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1、(10)申请公布号 CN 103437977 A(43)申请公布日 2013.12.11CN103437977A*CN103437977A*(21)申请号 201310364975.8(22)申请日 2013.08.21F04B 37/14(2006.01)F04B 39/10(2006.01)(71)申请人鑫隆电子（苏州）有限公司地址 215000 江苏省苏州市相城区经济开发区(72)发明人林冠鋐(74)专利代理机构苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251代理人王华(54) 发明名称一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀(57) 摘要一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀，包括管路本体、真空发。
2、生器和回压逆止阀；所述回压逆止阀设于所述管路本体的中部的内腔并将所述管路本体分为进气段管路和排气段管路；所述真空发生器的压缩空气进口与一空气压缩机的压缩空气出口连通，所述真空发生器的进气口端与所述进气段管路连通，所述真空发生器的排气口端与所述排气段管路连通。由于本发明设有真空发生器，因此当真空泵抽真空到一定程度后需要维持真空度阶段，可以只运行真空发生器而不运行真空泵，利用真空发生器来维持密闭空间的真空度，从而降低真空泵电机对能源的消耗。(51)Int.Cl.权利要求书1页 说明书3页 附图2页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书3页 附图2页(10)申。
3、请公布号 CN 103437977 ACN 103437977 A1/1页21.一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀，其特征在于：包括管路本体、真空发生器和回压逆止阀；所述回压逆止阀设于所述管路本体的中部的内腔并将所述管路本体分为进气段管路和排气段管路；所述真空发生器的压缩空气进口与一空气压缩机的压缩空气出口连通，所述真空发生器的进气口端与所述进气段管路连通，所述真空发生器的排气口端与所述排气段管路连通；所述回压逆止阀包括支架，复位弹簧、密封阀和环形的密封环；所述支架和密封环间隔设置，并且两者均固设在所述管路本体的内腔上；所述密封阀由阀头和阀杆组成；所述所述复位弹簧套设于所述阀杆上，所述复位弹簧。
4、的一端与所述支架抵靠设置，另一端抵靠所述阀头后端设置，所述阀头的前端抵靠所述密封环设置。2.根据权利要求1所述的用于真空泵的回压逆止节能真空阀，其特征在于：所述进气段管路为波纹管。3.根据权利要求1所述的用于真空泵的回压逆止节能真空阀，其特征在于：所述排气段管路为波纹管。4.根据权利要求1所述的用于真空泵的回压逆止节能真空阀，其特征在于：所述环形的密封环上设有密封垫圈。5.根据权利要求4所述的用于真空泵的回压逆止节能真空阀，其特征在于：所述密封环设有凹槽，所述密封垫圈嵌设于所述凹槽。6.根据权利要求1所述的用于真空泵的回压逆止节能真空阀，其特征在于：所述支架中心设有限位孔，所述阀杆插设于所述限。
5、位孔内。7.根据权利要求1所述的用于真空泵的回压逆止节能真空阀，其特征在于：所述阀头的前端的形状为一凸台，所述密封环对应所述凸台设置形状匹配的凹部。权 利 要 求 书CN 103437977 A1/3页3一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀技术领域0001 本发明涉及一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀，属于真空设备技术领域。背景技术0002 通常把能够从密闭空间中排出气体或使空间中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中，采用各种不同的方法，已经能够获得从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。0003 真空泵在抽真空时，当密闭空间的气体被抽。
6、到一定程度使得密闭空间的真空度达到预设值后，真空泵需要继续运行以保持密闭空间的这种真空度，由于真空泵的电机功率一般较大，因此为了维持密闭空间的真空度而开动真空泵会造成能源的无谓的消耗。发明内容0004 本发明目的是提供一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀。0005 为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀，包括管路本体、真空发生器和回压逆止阀；所述回压逆止阀设于所述管路本体的中部的内腔并将所述管路本体分为进气段管路和排气段管路；所述真空发生器的压缩空气进口与一空气压缩机的压缩空气出口连通，所述真空发生器的进气口端与所述进气段管路连通，所述真空发生器的排气口端与所。
