非接触输送装置.pdf

本发明涉及一种非接触输送装置，包括：顶板(12)，该顶板(12)形成有空气供给孔(30)；底板(18)，该底板(18)形成有多个空气喷射孔(34)；以及多个中间板(26)，这些中间板(26)堆叠和布置在顶板(12)和底板(18)之间。中间板(26)中形成有狭槽(24)，该狭槽用作喷嘴(22)以及与空气供给孔(30)和空气喷射孔(34)连通的流体通道(20)。设置了螺钉部件(28)，该螺钉部件使顶板(12)、多个中间板(26)和底板(18)成一体地连接。

1.  一种非接触输送装置，包括：
顶板(12)，该顶板(12)布置在一侧，该顶板有空气供给孔(30)，且该顶板形成为具有平面形状；
底板(18)，该底板(18)布置在另一侧，该底板有多个空气喷射孔(34)，且该底板形成为具有平面形状；
多个中间板(26)，这些中间板(26)布置在所述顶板(12)和所述底板(18)之间，且这些中间板中形成有狭槽(24)，该狭槽用作喷嘴(22)以及与所述空气供给孔(30)和所述空气喷射孔(34)连通的流体通道(20)；以及
紧固机构，该紧固机构使所述顶板(12)、所述多个中间板(26)和所述底板(18)成一体地堆叠和连接；
其中，所述多个中间板(26)成一体地堆叠和布置在所述顶板(12)和所述底板(18)之间。

2.  根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中：所述紧固机构包括螺钉部件(28)，所述多个中间板(26)可通过拆卸所述螺钉部件(28)而互换。

3.  根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中：所述底板(18)有弯曲凹口(16)，该弯曲凹口(16)通过径向向外展开的叉形部分(14a至14c)而形成。

4.  根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中，所述狭槽(24)包括：所述流体通道(20)，该流体通道(20)垂直于延伸方向布置，并有较宽的狭槽宽度；以及所述喷嘴(22)，该喷嘴(22)与所述流体通道(20)连通，并有比所述流体通道(20)的狭槽宽度更窄的狭槽宽度。

5.  根据权利要求4所述的非接触输送装置，其中：所述喷嘴(22)由从所述流体通道(20)径向向内弯曲的直狭槽构成。

6.  根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中：所述多个中间板(26)具有通过堆叠分别有相同厚度的所需数目的所述中间板(26)而提供的预定厚度。

7.  根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中：所述空气供给孔(30)形成于所述顶板(12)的中心部分处，且接头(36)装配在所述空气供给孔(30)上。

8.  一种非接触输送装置，包括：
主装置体(54)，该主装置体形成有空气引入孔(52)；
多个顶板(12a、12b)，各顶板形成为具有平面形状；
第一底板(18a、18b)，各底板形成为具有确定于其中的空气喷射孔(34)的平面形状；
多个第二底板(60a至60j)，这些第二底板与所述第一底板(18a、18b)连接，且这些第二底板进行堆叠，以便形成所述空气喷射孔(34)；
多个中间板(26a、26b)，这些中间板布置在所述顶板(12a、12b)和所述第一底板(18a、18b)之间，且这些中间板中形成有狭槽(24)，该狭槽用作喷嘴(22)以及与所述空气供给孔(52)和所述空气喷射孔(34)连通的流体通道(20)；以及
连接机构，该连接机构使所述顶板(12a、12b)、所述多个中间板(26a、26b)、所述第一底板(18a、18b)和所述第二底板(60a至60j)成一体地连接；
其中，所述多个中间板(26a、26b)堆叠和布置在所述顶板(12a，12b)和所述第一底板(18a、18b)之间。

9.  根据权利要求8所述的非接触输送装置，其中：所述连接机构由扩散粘接构成，该扩散粘接通过成一体加热和加压所述顶板(12a、12b)、所述多个中间板(26a、26b)、所述第一底板(18a、18b)和所述第二底板(60a至60j)来进行。

