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1、(10)申请公布号 CN 104330958 A(43)申请公布日 2015.02.04CN104330958A(21)申请号 201410574835.8(22)申请日 2014.10.25G03F 7/32(2006.01)(71)申请人江阴市化学试剂厂有限公司地址 214421 江苏省无锡市江阴市华士镇向阳桥堍(72)发明人朱祥龙(74)专利代理机构江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210代理人唐纫兰 隋玲玲(54) 发明名称正胶显影液制备方法(57) 摘要本发明涉及一种正胶显影液制备方法，其特征在于，所述方法是将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀。
2、释，在配置罐中按照2.53:0.51.2:0.51.2的质量比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，所述聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾的通入总量为0.1%0.3%，使得最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.37%2.39%，经过滤得成品。本发明正胶显影液制备方法生产出的正胶显影液具有低表面张力，可避免与二氧化碳反应，产品表面无斑点。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书3页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书3页(10)申请公布号 CN 104330958 ACN 104330958 A1/1页21.一种正胶显影液制备方法，其特征在于，所述方法是。
3、将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释，在配置罐中按照2.53:0.51.2: 0.51.2的质量比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，所述聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾的通入总量为0.1% 0.3%，使得最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.37%2.39%，经过滤得成品。2.根据权利要求1所述的正胶显影液制备方法，其特征在于，在通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾前，将四甲基氢氧化铵稀释至2.4%。3.根据权利要求1所述的正胶显影液制备方法，其特征在于，制备环境万级，罐装区百级。4.根据权利要求1-3之一所述的正胶显影液制备方法，其特征在于，通入的聚。
4、乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾的质量比为3:1:1。5.根据权利要求4所述的正胶显影液制备方法，其特征在于，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释至2.4%，在配置罐中按照质量比3:1:1的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.38%，经过滤得成品。权 利 要 求 书CN 104330958 A1/3页3正胶显影液制备方法技术领域0001 本发明涉及一种正胶显影液制备方法。背景技术0002 TMAH，即四甲基氢氧化铵可以作为光刻制程中的正胶显影液。对于大尺寸的产品，需要先在碱洗槽中使用正胶显影液对产品进行显影，然后将产品。
5、取出，再用清水冲洗，产品取出后一般希望正胶显影液尽可能少量的附着于产品表面便于后续的清水冲洗，因此需要正胶显影液具有较低的表面张力。在产品取出碱洗槽后残余在产品上的正胶显影液后会暴露在空气中，残余在产品上的TMAH会与空气中的二氧化碳发生反应，在产品上形成斑点，后经过清水冲洗也难以去除，影响产品质量。因此寻求一种生产出的正胶显影液具有低表面张力，避免与二氧化碳反应的正胶显影液制备方法尤为重要。发明内容0003 本发明的目的在于克服上述不足，提供一种生产出的正胶显影液具有低表面张力，避免与二氧化碳反应的正胶显影液制备方法。0004 本发明的目的是这样实现的：一种正胶显影液制备方法，所述方法是将四。
6、甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释，在配置罐中按照2.53:0.51.2: 0.51.2的质量比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，所述聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾的通入总量为0.1% 0.3%，使得最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.37%2.39%，经过滤得成品。0005 进一步的，在通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾前，将四甲基氢氧化铵稀释至2.4%。0006 进一步的，制备环境万级，罐装区百级。0007 进一步的，通入的聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾的质量比为3:1:1。0008 优选方案，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯。
7、水，对四甲基氢氧化铵进行稀释至2.4%，在配置罐中按照质量比3:1:1的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.38%，经过滤得成品。0009 与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明正胶显影液制备方法，通入的聚乙二醇为表面活性剂，可以使得正胶显影液成品的表面张力由传统的7576达因降低至4852达因，通入的氢氧化钾为添加剂，使得正胶显影液成品在空气中先由氢氧化钾于二氧化碳发生反应，从而避免四甲基氢氧化铵与二氧化碳接触发生反应，避免形成斑点。氨气通入其中，形成氨水，置于空气中会产生冒烟现象，进一步阻隔四甲基氢氧化铵与空气接触。具体实施方式说 明 书CN 10。
8、4330958 A2/3页40010 实施例1一种正胶显影液制备方法，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对高纯四甲基氢氧化铵（浓度25%）进行稀释，稀释至2.4%，在配置罐中按照3:1:1的质量比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，使得最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.38%，经过滤得成品。制备环境万级、罐装区百级。0011 制得的正胶显影液表面张力为49达因，使用过程中，浸润性好，使用后，产品表面无斑点，显影效果好。0012 实施例2一种正胶显影液制备方法，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释至2.4%，在配置罐中按照质量比3:1:1的。
9、比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.36%，经过滤得成品。制备环境万级、罐装区百级。0013 制得的正胶显影液表面张力为48达因，使用过程中，浸润性好，使用后，产品表面无斑点，显影效果好。0014 实施例3一种正胶显影液制备方法，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释至2.4%，在配置罐中按照质量比2.5:1:1的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.38%，经过滤得成品。制备环境万级、罐装区百级。0015 制得的正胶显影液表面张力为50达因，使用过程中，浸润性好，使用后，产品表面无斑。
10、点，显影效果好。0016 实施例4一种正胶显影液制备方法，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释，稀释至2.4%，在配置罐中按照质量比2.5:1:1.2的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.37%，经过滤得成品。制备环境万级、罐装区百级。0017 制得的正胶显影液表面张力为52达因，使用过程中，浸润性好，使用后，产品表面无斑点，显影效果好。0018 实施例5一种正胶显影液制备方法，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释，稀释至2.4%，在配置罐中按照质量比3:1:1.2的比例通入聚乙二。
11、醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.39%，经过滤得成品。制备环境万级、罐装区百级。0019 制得的正胶显影液表面张力为51达因，使用过程中，浸润性好，使用后，产品表面无斑点，显影效果好。0020 实施例6一种正胶显影液制备方法，将四甲基氢氧化铵输送至配置罐中，向配置罐通入纯水，对四甲基氢氧化铵进行稀释，稀释至2.4%，在配置罐中按照质量比3:0.8:1.2的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨气以及氢氧化钾，最终四甲基氢氧化铵的浓度为2.39%，经过滤得成品。说 明 书CN 104330958 A3/3页5制备环境万级、罐装区百级。0021 制得的正胶显影液表面张力为50达因，使用过程中，浸润性好，使用后，产品表面无斑点，显影效果好。说 明 书CN 104330958 A。