钼IV酰胺前驱物和其在原子层沉积中的用途.pdf

摘要
申请专利号：	CN201180041532.4	申请日：	2011.08.25
公开号：	CN103097394A	公开日：	2013.05.08
当前法律状态：	授权	有效性：	有权
法律详情：	专利权的转移IPC(主分类):C07F 11/00登记生效日:20171220变更事项:专利权人变更前权利人:辛格玛艾瑞契有限责任公司变更后权利人:默克专利股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:美国密苏里州变更后权利人:德国达姆施塔特\|\|\|授权\|\|\|实质审查的生效IPC(主分类):C07F 11/00申请日:20110825\|\|\|公开
IPC分类号：	C07F11/00; C07F17/00; C23C16/40	主分类号：	C07F11/00
申请人：	辛格玛艾瑞契有限责任公司
发明人：	彼得·尼古拉·海斯; 拉杰什·奥德德拉; 萨拉赫·路易斯·欣德利
地址：	美国密苏里州
优先权：	2010.08.27 US 61/377,692
专利代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287	代理人：	章蕾
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内容摘要

本文揭示钼(IV)酰胺络合物，其结构对应于式(I)：其中L为--NR1R2；R1和R2为C1-C6烷基或氢；R为C1-C6烷基；且n为0、1、2或3。此外，本文揭示采用式(I)络合物和Mo[N(Me)(Et)]4通过原子层沉积(ALD)来形成MoO2膜的方法。

权利要求书

权利要求书一种络合物Mo[N(Me)(Et)]4。
一种通过原子层沉积来形成MoO2膜的方法，所述方法包括将Mo[N(Me)(Et)]4传送到衬底。
一种Mo(IV)络合物，其结构对应于式I：

其中：
L为‑‑NR1R2；
R1和R2独立地为C1‑C6烷基或氢；
R为C1‑C6烷基；且
n为0、1、2或3，其中当n为0时，R1和R2彼此不同。
根据权利要求3所述的络合物，其中
R1和R2独立地为甲基、乙基或丙基；
R为甲基、乙基或丙基；并且
n为0、1或2。
根据权利要求3所述的络合物，其中
R1和R2相同；
R为甲基；并且
n为0、1或2。
根据权利要求3所述的络合物，其中
R1为甲基并且R2为乙基；
R为甲基；并且
n为0、1或2。
根据权利要求3所述的络合物，其中所述结构对应于式I的络合物选自由以下所组成的群组：
(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(丙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(丙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及
(丙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。
根据权利要求3所述的络合物，其中所述结构对应于式I的络合物选自由以下所组成的群组：
(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及
(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。
一种通过原子层沉积来形成MoO2膜的方法，所述方法包括将至少一种前驱物传送到衬底，其中所述至少一种前驱物的结构对应于式I：

其中：
L为‑‑NR1R2；
R1和R2独立地为C1‑C6烷基或氢；
R为C1‑C6烷基；并且
n为0、1、2或3。
根据权利要求9所述的方法，其中：
R1和R2独立地为甲基、乙基或丙基；
R为甲基、乙基或丙基；并且
n为0、1或2。
根据权利要求9所述的方法，其中
R1和R2相同；
R为甲基；并且
n为0、1或2。
根据权利要求9所述的方法，其中
R1为甲基并且R2为乙基；
R为甲基；并且
n为0、1或2。
根据权利要求9所述的方法，其中所述至少一种结构对应于式I的前驱物选自由以下所组成的群组：
(环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(丙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(丙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及
(丙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。
根据权利要求9所述的方法，其中所述至少一种结构对应于式I的前驱物选自由以下所组成的群组：
(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；
(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及
(环戊二烯基)Mo(NMe2)3。
根据权利要求9所述的方法，其中所述原子层沉积选自由光辅助原子层沉积、液体注入原子层沉积和等离子体辅助原子层沉积所组成的群组。
根据权利要求9所述的方法，其中将所述前驱物以脉冲方式与选自H2O、H2O2、O2、臭氧、iPrOH、tBuOH和N2O的氧源脉冲交替沉积到所述衬底上。
根据权利要求9所述的方法，其中将至少两种结构对应于式I的前驱物传送到所述衬底，以通过原子层沉积形成MoO2膜。
根据权利要求9所述的方法，其进一步包括将至少一种共前驱物传送到所述衬底，以通过原子层沉积形成混合金属膜。
根据权利要求9所述的方法，其中将所述至少一种结构对应于式I的前驱物在传送到所述衬底之前溶解于溶剂中。
根据权利要求19所述的方法，其中将所述至少一种结构对应于式I的前驱物呈纯物质传送到所述衬底。
根据权利要求9所述的方法，其中所述MoO2膜用于存储器和/或逻辑应用。