10.  根据权利要求8所述的非接触输送装置，其中：除了所述第二底板(60a至60j)之外，给所述顶板(12a、12b)，所述多个中间板(26a、26b)和所述第一底板(18a、18b)设置了切口部分(62)。

11.  根据权利要求8所述的非接触输送装置，还包括：一对传感器机构(64a、64b)，用于在非接触状态下确认工件的吸引。

12.  根据权利要求11所述的非接触输送装置，其中：各所述传感器机构(64a、64b)有主传感器体(70)，所述主传感器体(70)安装在由第一翅片(76)和第二翅片(78)形成的装配槽(74)内。

13.  根据权利要求12所述的非接触输送装置，还包括：传感器板(80)，各传感器板使所述主传感器体(70)布置在一对爪(82a、82b)之间。

非接触输送装置
技术领域
本发明涉及一种非接触输送装置，该非接触输送装置例如能够在非接触的状态下保持、输送和旋转工件。
背景技术
近年来，根据IC卡等的要求以及输送用于液晶和等离子体显示器的薄膜形部件的要求，非常需要利用非接触输送来输送薄板形晶片。根据这些要求，提出了非接触输送装置，当以非接触方式输送工件时，该非接触输送装置利用通过气体或空气流产生的伯努利效应。
例如，日本公开专利文献No.11-254369公开了一种非接触输送装置，该非接触输送装置设有与空气进口孔连通的涡流腔室，用于在其中产生空气涡流，且该非接触输送装置设有喇叭口，该喇叭口与涡流腔室连通，并有与输送物体相对的表面，其中，利用由在喇叭口和输送物体之间产生的空气流形成的伯努利效应而以非接触方式保持输送物体。
另一方面，如图20所示，日本公开专利文献No.2002-64130公开了一种非接触输送装置5，该非接触输送装置5设有：凹口1，该凹口1有内部圆周表面；扁平表面3，该扁平表面3形成于凹口1的开口侧，并对着晶片(输送物体)2；以及未示出的流体通道，用于沿凹口1的内周方向将从未示出的喷射孔(该喷射孔对着凹口1的内周表面)供给的流体排入凹口1中。从流体引入孔4供给的空气用于提供在扁平表面3和晶片2之间流动的高速空气流，这样，根据伯努利效应产生负压，以便使晶片2升高，同时扁平表面3和晶片2借助于在扁平表面3和晶片2之间流动的正压高速空气流而保持非接触状态。
不过，在日本公开专利文献No.11-254369和2002-64130公开的技术原理中，当用于将涡流喷射向工件的凹口的数目增加，以便使得容易由于外力而变形的薄膜形工件能够在没有应变的情况下以非接触方式输送时，用于形成在流体引入孔和凹口之间连通的流体通道的步骤数目增加，并使得制造成本变得昂贵。
而且，在日本公开专利文献No.11-254369和2002-64130公开的技术原理中，由小孔形成喷射孔，该喷射孔用作喷射具有更大流速的空气流的喷嘴。当例如通过使用钻头来精确钻孔时，形成步骤的数目增加，制造成本变得更昂贵。
发明内容
本发明的总目的是提供一种非接触输送装置，该非接触输送装置容易制造，且该非接触输送装置能够减少形成步骤的数目，从而使制造成本便宜。
通过下面的说明并结合附图，将更清楚本发明的上述和其它目的、特征和优点，附图中通过示例实例表示了本发明的优选实施例。
附图说明
图1是表示本发明实施例的非接触输送装置的透视图；
图2是表示图1所示的非接触输送装置的分解透视图；
图3是沿图1中所示的箭头Z方向看时的透视图；
图4是表示防脱开引导机构的局部省略的放大分解透视图；
图5是表示用于图1所示的非接触输送装置的喷嘴和空气喷射孔的局部放大透视图；
图6是表示本发明另一实施例的非接触输送装置的透视图；
