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1、10申请公布号CN103345537A43申请公布日20131009CN103345537ACN103345537A21申请号201310303959822申请日20130718G06F17/4020060171申请人上海华力微电子有限公司地址201210上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号72发明人王海杰陈艳朱敏陈毅俊74专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所特殊普通合伙31275代理人吴世华林彦之54发明名称设备加工能力数据的处理系统及其方法57摘要本发明公开了一种设备加工能力数据的处理系统及其方法，属于半导体技术领域。该方法包括通过数据采集装置采集设备加功能力数据；数据存储装置存储。
2、所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。通过本发明的技术方案，从而实现了对这些数据的集成统一管理，方便管理人员采集设备加功能力的数据，进一步实现了对设备加工能力计算基础数据的统计分析。51INTCL权利要求书1页说明书5页附图4页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书5页附图4页10申请公布号CN103345537ACN103345537A1/1页21一种设备加工能力数据的处理系统，其特征在于，包括数据采集装置，用于采集设备加功能力数据；数据。
3、存储装置，用于存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；加工能力分析装置，用于从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。2根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述数据采集装置为数据采集服务器，所述数据存储装置为数据存储服务器，所述加工能力分析装置为加工能力分析服务器。3根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述数据采集装置、所述数据存储装置、所述加工能力分析装置之间通过有线或无线方式进行通讯。4根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述数据采集装置采集的设备加功能力数据包括设备基础数据、设备加工历史数据、设备能力编码数据、制。
4、程配方数据中的一种或任意多种的组合。5根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述加工能力分析装置对设备当前的加工能力进行指标性统计分析包括在不同制程配方条件下，设备的不同加工能力。6根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括客户端，用于查看所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。7根据权利要求6所述的系统，其特征在于，还包括网络服务器，用于发布所述数据采集装置采集的设备加功能力数据和所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。8一种设备加工能力数据的处理系统方法，其特征在于，包括数据采集装置采集设备加功能力数据；数据存储装置存储所述数据采集。
5、装置采集的设备加功能力数据；加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。9根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括查看所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。10根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括发布所述数据采集装置采集的设备加功能力数据和所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。权利要求书CN103345537A1/5页3设备加工能力数据的处理系统及其方法技术领域0001本发明属于半导体技术领域，具体地说，涉及一种设备加工能力数据的处理系统及其方。
6、法。背景技术0002在半导体晶圆的制造过程中，需要对制造设备的加工能力进行评估分析，以保证加工制造过程的正常运营。由此可见，对设备加功能力的计算，以实现有效的管理，在半导体晶圆的制造管理过程中至关重要。0003目前，为了实现设备加工能力的计算，通常采用的技术方案有各系统单独处理数据，通过手工导入或者文件传输的方式进行数据的传输。0004但是，由于系统硬件和软件环境的不足以及系统集成接口的缺失，导致设备加工能力的计算缺乏系统支持。另外由于没有对设备加工能力的数据只是零散的进行处理，没有实现对这些数据的集成统一管理，导致管理人员无法采集设备加功能力的数据，进一步无法实现针对设备加工能力计算基础数据。
7、的统计分析。发明内容0005本发明所要解决的技术问题是提供一种设备加工能力数据的处理系统及其方法，用以部分解决（缓解）或全部解决（缓解）现有技术存在的上述技术问题。0006为解决上述技术问题，本发明提供了一种设备加工能力数据的处理系统，其包括0007数据采集装置，用于采集设备加功能力数据；0008数据存储装置，用于存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；0009加工能力分析装置，用于从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。0010优选地，在本发明的一实施例中，所述数据采集装置为数据采集服务器，所述数据存储装置为数据存储服务。
8、器，所述加工能力分析装置为加工能力分析服务器。0011优选地，在本发明的一实施例中，所述数据采集装置、所述数据存储装置、所述加工能力分析装置之间通过有线或无线方式进行通讯。0012优选地，在本发明的一实施例中，所述数据采集装置采集的设备加功能力数据包括设备基础数据、设备加工历史数据、设备能力编码数据、制程配方数据中的一种或任意多种的组合。0013优选地，在本发明的一实施例中，所述加工能力分析装置对设备当前的加工能力进行指标性统计分析包括在不同制程配方条件下，设备的不同加工能力。0014优选地，在本发明的一实施例中，所述系统还包括客户端，用于查看所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当。
9、前的加工能力指标。0015优选地，在本发明的一实施例中，所述系统还包括网络服务器，用于发布所述数说明书CN103345537A2/5页4据采集装置采集的设备加功能力数据和所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。0016为解决上述技术问题，本发明还提供了一种设备加工能力数据的处理系统方法，其包括0017数据采集装置采集设备加功能力数据；0018数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；0019加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。0020优选地，在本发明的一实施例中，所。
10、述方法还包括查看所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。0021优选地，在本发明的一实施例中，所述方法还包括发布所述数据采集装置采集的设备加功能力数据和所述加工能力分析装置进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。0022本发明中，通过数据采集装置采集设备加功能力数据；数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。通过上述这种技术方案，从而实现了对这些数据的集成统一管理，方便管理人员采集设备加功能力的数据，进一步实现了对设备加工。