说明书

说明书钼(IV)酰胺前驱物和其在原子层沉积中的用途
相关申请案的交叉参考
本申请案主张2010年8月27日提交的美国专利申请案第61/377,692号的优先权，后者的全部揭示内容以引用的方式并入本文。
技术领域
本发明涉及钼(Mo)(IV)酰胺前驱物和采用此类前驱物通过原子层沉积(ALD)来制备MoO2膜的方法。
背景技术
ALD为已知的薄膜沉积方法。其为一种自限性、连续独特的膜生长技术，此项技术以表面反应为基础并且可提供原子层控制，并且将由前驱物所提供的材料的保形薄膜沉积到不同组成的衬底上。在ALD中，在反应期间分离前驱物。第一前驱物通过衬底并在所述衬底上形成单层。将任何过量的未反应前驱物泵出反应室。接着第二前驱物通过所述衬底并与第一前驱物反应，从而在所述衬底表面上形成单层膜。重复此循环以得到所需厚度的膜。
ALD方法可应用在纳米技术和半导体元件(例如电容器电极、栅电极、粘合剂扩散障壁以及集成电路)的制造中。此外，在微电子学和光电子学的许多子领域内需要具有高介电常数(电容率)的介电薄膜。随着微电子组件的尺寸持续缩小，使得使用此类介电膜的需求日益增加。
格林，J.(Green，J.)等人报道了Mo络合物Mo(C5H5)(NMe2)3的合成与分离。化学学会会志(J.Chem.Soc.)，道耳顿会刊(Dalton Trans.)，1997，第3219‑3224页。
美国专利第5,064,686号报道了一种用于化学气相沉积(CVD)的Mo(IV)络合物。在CVD中尝试使用Mo[N(Me)(Me)]4。然而，在CVD中注意到热稳定性问题并且已发现虽然此前驱物在结构上类似，但它并不适合用于沉积MoO2层。
此外，发现Mo(NtBu)2(NMe2)2对通过ALD来形成MoO2膜并不能产生良好效果，原因在于其形成了不适于DRAM的MoO3膜。因此需要发现新的Mo前驱物，其能够通过ALD沉积MoO2膜，其具有改善的热稳定性、较高的挥发性或提高的沉积速率。
发明内容
在一个实施例中，提供一种络合物，其结构对应于式I：

其中L为‑‑NR1R2；R1和R2为C1‑C6烷基或氢；R为C1‑C6烷基；并且n为0、1、2或3。
在另一实施例中，提供一种通过ALD形成MoO2膜的方法。所述方法包括将至少一种前驱物传送到衬底，其中所述至少一个前驱物结构对应于上述式I。
在另一实施例中，提供络合物Mo[N(Me)(Et)]4和其在ALD中形成MoO2膜的用途。
其它实施例(包括以上概述的实施例的特定方面)将从以下详细描述中获悉详情。
附图说明
图1为显示Mo[N(Me)(Et)]4的毫克数相对于温度/时间的热重量分析(TGA)数据的图示。
具体实施方式
在本发明的多个方面中，提供Mo(IV)酰胺前驱物，并且提供其使用方法以通过ALD来形成MoO2膜。
在一个实施例中，可使用本发明的方法来形成或生长出显示高介电常数的含Mo薄膜。如本文所使用的介电薄膜意指具有高电容率的薄膜。
如本文所使用，术语“前驱物”意指有机金属分子、络合物和/或化合物，其被传送到衬底用于沉积，以通过ALD形成薄膜。
术语“Cp”意指与过渡金属结合的环戊二烯基(C5H5)配体。如本文所使用，Cp配体的全部五个碳原子通过π键结以η5配位结合到金属中心，因此本发明的前驱物为π络合物。
术语“烷基”意指长度为1到约6个碳原子的饱和烃链，例如(但不限于)甲基、乙基、丙基以及丁基。烷基团可为直链或支链。举例来说，如本文所使用，丙基包含正丙基和异丙基；丁基包含正丁基、仲丁基、异丁基以及叔丁基。此外，如本文所使用，“Me”意指甲基，并且“Et”意指乙基。
术语“氨基”在本文中意指任选取代的单价氮原子(即，‑NR1R1，其中R1和R2可相同或不同)。本发明所包含的氨基的实例包括(但不限于)以及此外，此氨基的氮原子以共价方式结合到金属中心，其一起可称为“酰胺”基团(即)。此又可称为“氨基(ammono)”基团或无机酰胺。
在第一实施例中，提供一种“琴凳”络合物，其结构对应于式I：