7、述排气段管路连通；所述回压逆止阀包括支架，复位弹簧、密封阀和环形的密封环；所述支架和密封环间隔设置，并且两者均固设在所述管路本体的内腔上；所述密封阀由阀头和阀杆组成；所述所述复位弹簧套设于所述阀杆上，所述复位弹簧的一端与所述支架抵靠设置，另一端抵靠所述阀头后端设置，所述阀头的前端抵靠所述密封环设置。0006 优选的技术方案为：所述进气段管路为波纹管。0007 优选的技术方案为：所述排气段管路为波纹管。0008 优选的技术方案为：所述环形的密封环上设有密封垫圈。0009 优选的技术方案为：所述密封环设有凹槽，所述密封垫圈嵌设于所述凹槽。0010 优选的技术方案为：所述支架中心设有限位孔，所述阀杆。
8、插设于所述限位孔内。0011 优选的技术方案为：所述阀头的前端的形状为一凸台，所述密封环对应所述凸台设置形状匹配的凹部。0012 由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点和效果：1、本发明设有真空发生器，因此当真空泵抽真空到一定程度后需要维持真空度阶段，可以只运行真空发生器而不运行真空泵，利用真空发生器来维持密闭空间的真空度，从而降低真空泵电机对能源的消耗；2、本发明在真空泵的排气口端设回压逆止阀，因此当真空泵停止运转时，可以密封真空泵的排气口起到保压的作用；3、本发明包括有波纹管，因此可以利用波纹管的延伸性方便地对接排气管路与真空说 明 书CN 103437977 A2/3页4。
9、泵，并且可以利用波纹管的弹性而缓冲真空泵引起的震动，以避免与真空泵排气口连接的排气装置因震动而损坏。附图说明0013 附图1为本发明示意图。0014 附图2为阀头一种实施方案示意图。0015 以上附图中：1、管路本体；2、真空发生器；3、回压逆止阀；4、进气段管路；5、排气段管路；6、压缩空气进口；7、进气口端；8、排气口端；9、支架；10、复位弹簧；11、密封阀；12、密封环；13、密封垫圈。具体实施方式0016 下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施。
10、的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。0017 实施例：一种用于真空泵的回压逆止节能真空阀参见附图1所示，一种用于真空泵的回压逆止真空阀，包括管路本体1、真空发生器2和回压逆止阀3；所述回压逆止阀3设于所述管路本体的中部的内腔并将所述管路本体1分。
11、为进气段管路4和排气段管路5。即回压逆止阀3在管路本体1的内部将管路本体1分隔成两部分。所述真空发生器2为普通的真空发生器，其具有三个接口，即压缩空气进口6、进气口端7和排气口端8。0018 所述真空发生器2的压缩空气进口6与一空气压缩机（图中未示出）的压缩空气出口连通。空气压缩机即向真空发生器提供动力源。所述真空发生器2的进气口端7与所述进气段管路4连通，所述真空发生器2的排气口端8与所述排气段管路5连通。真空发生器2相当于一个旁路连接在管路本体1上。0019 所述回压逆止阀3包括支架9，复位弹簧10、密封阀11和环形的密封环12；所述支9架和密封环12间隔设置，并且两者均固设在所述管路本体。
12、1的内腔上；所述密封阀11由阀头和阀杆组成；所述所述复位弹簧10套设于所述阀杆上，所述复位弹簧10的一端与所述支架9抵靠设置，另一端抵靠所述阀头后端设置。所述复位弹簧10为一压缩弹簧，利用复位弹簧10的张力，使得所述阀头的前端抵靠所述密封环12设置。0020 为了安装方便，优选的实施方式为：所述进气段管路4为波纹管。或者所述排气段管路5为波纹管。0021 为了密封效果更好，优选的实施方式为：所述环形的密封环上设有密封垫圈13。0022 为了密封垫圈13安装方便，优选的实施方式为：所述密封环设有凹槽，所述密封垫圈13嵌设于所述凹槽。说 明 书CN 103437977 A3/3页50023 为了保。
13、证阀头的平衡，优选的实施方式为：所述支架中心设有限位孔，所述阀杆插设于所述限位孔内。0024 为了密封效果更好，优选的实施方式为：所述阀头的前端的形状为一凸台，所述密封环对应所述凸台设置形状匹配的凹部。0025 安装方法：真空泵的进气口与待抽真空的空间连接，真空泵的排气口则与回压逆止真空阀的进气段管路4连接，排气段管路5则连接一排气管路，该排气管路可以是例如电子半导体无尘车间的排气装置的进气管。0026 使用方法：打开真空泵，待抽真空的空间的气体从真空泵的进气口进入真空泵，并从真空泵的排气口出，到达回压逆止真空阀的进气段管路4，气压作用于密封阀11的阀头，克服复位弹簧10的张力使压缩弹簧10收。
14、缩，从而打开密封阀11，使气体从密封阀11和密封环12之间通过，然后从排气段管路5进入排气管路。真空泵运行一段时间后，待抽真空的空间的真空度已经达到要求，这时关闭真空泵的电机，由于此时没有压力作用于密封阀11的阀头，因此复位弹簧10伸长，使得密封阀11的阀头顶在所述密封环12上，使得外界环境的气体不能藉由排气段管路5进入进气段管路4，从而达到保压的效果。当待抽真空的空间的真空度下降，但是下降幅度不大时，打开空气压缩机，使压缩空气从真空发生器2的压缩空气进口6进入真空发生器2。在压缩空气的作用下，存在于进气段管路4一侧的气体，则向排气段管路5移动，从而起到维持待抽真空的空间的真空度的作用。0027 上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。说 明 书CN 103437977 A1/2页6图1说 明 书 附 图CN 103437977 A2/2页7图2说 明 书 附 图CN 103437977 A。