图7是表示图6中所示的非接触输送装置的分解透视图；
图8是沿图6所示的箭头Z方向看时的透视图；
图9是表示各种板的透视图；
图10是表示第二底板的透视图，该第二底板进行堆叠以便形成空气喷射孔；
图11是表示主传感器体和传感器板安装时的状态的局部放大透视图；
图12是表示主传感器体和传感器板安装在传感器安装部分上时的状态的局部放大透视图；
图13是当沿图12所示的箭头Z方向看时的局部放大透视图；
图14是表示当主传感器体插入装配槽内时第一翅片向上柔性弯曲的状态的局部放大透视图；
图15是表示主传感器体的结构的局部放大透视图；
图16是表示传感器板装入螺母插入槽内时的状态的局部放大透视图；
图17是当沿图16所示的箭头Z方向看时的局部放大透视图；
图18是表示用于在其中容纳电缆的槽的局部放大透视图；
图19是表示用于在其中容纳电缆的槽的另一局部放大透视图；以及
图20是表示普通技术的非接触输送装置的透视图。
具体实施方式
参考图1，参考标号10表示本发明实施例的非接触输送装置。
非接触输送装置10包括：顶板12，该顶板12形成为盘形；底板18，该底板18基本为盘形，并有由叉形部分14a至14c形成的弯曲凹口16，该叉形部分14a至14c在彼此等角度分开的三个外周位置处径向向外展开；多个(图2中为两个)中间板26，这些中间板26堆叠在顶板12和底板18之间，并在其中形成有用作流体通道20和喷嘴22地狭槽24；以及多个螺钉部件(紧固机构)28，这些螺钉部件28将如上述堆叠的顶板12、中间板26和底板18固定成一体。
如图2所示，与顶板12的空气供给孔30(如后面所述)连通的交叉狭槽24形成于中间板26中。狭槽24包括：流体通道20，该流体通道20有与延伸方向垂直的较宽狭槽宽度；以及喷嘴22，该喷嘴22与流体通道20连通。喷嘴22为直线形，具有较小狭槽宽度，并形成为径向向内倾斜。
中间板26中形成有四个圆形孔32，这四个圆形孔32与喷嘴22连通。圆形孔32还与形成于底板18中的四个空气喷射孔34连通，分别如后面所述。如图2所示，上侧中间板26和下侧中间板26有相同的结构和狭槽形状，并简单地通过彼此前后颠倒而布置。
制备具有各种平面形状和厚度的中间板26，且这些中间板26能够根据工件状态而自由变化或重新组合。通过重新组合中间板26，可以通过重叠合适数目的具有相同平面形状的中间板26而自由调节流体通道20和喷嘴22沿厚度方向的尺寸。例如，当中间板26的厚度设置为大约0.1至0.5mm时，可以通过组合和堆叠多个中间板26而形成任意厚度。
具有相同平面形状的中间板26可以通过堆叠板部件和利用线切割集中切割它们而制造，即使各中间板26有不同厚度。多个中间板26置于顶板12和底板18之间。
空气供给孔30形成于顶板12的中心部分处。通过未示出的管而与压缩空气供给源连接的接头36装配在空气供给孔30上。四个空气喷射孔34布置在底板18中，同时分别彼此分开。输送物体能够利用由气流产生的伯努利效应而以非接触方式保持，这样，由空气供给孔30供给的空气借助于在中间板26中形成的狭槽24(喷嘴22)而沿轨道运行，同时沿空气喷射孔34的内周方向喷出。顶板12和底板18分别通过激光切割而形成。
顶板12、中间板26和底板18分别通过由板部件切割而形成。例如，各板的连接或粘接表面的平面度和粗糙度可以恰好与原材料相同，而不需要对该原材料进行处理或机械加工。在板之间的大量固定点(这些点定位成用于螺钉部件28)根据施加的应力而进行优化和布置。因此，即使没有在各板之间特别提供密封件，也能够避免空气泄漏。