其中L为‑‑NR1R2；R1和R2独立地为C1‑C6烷基或氢；R为C1‑C6烷基；并且n为0、1、2或3。
R1和R2可相同或不同。在一个特定实施例中，R1和R2均为甲基。在另一个特定实施例中，R1为甲基并且R2为乙基。
在又一实施例中，当n为0时，R1和R2彼此不同。
在一个实施例中，R1和R2独立地为甲基、乙基或丙基；R为甲基、乙基或丙基；并且n为0、1或2。
在另一实施例中，R1和R2相同；R为甲基；n为0、1或2。
在另一实施例中，R1为甲基并且R2为乙基；R为甲基；并且n为0、1或2。
结构对应于式I的络合物的实例为：
(环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(丙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(丙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；
(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；
(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；
(乙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及
(丙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。
在另一实施例中，用另一酰胺基团取代Mo(IV)酰胺络合物上的环戊二烯基环，形成四酰胺：Mo[N(Me)(Et)]4。
将依据式I的络合物和Mo[N(Me)(Et)]4用作前驱物，以通过ALD形成MoO2膜。可以脉冲方式，与适当氧源(例如H2O、H2O2、O2、臭氧、iPrOH、tBuOH或N2O)脉冲交替将本文所揭示的前驱物传送到衬底以供沉积。
在一个实施例中，可通过独立传送或与一种共反应剂组合传送至少一种依据式I的前驱物，以供沉积，从而形成MoO2膜。此类共反应剂的实例包括(但不限于)氢、氢等离子体、氧气、空气、水、H2O2、氨、肼、烷基肼、硼烷、硅烷、臭氧或其任何组合。
在本发明的方法中可使用多种衬底。举例来说，可将依据式I的前驱物或Mo[N(Me)(Et)]4传送到衬底(例如(但不限于)硅、氧化硅、氮化硅、钽、氮化钽或铜)上以供沉积。
本发明的ALD方法包括多种类型的ALD方法。举例来说，在一个实施例中，采用传统的ALD来形成本发明的含金属膜。有关传统和/或脉冲注入的ALD方法可参见(举例来说)乔治S.M.(George S.M.)等人，物理化学杂志(J.Phys.Chem.)1996.100：13121‑13131。
在又一实施例中，采用液体注入ALD来形成含金属膜，其中液体前驱物不采用利用(传统)鼓泡器的蒸汽牵引，而是以直接液体注入方式传送到反应室。有关液体注入ALD方法可参见(举例来说)R.J.等人，化学气相沉积(Chem.Vap.Deposition.)2005.11(3)：159。
液体注入ALD生长条件的实例包括(但不限于)：
(1)衬底温度：Si(100)上160‑300℃
(2)蒸发器温度范围：约120‑200℃
(3)反应器压力范围：约2‑50毫巴
(4)溶剂：甲苯，或任何上述溶剂
(5)溶液浓度范围：约0.05到2M
(6)注入速率范围：每脉冲约1‑10μl(每周期4个脉冲)
(7)惰性气体流动速率：约50‑500cm3min‑1
(8)脉冲顺序(秒)(前驱物/净化/H2O/净化)：将依据腔室大小变化。
(9)循环次数：将依据所需膜厚度而变化。
前驱物可溶解在适当的烃或胺溶剂中。适当的烃溶剂包括(但不限于)脂肪族烃，例如己烷、庚烷和壬烷；芳香烃，例如甲苯和二甲苯；脂肪族和环醚，例如二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚和四甘醇二甲醚。适当的胺溶剂的实例包括(但不限于)辛胺和N，N‑二甲基十二胺。举例来说，前驱物可溶解于甲苯中，以得到0.05到1M的溶液。
在另一实施例中，可将至少一种结构对应于式I的前驱物和/或Mo[N(Me)(Et)]4呈“纯物质”(未经运载气体稀释)传送到衬底。
在另一实施例中，采用光辅助ALD来形成含金属膜。有关光辅助ALD方法可参见(举例来说)美国专利第4,581,249号。
在另一实施例中，可采用液体注入和光辅助ALD两者，并且使用至少一种结构对应于式I的前驱物和/或Mo[N(Me)(Et)]4来形成含金属膜。
在另一实施例中，可采用等离子体辅助ALD，并且使用至少一种结构对应于式I的前驱物和/或Mo[N(Me)(Et)]4来形成含金属膜。
因此，在这些方法中所使用的结构对应于式I的有机金属前驱物和Mo[N(Me)(Et)]4可为液体、固体或气体。特定而言，前驱物在周围温度下为液体，且具有高蒸汽压力以不断地输送蒸汽到处理室。
ALD实质上依赖于化学反应而非热分解。因此，为适当前驱物所需的特征存在根本差异。所述前驱物在所采用的温度下必须为热稳定的，且应具有足够的挥发性，以允许沉积到衬底上。此外，当沉积金属氧化物膜时，在金属前驱物与氧化物源之间需要快速又完全的化学反应。然而，反应应仅在衬底表面发生，以免损害下层结构，且应可容易地自表面移除副产物(例如碳和氢)。
