废硫酸再循环装置 【技术领域】
本发明涉及废硫酸再循环装置。
背景技术
硫酸在各种的产业中以满足其目的的级别(纯度及浓度)被大量利用。这些硫酸在使用过后，通常进行下述所示的处理。
(1)在产生工厂内的废水处理(中和处理)。
(2)由专业处理业者进行收取、及废水(中和)处理。
(3)在工厂内作为中和剂再利用。
(4)在工厂内或由再生处理专门业者进行再生处理(蒸馏精制)。
(5)由专门业者进行收取、及作为明矾(硫酸铝)的原料再利用处理。
上述(1)的情况最多，但该情况下需要大量的碱性剂(消石灰)或各种废水处理剂(例如无机凝聚剂、高分子凝聚剂或过氧化氢促分解剂等)，与之相伴，产生大量的污泥和废水，因此在环境方面及资源方面不理想。关于上述(2)，除了在工厂以外处理废硫酸以外，与上述(1)的情况同样，产生大量的污泥和废水，因此在环境方面及资源方面不理想。上述(3)的情况下，作为工厂内的中和剂的需要少，结果对于多余部分需要与上述(1)或上述(2)的情况相同的处理，未必总是令人满意的。另外，上述(4)的情况下，废硫酸的再生需要大规模设备和能量，因此例如能量、成本、占地面积、安全性或操作等地实用方面的问题多，一般地几乎未普及。上述(5)的情况下，废硫酸几乎未受到作为有价物质的处理，通常有偿出让、或者以非常低的价格(约几日元/Kg)销售掉，而且该情况下的废硫酸的使用率通常是废硫酸的10质量％以下，需要进一步的改善。
上述的废硫酸的处理方法由于废硫酸的附加价值低，因此过去的废硫酸的处理一般是在本公司工厂进行、或向外部有偿出让。例如在半导体公司排出的废硫酸中通常含有过氧化氢水百分之零点几至百分之几左右，因此，一般是在工厂内(中和)废水处理、或者作为中和剂利用，作为明矾的原料在工厂外被利用的情况也部分存在。无论哪种情况，即使再利用，也限于附加价值大幅度降低的逐级利用(仅为工业硫酸的替代物)。于是，期待在其他的制造工厂或公司能够将废硫酸有效利用作为附加价值高的材料的方法及其装置。
本发明的目的是，提供以工业方式将废硫酸有利地再循环、能够作为附加价值高的再循环硫酸利用的废硫酸再循环装置。
【发明内容】
本发明人为达到上述目的而刻苦研讨的结果，成功地研制出废硫酸再循环装置，其特征是，该装置是回收在排出源A排出的废硫酸，用运输工具B将其运输，在利用点C使用从而将废硫酸再循环的装置，其具备收容(A)新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同的浓度的废硫酸的接收容器，具备(1)混合机、(2)混合机及浓度测定装置或冷却装置、或者(3)混合机、浓度测定装置及冷却装置。在成功的同时，知道下述情况：上述再循环装置能够以工业方式有利地用于废硫酸的有效利用；采用该装置再循环的硫酸的附加价值高；不是中和剂之类的在下游排出侧利用，而是能够作为种种工业制品的制造用原料再利用；以及能够减轻环境负荷；等等，发现能够一举解决上述的传统的课题。
本发明人得到所述的种种知识见解后，进一步反复研讨，完成了本发明。
即，本发明涉及：
(1)一种废硫酸再循环装置，其特征在于，该装置是为了回收在排出源A排出的废硫酸，用运输工具B将其运输，在利用点C使用，而将废硫酸再循环的装置，其具备收容(A)新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同浓度的废硫酸的接收容器，具备(1)混合机、(2)混合机及浓度测定装置或冷却装置、或者(3)混合机、浓度测定装置及冷却装置。
(2)根据上述(1)记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，接收容器是从同一或不同的接收口收容(A)新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同浓度的废硫酸的容器，进一步具备用于(A)上述新鲜硫酸和(B)上述废硫酸的混合的循环管。