根据本发明实施例，各顶板12和底板18的厚度(例如由3mm厚的SUS制成的材料)超过关于非接触输送装置10的流体力(作为压力管通道的强度)的要求，以便对应螺钉固定自身强度要求以及将螺钉紧固力转变成在各板之间的板力，以便进行力分布。
非接触输送装置10的性能可以很方便地由用户改变。可以根据安装环境而进行合适操作。在本装置中，能够通过拆卸紧固多个堆叠板的螺钉部件28和使得中间板26与其它中间板(未示出)互换而很容易地改变性能。
防脱开引导机构38布置在顶板12和底板18的外周处。如图4所示，防脱开引导机构38包括：弹簧板42，该弹簧板42布置在顶板12的上表面上，且该弹簧板42形成有具有弹簧力的三个舌片40；柱形引导部件44，该柱形引导部件44固定在舌片40上；以及螺栓46和螺母48，它们将引导部件44安装在弹簧板42的舌片40上。
在工件的非接触输送过程中，防脱开引导机构38限制了工件沿水平方向的自由度，从而防止工件脱离非接触输送装置10。柱形引导部件44由弹性部件(例如氟橡胶)形成。引导部件44与具有弹簧性质的、弹簧板42的舌片40连接，这样，引导部件44可通过舌片40的变形而斜向上移动。因此避免受损，否则可能由于与引导部件44的碰撞而引起损害。
本发明实施例的非接触输送装置10的基本结构如上所述。下面将介绍它的操作、功能和效果。
空气从未示出的空气供给源通过与接头36连接的未示出管而供给空气供给孔30。供给空气供给孔30的空气沿中间板26的狭槽24引入。空气通过流体通道20、喷嘴22和圆形孔32，以便被分别吹入多个空气喷射孔34。而且，空气在各空气喷射孔34的内部空间中进行整流，同时形成涡流。空气作为高速流从各空气喷射孔34向外流向工件。
当空气涡流从空气喷射孔34向外流动时，由于由高速流产生的负压而吸引布置在对着底板18的位置处的工件(例如晶片)，同时工件由于在底板18和工件之间的空气(正压)而受到排斥力。工件由于在负压和正压之间的平衡而保持非接触状态，同时工件被输送到预定位置。
作用在工件上的正压和负压通过在底板18和工件之间的间隙而变化。也就是，当间隙减小时，负压减小而正压增加。另一方面，当间隙增大时，负压增加而正压减小。这样，由于在工件自身重量、正压和负压之间的平衡，要升高的工件能够具有最佳间隙。因此，在该状态下，施加在工件上的总提升力是取决于工件自身重量的值，工件能够通过最小的提升力而升高。该效果使得例如薄膜形工件(例如容易由于外力而变形的晶片)能够在不给工件施加过多应变或使得工件受损的情况下进行输送。
另一方面，对于普通的非接触输送装置，产生这样的问题，即在喷射孔(凹口1)周围产生正压和负压分布，且由于该分布而在工件上产生应变。特别是，当工件根据单个喷射孔或者相对很少数目的喷射孔(凹口1)的作用而升高时，由一个喷射孔(凹口1)产生的提升量增大，将更容易产生上述趋势。
在普通装置中，用作提升力源的负压在喷射孔(凹口1)的中心部分的中心周围产生。因此，工件由于它在与喷射孔(凹口1)分离的部分处的自身重量而向下悬垂，从而在工件上产生应变。
而且，具有薄膜形形状(该薄膜形形状很容易由于外力而变形)的工件将由于局部负载不平衡而变形。因此，在普通装置中，不会产生由工件自身重量和正负压引起的平衡作用，因此不能获得优化的提升力。
因此，为了在不引起应变的情况下以非接触方式输送具有容易由于外力而变形的薄膜形形状的工件，必须提供大量空气喷射孔34，与本发明实施例中相同，因此，由任意一个空气喷射孔34产生的提升力保持较小，并抑制由于在任意单个空气喷射孔34周围的压力分布而引起的应变。当这样抑制加在任意一个空气喷射孔34上的工件区域时，可以防止工件的向下悬垂，否则可能在远离空气喷射孔的部分处由于工件自身的重量而引起该向下悬垂。