11、能力计算基础数据的统计分析。附图说明0023图1为本发明实施例一中设备加工能力数据的处理系统功能框图；0024图2为本发明实施例二中设备加工能力数据的处理系统功能框图；0025图3为本发明实施例三中设备加工能力数据的处理系统功能框图；0026图4为本发明实施例四中设备加工能力数据的处理系统功能框图；0027图5为本发明实施例五中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图；0028图6为本发明实施例六中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图；0029图7为本发明实施例七中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图；0030图8为本发明实施例八中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图。具体实施方式。
12、0031以下将配合图式及实施例来详细说明本发明的实施方式，藉此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。0032本发明的下述实施例中，通过数据采集装置采集设备加功能力数据；数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。通过上述这种技术方案，从而实现了对这些数据的集成统一管理，方便管理人员采集设备加功能力的数据，进一步实现了对设备加工能力计算基础数据的统计分析。0033如图1所示，为本发明实施例一中设备加工能力数据的处理系。
13、统功能框图，其可以包括数据采集装置101、数据存储装置102、加工能力分析装置103。所述数据采集装置说明书CN103345537A3/5页5101、所述数据存储装置102、所述加工能力分析装置103之间通过有线或无线方式进行通讯，换言之，这三者之间可以有线或无线连接。比如通过局域网LAN进行连接，或者通过因特网进行连接。0034其中0035数据采集装置101用于采集设备加功能力数据；0036本实施例中，所述数据采集装置可以为数据采集服务器。所述加工能力分析装置为加工能力分析服务器。但是，需要说明的是，这里所谓的“服务器”并不限定于特定的概念的服务器，比如也可以为一台PC机。0037数据存储装。
14、置102用于存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据。0038实施例中，所述数据存储装置为数据存储服务器，但是，需要说明的是，这里所谓的“服务器”并不限定于特定的概念的服务器，比如也可以为一台PC机。0039本实施例中，所述数据采集装置102采集的设备加功能力数据包括设备基础数据、设备加工历史数据、设备能力编码数据、制程配方数据中的一种或任意多种的组合。需要说明的是，设备加工能力数据并不局限于这几种，本领域普通技术人员可以根据实际的工艺需求，进行灵活定义，在此不再赘述。0040加工能力分析装置103用于从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析。
15、获得加工能力指标。0041本实施例中，所述加工能力分析装置可以为加工能力分析服务器。但是，需要说明的是，这里所谓的“服务器”并不限定于特定的概念的服务器，比如也可以为一台PC机。0042本实施例中，所述加工能力分析装置103对设备当前的加工能力进行指标性统计分析包括在不同制程配方条件下，设备的不同加工能力。0043如图2所示，为本发明实施例二中设备加工能力数据的处理系统功能框图，其可以包括数据采集装置101、数据存储装置102、加工能力分析装置103。0044除了这三个装置，与上述实施例不同的是，本实施例中还包括客户端104。通过该客户端104查看所述加工能力分析装置103进行指标性统计分析获。
16、得的设备当前的加工能力指标。0045数据采集装置101、数据存储装置102、加工能力分析装置103、客户端104之间可以有线连接，也可以无线连接。0046需要说明的是，该客户端104可以是专门定制的手持式终端，也可以是PC机。如果是PC机的话，可以在PC机上安装对应的管理软件，从而实现对指标数据的实时查看。0047如图3所示，为本发明实施例三中设备加工能力数据的处理系统功能框图，其可以包括数据采集装置101、数据存储装置102、加工能力分析装置103。0048与上述实施例不同的是，还可以包括网络服务器105，通过该网络服务器105用于发布所述数据采集装置101采集的设备加功能力数据和所述加工能。
17、力分析装置103进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。0049如图4所示，为本发明实施例四中设备加工能力数据的处理系统功能框图，其可以包括数据采集装置101、数据存储装置102、加工能力分析装置103。0050与上述实施例不同的是，本实施例中，该系统还可以同时包括客户端104和网络服务器105，从而实现在客户端104上查看网络服务器105发布的设备加功能力数据和设备说明书CN103345537A4/5页6当前的加工能力指标。0051如图5所示，为本发明实施例五中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图，对应上述图1所述的系统，其可以包括0052步骤S501、数据采集装置采集设备加功能。
18、力数据；0053步骤S502、数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；0054步骤S503、加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据；0055步骤S504、根据采集的设备加工能力数据对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。0056如图6所示，为本发明实施例六中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图，对应上述图1所述的系统，其可以包括0057步骤S501、数据采集装置采集设备加功能力数据；0058步骤S502、数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；0059步骤S503、加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力。
19、数据；0060步骤S504、根据采集的设备加工能力数据对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标；0061步骤S505、查看进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。0062如图7所示，为本发明实施例七中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图，对应上述图1所述的系统，其可以包括0063步骤S501、数据采集装置采集设备加功能力数据；0064步骤S502、数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；0065步骤S503、加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据；0066步骤S504、根据采集的设备加工能力数据对设备当前的加工能力进行指标性统计分。
20、析获得加工能力指标；0067步骤S506、发布采集的设备加功能力数据和进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标。0068如图8所示，为本发明实施例七中设备加工能力数据的处理系统方法流程示意图，对应上述图1所述的系统，其可以包括0069步骤S501、数据采集装置采集设备加功能力数据；0070步骤S502、数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；0071步骤S503、加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据；0072步骤S504、根据采集的设备加工能力数据对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标；0073步骤S505、发布采集的设备加工能力数。
21、据和进行指标性统计分析获得的设备当前的加工能力指标；0074步骤S506、查看采集的设备加工能力数据和进行指标性统计分析获得加工能力指说明书CN103345537A5/5页7标。0075需要说明的是，上述方法的执行主体可参见对应系统实施例的有关记载，在此不再赘述。0076上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。说明书CN103345537A1/4页8图1图2图3说明书附图CN103345537A2/4页9图4图5说明书附图CN103345537A3/4页10图6图7说明书附图CN103345537A104/4页11图8说明书附图CN103345537A11。