(3)根据上述(2)记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，循环管进一步具备冷却装置。
另外，本发明涉及：
(4)根据上述(1)记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，废硫酸的浓度是50-90质量％，新鲜硫酸的浓度是70质量％以上。
(5)根据上述(1)记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，排出源A是半导体制造工厂或公司。
(6)根据上述(1)记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，运输工具B是车辆或船舶。
(7)根据上述(1)记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，利用点C是电气·电子制品制造工厂或公司。
另外，本发明涉及：
(8)根据上述(1)记载的废硫酸再循环装置，进一步设置了将(i)新鲜硫酸和废硫酸的混合硫酸、和(ii)过氧化氢水和/或水混合的混合槽。
(9)一种废硫酸的再循环方法，其特征在于，使用上述(1)记载的废硫酸再循环装置将废硫酸再利用。
(10)一种再循环硫酸，其特征在于，是用上述(1)记载的废硫酸再循环装置再循环的硫酸。
(11)上述(10)记载的再循环硫酸用于工业制品制造的用途。
附图的简单说明
图1表示出以将上述废硫酸和上述新鲜硫酸收容在同一接收容器中为特征的上述废硫酸再循环装置的优选方案。
图2表示出以在收容上述废硫酸和上述新鲜硫酸的接收容器3中设置搅拌机为特征的上述废硫酸再循环装置的优选方案。
图3表示出以在独立的接收容器3中收容上述废硫酸和上述新鲜硫酸为特征的上述废硫酸再循环装置的优选方案。
图4表示出上述废硫酸再循环装置的优选方案，其特征在于，是收容着废硫酸的单独的专用容器和接收容器的距离长的情况下，使用循环管混合上述废硫酸和上述新鲜硫酸，在接收容器3中设置着冷却装置6。
实施发明的最佳方案
本发明是一种废硫酸再循环装置，其特征在于，该装置是回收在排出源A排出的废硫酸，用运输工具B将其运输，在利用点C使用从而将废硫酸再循环的装置，具备收容(A)新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同浓度的废硫酸的接收容器，具备(1)混合机、(2)混合机及浓度测定装置或冷却装置、或者(3)混合机、浓度测定装置及冷却装置。
本发明的装置的优点是，在回收在排出源A排出的废硫酸，用运输工具B将其运输，在利用点C将其再利用的系统中使用。上述排出源A如果是排出上述废硫酸的场所则无论怎样的场所都可以。例如列举出各种工业的工厂或公司等。作为上述各种工业，例如列举出包括半导体在内的电气·电子、钢铁、药品(例如无机药品、有机药品或医药品等)、纤维、肥料、金属、矿山、造纸、纯碱、机械、蓄电池或中和石膏等各种工业。在本发明中，上述排出源A优选是废硫酸的排出量多的工厂或公司，更优选是电气·电子工业、或者无机药品、有机药品或医药品等化学工业中的制品制造工厂或公司，最优选是半导体制造工厂或公司。
上述废硫酸如果是含有用H2SO4表示的化合物的则没有限制。既可以是混有杂质的硫酸，也可以是完全不混杂杂质的硫酸。在本发明中，上述废硫酸优选是杂质少的硫酸，更优选是含有的重金属的含量为约1ppm以下、含有的氯化物的含量为约10ppm以下的硫酸，最优选是含有的重金属的含量为约100ppb以下、含有的氯化物的含量为约1ppm以下的硫酸。上述废硫酸的浓度只要不损害本发明目的就不特别限定。可以是超过0至100质量％的范围内。在本发明中，废硫酸的浓度高为好，更优选是约50-90质量％，最优选是约60-90质量％。