已发现Cp环的取代和连接到金属中心的三个相同配体的变化在ALD方法中展示有用且得到改善的性质。举例来说，式I的前驱物提高通过ALD沉积MoO2膜的能力，其生长速率接近采用简单金属酰胺时的生长速率，但由于提高了热稳定性而可在较高温度下操作，此使得产品品质得到改善。此外，使用琴凳型Mo(IV)酰胺络合物可通过使分子极化以容许与表面反应而增强ALD性能，所述表面的自限性膜生长可达饱和状态，以达到优良的保形控制。
在特定实施例中，本发明的方法被用于例如硅芯片的衬底上的应用，例如用于存储和逻辑应用的动态随机存取存储器(DRAM)和互补金属氧化物半导体(CMOS)。
在又一实施例中，提供通过ALD来形成“混合”金属膜的方法。本文所使用的术语“混合”金属膜指至少由两种不同金属构成所述膜。
在一个实施例中，通过传送至少一种依据式I的前驱物和/或Mo[N(Me)(Et)]4和至少一种具有不同金属中心的共前驱物通过ALD沉积来形成混合金属膜。举例来说，可将至少一种依据式I的Mo前驱物和/或Mo[N(Me)(Et)]4和至少一种适当的共前驱物(例如铅、钛、锶和/或钡前驱物)传送到衬底进行沉积，从而产生混合金属膜。
利用本发明方法所形成的薄膜具有介于10和250之间、优选为至少25到40且更优选为至少40到100的电容率。此外，高于100的值可被认为是超高电容率。所属领域的一般技术人员应了解，所得膜的电容率取决于许多因素，例如用于沉积的金属、所形成的膜的厚度、在生长以及随后的处理期间所采用的参数和衬底。
实例
以下实例仅为说明性的，并不以任何方式限制本发明。所有的操作均在惰性气氛中使用手套箱和史兰克管技术(Schlenk line technique)进行。使用布鲁克250MHz仪器(Bruker250MHz machine)进行NMR分析。
实例1‑Mo(NMeEt)4的合成
使用标准技术从nBuLi和HNEtMe制备N‑乙基，甲基胺化锂。在4小时时间内将N‑乙基甲基胺(65.6g，1.1摩尔)逐滴滴加到nBuLi(680ml，1.6M己烷溶液，已用冰浴冷却到0℃)。在已添加所有胺后，立即加热所述混合物至室温，接着搅拌过夜。将THF(250ml)添加到此混合物中，且搅拌此混合物1小时，接着在冰浴中冷却到0℃。将MoCl5(50.2g，0.18摩尔，由于混合物会大量放热并且喷溅，所以应在8小时时间内以每小份约1‑2g分次添加)添加到此混合物中。一旦所有的MoCl5添加完毕，就将此深褐色(近乎黑色)反应混合物加热到室温，接着回流1小时。冷却混合物并接着搅拌过夜。使用标准技术使所述混合物沉降(LiCl)并过滤。从反应混合物汽提出溶剂，接着将紫色液体从所述反应混合物升华/蒸馏出来，得到紫色液体。
蒸馏条件：压力范围3.5×10‑2托(Torr)和油浴温度100‑110℃。
Mo(NEtMe)4NMRδ，ppm‑(积分值)分布 1.17(12H)乙基CH3，即NCH2CH3 3.22(8H)乙基CH2，即NCH2CH3 3.49(12H)氮上的甲基，即NCH3
图1展示Mo(NMeEt)4的TGA数据。
实例2‑[Mo(MeCp)(NEtMe)3]的合成
向已在冰浴中冷却到0℃的Mo(NEtMe)4(如上述制备，3.3g，0.01摩尔)的深紫色甲苯溶液(60ml)中添加新近裂化的MeCpH(4g，0.05摩尔，经由注射添加)。未立即观察到颜色变化，因此在室温下搅拌所述混合物2小时。仍未观察到颜色变化，因而让所述混合物回流3小时，以得到深绿色溶液。从反应混合物汽提出甲苯，得到深绿色液体。
Mo(MeCp)(NEtMe)31.00，(9H)乙基CH3，即CH2CH3 1.60，(3H)Cp环上的甲基，即MeCp 2.95，(9H)氮上甲基，即NCH3 3.15，(6H)乙基CH2，即NCH2CH3 4.95(2H)Cp环氢 5.15，(2H)Cp环氢
实例3‑使用[Mo(MeCp)(NEtMe)3]的ALD
在定制的ALD反应器中沉积MoO2膜。Mo(MeCp)(NEtMe)3和臭氧用作前驱物。将MoO2膜沉积在硅晶片衬底上。在沉积之前，通过切割所述晶片(1英寸×1/2英寸)并用1％HF抛光来制备晶片衬底。
生长温度为200‑350℃。生长压力为0.5‑1.5托(Torr)。用30sccm的干氮连续净化所述反应器。所述反应器中的所有用计算机控制的阀均为购自卡洪(Cajon)的气动型ALDVCR阀。
将臭氧充分净化。将钼存储在不锈钢安瓿中。ALD阀直接与所述安瓿相连。此ALD阀的出口与用于氮气注入的另一ALD阀成T形。T形出口端管连接到500cm3不锈钢储槽。所述储槽的出口连接到称为注入阀的第三ALD阀，其出口直接通向所述反应器。注入氮气用于建立钼注入阀后面的总压力，以使所述压力高于反应器生长压力。使用30微米的针孔VCR垫片完成氮气注入。所有的阀和安瓿均置于炉形箱中，使安瓿、阀和导管均匀加热到50℃到250℃。
在ALD生长操作期间，阀以以下方式排序。将钼前驱物引至活化硅表面。接着进行氮气净化，其包括抽气以移除剩余的未附着到表面的反应剂分子。接着引入臭氧，随后再用氮气进行净化。接着注入臭氧以重新开始ALD循环。
循环的总数量一般为300次。
本文所引用的全部专利和公开案以全文引用方式并入到本申请案中。
用词“包括(comprise)”、“包括(comprises)”和“包括(comprising)”应解释为涵盖含义而非穷举含义。

