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1、(10)申请公布号 CN 103041954 A(43)申请公布日 2013.04.17CN103041954A*CN103041954A*(21)申请号 201110310338.3(22)申请日 2011.10.13B05C 11/00(2006.01)H01L 21/67(2006.01)G01F 23/22(2006.01)(71)申请人北大方正集团有限公司地址 100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层申请人深圳方正微电子有限公司(72)发明人彭亮 周华强 徐峰 熊炳辉(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291代理人黄志华(54) 发明名称一种用于旋涂。
2、设备的液位报警系统(57) 摘要本发明公开了一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括源瓶以及出液管道，还包括：液位传感器、开关电路和主机；液位传感器设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且液位传感器的设置高度与源瓶内液面的报警高度相匹配；当液位传感器检测到源瓶内的液面高度低于报警高度时，输出信号给开关电路；开关电路连接液位传感器和主机，将液位传感器的输出信号传送给所述主机；所述主机用于接收开关电路传送的信号，触发报警。本发明解决了因为旋涂装置的源瓶液位低于出液管道的下端端口时，不能及时报警或报警时已经产生气泡而导致硅片涂花的问题，且在需要换液时会减少人为因素导致的异常，同时也提高了生产。
3、效率。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书4页 附图2页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 2 页1/1页21.一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括源瓶以及出液管道，其特征在于，还包括：液位传感器、开关电路和主机；所述液位传感器，设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且所述液位传感器的设置高度与所述源瓶内液面的报警高度相匹配；当所述液位传感器检测到所述源瓶内的液面高度低于所述报警高度时，输出信号给所述开关电路；所述开关电路，连接所述液位传感器和所述主机，将所述液位传感器的输出信号传送给所述主机；所述主机用于接收所。
4、述开关电路传送的信号，触发报警。2.如权利要求1所述的用于旋涂设备的液位报警系统，其特征在于，所述液位传感器设置于固定在所述源瓶外部的连接支架上，所述连接支架与所述源瓶之间的距离在所述感应距离内。3.如权利要求2所述的用于旋涂设备的液位报警系统，其特征在于，所述源瓶上设有固定板，所述连接支架一端与所述固定板连接，另一端与所述液位传感器相连接。4.如权利要求3所述的用于旋涂设备的液位报警系统，其特征在于，所述固定板卡套于所述源瓶瓶壁外侧。5.如权利要求1所述的用于旋涂设备的液位报警系统，其特征在于，所述液位传感器设置于固定在所述源瓶外的底座上。6.如权利要求5所述的用于旋涂设备的液位报警系统，其。
5、特征在于，所述底座高度可调。7.如权利要求2或5所述的用于旋涂设备的液位报警系统，其特征在于，所述液位传感器的设置高度比所述出液管道的下端端口高5mm8mm。8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述液位传感器为电容式接近开关传感器或电感式接近开关传感器。9.如权利要求1所述的用于旋涂设备的液位报警系统，其特征在于，所述开关电路包括继电器，所述继电器的输出端与所述主机连接，其输入端与所述主机的公共端连接，两个电源端的一端接24V直流电压，一端接所述液位传感器的输出端。权 利 要 求 书CN 103041954 A1/4页3一种用于旋涂设备的液位报警系统技术领域0001 本发明涉及半导体器件生。
6、产领域，尤其涉及一种用于旋涂设备的液位报警系统。背景技术0002 在半导体制造领域，SOG(Spin on Glass)是一种由溶剂与介电质混合而成的液态介电质。因为含有SiO2或接近SiO2结构的材料，再加上本身是以旋涂的方式来涂布在芯片的表面，因此称这种液态介质为“旋涂玻璃”。SOG是一种相当简易的平坦化技术，因为介电层材料是以溶剂的形态覆盖在硅片表面，因此SOG对高低起伏外观的“沟填能力”非常好，可以避免纯粹以CVD法制作介质层时所面临的孔洞问题。0003 如图1所示，为现有技术用于旋涂玻璃的旋涂装置的结构图，包括源瓶14、出液管道12、以及设置于出液管道12上的气泡传感器13，气泡传感。
