀门；6、供水水流量表；7、排水阀门；8、故障报警灯；9、起吊环；10、输出端线路工作灯；11、接地线端；12、供电接线端子；13、装置上电开关；14、急停按钮；15、功率控制单元；151、温度测量系统；16、装置工作灯；18、电力参数设定面板；181、功率控制器；182、延时继电器；183、支路过流保护器；184、主路过流保护器；U1、炉体第一段接入接线端子；U2、炉体第二段接入接线端子；U3、炉体第三段接入接线端子；U4、炉体第四段接入接线端子；U5、炉体第五段接入接线端子；f、炉体。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。其次，本发明利用示意图进行了详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本发明的限定。
需要说明的是，在下述的实施例中，利用图1～4的结构示意图对按本发 明烤炉体装置进行了详细的表述。在详述本发明的实施方式时，为了便于说明，各示意图不依照一般比例绘制并进行了局部放大及省略处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定。
请参考图1～图4，图1为本发明所提供的烤炉体装置一种具体实施方式的左视立体结构示意图；图2为图1中烤炉体装置的右视立体结构示意图；图3为图1中烤炉体装置的上电原理图；图4为图1中烤炉体装置的功率控制原理图。
如图1～图3所示，本发明提供的烤炉体装置，包括用于烘烤炉体f的箱体1，箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于主路上，主路上设有供电连接端子12，支路的端部分别设有一个输出接线端子3，输出接线端子3用于连接炉体f的接入接线端子，支路上均设有功率控制器181，各功率控制器181同时连接功率控制单元15，功率控制单元15用于向各支路上的功率控制器181发送相同或不同的控制信号。
具体的方案中，供电接线端子12以及接地线端11可以设置在箱体1的一侧面，供电接线端子12是用来与厂房电源连接，在国内，工业用电厂房电源为380V。
优选的方案中，在主路上设有上电开关13，用于控制主路电路的开关，为了便于操作，上电开关13可以设置在箱体的侧面。
本实施例中，在箱体的顶面与侧面交接处设置有倾斜的控制面板，在该面板上设置有急停按钮14，用于发生紧急状况时，对装置相关功能单元及时断电而不损坏装置。
本发明提供烤炉体装置在供电电路的主路上并联多个支路，每个支路的端部分别设置一个输出接线端子3，所述输出接线端子3分别与每段被烤炉体的接线端连接，为炉体提供电力，以实现对炉体进行分段烘烤，或者所述输出接线端子分别与多台炉体的接线端连接，以实现对多台炉体同时进行烘烤。该烤炉体装置，不需要设置变压器，配置多个输出接线端子，打破了传统装置单个输出接线端子的特点，可以达到对同台炉体分多段烘烤或者对多台多型号炉体同时烘烤的目的，使得工作效率和应用范围都得到显著的提高和拓展。
具体的实施例中，如图3所示，本实施例提供的烤炉体装置提供的输出接线端子3的数量为五个，分别为第一输出接线端子31、第二输出接线端子32、第三输出接线端子33、第四输出接线端子34、第五输出接线端子35，五个输出线端子分别与同一台烤炉的五个接线端子(炉体f第一段接入接线端子U1、炉体f第二段接入接线端子U2、炉体f第三段接入接线端子U3、炉体f第四段接入接线端子U4、炉体f第五段接入接线端子U5)连接，可以理解，本发明提供的烤炉体装置的输出线端子的数量并不局限于五个，本领域技术人员在本发明的构思下可以根据需要任意设置。
如图4所示，本发明中的功率控制单元15用来设定炉体的升温曲线，其中，线升温速度、目标温度以及目标温度保持时间等控制参数可根据实际需要设定，所述功率控制单元15的控制信号输出端分别连接设置于所述支路上的功率控制器181的控制信号输入端，功率控制单元15向各功率控制器181发送控制信息，以控制每个支路的工作状态。
具体的方案中，上述的控制面板上还可以设置有电力参数设定面板18，各功率控制器181可以设置在所述电力参数设定面板18中，进一步的方案中，在电力参数设定面板18的附近位置还可以设置装置工作灯16。
优选的方案中，所述功率控制单元18的检测信号接收端与温度测量系统151的温度测试点连接，所述温度测试点151用于检测所述支路所对应的炉体位置的温度，温度测量系统151将测量的温度值反馈至功率控制单元15，功率控制单元15处理将测量的温度值与预设的温度值进行分析对比，发送控制信号至各功率控制器181。
为了保护整个电路，防止主路中电流过大造成设备故障或事故，所述主路上设有主路过流保护器184，主路过流保护器184可以设置在上电开关13的下游位置。
此外，为了保护各支路，所述支路上均设有支路过流保护器183。
具体的，本实施例中，当电路中负载较多较大时，在上电启动的瞬间，电路中会产生较大的电流，容易发生事故损坏设备，为了防止这样的情况出现，所述支路上均设有延时继电器182，各所述延时继电器182设置不同的延时参数，上电启动时，各支路依所对应的延时参数依次启动。这样，在上 电后，各个支路并不会同时接通，而是会在延时继电器的作用下依次接通，可以防止上电启动的瞬间，电路中出现较大的电流。
此外，所述支路上均设有输出端线路工作灯，同时，箱体1上还设置有炉体冷却水控制单元，用于对炉体进行水冷却，该炉体冷却水控制单元包括供水进排水接水管口4、进水阀门5、排水阀门7以及水路流量表6。
较佳的，所述箱体的底端设有用于平行移动的脚轮2，所述箱体的顶端设有用于吊运的起吊环9。
综上所述，本发明提供烤炉体装置在供电电路的主路上并联多个支路，每个支路的端部分别设置一个输出接线端子，所述输出接线端子分别与每段被烤炉体的接线端连接，为炉体提供电力，以实现对炉体进行分段烘烤，或者所述输出接线端子分别与多台炉体的接线端连接，以实现对多台炉体同时进行烘烤。该烤炉体装置，不需要设置变压器，配置多个输出接线端子，打破了传统装置单个输出接线端子的特点，可以达到对同台炉体分多段烘烤或者对多台多型号炉体同时烘烤的目的，使得工作效率和应用范围都得到显著的提高和拓展。
以上所述仅是发明的优选实施方式的描述，应当指出，由于文字表达的有限性，而在客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。