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1、(10)申请公布号 CN 103097394 A(43)申请公布日 2013.05.08CN103097394A*CN103097394A*(21)申请号 201180041532.4(22)申请日 2011.08.2561/377,692 2010.08.27 USC07F 11/00(2006.01)C07F 17/00(2006.01)C23C 16/40(2006.01)(71)申请人辛格玛艾瑞契有限责任公司地址美国密苏里州(72)发明人彼得尼古拉海斯拉杰什奥德德拉萨拉赫路易斯欣德利(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287代理人章蕾(54) 发明名称钼(IV)酰。

2、胺前驱物和其在原子层沉积中的用途(57) 摘要本文揭示钼(IV)酰胺络合物，其结构对应于式(I)：其中L为-NR1R2；R1和R2为C1-C6烷基或氢；R为C1-C6烷基；且n为0、1、2或3。此外，本文揭示采用式(I)络合物和MoN(Me)(Et)4通过原子层沉积(ALD)来形成MoO2膜的方法。(30)优先权数据(85)PCT申请进入国家阶段日2013.02.27(86)PCT申请的申请数据PCT/US2011/049155 2011.08.25(87)PCT申请的公布数据WO2012/027575 EN 2012.03.01(51)Int.Cl.权利要求书3页说明书6页附图1页(19。

3、)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书3页说明书6页附图1页(10)申请公布号 CN 103097394 ACN 103097394 A1/3页21.一种络合物MoN(Me)(Et)4。2.一种通过原子层沉积来形成MoO2膜的方法，所述方法包括将MoN(Me)(Et)4传送到衬底。3.一种Mo(IV)络合物，其结构对应于式I：其中：L为-NR1R2；R1和R2独立地为C1-C6烷基或氢；R为C1-C6烷基；且n为0、1、2或3，其中当n为0时，R1和R2彼此不同。4.根据权利要求3所述的络合物，其中R1和R2独立地为甲基、乙基或丙基；R为甲基、乙基或丙基；并且n为0、。

4、1或2。5.根据权利要求3所述的络合物，其中R1和R2相同；R为甲基；并且n为0、1或2。6.根据权利要求3所述的络合物，其中R1为甲基并且R2为乙基；R为甲基；并且n为0、1或2。7.根据权利要求3所述的络合物，其中所述结构对应于式I的络合物选自由以下所组成的群组：(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(乙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(丙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(甲基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；(乙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；(丙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；(乙基环戊二烯基)Mo(NM。

5、eEt)3；以及权利要求书CN 103097394 A2/3页3(丙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。8.根据权利要求3所述的络合物，其中所述结构对应于式I的络合物选自由以下所组成的群组：(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。9.一种通过原子层沉积来形成MoO2膜的方法，所述方法包括将至少一种前驱物传送到衬底，其中所述至少一种前驱物的结构对应于式I：其中：L为-NR1R2；R1和R2独立地为C1-C6烷基或氢；R为C1-C6烷基；并且n为0、1、2或3。10.根据权利要求9所述的方法，其中：R1和R2独立。

6、地为甲基、乙基或丙基；R为甲基、乙基或丙基；并且n为0、1或2。11.根据权利要求9所述的方法，其中R1和R2相同；R为甲基；并且n为0、1或2。12.根据权利要求9所述的方法，其中R1为甲基并且R2为乙基；R为甲基；并且n为0、1或2。13.根据权利要求9所述的方法，其中所述至少一种结构对应于式I的前驱物选自由以下所组成的群组：(环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(乙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(丙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(甲基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；权利要求书CN 103097394 A3/3页4(乙基环戊二烯基)Mo(N。

7、Et2)3；(丙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；(乙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及(丙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。14.根据权利要求9所述的方法，其中所述至少一种结构对应于式I的前驱物选自由以下所组成的群组：(甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；(甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；(环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及(环戊二烯基)Mo(NMe2)3。15.根据权利要求9所述的方法，其中所述原子层沉积选自由光辅助原子层沉积、液体注入原子层沉积和等离子体辅助原子层沉积所组成的群组。16.根据权利。

8、要求9所述的方法，其中将所述前驱物以脉冲方式与选自H2O、H2O2、O2、臭氧、iPrOH、tBuOH和N2O的氧源脉冲交替沉积到所述衬底上。17.根据权利要求9所述的方法，其中将至少两种结构对应于式I的前驱物传送到所述衬底，以通过原子层沉积形成MoO2膜。18.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括将至少一种共前驱物传送到所述衬底，以通过原子层沉积形成混合金属膜。19.根据权利要求9所述的方法，其中将所述至少一种结构对应于式I的前驱物在传送到所述衬底之前溶解于溶剂中。20.根据权利要求19所述的方法，其中将所述至少一种结构对应于式I的前驱物呈纯物质传送到所述衬底。21.根据权利要求9所述的方。

9、法，其中所述MoO2膜用于存储器和/或逻辑应用。权利要求书CN 103097394 A1/6页5钼 (IV) 酰胺前驱物和其在原子层沉积中的用途0001 相关申请案的交叉参考0002 本申请案主张2010年8月27日提交的美国专利申请案第61/377,692号的优先权，后者的全部揭示内容以引用的方式并入本文。技术领域0003 本发明涉及钼(Mo)(IV)酰胺前驱物和采用此类前驱物通过原子层沉积(ALD)来制备MoO2膜的方法。背景技术0004 ALD为已知的薄膜沉积方法。其为一种自限性、连续独特的膜生长技术，此项技术以表面反应为基础并且可提供原子层控制，并且将由前驱物所提供的材料的保形。

