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1、(10)申请公布号 CN 103278989 A(43)申请公布日 2013.09.04CN103278989A*CN103278989A*(21)申请号 201310161321.5(22)申请日 2013.05.03G02F 1/1368(2006.01)G02F 1/1362(2006.01)G02F 1/1333(2006.01)(71)申请人合肥京东方光电科技有限公司地址 230011 安徽省合肥市铜陵北路2177号申请人京东方科技集团股份有限公司(72)发明人徐向阳(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291代理人黄志华(54) 发明名称一种显示面板及其制作方法。
2、、液晶显示器(57) 摘要本发明实施例提供了一种显示面板及其制作方法、液晶显示器，用于降低栅线外围走线的电阻，减小信号衰减与延迟，提高显示效果。本发明实施例提供的一种显示面板包括栅线外围走线区域，所述栅线外围走线区域包括依次形成于基板上的第一走线层、栅极绝缘层和第二走线层；所述栅极绝缘层存在至少一个第一开口，所述第一走线层与所述第二走线层在第一开口处连接。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书4页 附图4页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书4页 附图4页(10)申请公布号 CN 103278989 ACN 103278989 A1/1页21.一。
3、种显示面板，包括栅线外围走线区域，其特征在于，所述栅线外围走线区域包括依次形成于基板上的第一走线层、栅极绝缘层和第二走线层；所述栅极绝缘层存在至少一个第一开口，所述第一走线层与所述第二走线层在第一开口处连接。2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一开口的总长度大于栅线外围走线长度的二分之一。3.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，该显示面板栅线外围走线区域还包括绝缘保护层和在绝缘保护层上方的第三走线层。4.如权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述绝缘保护层存在至少一个第二开口，所述第三走线层与所述第二走线层在第二开口处连接。5.如权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第。
4、二开口的总长度大于栅线外围走线长度的二分之一。6.一种液晶显示器，其特征在于，包括权利要求1-5任一权项所述的显示面板。7.一种显示面板的制作方法，其特征在于，该方法包括：在玻璃基板显示区域上形成栅线和栅极，同时在栅线外围走线区域形成第一走线层；依次形成栅极绝缘层和有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口；在有源层上形成源漏金属层，同时在栅线外围走线区域的第一开口处形成第二走线层，其中所述第二走线层通过所述第一开口与所述第一走线层连接；在源漏金属层上形成绝缘保护层；在绝缘保护层上形成像素电极层。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一开口的总长度大于栅线外围走线长度的二分之一。
5、。9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述在源漏金属层上形成绝缘保护层，包括：在栅线外围走线区域形成至少一个第二开口；所述在绝缘保护层上形成像素电极层，包括：在栅线外围走线区域的第二开口处形成第三走线层。10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第二开口的总长度大于栅线外围走线长度的二分之一。11.如权利要求7所述的方法，其特征在于，依次形成栅极绝缘层和有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口，包括：形成栅极绝缘层，并且在栅线外围走线区域的所述栅极绝缘层形成第一开口；形成有源层，并且去除所述栅线外围走线区域的第一开口处的有源层。12.如权利要求7所述的方法，其特征在于，依次形。
6、成栅极绝缘层和有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口，包括：形成栅极绝缘层；形成有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口；其中，第一开口处的栅极绝缘层和所述有源层均被刻蚀。权 利 要 求 书CN 103278989 A1/4页3一种显示面板及其制作方法、 液晶显示器技术领域0001 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及其制作方法、液晶显示器。背景技术0002 薄膜晶体管液晶显示器是一种半导体驱动的液晶显示装置。根据面板驱动电场的不同，可分为：扭曲向列型、垂直排列型、面转换)型和FFS(Fringe Field边界电场切换型。虽然电场的形式不同，但都是通过逐行扫描。