上述运输工具B如果是能运输上述废硫酸的则可以是任何的运输工具。例如列举出管线、车辆、船舶或航空器等。上述车辆如果是能在陆地上行走的则可以是任何的车辆。例如列举出火车(例如货物列车等)、电车(例如新干线等)或者汽车(例如油罐车、卡车或药品集装箱(drug container)运输车等)等。上述船舶如果是能在水上航行的则可以是任何的船舶。例如列举出油轮、渡轮或艇等。上述航空器如果是能飞行的则可以是任何的航空器。例如举出大型喷气式飞机、货机、轻型飞机、水上飞机或气球等。在本发明中，上述运输工具B优选是作为运输装置适用范围宽的运输工具，更优选是车辆或船舶，最优选是油罐车、卡车或药品集装箱运输车。
在本发明中使用的新鲜硫酸如果是精制的硫酸则可以是任何的硫酸。既可以是浓硫酸，也可以是稀硫酸。例如举出电子工业级、医药级、试剂级、工业级或精制硫酸级等。在本发明中，上述新鲜硫酸优选与上述废硫酸有并用性、有低成本、均一/恒定的品质，更优选电子工业级、试剂级或精制硫酸级，最优选电子工业级或试剂级。上述等级是指例如按照公知的方法精制了根据各种工业而使用的废硫酸的精制硫酸。在本发明中，上述新鲜硫酸的浓度优选是约70质量％以上，更优选是约75-98质量％，最优选是约80-98质量％。在本发明中作为上述新鲜硫酸能够使用市售品。作为这样的市售品，能够从位于东京都中央区的住友化学工业株式会社以硫酸的商品名得到。
在本发明中使用的接收容器只要是能够收容(A)上述新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同浓度的上述废硫酸的，则可以是任何的接收容器。可以是从同一或不同的接收口收容上述新鲜硫酸和上述废硫酸的容器。例如举出槽、箱、盒、罐或瓶等。在本发明中，上述接收容器优选是即使装入液体也不变形的容器，进一步优选是上述接收容器的材质不因酸而变化的容器，最优选是材质不因硫酸而劣化或不容易劣化的容器。另外，在本发明中能够使用多个上述接收容器。
在本发明中使用的混合机只要能够混合上述新鲜硫酸和上述废硫酸则可以是任何的混合机。也可以是公知的混合机。例如举出容器旋转型、机械搅拌型、流动搅拌型或无搅拌型等的混合机。作为上述容器旋转型的混合机，例如举出使用容器自身旋转和/或振动而混合的装置的混合机等。作为上述机械搅拌型的混合机，例如举出使用采用搅拌叶片搅拌、混合的装置的混合机或者使用循环泵的混合机等。机械搅拌型混合机包括管道混合器。作为上述流动搅拌型例如举出使用采用空气或气体搅拌而混合的装置的混合机等。作为上述无搅拌型的混合机，例如举出利用并流的混合机、利用重力流动和分流板或管分割流路而混合的混合机等。在本发明中，优选是采用循环管进行的混合。
在本发明中使用的浓度测定装置只要能够测定硫酸的浓度则可以是任何的测定装置。也可以是公知的测定装置。例如举出：使用从折射率测定、中和滴定、水分测定(例如Karl Fischer法或蒸发残余物法等)、超声波(音速)测定、吸光度测定、比重(密度)测定、粘度测定、pH测定及电位差滴定等中选择的1种以上的测定装置的浓度计等。在本发明中，上述浓度测定装置从测定的快慢和精度、测定装置的价格及大小、或者操作性方面考虑优选是使用从超声波(音速)、密度(振动型)、折射率、比重、pH及吸光度中选择的至少1种以上的测定装置的浓度计。另外，上述浓度测定装置也可以是便携型的浓度计。在本发明中，可以使用多个上述浓度测定装置，使用多个上述浓度测定装置的场合，也可以分别在多个部位使用。既可以在排出废硫酸的工厂或公司(排出源A)使用上述浓度测定装置，也可以在运输废硫酸的运输工具B上使用上述浓度测定装置。如果是排出废硫酸的工厂或公司则无论哪里都可以使用上述浓度测定装置。另外，能够采用上述浓度测定装置调查上述废硫酸和上述新鲜硫酸在混合时的浓度变化。