10、薄膜沉积到不同组成的衬底上。在ALD中，在反应期间分离前驱物。第一前驱物通过衬底并在所述衬底上形成单层。将任何过量的未反应前驱物泵出反应室。接着第二前驱物通过所述衬底并与第一前驱物反应，从而在所述衬底表面上形成单层膜。重复此循环以得到所需厚度的膜。0005 ALD方法可应用在纳米技术和半导体元件(例如电容器电极、栅电极、粘合剂扩散障壁以及集成电路)的制造中。此外，在微电子学和光电子学的许多子领域内需要具有高介电常数(电容率)的介电薄膜。随着微电子组件的尺寸持续缩小，使得使用此类介电膜的需求日益增加。0006 格林，J.(Green，J.)等人报道了Mo络合物Mo(C5H5)(NMe2)3的合成。

11、与分离。化学学会会志(J.Chem.Soc.)，道耳顿会刊(Dalton Trans.)，1997，第3219-3224页。0007 美国专利第5,064,686号报道了一种用于化学气相沉积(CVD)的Mo(IV)络合物。在CVD中尝试使用MoN(Me)(Me)4。然而，在CVD中注意到热稳定性问题并且已发现虽然此前驱物在结构上类似，但它并不适合用于沉积MoO2层。0008 此外，发现Mo(NtBu)2(NMe2)2对通过ALD来形成MoO2膜并不能产生良好效果，原因在于其形成了不适于DRAM的MoO3膜。因此需要发现新的Mo前驱物，其能够通过ALD沉积MoO2膜，其具有改善的热稳定性、较高的。

12、挥发性或提高的沉积速率。发明内容0009 在一个实施例中，提供一种络合物，其结构对应于式I：0010 说明书CN 103097394 A2/6页60011 其中L为-NR1R2；R1和R2为C1-C6烷基或氢；R为C1-C6烷基；并且n为0、1、2或3。0012 在另一实施例中，提供一种通过ALD形成MoO2膜的方法。所述方法包括将至少一种前驱物传送到衬底，其中所述至少一个前驱物结构对应于上述式I。0013 在另一实施例中，提供络合物MoN(Me)(Et)4和其在ALD中形成MoO2膜的用途。0014 其它实施例(包括以上概述的实施例的特定方面)将从以下详细描述中获悉详情。附图说明0015。

13、图1为显示MoN(Me)(Et)4的毫克数相对于温度/时间的热重量分析(TGA)数据的图示。具体实施方式0016 在本发明的多个方面中，提供Mo(IV)酰胺前驱物，并且提供其使用方法以通过ALD来形成MoO2膜。0017 在一个实施例中，可使用本发明的方法来形成或生长出显示高介电常数的含Mo薄膜。如本文所使用的介电薄膜意指具有高电容率的薄膜。0018 如本文所使用，术语“前驱物”意指有机金属分子、络合物和/或化合物，其被传送到衬底用于沉积，以通过ALD形成薄膜。0019 术语“Cp”意指与过渡金属结合的环戊二烯基(C5H5)配体。如本文所使用，Cp配体的全部五个碳原子通过键结以5配位结合到金。

14、属中心，因此本发明的前驱物为络合物。0020 术语“烷基”意指长度为1到约6个碳原子的饱和烃链，例如(但不限于)甲基、乙基、丙基以及丁基。烷基团可为直链或支链。举例来说，如本文所使用，丙基包含正丙基和异丙基；丁基包含正丁基、仲丁基、异丁基以及叔丁基。此外，如本文所使用，“Me”意指甲基，并且“Et”意指乙基。0021 术语“氨基”在本文中意指任选取代的单价氮原子(即，-NR1R1，其中R1和R2可相同或不同)。本发明所包含的氨基的实例包括(但不限于)以及此外，此氨基的氮原子以共价方式结合到金属中心，其一起可称为“酰胺”基团(即)。此又可称为“氨基(ammono)”基团或无机酰胺。说明书CN。

15、 103097394 A3/6页70022 在第一实施例中，提供一种“琴凳”络合物，其结构对应于式I：0023 0024 其中L为-NR1R2；R1和R2独立地为C1-C6烷基或氢；R为C1-C6烷基；并且n为0、1、2或3。0025 R1和R2可相同或不同。在一个特定实施例中，R1和R2均为甲基。在另一个特定实施例中，R1为甲基并且R2为乙基。0026 在又一实施例中，当n为0时，R1和R2彼此不同。0027 在一个实施例中，R1和R2独立地为甲基、乙基或丙基；R为甲基、乙基或丙基；并且n为0、1或2。0028 在另一实施例中，R1和R2相同；R为甲基；n为0、1或2。0029 在另一实施例。

16、中，R1为甲基并且R2为乙基；R为甲基；并且n为0、1或2。0030 结构对应于式I的络合物的实例为：0031 (环戊二烯基)Mo(NMe2)3；0032 (甲基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；0033 (乙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；0034 (丙基环戊二烯基)Mo(NMe2)3；0035 (甲基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；0036 (乙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；0037 (丙基环戊二烯基)Mo(NEt2)3；0038 (环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；0039 (甲基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；0040 (乙基环戊二烯基)Mo(NMeEt)3；以及0041 (丙基。

