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1、(10)申请公布号 CN 103154529 A(43)申请公布日 2013.06.12CN103154529A*CN103154529A*(21)申请号 201080069777.3(22)申请日 2010.09.14F04F 1/18(2006.01)F04B 9/08(2006.01)G01N 35/10(2006.01)(71)申请人彭兴跃地址 361004 福建省厦门市思明区厦大海滨7号401室(72)发明人彭兴跃(74)专利代理机构厦门市新华专利商标代理有限公司 35203代理人李宁(54) 发明名称一种微流路芯片系列微器件的结构(57) 摘要本发明公开一种微流路芯片系列微器件的结。
2、构，包括一个气体通道和至少一个液体通道，气体通道和各液体通道之间通过微通道连通。本发明微流路芯片的最基本微器件包括微压力感受器、微阀、微活塞及微泵，都由芯片内部的压力数字化的气体微线路控制，每一种微器件都利用微孔来阻隔气相和液相，没有任何活动部件，也无需任何特殊的透气或弹性的材料，由气液两相的压力差来驱动气液界面从而使微器件实现其传感压力、开关流路、液体有效动力输送等功能。各种微器件可在硬质材料（如玻璃）上一次蚀刻成型，便于低成本集成大量的微器件，也可以在其他材料上采用其他方法达成芯片及这几种基本微器件的结构。(85)PCT申请进入国家阶段日2013.04.24(86)PCT申请的申请数据PCT/CN2010/076904 2010.09.14(87)PCT申请的公布数据WO2012/034270 ZH 2012.03.22(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请。