在本发明中使用的冷却装置，只要能够冷却上述废硫酸和上述新鲜硫酸的混合物则可以是任何的冷却装置。也可以是使用公知的冷却装置的冷却装置。例如举出冷却器等。作为上述公知的冷却装置，例如举出使用水、冰水或液氮等液体状态冷却材料、或者冰或干冰等固体冷却材料等的冷却装置或自然冷却(例如包括循环空冷)等。在本发明中，上述冷却装置优选是使用液态冷却材料的冷却装置，更优选是使用水的冷却装置。冷却装置可以在循环管和容器或混合槽的任一方上具备，但最优选在循环管上具备。能够利用上述冷却装置抑制浓度不同的硫酸的混合导致的水合热等的发热。
在本发明中，上述再循环装置优选是进一步具备选自泵、管、阀及混合槽的1种以上的再循环装置。上述泵如果是在压力的作用下吸取或送出液体或气体的机械则可以是任何的机械。也可以是公知的泵，例如举出往复泵、旋转泵、离心泵、轴流泵或喷射泵等。上述管如果是管状的则怎样的都可以。也可以是公知的，例如举出金属管、塑料管、橡胶管或陶管等。上述阀例如如果是能够调节在管等中流动的气体或液体的出入或流动方向的装置则怎样的都可以，也可以是公知的阀。上述混合槽如果是能够混合(i)新鲜硫酸和废硫酸的混合硫酸、和(ii)过氧化氢水或/和水的混合槽则怎样的都可以。也可以是公知的，例如举出槽、箱、盒、罐或瓶等。在本发明中，优选采用上述混合槽，根据利用点C的要求，调整上述新鲜硫酸和上述废硫酸的混合硫酸的硫酸浓度，更优选在该浓度的调整中使用过氧化氢水或/和水作为稀释剂，最优选在该浓度的调整中使用过氧化氢水或水作为稀释剂。
在本发明中，通过将上述废硫酸再循环装置设置收容(A)上述新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同浓度的上述废硫酸的上述接收容器，并使该容器具备(1)上述混合机、(2)上述混合机及上述浓度测定装置或上述冷却装置、或者(3)上述混合机、上述浓度测定装置及上述冷却装置，能够制造非常适合于回收在上述排出源A排出的废硫酸，将其用上述运输工具B运输，在利用点C使用的系统的废硫酸再循环装置。
所述装置可以设置在上述排出源A、运输工具B或利用点C的任何一方，但优选设置在利用点C。
以下用附图说明本发明的优选方案。
图1表示出上述废硫酸再循环装置，其特征在于，是具备接收容器3、泵2a、2b、阀5a、5b、浓度计7、冷却装置6及槽8的上述废硫酸再循环装置，将上述废硫酸和上述新鲜硫酸收容在同一接收容器中。图1的废硫酸再循环装置所使用的上述新鲜硫酸的硫酸浓度优选是约80-100质量％，更优选是约85-99.9999质量％，最优选是约95-99质量％。另外，图1的废硫酸再循环装置所使用的上述废硫酸的硫酸浓度优选是约0-99质量％，更优选是约40-99质量％，最优选是约60-99质量％。
在图1中，设置着泵2a及接收容器3，用上述管连结。因此，能够用泵2a将通过运输工具1运输的上述废硫酸收容在接收容器3中，另外，上述新鲜硫酸也能够通过泵2a收容在接收容器3中。在接收容器3上设置着温度计4。用上述管连结着接收容器3、泵2b、阀5a、5b及槽8，这些连结体构成循环管。通过使泵2b工作、开启阀5a、关闭阀5b，使接收容器3所收容的上述废硫酸及上述新鲜硫酸循环，利用此循环管使上述新鲜硫酸和上述废硫酸循环，可均匀混合。在从阀5a到接收容器3为止的上述管上设置着冷却装置6及浓度计7，能够在混合过程中进行冷却及浓度测定。当用温度计4测定的温度高于设定温度时，能够采用冷却装置6进行冷却。在本发明中，也可以采用CPU等自动控制温度计4和冷却装置6。上述设定温度可以是根据上述接收容器的种类等适宜设定的温度。
