石墨舟直型槽工艺点及其生产工艺技术领域
本发明涉及太阳能电池制造行业，尤其是一种镀膜用的石墨舟卡点及其生
产工艺。
背景技术
在太阳能电池片的制造过程中，硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀
膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用石墨舟，
具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将
载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行
镀膜。
如图1所示，现有的石墨舟卡点主要由卡块和用于安装在石墨舟片安装孔
中的柱体形安装部组成，卡块为两个且对称分布在安装部两端面上，卡块是自
外向内渐缩的圆柱体，其端面与侧面之间采用圆弧过渡面，卡块的根部与安
装部的端面之间分别形成用于卡合硅片的卡槽。现有的石墨舟在使用到30
run(次)时，会出现边缘发白现象，且到后期愈发严重，且在做MUL和NY工
艺时，卡点会烧焦，尤其是做MUL工艺时，卡点烧焦加重，烧焦比例一度超过
30％。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题，本发明的目的是提供一种石墨舟直型槽工
艺点，该石墨舟卡点可有效敢删石墨舟边缘发白及卡点烧焦的现象。为实现该
目的，本发明采用如下技术方案：
一种石墨舟直型槽工艺点，包括卡块和用于安装在石墨舟片安装孔中的安
装部组成，卡块为两个且对称分布在安装部的两端面上，卡块的端面与侧面之
间设有过渡面，卡块的根部与安装部的端面之间分别形成用于卡合硅片的卡
槽，所述卡槽的侧面与柱形安装部的端面及卡块的端面之间的夹角为直角，卡
槽的横截面为“”型。卡块与安装部相邻的面由原来的斜面变为直面，卡块
的两个根部分别和与之相邻的安装部的端面形成“”型卡槽。
进一步地，所述石墨舟直型槽工艺点的安装部的直径为9mm，卡块的直径
为6.5mm，卡槽的直径为5mm。
进一步地，所述卡槽的侧面距离所述卡块的侧面之间的距离为0.3-0.5mm。
进一步地，所述安装部为圆柱体，所述安装部的端面与侧面之间设有斜面
过渡。
进一步地，所述卡块为圆柱体，卡块的端面与侧面之间设有斜面过渡。
一种上述石墨舟直型槽工艺点生产工艺，包括如下步骤：(1)生产时先将
大块石墨分割成160mm×10mm小方块；(2)采用多功能聚合刀具，使方料进
去随即加工成圆棒；(3)圆棒加工后，再进行磨圆磨光处理，控制外圆公差直
径；(4)操作人员设定数控加程序按设计好的图纸进行正常生产；(5)将生产
好的产品采用抛光处理技术，使槽口粉尘除掉，外表光洁度完美。该生产工艺
能有效控制流程，有效保持产品的质量，可生产超精细直槽口为0.3mm的石
墨州卡点。
相比较现有技术，本发明具有的有益效果：(1)增加了卡槽深度，卡槽的
深度是原始卡槽深度的将近1.7倍，以直径为9mm的石墨舟卡点为例，原始卡
槽深度为0.75mm，本发明的卡槽深度为1.25mm，使卡点与硅片接触面积比原始
卡点增加41.2％；(2)卡槽由原来的“V”型变为现在的“”型，使硅片与
舟页贴合更紧密，降低了SiNx或SiO2沉积的几率。
附图说明
图1为现有技术石墨舟卡点结构示意图；
图2为本发明石墨舟卡点结构示意图；
图中，1-卡块，2-安装部，3-过渡面，4-卡槽。
具体实施方式
下面结合实施例以及附图对本发明作进一步描述。
实施例1
如图2所示，一种石墨舟直型槽工艺点，包括卡块1和用于安装在石墨舟
片安装孔中的安装部2组成，卡块1为两个且对称分布在安装部2的两端面上，
卡块1的端面与侧面之间设有过渡面3，卡块1的根部与安装部2的端面之间
分别形成硅片的卡槽4，所述卡槽4的侧面与柱形安装部2的端面及卡块1的
端面之间的夹角为直角，卡槽4的横截面为“”型。
所述圆柱形的安装部2的直径为9mm，圆柱形的卡块1的直径为6.5mm，
卡槽4的直径为5mm，卡槽4的侧面距离所述卡块1的侧面之间的距离为
0.3-0.5mm。
实施例2
选用德国西格里进口石墨材料，生产时先将100CM×60CM的大块石墨分
割成160mm×10mm小方块；采用一种多功能聚合刀具，使方料进去随即加工
成圆棒；圆棒加工后，再进行磨圆磨光处理，可有效达到控制外圆±0.02mm；
操作人员设定数控加程序按设计好的图纸进行正常生产；最终实现超精细直槽
石墨工艺点，再将生产好的产品采用抛光处理技术，使槽口粉尘除掉，外表光
洁度完美。以上生产工艺的控制流程，有效保持产品的质量，可生产超精细直
槽口为0.3mm的石墨舟工艺点。经试用报告数字统计，能为我国光伏行业创
造一定的经济效益。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述
的技术方案；因此，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本发明已进行了详
细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本发明进行修
改或等同替换；而一切不脱离本发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均
应涵盖在本发明的权利要求范围中。