7、的方式，对像素电容进行充放电，进而使液晶偏转来控制背光源的光场。扫描信号和驱动电压分别由栅极集成电路和驱动集成电路产生，栅极集成电路的控制信号由时序控制(Time Controller)芯片产生后，经面板栅线外围走线(Peripheral Layout Gate)传输至栅极集成电路。0003 图1是TFT-LCD的阵列基板外围电路示意图，其中，栅线外围走线108的主要作用是传输栅极集成电路的控制信号。0004 目前的TFT-LCD阵列基板的外围走线多采用的是单层金属走线。对于低分辨率与低帧刷新速率的面板来说，由于频率较低，所以线路的信号延迟对显示的效果不会产生影响。但随着人们对显示器分辨率的要。
8、求不断提高，信号的频率也在不断提高，此时信号在线路中的延迟和衰减不能不考虑。线路的延迟主要有两方面原因产生：一方面是线路的信号走线电阻；另一方面是线路的耦合电容。耦合电容是由不同金属线之间产生；而电阻则是由于金属走线本身的特性决定，主要取决于金属走线的电阻率、横截面与布线长度。目前常见的布线金属材料包括：铝、钼、铜和铟锡金属氧化物(Indium Tin Oxide,ITO)。就导电性而言铜的导电性最好，但成本也是最高，工艺难度也最大。0005 对于高分辨率与高帧速率刷新的面板而言，栅线外围走线的电阻增加了信号的衰减与延迟，降低了显示效果。发明内容0006 本发明实施例提供了一种显示面板及其制作。
9、方法、液晶显示器，用于降低栅线外围走线的电阻，减小信号衰减与延迟，提高显示效果。0007 本发明实施例提供的一种显示面板栅线外围走线栅线外围走线区域包括依次形成于基板上的第一走线层、栅极绝缘层、和第二走线层；所述栅极绝缘层存在至少一个第一开口，所述第一走线层与所述第二走线层在所述第一开口处连接。0008 本发明实施例提供的一种液晶显示器包括所述显示面板。0009 本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法包括：0010 在玻璃基板显示区域上形成栅线和栅极，同时在栅线外围走线区域形成第一走线层；0011 依次形成栅极绝缘层和有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口；0012 在有源层上形。
10、成源漏金属层，同时在栅线外围走线区域的第一开口处形成第二走说 明 书CN 103278989 A2/4页4线层，其中所述第二走线层通过所述第一开口与所述第一走线层连接；0013 在源漏金属层上形成绝缘保护层；0014 在绝缘保护层上形成像素电极层。0015 通过以上技术方案可知，本发明通过设置所述第一开口处连接源漏金属层和栅极金属层，使得栅线外围走线为多层布线，提高了横截面积，降低了电阻，减小了信号衰减与延迟，提高了显示效果。附图说明0016 图1为现有技术中TFT-LCD的阵列基板外围电路示意图；0017 图2为本发明实施例提供的显示面板的制作方法的流程示意图；0018 图3为本发明实施例提。
11、供的栅线外围走线示意图；0019 图4为本发明具体实施例提供的栅线外围走线具体结构示意图；0020 图5为本发明具体实施例提供的掩模板的处理成形示意图。0021 附图标记说明如下：0022 100：静电环短接线路；101：栅线；102：端子区；103：公共电极；0023 104：静电环；105：像素驱动芯片；106：栅极集成电路；107：信号线;0024 108：栅线外围走线；109：显示区边界。具体实施方式0025 本发明实施例提供了一种显示面板及其制作方法、液晶显示器，用于降低栅线外围走线的电阻，减小信号衰减与延迟，提高显示效果。0026 本发明实施例提供一种显示面板栅线外围走线，栅线外围。
12、走线区域包括依次形成于基板上的第一走线层、栅极绝缘层、和第二走线层；所述栅极绝缘层存在至少一个第一开口，所述第一走线层与所述第二走线层在第一开口处连接。由于栅线外围走线仅作导线使用，因此在制作过程中栅线外围走线区域的有源层被刻蚀，或者，在制作过程中将显示区域外的有源层全部刻蚀。0027 所述第一走线层，与栅线同时形成；所述第二走线层，与源漏金属层同时形成。0028 较佳的，所述第一开口总的长度大于栅线外围走线长度的二分之一。为保持良好的导电性能，第一走线层和第二走线层之间需要有充分的接触。具体实施时，既可以在整个栅线外围走线区域形成第一开口，也可以仅在部分栅线外围走线区域连续或间隔形成第一开口。
13、。当仅在部分栅线外围走线区域形成第一开口处时，或者制作过程中部分栅线外围走线区域的栅极绝缘层未刻蚀完全时，栅线外围走线需要在至少二分之一的区域内第一走线层和第二走线层能够直接连接。0029 较佳的，该显示面板栅线外围走线区域还包括绝缘保护层和在绝缘保护层上方的第三走线层。第三走线层与像素电极层同时形成。当通过第一走线层和第二走线层两层金属进行导电时，栅线外围走线区域的第三走线层可以保留，也可以刻蚀。0030 较佳的，所述绝缘保护层存在至少一个第二开口，所述第三走线层与所述第二走线层在第二开口处连接。第一走线层、第二走线层和第三走线层三层连接，导电性能更好。0031 较佳的，所述第二开口的总长度。