当用浓度计7测定的硫酸的浓度达到所规定的浓度时，通过开启阀5b、关闭阀5a，上述废硫酸和上述新鲜硫酸的混合液从阀5b通过，可将通过阀5b的上述混合液收容在槽8中。上述所规定的浓度可以是根据上述废硫酸的再利用用途等适宜设定的浓度。另外，在本发明中，优选使用用浓度计7测定的测定结果作为计算用其他的药品或水等混合时的药品供给量的参考。用上述循环管混合后，根据要求用槽8进行硫酸浓度的调整。该硫酸浓度的调整中，如果硫酸浓度高于预先设定的浓度，则混合过氧化氢水或/和水稀释硫酸。稀释所使用的过氧化氢水或/和水的添加量优选是以来自于设置在上述循环泵上的浓度计的数据为基础算出的量。添加上述稀释剂时，优选进行上述混合液和上述过氧化氢水或/和水的混合。从上述说明明确，槽8为贮存槽，同时是混合槽。另外，在本发明中，优选槽8通过上述管等与制造管线连结。
图2表示出上述废硫酸再循环装置，其特征在于，是具备接收容器3、泵2c、2d、搅拌机9、冷却装置6、浓度计7及阀5c的上述废硫酸再循环装置，在收容上述废硫酸和上述新鲜硫酸的接收容器3中设置着浓度计7、搅拌机9及冷却装置6。图2的废硫酸再循环装置所使用的上述新鲜硫酸的硫酸浓度与上述图1的场合同样。另外，图2的废硫酸再循环装置所使用的上述废硫酸的硫酸浓度通常是约80质量％以下。
在图2中，用上述管连结着泵2c和接收容器3。因此，能够用泵2c将通过运输工具1运输的上述废硫酸收容在接收容器3中，上述新鲜硫酸也能够使用泵2c收容在接收容器3中。在接收容器3中设置着冷却装置6、浓度计7及搅拌机9。因此，在接收容器中，能够采用搅拌机9进行混合，能够采用冷却装置6进行冷却，能够采用浓度计7进行浓度测定。另外，接收容器3用上述管与阀5c连结，当采用浓度计7测定的硫酸浓度达到所规定的浓度时，通过使泵2d工作、开启阀5c，被再循环的废硫酸通过阀5c被再利用。上述所规定的浓度与上述图1同样。在本发明中，优选使用上述管等从阀5c与利用点C的制造管线等连结。
图3表示出上述废硫酸再循环装置，其特征在于，是具备接收容器3、泵2e、2d、2f、2g、管、阀5d、5e、槽8、冷却装置6及浓度计7的上述再循环装置，上述废硫酸和上述新鲜硫酸被收容在独立的接收容器3中。图3的废硫酸再循环装置所使用的上述废硫酸及新鲜硫酸的硫酸浓度与上述图1的场合同样。另外，图3的废硫酸再循环装置所使用的上述废硫酸的硫酸浓度与上述图2的场合同样。
在图3中，用上述管连结着泵2e、2d、接收容器3、阀5d及槽8。另外，用上述管连结着泵2f、2g、接收容器3、阀5e及槽8。因此，使泵2e工作，能够将通过运输工具1运输的上述废硫酸收容在接收容器3中，通过开启阀5d，使泵2d工作，能够将上述废硫酸收容在槽8中。另外，使泵2f工作，能够将上述新鲜硫酸收容在接收容器3中，通过开启阀5e，使泵2g工作，能够将上述新鲜硫酸收容在槽8中。在本发明中，优选在槽8中利用上述废硫酸和上述新鲜硫酸的并流进行混合。在槽8中设置着冷却装置6及浓度计7，当温度变高时，能够采用冷却装置6进行冷却，能够通过浓度计7的浓度测定确认是否是所规定的浓度，如果是所规定的浓度，则被再循环的硫酸可被再利用。上述所规定的浓度与上述图1同样。在本发明中，优选使用上述管等从槽8与制造管线等连结。槽8为混合槽，同时是贮存槽。
图4表示出上述废硫酸再循环装置，其特征在于，是具备接收容器3、泵2h、2i、管、阀5f、5g、5h、5i、5j、浓度计7及冷却装置6的上述废硫酸再循环装置，使用循环管混合上述废硫酸和上述新鲜硫酸，在接收容器3中设置着冷却装置6。图4的废硫酸再循环装置所使用的上述新鲜硫酸的硫酸浓度及上述废硫酸与上述图1的场合同样。
在图4中，用上述管连结着泵2h、阀5f、5g、5h及接收容器3。因此，使泵2h工作，开启阀5f、5g、5h，能够将通过运输工具1运输的上述废硫酸收容在接收容器3中。即使上述废硫酸通过运输工具1用单独的专用容器运输的情况，即上述容器和接收容器的距离长的情况下，也能够用上述管连结阀5f、5g、5h、泵2h及接收容器3。因此，使泵2h工作，开启阀5f、5g、5h，能够将上述新鲜硫酸收容在接收容器3中。用上述管连结着接收容器3、泵2i、阀5i、5j，这些连结体构成循环管。通过使泵2i工作、开启阀5i、关闭阀5j，使被接收容器3收容的上述废硫酸及上述新鲜硫酸循环，通过该循环管使上述新鲜硫酸和上述废硫酸混流，从而可混合。另外，在接收容器3中设置着冷却装置6及浓度计7，在接收容器3内采用冷却装置6进行冷却，采用浓度计7进行浓度测定。当经浓度计7测定确认为所规定的浓度时，关闭阀5i、开启阀5j，被再循环的硫酸可被再利用。上述所规定的浓度与上述图1同样。在本发明中，优选使用上述管等从阀5j与利用点C的制造管线等连结。