17、环戊二烯基)Mo(NMeEt)3。0042 在另一实施例中，用另一酰胺基团取代Mo(IV)酰胺络合物上的环戊二烯基环，形成四酰胺：MoN(Me)(Et)4。0043 将依据式I的络合物和MoN(Me)(Et)4用作前驱物，以通过ALD形成MoO2膜。可以脉冲方式，与适当氧源(例如H2O、H2O2、O2、臭氧、iPrOH、tBuOH或N2O)脉冲交替将本文所揭示的前驱物传送到衬底以供沉积。0044 在一个实施例中，可通过独立传送或与一种共反应剂组合传送至少一种依据式I的前驱物，以供沉积，从而形成MoO2膜。此类共反应剂的实例包括(但不限于)氢、氢等离子体、氧气、空气、水、H2O2、氨、肼、烷基肼。

18、、硼烷、硅烷、臭氧或其任何组合。0045 在本发明的方法中可使用多种衬底。举例来说，可将依据式I的前驱物或说明书CN 103097394 A4/6页8MoN(Me)(Et)4传送到衬底(例如(但不限于)硅、氧化硅、氮化硅、钽、氮化钽或铜)上以供沉积。0046 本发明的ALD方法包括多种类型的ALD方法。举例来说，在一个实施例中，采用传统的ALD来形成本发明的含金属膜。有关传统和/或脉冲注入的ALD方法可参见(举例来说)乔治S.M.(George S.M.)等人，物理化学杂志(J.Phys.Chem.)1996.100：13121-13131。0047 在又一实施例中，采用液体注入ALD来形。

19、成含金属膜，其中液体前驱物不采用利用(传统)鼓泡器的蒸汽牵引，而是以直接液体注入方式传送到反应室。有关液体注入ALD方法可参见(举例来说)R.J.等人，化学气相沉积(Chem.Vap.Deposition.)2005.11(3)：159。0048 液体注入ALD生长条件的实例包括(但不限于)：0049 (1)衬底温度：Si(100)上160-3000050 (2)蒸发器温度范围：约120-2000051 (3)反应器压力范围：约2-50毫巴0052 (4)溶剂：甲苯，或任何上述溶剂0053 (5)溶液浓度范围：约0.05到2M0054 (6)注入速率范围：每脉冲约1-10l(每周期4个脉冲)0。

20、055 (7)惰性气体流动速率：约50-500cm3min-10056 (8)脉冲顺序(秒)(前驱物/净化/H2O/净化)：将依据腔室大小变化。0057 (9)循环次数：将依据所需膜厚度而变化。0058 前驱物可溶解在适当的烃或胺溶剂中。适当的烃溶剂包括(但不限于)脂肪族烃，例如己烷、庚烷和壬烷；芳香烃，例如甲苯和二甲苯；脂肪族和环醚，例如二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚和四甘醇二甲醚。适当的胺溶剂的实例包括(但不限于)辛胺和N，N-二甲基十二胺。举例来说，前驱物可溶解于甲苯中，以得到0.05到1M的溶液。0059 在另一实施例中，可将至少一种结构对应于式I的前驱物和/或MoN(Me)(Et)4呈“。

21、纯物质”(未经运载气体稀释)传送到衬底。0060 在另一实施例中，采用光辅助ALD来形成含金属膜。有关光辅助ALD方法可参见(举例来说)美国专利第4,581,249号。0061 在另一实施例中，可采用液体注入和光辅助ALD两者，并且使用至少一种结构对应于式I的前驱物和/或MoN(Me)(Et)4来形成含金属膜。0062 在另一实施例中，可采用等离子体辅助ALD，并且使用至少一种结构对应于式I的前驱物和/或MoN(Me)(Et)4来形成含金属膜。0063 因此，在这些方法中所使用的结构对应于式I的有机金属前驱物和MoN(Me)(Et)4可为液体、固体或气体。特定而言，前驱物在周围温度下为液体，且。

22、具有高蒸汽压力以不断地输送蒸汽到处理室。0064 ALD实质上依赖于化学反应而非热分解。因此，为适当前驱物所需的特征存在根本差异。所述前驱物在所采用的温度下必须为热稳定的，且应具有足够的挥发性，以允许沉积到衬底上。此外，当沉积金属氧化物膜时，在金属前驱物与氧化物源之间需要快速又完全的化学反应。然而，反应应仅在衬底表面发生，以免损害下层结构，且应可容易地自表面移除副产物(例如碳和氢)。说明书CN 103097394 A5/6页90065 已发现Cp环的取代和连接到金属中心的三个相同配体的变化在ALD方法中展示有用且得到改善的性质。举例来说，式I的前驱物提高通过ALD沉积MoO2膜的能力，其生。

23、长速率接近采用简单金属酰胺时的生长速率，但由于提高了热稳定性而可在较高温度下操作，此使得产品品质得到改善。此外，使用琴凳型Mo(IV)酰胺络合物可通过使分子极化以容许与表面反应而增强ALD性能，所述表面的自限性膜生长可达饱和状态，以达到优良的保形控制。0066 在特定实施例中，本发明的方法被用于例如硅芯片的衬底上的应用，例如用于存储和逻辑应用的动态随机存取存储器(DRAM)和互补金属氧化物半导体(CMOS)。0067 在又一实施例中，提供通过ALD来形成“混合”金属膜的方法。本文所使用的术语“混合”金属膜指至少由两种不同金属构成所述膜。0068 在一个实施例中，通过传送至少一种依据式I的前驱物。