在本发明的实施例中，通过提供大量空气喷射孔34而在较短的工作跨距(区域)上分布一系列负载变化，包括负压-正压-工件自身重量。因此，相对于压力变化，工件的表现刚性相对提高(例如，就像在比喻意义下桥墩的间隔变窄)，因此能够抑制工件的应变。因此，在本发明实施例中，通过提供这样大量的空气喷射孔34，容易由于外力而变形的薄膜形工件能够在非接触状态下输送，同时不会在工件上引起应变。
在本发明实施例中，空气喷射孔34形成于底板18中，与空气喷射孔34连通的中心孔32形成于中间板26中，且设有喷嘴22(该喷嘴22由具有沿切向方向的狭窄宽度的狭槽24组成，且该喷嘴22与圆形孔32连通)，从而使空气能够从喷嘴高速喷射。因此，对于各空气喷射孔34，沿周向方向产生空气的高速涡流。一个或多个喷嘴22合适地用于各空气喷射孔34。喷嘴22的直径(狭槽宽度)为大约几百μm。分别根据尺寸形状和结构，空气喷射孔34和喷嘴22以及某些其它部件具有关于负压、正压、压力分布、空气消耗量和供给压力的性能特征。
通常，当空气喷射孔34的数目增加时，形成步骤的数目也相应增加。不过，当具有相同狭槽形状的中间板26以堆叠方式使用，且该中间板26布置在顶板12和底板18之间时，与本发明实施例中相同，可以减少形成步骤的数目，并降低制造成本。
在本发明实施例中，与空气喷射孔34连通的流体通道20和喷嘴22形成一体，具有大约几百μm的狭槽形形状。狭槽24可以利用板形材料简单地形成于中间板26中，其中，材料的平面表面能够按照原样使用。并不需要采用大量的形成步骤来制造板表面。
而且，在本发明实施例中，空气流速由形成于中间板26中的流体通道20来控制。在空气喷射孔34中的空气流由喷嘴22的形状以及喷嘴数目(即每个空气喷射孔34设置的喷嘴数目)来控制。中间板26的厚度也影响这两个性能。因此，通过合适设计中间板26，能够控制吸引性能。因此，涉及吸引性能的部分设置为统一的独立部件。对于吸引性能的各种要求能够很容易实现和优化，例如通过制造不同类型的中间板26，通过试验和更换、重新组合和/或组合这些中间板26。
对于吸引性能的各种要求，本发明实施例的非接触输送装置10的其它部分可以制成为普通部件。因此，能够对应限制生产各种产品(即少量制造各种产品)的需求。当改变性能要求时，可以通过设计和更换中间板26来满足该要求。因此，能够减少设计步骤的数目。
而且，在最终产品中，中间板26可互换，因此，最终用户也可以根据所希望的性能要求通过进行调节等而自由地进行该重新组合。
当形成中间板26时，优选是使用任意几种制造方法，例如机械加工处理、激光切割、线切割、光蚀刻、电铸和金属板压制。
形成中间板26的方式根据在要制造的产品数目和生产成本之间的平衡来确定。例如，当装置的数目较少时(为了用于试验制造等)，优选是采用例如机械加工处理或激光切割的制造方法。另一方面，当要形成的中间板26的总数目为大约10片时，多个板可以堆叠在一起，并通过线切割方法集中制造，并能够因此降低制造成本，因为用于形成中间板26的处理目的在于狭槽。
当中间板26的厚度不超过几百μm时，优选是采用例如光蚀刻或电铸方法，其中，喷嘴22能够更精确地形成。当光蚀刻和电铸时，狭槽形状的复杂性不会影响所需的制造步骤数目。因此，当希望形成大量空气喷射孔34或者希望形成用于实现较轻重量结构和精确控制空气流的孔时，光蚀刻和电铸方法将很有利。