7、器13设置在源瓶14外侧的上端，安装在八分之一英寸的出液管道12的上方，并且使得出液管道12穿过气泡传感器13，气泡传感器13便可以检测到源瓶14中是否还有液体。当源瓶14中液位低于出液管道12的下端端口时，气泡进入到出液管道12中，出液管道12中有气泡产生，气泡传感器13在检测到存在气泡时出现报警，于是停止硅片工艺。0004 现有技术的缺点是：0005 当出现报警时，出液管道中已经有气泡，极易造成当前硅片涂花；另外，当瞬间出现气泡时，气泡传感器不易感应到，以至不能及时报警；0006 当报警后，后续的硅片将需要手动取出，更换液源后才可以继续工艺，处理起来会非常繁琐，并易造成硅片的人为划伤。发明。
8、内容0007 本发明的目的在于提供用于旋涂设备的液位报警系统，解决了因为旋涂装置的源瓶液位低于出液管道的下端端口时，不能及时报警或报警时已经产生气泡而导致硅片涂花的问题，且在需要换液时会减少人为因素导致的异常，同时也提高了生产效率。0008 本发明还提供一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括源瓶以及出液管道，还包括：液位传感器、开关电路和主机；0009 所述液位传感器，设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且所述液位传感器的设置高度与所述源瓶内液面的报警高度相匹配；当所述液位传感器检测到所述源瓶内液面的高度低于所述报警高度时，输出信号给所述开关电路；0010 所述开关电路，连接所述液。
9、位传感器和所述主机之间，将所述液位传感器的输出信号关传送给所述主机；0011 所述主机，用于接收所述开关电路传送的信号，触发报警。0012 本发明相比现有技术的优点：0013 本发明提供的用于旋涂设备的液位报警系统，在发出报警后，出液管道中实际上还有旋涂玻璃SOG液体，不会对当前硅片有影响；并且在安装时将液位传感器的设置高度说 明 书CN 103041954 A2/4页4与液位的报警高度相匹配，当检测到所述源瓶内液面的高度低于所述报警高度时，输出信号给开关电路；再由开关电路将信号输送给主机，进行报警，本发明在发出报警后，还可以工艺多片硅片，但出液管道中仍然不会有气泡产生，这样方便工程师处理故障。
10、，提高了设备利用率；本发明减少了手动取片可能导致的划伤等问题，简化了制备工艺，节约了设备和资材成本。附图说明0014 图1为现有技术的SOG旋涂设备的结构示意图；0015 图2为本发明系统实施例一的装置结构示意图；0016 图3为本发明系统实施例一的系统控制电路图；0017 图4为本发明系统实施例二结构剖面图。具体实施方式0018 本发明的目的在于，提供一种用于旋涂设备的液位报警系统，解决了因为旋涂装置的源瓶液位低于出液管道的下端端口时，不能及时报警或报警时已经产生气泡而导致硅片涂花的问题，且在需要换液时会减少人为因素导致的异常，同时也提高了生产效率。0019 本发明提供一种用于旋涂设备的液位。
11、报警系统，包括源瓶以及出液管道，还包括：液位传感器、开关电路和主机；0020 所述液位传感器设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且所述液位传感器的设置高度与所述源瓶内液面的报警高度相匹配；当所述液位传感器检测到所述源瓶内的液面高度低于所述报警高度时，输出信号给所述开关电路；0021 所述开关电路连接所述液位传感器和所述主机，将所述液位传感器的输出信号关传送给所述主机；0022 所述主机用于接收所述开关电路传送的信号，触发报警。0023 优选的，所述液位传感器设置于固定在所述源瓶外部的连接支架上，所述连接支架与所述源瓶之间的距离在所述感应距离内。0024 较优的，所述源瓶上设有固定。
12、板，所述连接支架一端与所述固定板连接，另一端与所述液位传感器相连接。0025 更优的，所述固定板卡套于所述源瓶瓶壁外侧。0026 优选的，所述液位传感器设置于固定在所述源瓶外的底座上。0027 较优的，所述底座高度可调。0028 优选的，所述液位传感器的设置高度比所述出液管道的下端端口高5mm8mm。0029 较优的，所述液位传感器为电容式接近开关传感器或电感式接近开关传感器。0030 优选的，所述开关电路包括继电器，所述继电器的输出端与所述主机连接，其输入端与所述主机的公共端连接，两个电源端的一端接24V直流电压，一端接所述液位传感器的输出端。0031 下面结合附图及实施方式对本发明进一步进。
