等离子体蒸镀设备防止凝缩装置 【技术领域】
本发明涉及的是等离子体蒸镀设备方面的发明，特别涉及的是等离子体蒸镀设备中防止气体注入管凝缩装置方面的发明。背景技术
通常在空调室外机的机箱内部有热交换机，该热交换机由不锈钢材质的支撑架和铝材质的散热片以及铜管组成。由于空调室外机的热交换机一般设置在户外，经常与雨水和风相接触，因此，对空调室外机的热交换机不仅要求热交换能力强，还需要有一定的耐腐蚀性能的要求。虽然散热片的材质选择较好的材料，即容易加工，耐腐蚀和热交换能力好，但是由于西南亚或东南亚的沿海地区高温多湿并且盐份大，所以空调室外机的热交换机的散热片仍然容易腐蚀。
为了适应上述恶劣地气候条件，对于在上述地区设置的空调室外机，对热交换机的散热片的加工采用等离子体蒸镀方法，将绝缘的耐腐蚀膜镀在热交换机的散热片上。目前对此工艺的研究非常活跃。
在利用等离子体形成耐腐蚀膜的方法中，最具有代表性的是将六甲基二硅氧烷MDSO(Hexamethylidisiloxane，(CH3)3SiOSi(CH3)3)利用承载气体输送到工作间内，形成绝缘性的耐腐蚀膜，但是在常温下输送六甲基二硅氧烷HMDSO到工作间内，六甲基二硅氧烷HMDSO会凝缩的，造成此工艺不能进行正常进行。发明内容
本发明的目的在于克服上述技术的不足，提供一种利用等离子体蒸镀装备，将循环被加热的冷却水输入到加热器加热后包在气体注入管外，防止气体注入管内六甲基二硅氧烷HMDSO凝缩的装置。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种等离子体蒸镀设备防止凝缩装置，其结构包括内部装有电极的等离子体蒸镀工作间、工作间两侧有驱动带状材料移动的卷绕机、工作间上侧有与工作间冷却套管连接的冷却机、工作间的下侧有其内部装有液态耐腐蚀原料储藏容器、工作间与储藏容器之间连接有气体注入管，经热交换后的工作间冷却套管连接一个加热器，加热器与包围在气体注入管外周的外侧管连接。
本发明的有益效果是：本发明的冷却水在冷却套管对工作间冷却之后，被加热成一定温度的温水再进入加热器加热，该温水经加热器进一步加热之后输送到包围气体注入管外侧管的内部，对气体注入管进行加热。由于在气体注入管外周包着高温的外侧管，保证气体注入管内的高温，能够防止通过气体注入管向工作间内部输送的六甲基二硅氧烷HMDSO的凝缩，蒸镀厚度的均匀性得到了保证。水加热的时间短，节省能源，降低成本。附图说明
图1是本发明等离子体蒸镀装备防止气体注入管冷凝装置结构示意图；
图2是提示出图1中A-A’剖面图。具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施例进一步详述：
本发明是一种等离子体蒸镀设备防止凝缩装置，其结构包括内部装有电极的等离子体蒸镀工作间101、工作间101两侧有驱动带状材料移动的卷绕机105和107、工作间上侧有与工作间冷却套管114连接的冷却机115、工作间的下侧有其内部装有液态耐腐蚀原料储藏容器111、工作间101与储藏容器111之间连接有气体注入管112，经热交换后的工作间冷却套管114连接一个加热器117，加热器117与包围在气体注入管112外周的外侧管118连接。
经热交换后的外侧管118连接在冷却机115上。
如图所示，箱体式等离子体蒸镀工作间101内部的上侧固定有上部电极102，该上部电极102的下侧固定有下部电极103。
在工作间101的前端设置有卷绕间106，在卷绕间106内装有卷绕机105，卷绕机105向工作间101内部供应带状材料104。在工作间101的后端设置有卷绕间108，在卷绕间108内装有卷绕机107，卷绕机107卷绕从工作间101出来的带状材料104。卷绕间105的出口部和卷绕间108的入口部设置有引导带状材料104移动的一对导向滚轮109。
另外，在工作间101的底部一边设置有储藏容器111，储藏容器111内储藏六甲基二硅氧烷MDSO(Hexamethylidisiloxane，(CH3)3SiOSi(CH3)3)110。储藏容器111通过气体注入管112与工作间101连结在。另外，储藏容器111还连结在气体储藏容器(图纸中没有表示出)上，上述气体储藏容器用于储藏承载气体，上述承载气体可使上述储藏六甲基二硅氧烷HMDSO110发泡。
上述承载气体一般采用氩气，氧气，氮气等的非反应气体，在承载气体输送到上述储藏容器111内，将储藏在储藏容器111内部的六甲基二硅氧烷HMDS0110进行发泡之后，才供应到工作间101内。
上述工作间101的外周面上设置有冷却套管114，用以通过向设置在工作间101上部的冷却机115输送的冷却水，使上述工作间101内部维持一定温度。
另外，上述工作间101的下侧设置有加热器117，加热器117通过回收管116连结在冷却套管114上。于是可以将在上述冷却套管114对上述工作间101冷却后的约摄氏30度到50度的温水回收到加热器117进行加热。在上述气体注入管112的外侧包围着供应高温水用的外侧管118，供应高温水用的外侧管118通过连结管119连结在加热器117上并输送高温水，对上述气体注入管112进行加热，使它维持一定温度。
另外供应高温水用外侧管118通过在供应管120连结在冷却机115上，于是流经上述供应高温水用外侧管118的高温水对气体注入管112进行加热之后重新回到冷却机115上。
图纸中没有表示出向上部电极102和下部电极103供应直流电源的直流电源供应机构和旋转卷绕机105和卷绕机107的电机。
下面对本发明的工作过程进行详细说明：
接通电源，则卷绕机105向逆时针方向旋转，卷绕机107向顺时针方向旋转，使卷绕在上述卷绕机105上的带状材料104经过设置在工作间101内的上部电极102和下部电极103之间，连续卷绕在上述卷绕机107上。
打开气体储藏容器(图纸中没有表示出)的阀门，则承载气体向上述储藏容器111输送。承载气体使储藏容器111内的六甲基二硅氧烷HMDSO110被发泡，被发泡的六甲基二硅氧烷HMDS0110向工作间101的内输送。
当HMDS01 10被输送到工作间101的内部后，直流电源供应机构向上部电极102和下部电极103供应直流电源，则上部电极102和下部电极103之间产生等离子体。通过等离子体，激发工作间的气体在连续移送的带状材料104的表面上进行蒸镀。
另外，被冷却机115冷却的水被输送到冷却套管114，对执行蒸镀作业的上述工作间101进行冷却，所以工作间101内部可以维持一定温度。
输送到上述冷却套管114冷却上述工作间101之后的冷却水将变成约摄氏30度到50度的温水；温水通过回收管116输送到加热器117，温水被加热变成高温水；高温水通过连结管119输送到包围气体注入管112外周的外侧管118的内，对气体注入管112进行加热，所以能够防止通过上述气体注入管112向上述工作间101内部输送的HMDS0110的凝缩。
另外，流经上述供应高温水用外侧管118内部的温水加热完上述气体注入管112之后，通过再供应管120重新回到上述冷却机115进行冷却，变成冷却水进行再使用。