中间板26的形成处理目的只是形成狭槽24。因此，上述形成方法可以互换使用，其中，最佳处理方法可以根据例如发展和设计步骤以及与特定产品系列相关的产品制造来选择。可以根据各种情况变化和制造要求而改变制造处理和使用其它不同的形成方法。
图6至19表示了本发明另外实施例的非接触输送装置50。与上述实施例相同的结构部件使用相同的参考标号来表示，其中，相应结构部件通过在相同参考标号上附加小字母后缀来表示，并将省略对它们的详细说明。
本实施例的非接触输送装置50包括多种板，这些板通过在由不锈钢制成的16个光蚀刻板上集中进行扩散粘接而构成为具有大约3.2mm的总厚度，每个光蚀刻板的厚度为大约0.2mm。
如图7所示，非接触输送装置50有盒形主装置体54，该主装置体54设有空气引入孔52，用于在其中安装L形弯曲接头36a，且16片的多种板通过螺钉部件28而连接到该主装置体54上。环形凹口56形成于主装置体54的上表面上。表现出对堆叠板的密封功能的O形环58安装在环形凹口56中。
如图9所示，堆叠和形成一体的16片多种板根据它们的主要功能而大致分类成：两个堆叠的顶板12a、12b、两个堆叠的中间板26a、26b、两个堆叠的第一底板18a、18b以及十个堆叠的第二底板60a至60j(见图10)。第一底板18a、18b有与图2中所示的底板18相同的功能，用于与中间板26a、26b一起形成三维结构的流体通道20，并有布置在它的两端的耐压壁。十个第二底板60a至60j堆叠成一体，因此形成为提供空气喷射孔34的柱形结构(见图8)。
因为中间板26a，26b通过光蚀刻而形成，因此该中间板26a、26b稳定地形成，并有很高的尺寸精度。光蚀刻提供了非常优良的形成方法，因为并不需要专门的控制步骤来保证和保持该尺寸精度。
工件可能与第二底板60a至60j接触。因此，第二底板60a至60j将形成为具有最小程度的平面形状。在并不涉及提升操作的部分处设置了多个切口部分62(见图6和8)。这些切口部分62对于空气喷射孔34的流体作用具有很重要的意义，且提供了开口切口部分，同时能够从顶板12a、12b连通至第一和第二底板18a、18b和60a至60j。
更具体地说，基于从空气喷射孔34高速喷射的涡流的负压通过由涡流产生的离心力而在涡流中心周围产生，与旋风风眼的状态类似。该负压基于空气喷射孔34周围的压力作用。在空气喷射孔34附近，空气从空气喷射孔34向外流动，其中，空气流沿空气喷射孔34与工件平行的外边缘部分通过，然后向外排出(即排入大气中)。因为空气流排向大气，因此空气喷射孔34周围的压力值比大气压力大在空气喷射孔34与工件平行的外边缘部分处产生的压力损失量。另一方面，在从空气喷射孔34的外边缘至向大气开口的部分处的范围内产生正压。该正压提供了避免工件和装置之间接触的效果。
不过，当压力损失较大时，在涡流的相对中心部分处产生的负压可能是非常小的负压，或者根据大气压力为正压。因此，压力损失减小提供了增大负压的效果。压力损失受到在工件和空气喷射孔34的外边缘部分之间的间隙以及空气喷射孔34与涡流周向方向垂直的部分的长度的影响。因此，从空气喷射孔34至开口于大气压力的部分的距离以及在工件和装置(在工件到达的范围上面)之间的间隙是影响吸引性能的极其重要的因素。
在本实施例中，一对反射类型的光电传感器机构64a、64b安装在非接触输送装置50上，以便保证在非接触状态下吸引晶片。光电传感器机构64a(64b)能够通过由指向工件的从传感器光投射孔66照射的光束来检测工件的存在或不存在，其中，反射光束由布置在传感器光投射孔66(见图13和15)附近的另一传感器光接收孔68来接收。用于将主传感器体70安装在多个堆叠板上的安装孔72穿过主传感器体70而形成，并布置成靠近传感器光投射孔66和传感器光接收孔68。