13、行描述，本发明提供一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括电容式接近开关传感器或电感式接近开关传感器，并且通过将液位传感器在其感应距离内设定合适的高度，用于监测源瓶内液面的高度。说 明 书CN 103041954 A3/4页50032 如图2所示，为本发明系统实施例一的结构示意图，包括源瓶31及出液管道12，其中，出液管道12一端伸入到源瓶31的底部位置，用于将源瓶31中的旋涂玻璃SOG液体排出，加工硅片使用。在源瓶31外侧固定设置一个底座22，并且将其控制在液位传感器感应距离范围内，底座22的高度可调，即具有伸缩功能，在底座22的上面设有液位传感器21，本实施例中的液位传感器21为电容式接近开关。
14、传感器，通过调节底座22的高度，使传感器21的高度设定与达到液位报警的高度相匹配，具体将液位传感器21的高度设置于高于出液管道12的下端端口5mm8mm，当源瓶内的液体低于液位传感器21的设定高度时，液位传感器21发出信号，并通过开关电路(参照图3)触发主机(参照图3)报警。0033 如图3所示，为本发明系统实施例一的系统控制电路图，液位传感器1设置在源瓶31外能有效检测源瓶31内液位的感应距离内；且液位传感器1的设置高度与源瓶31内液面的报警高度相匹配；当液位传感器1检测到源瓶31内液面的高度低于所述报警高度时，输出信号给所述开关电路；所述开关电路连接液位传感器1和主机3，将液位传感器1的输。
15、出信号关传送给主机3。0034 其中，所述开关电路包括继电器2，液位传感器1有一电源端接地6，另一电源端接24V直流电压5，继电器2有四个引脚，分别为两个电源端口及一个输出端、一个输入端，两个电源端的一端接24V直流电压5，另一端接液位传感器1的输出端；其输出端与主机3连接，输入端接主机公共端4。当液位传感器1检测到源瓶31内的液面高度低于液位传感器1的设定高度时，电路的稳定性改变，由高电平转为低电平，使继电器2的电源端通电，继电器2吸合，主机3与公共端4导通，公共端为低电平，触发主机3报警信号。0035 如图4所示，为本发明系统的实施例二的结构剖面图，包括源瓶31，将源瓶31设置于平台36上。
16、，其中平台36设置于底板32上，源瓶壁的外侧设有固定板35，连接支架34的上部与固定板35连接，连接支架34的下端与液位传感器33连接，在液位传感器33与源瓶31之间设有隔垫物，防止液位传感器33与源瓶31接触，连接支架34起固定液位传感器33的作用，使液位传感器33的高度高于出液管道下端端口5mm8mm，当源瓶31内的液体低于液位传感器33的设定高度时，液位传感器33发出信号，并通过开关电路触发主机报警。0036 综上所述，本发明提供用于旋涂设备的液位报警系统，在发出报警时，出液管道中实际上还有旋涂玻璃SOG液体，也就是出液管道的下端端口并未离开液面，从而不会产生气泡，也就不会使当前硅片被涂。
17、花；并且可以调节对应报警时液位高度的液位传感器的高度，即使出现报警后，也可以继续旋涂多片硅片后，而出液管道中仍然不会有气泡；另外，本发明方便工程师处理故障，提高了设备利用率，减少了手动取片可能导致的硅片划伤等问题，在提高制备精度的同时，简化了制备工艺，节约了设备和资材成本。0037 本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一。
18、个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。0038 这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特说 明 书CN 103041954 A4/4页6定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。0039 这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，。
19、从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。0040 尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。0041 显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。说 明 书CN 103041954 A1/2页7图1图2图3说 明 书 附 图CN 103041954 A2/2页8图4说 明 书 附 图CN 103041954 A。