14、大于栅线外围走线长度的二分之一。与第一开口说 明 书CN 103278989 A3/4页5类似，为保持良好的导电性能，第二走线层和第三走线层之间需要有充分的接触。0032 较佳的，在平行于玻璃基板的方向上，所述第一开口和所述第二开口处于同一位置；即第二开口位于第一开口之上。0033 本发明实施例提供的一种液晶显示器包括所述显示面板；其中，所述显示面板的栅线外围走线将时序控制芯片和栅极集成电路连接。0034 参见图2，本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法包括：0035 S201、在玻璃基板显示区域上形成栅线和栅极，同时在栅线外围走线区域形成第一走线层；0036 S202、依次形成栅极绝缘层和。
15、有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口；0037 S203、在有源层上形成源漏金属层，同时在栅线外围走线区域的第一开口处形成第二走线层，其中所述第二走线层通过所述第一开口与所述第一走线层连接；0038 S204、在源漏金属层上形成绝缘保护层；0039 S205、在绝缘保护层上形成像素电极层。0040 本实施例中，第一走线层需要与第二走线层能够直接连接。因此，在栅线外围走线区域，栅极绝缘层和有源层需要被刻蚀掉，露出第一开口；在栅线外围走线区域附近的栅极绝缘层和有源层，既可以刻蚀，也可以保留。0041 较佳的，S202依次形成栅极绝缘层和有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开。
16、口，包括：形成栅极绝缘层，并且在栅线外围走线区域的所述栅极绝缘层形成第一开口；形成有源层，并且去除所述栅线外围走线区域的第一开口处的有源层。也就是说，保留栅线外围走线区域附近的栅极绝缘层，刻蚀掉栅线外围走线区域及其附近的全部有源层。0042 较佳的，S202依次形成栅极绝缘层和有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口，包括：形成栅极绝缘层；形成有源层，并且在栅线外围走线区域形成至少一个第一开口；其中，第一开口处的栅极绝缘层和所述有源层均被刻蚀。同时刻蚀栅极绝缘层和有源层，包括同时刻蚀掉栅线外围走线区域及其附近的全部的栅极绝缘层和有源层，或者同时刻蚀掉栅线外围走线区域的栅极绝缘层和有源。
17、层；此外，还包括使用灰阶掩模板的方式，通过同一灰阶掩模板连续进行两次刻蚀，可以在刻蚀掉全部显示区域外的有源层的同时，保留栅线外围走线区域第一开口附近的栅极绝缘层。0043 较佳的，所述第一开口的总长度大于栅线外围走线长度的二分之一。0044 较佳的，S204所述在源漏金属层上形成绝缘保护层，包括：在栅线外围走线区域形成至少一个第二开口；所述在绝缘保护层上形成像素电极层，包括：在栅线外围走线区域的第二开口处形成第三走线层。0045 因此，既可以使用第一走线层和第二走线层两层金属传输信号，也可以使用第一走线层、第二走线层和第三走线层三层金属传输信号。金属层之间互相接触，能够增大金属层横截面积，降低。
18、栅线外围走线电阻。0046 较佳的，所述第二开口的总长度大于栅线外围走线长度的二分之一。0047 下面是本发明的具体实施例。0048 图3是栅线外围走线的示意图，栅线外围走线由三根导线组成，取图中AA方向的说 明 书CN 103278989 A4/4页6任意一根导线，其具体结构如图4所示，附图标记说明如下：0049 200：玻璃基板；0050 201：第一走线层；0051 202：栅极绝缘层；0052 203：第二走线层；0053 204：绝缘保护层；0054 205：第三走线层。0055 本发明实施例中，各层图形包括但不限于图4的形式，各层也可以刻蚀为其它的图形样式，只需要保证三层金属能够充。
19、分接触即可。0056 以上栅线外围走线区域各层在显示面板的制作流程中分别对应如下步骤：0057 1、在栅极金属成膜时，在栅线外围走线处形成如图4中201所示的结构；0058 2、在栅极绝缘层成膜时，在栅线外围走线处形成如图4中202所示的结构；0059 3、在源漏金属层成膜时，在栅线外围走线处形成如图4中203所示的结构；0060 4、在绝缘保护层成膜时，在栅线外围走线处形成如图4中204所示的结构；0061 5、在像素电极层成膜时，在栅线外围走线处形成如图4中205所示的结构。0062 参见图5，为步骤1-5对应的掩模板mask处理成形示意图。0063 其中，现有技术以及本发明具体实施例提供。
20、的方法在处理有源层时，将栅线外围走线区域及其附近的有源层全部刻蚀，并且使用的是相同的有源层掩模板。有源层的刻蚀处理是在栅极绝缘层和源漏金属层的处理之间进行的。0064 本实施例通过新增栅极绝缘层掩模板以设置第一开口以及通过改变绝缘保护层掩模板以设置第二开口，以及通过各开口处连接各层金属走线，来实现降低栅线外围走线电阻的目的。0065 综上所述，本发明实施例提供了一种显示面板及其制作方法、液晶显示器，用于降低栅线外围走线的电阻，减小信号衰减与延迟，提高显示效果。0066 显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。说 明 书CN 103278989 A1/4页7图1说 明 书 附 图CN 103278989 A2/4页8图2说 明 书 附 图CN 103278989 A3/4页9图3图4说 明 书 附 图CN 103278989 A4/4页10图5说 明 书 附 图CN 103278989 A10。