上述废硫酸再循环装置，回收在上述排出源A排出的废硫酸，将其用上述运输工具B运输，在利用点C使用，因此作为将废硫酸再循环的装置使用。
上述利用点C如果是能够使用将上述废硫酸再循环的硫酸的场所则怎样的场所都可以。例如可举出电气·电子(包括显象管、基片公司)、钢铁、无机药品、有机药品、医药品、纤维、肥料、金属、矿山、造纸、纯碱、机械、蓄电池或中和石膏等各种领域的制造工厂或公司等。在本发明中，上述利用点C优选是电气·电子、钢铁、无机药品、有机药品的各种工业的工厂或公司，更优选是电气·电子制品制造工厂或公司，最优选是半导体制造工厂或公司。更具体讲，上述用点C优选是基片制造工厂(铜箔的蚀刻液)、显象管制造工厂(光刻胶掩模用剥离液)、或镀敷工厂，更优选是将硫酸和过氧化氢水的混合液作为洗涤液或剥离液使用的基片制造工厂。在本发明中，优选在上述利用点C将由上述废硫酸再循环的上述废硫酸作为金属成分去除、光刻胶剥离、基片的蚀刻或表面处理剂利用，更优选混合过氧化氢水及根据需要的水作为洗涤液或剥离液利用，而且，进一步由于废液的供给量有变化，故最优选考虑到稳定供给，与上述新鲜硫酸并用。
产业实用性
根据本发明，能提供一种废硫酸再循环装置，可谋求用于处理废硫酸的废水处理剂的削减、和在废水处理时产生的污泥和废水的降低，能够以工业方式有利地将废硫酸再循环，作为附加价值高的再循环硫酸利用。
权利要求书
(按照条约第19条的修改)
1.一种废硫酸再循环装置，其特征在于，该装置是为了回收在排出源A排出的废硫酸，将其用运输工具B运输，在利用点C使用，而将废硫酸再循环的装置，其具备收容(A)新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同的浓度的废硫酸的接收容器，具备(1)混合机、(2)混合机及浓度测定装置或冷却装置、或者(3)混合机、浓度测定装置及冷却装置。
2.根据权利要求1记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，接收容器是从同一或不同的接收口收容(A)新鲜硫酸、和(B)与该新鲜硫酸的浓度不同浓度的废硫酸的容器，进一步具备用于(A)上述新鲜硫酸和(B)上述废硫酸的混合的循环管。
3.根据权利要求2记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，循环管进一步具备冷却装置。
4.根据权利要求1记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，废硫酸的浓度是50-90质量％，新鲜硫酸的浓度是70质量％以上。
5.根据权利要求1记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，排出源A是半导体制造工厂或公司。
6.根据权利要求1记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，运输工具B是车辆或船舶。
7.根据权利要求1记载的废硫酸再循环装置，其特征在于，利用点C是电气·电子制品制造工厂或公司。
8.根据权利要求1记载的废硫酸再循环装置，进一步设置了将(i)新鲜硫酸和废硫酸的混合硫酸、和(ii)过氧化氢水和/或水混合的混合槽。
9.一种废硫酸的再循环方法，其特征在于，使用权利要求1记载的废硫酸再循环装置将废硫酸再利用。