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本发明涉及一种氮化镓透明导电氧化膜欧姆电极的制作方法,是在氮化镓膜层上形成导电透明膜,再在该导电透明膜上利用离子扩散方式,以在氮化镓膜层表层上形成电气特性相反的透明导电异质接口,以及在该透明导电异质接口的表面铺设一金属厚膜,以用于后续制程打线,因此使用上述的离子扩散方式利用电子、电子空穴的穿隧效应,改善该异质接口的费米能阶位置以形成一欧姆接触电极。 。