为了使工件能够通过从装置上剥离而脱开，在进行该脱开的初始阶段中形成使只局部吸引该工件的状态。因此，布置了一对光电传感器机构64a、64b，且工件的吸引状态通过由该对光电传感器机构64a、64b的相应输出信号获得的AND信号来进行检测。
如图11所示，稍微大于主传感器体70的宽度尺寸的装配槽74形成于各堆叠板中。第一翅片76(厚度为大约0.2mm)形成于装配槽74的下部(在工件侧部)，同时不会干涉传感器的光学轴。适应传感器高度的第二翅片78(厚度为大约0.2mm)形成于装配槽74的上部处(在工件侧部)，以便暂时固定传感器。第二翅片78形成为板簧形状，并设有弹簧性能。因此，当主传感器体70的高度尺寸并不很准确时，第二翅片78会根据主传感器体70的尺寸向上变形(见图14)。
如图12所示，主传感器体70通过置于传感器板80中的一对爪82a、82b之间而固定，该对爪82a、82b彼此分开预定间距。当传感器板80与其它板都通过光蚀刻而形成时，传感器板80与其它板同时形成。传感器板80由厚度例如为0.2mm的金属板形成。
两对螺钉84和螺母86用于传感器板80。传感器板80通过螺母插入槽88(螺母86插入该螺母插入槽88内)而固定。在本装置中，主传感器体70由一对爪82a、82b保持，并因此固定主传感器体70。传感器板80通过沿形成于主传感器体70侧部的螺母插入槽88安装螺母86而固定就位(见图16和17)。
从主传感器体70伸出的电缆90将方向改变预定角度，以便进行随后的处理。柔性可弯曲电缆90用于实现该方向变化。电缆被插入布置在传感器机构上表面侧(即布置在工件相对侧的表面)的槽92中。槽92形成为有具有狭窄开口的基本C形截面，其中，从开口向内延伸的内部空间设计成很宽。在该结构中，插入槽92内的电缆90并不从槽92中脱开，因此并不从槽92向外伸出(见图18和19)。
当多种板通过扩散粘接而连接或粘接时，将提供足够的强度和密封性能，以便在薄形装置结构内形成流体通道20。全部板能够集中堆叠和粘接在一起，而不会增加粘接步骤的数目。通过在进行扩散粘接之前选择中间板26a、26b的任意组合，可以很容易地变化或改变装置的各种性能特征。
用作粘接机构的扩散粘接是利用金属原子的扩散现象的粘接方法。具体地说，金属表面能够在原子水平彼此相互接近，随后通过利用加热和增压机构使两部件之间产生扩散现象以便进行粘接，从而利用冶金方法集成为一个单元。
通过扩散现象粘接的部分通常不少于总结构的百分之几十，但是可以根据例如连接条件、表面粗糙度和平面度而不同。因此，另外整个粘接表面的强度不小于原始金属的强度的百分之几十。通过扩散现象粘接的部分均匀分布在粘接表面的整个区域上，因此能够实现气密密封。
当如上述使用扩散粘接时，大量堆叠板能够集中粘接。当进行该粘接时，多个板被简单堆叠、加压，然后在真空炉中加热。只要该粘接集中进行，即使当在一个产品的多个部分进行扩散粘接时，也不会影响形成步骤的数目。因此，当在除了中间板26a、26b之外的部分处需要三维结构时，可以对中间板26a、26b以及其它板同时进行扩散粘接，而不需要只独立粘接和形成中间板26a、26b。因此，形成步骤的数目减少，这有效减小了制造成本。
其它功能和效果与上述实施例相同，省略对它们的详细介绍。
尽管已经详细表示和介绍了本发明的一些优选实施例，但是应当知道，在不脱离所附权利要求的范围的情况下可以进行各种变化和改变。