24、和/或MoN(Me)(Et)4和至少一种具有不同金属中心的共前驱物通过ALD沉积来形成混合金属膜。举例来说，可将至少一种依据式I的Mo前驱物和/或MoN(Me)(Et)4和至少一种适当的共前驱物(例如铅、钛、锶和/或钡前驱物)传送到衬底进行沉积，从而产生混合金属膜。0069 利用本发明方法所形成的薄膜具有介于10和250之间、优选为至少25到40且更优选为至少40到100的电容率。此外，高于100的值可被认为是超高电容率。所属领域的一般技术人员应了解，所得膜的电容率取决于许多因素，例如用于沉积的金属、所形成的膜的厚度、在生长以及随后的处理期间所采用的参数和衬底。0070 实例0071 以下实例。

25、仅为说明性的，并不以任何方式限制本发明。所有的操作均在惰性气氛中使用手套箱和史兰克管技术(Schlenk line technique)进行。使用布鲁克250MHz仪器(Bruker250MHz machine)进行NMR分析。0072 实例1-Mo(NMeEt)4的合成0073 使用标准技术从nBuLi和HNEtMe制备N-乙基，甲基胺化锂。在4小时时间内将N-乙基甲基胺(65.6g，1.1摩尔)逐滴滴加到nBuLi(680ml，1.6M己烷溶液，已用冰浴冷却到0)。在已添加所有胺后，立即加热所述混合物至室温，接着搅拌过夜。将THF(250ml)添加到此混合物中，且搅拌此混合物1小时，接着在。

26、冰浴中冷却到0。将MoCl5(50.2g，0.18摩尔，由于混合物会大量放热并且喷溅，所以应在8小时时间内以每小份约1-2g分次添加)添加到此混合物中。一旦所有的MoCl5添加完毕，就将此深褐色(近乎黑色)反应混合物加热到室温，接着回流1小时。冷却混合物并接着搅拌过夜。使用标准技术使所述混合物沉降(LiCl)并过滤。从反应混合物汽提出溶剂，接着将紫色液体从所述反应混合物升华/蒸馏出来，得到紫色液体。0074 蒸馏条件：压力范围3.510-2托(Torr)和油浴温度100-110。0075 Mo(NEtMe)4NMR，ppm-(积分值)分布1.17(12H)乙基CH3，即NCH2CH33.22(。

27、8H)乙基CH2，即NCH2CH3说明书CN 103097394 A6/6页103.49(12H)氮上的甲基，即NCH30076 图1展示Mo(NMeEt)4的TGA数据。0077 实例2-Mo(MeCp)(NEtMe)3的合成0078 向已在冰浴中冷却到0的Mo(NEtMe)4(如上述制备，3.3g，0.01摩尔)的深紫色甲苯溶液(60ml)中添加新近裂化的MeCpH(4g，0.05摩尔，经由注射添加)。未立即观察到颜色变化，因此在室温下搅拌所述混合物2小时。仍未观察到颜色变化，因而让所述混合物回流3小时，以得到深绿色溶液。从反应混合物汽提出甲苯，得到深绿色液体。0079 Mo(MeCp。

28、)(NEtMe)31.00，(9H)乙基CH3，即CH2CH31.60，(3H) Cp环上的甲基，即MeCp2.95，(9H)氮上甲基，即NCH33.15，(6H)乙基CH2，即NCH2CH34.95(2H) Cp环氢5.15，(2H) Cp环氢0080 实例3-使用Mo(MeCp)(NEtMe)3的ALD0081 在定制的ALD反应器中沉积MoO2膜。Mo(MeCp)(NEtMe)3和臭氧用作前驱物。将MoO2膜沉积在硅晶片衬底上。在沉积之前，通过切割所述晶片(1英寸1/2英寸)并用1HF抛光来制备晶片衬底。0082 生长温度为200-350。生长压力为0.5-1.5托(Torr)。用30s。

29、ccm的干氮连续净化所述反应器。所述反应器中的所有用计算机控制的阀均为购自卡洪(Cajon)的气动型ALDVCR阀。0083 将臭氧充分净化。将钼存储在不锈钢安瓿中。ALD阀直接与所述安瓿相连。此ALD阀的出口与用于氮气注入的另一ALD阀成T形。T形出口端管连接到500cm3不锈钢储槽。所述储槽的出口连接到称为注入阀的第三ALD阀，其出口直接通向所述反应器。注入氮气用于建立钼注入阀后面的总压力，以使所述压力高于反应器生长压力。使用30微米的针孔VCR垫片完成氮气注入。所有的阀和安瓿均置于炉形箱中，使安瓿、阀和导管均匀加热到50到250。0084 在ALD生长操作期间，阀以以下方式排序。将钼前驱物引至活化硅表面。接着进行氮气净化，其包括抽气以移除剩余的未附着到表面的反应剂分子。接着引入臭氧，随后再用氮气进行净化。接着注入臭氧以重新开始ALD循环。0085 循环的总数量一般为300次。0086 本文所引用的全部专利和公开案以全文引用方式并入到本申请案中。0087 用词“包括(comprise)”、“包括(comprises)”和“包括(comprising)”应解释为涵盖含义而非穷举含义。说明书CN 103097394 A10。

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