空调箱的洗涤水出水管道上的过滤器 【技术领域】
本发明涉及半导体制造工厂使用的空调箱，具体地说，涉及一种空调箱的洗涤水出水管道上的过滤器。
背景技术
空调在现代化生产中扮演着越来越重要的角色。随着科学技术的进步，制造业对加工生产中的工艺环境也有了更高的要求，比如无尘工厂，无尘车间在微电子制造领域的不可替代性，充分反映了工艺环境对生产质量的影响。
在晶圆制造厂生产晶圆的过程中，需要对空气中的悬浮颗粒数、空气分子污染物(AMC)进行严格的控制，这就需要工业用空调箱对晶圆制造厂的工艺环境进行过滤。
现有的工业用空调箱具有一个空气洗涤器(air washer)，其具有若干个喷嘴。当空气经过该空气洗涤器时，空气洗涤器的洗涤水通过喷嘴喷出，对空气进行洗涤，将空气中的AMC带走，然后通过出水管道流入回收池中。为了充分利用资源，回收利用回收池中的洗涤水，出水管道上安装有可过滤AMC的过滤器。
一般情况下，固定一段时间就需要对过滤器进行清洗，以防堵塞过滤网。但是如果空气的AMC浓度较高或者忘记清洗，过滤器的过滤网很容易发生堵塞。而且，过滤网是在管道内的，用眼睛无法看到是否堵塞。一旦发生堵塞，洗涤水无法流入回收池内，由于空气洗涤器的洗涤水是循环使用的，进而引起洗涤水流量不够，最终导致空调箱停机事故。一旦发生停机事故，空气中的空气分子污染物如硫酸根离子、氨根离子不能被过滤，导致晶圆制造厂的工艺环境得不到满足，从而影响晶圆生产。
【发明内容】
本发明解决的技术问题是提供一种便于维护的空调箱的洗涤水出水管道上的过滤器。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种用于空调箱的洗涤水出水管道上的过滤器，所述空调箱具有对空气进行洗涤的空气洗涤器，所述洗涤水出水管道与空气洗涤器连接，该过滤器采用透明材料制成。
进一步地，该过滤器由聚氯乙烯材料制成。
进一步地，该过滤器包括与洗涤水出水管道连接的本体以及以倾斜方式安装在本体上的过滤件；过滤件包括过滤网以及固定过滤网的端盖，其中端盖是以螺纹连接的形式安装在过滤件上的；端盖与过滤体之间还安装有起密封作用的O型圈。
与现有技术相比，本发明的过滤器是采用透明材料制成，便于检查过滤器是否堵塞，方便维护，从而降低运行风险，提高晶圆制造厂的环境质量；过滤件的端盖以螺纹连接形式安装，便于更换过滤网；安装O型圈进一步密封过滤网。
【附图说明】
图1是使用本发明过滤器的空调箱的部分机构示意图。
图2是本发明过滤器的结构示意图。
【具体实施方式】
以下结合附图对本发明的过滤器的较佳实施例进行描述。
请参阅图1，空调箱具有对空气中AMC进行清除的空气洗涤器1。当空气通过空调箱的其他部件进入空气洗涤器1后，空气洗涤器1通过进水管道8将洗涤水从备用池7取出，通过设于其上的若干喷嘴(未图示)对空气进行喷射洗涤。洗涤水将空气中的AMC带走，通过出水管道2排入回收池4内。出水管道2上安装有过滤器3，具体结构如图2所示。过滤器3将洗涤水中的AMC过滤掉，流入回收池4中的洗涤水可以重新利用。该空调箱利用泵5将回收池4内洗涤水抽上来，通过回收管道6进入备用池7内，从而实现洗涤水的循环利用。
请参阅图2，本实施例的过滤器3是由透明的聚氯乙烯(PVC)材料制成的，包括与出水管道2(见图1)连接的本体31以及起到过滤作用的过滤件30。本体两端310设有接口螺纹，螺纹连接方式与出水管道2相固定。过滤件30以倾斜的方式安装于本体31的中间位置，包括过滤网301以及端盖302。端盖302螺纹连接于过滤件30上的，采用此结构便于更换过滤网301。另外端盖302内部还安装O型圈，进一步起到固定密封过滤网301的作用。
本发明的过滤器是采用透明材料制成，便于检查过滤器是否堵塞，方便维护，从而降低运行风险，提高晶圆制造厂的环境质量。另外，过滤器的材料不限于上述PVC材料，只要是透明且强度足够的材料都可以。
本发明的过滤器不限于过滤洗涤水，还可以用于半导体制造的其他制程，如过滤冷却水或者超纯水。