闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统 【技术领域】
本发明涉及一种闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。背景技术 在太阳能电池、 液晶显示器 (LCD) 所代表的平板显示器 (FPD) 等的制造过程中， 对 大型的玻璃基板实施蚀刻或成膜等规定的处理。作为实施该种处理的基板处理系统， 公知 一种具有多个处理室的多腔室型基板处理系统 ( 例如专利文献 1)。
该种多腔室型基板处理系统具有共用输送室， 在该共用输送室中设有用于输送基 板 ( 被处理体 ) 的输送装置， 在该共用输送室的周围设有处理室、 加载互锁 (load lock) 真 空室等， 该加载互锁真空室用于在共用输送室与大气压气氛之间交换未处理的基板和处理 完毕的基板。 上述共用输送室、 处理室以及加载互锁真空室均为真空装置， 通过利用排气机 构对上述真空装置进行排气， 能够使上述真空装置的内部处于规定的降压状态下。
真空装置具有气密的容器主体， 在该容器主体上设有用于搬入搬出被处理体的开 口部。利用闸阀开闭开口部。在利用闸阀关闭开口部时， 能够气密地密封容器主体的内部， 从而能够将容器主体的内部压力降压到规定的处理压力、 或者在大气状态与降压状态之间 改变容器主体的内部状态。闸阀的构造例就如上述专利文献 1 所述。
在上述专利文献 1 所述的闸阀中设有在液压缸的作用下升降的板状的闸基座， 利 用连杆转动自如地将闸基座与阀芯的两侧面连结起来， 从而能够支承以及推压阀芯。采用 该种使用了连杆机构的闸阀中， 在连杆相对于阀芯呈倾斜的状态时， 使阀芯自开口部的周 围离开， 在连杆相对于阀芯呈水平的状态时， 阀芯被推压而与开口部的周围紧密接触。
专利文献 1 ： 日本特开平 5-196150 号公报
最近， 随着被处理体的大型化、 或同时处理多张被处理体的分批处理的推进， 设置 在容器主体上的、 用于搬入搬出被处理体的开口部的尺寸越来越大。由于开口部的尺寸变 大， 所以阀芯的尺寸也变大， 随之阀芯的重量呈增加的趋势。
在专利文献 1 所述的利用了连杆机构的闸阀中， 在阀芯的重量增加时， 很难利用 连杆保持阀芯。 另外， 由于连杆是从阀芯的两侧面推压阀芯的， 因此担心由于开口部的尺寸 变大而使作用在阀芯的上部以及下部的推压力不足。此外， 在推压方向相反侧的压力较大 的状态 ( 反压状态 ) 下， 即使连杆机构自水平状态稍微偏离， 也会在阀芯与开口部的周围之 间发生泄漏， 从而存在容易使闸阀的气密性下降的问题。
在开口部越大、 即阀芯越大时上述问题越明显。这是因为， 阀芯越大， 在反压状态 下受到的压力越大， 从而欲推回阀芯的力越强， 且阀芯的挠曲量也越大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种即使阀芯的尺寸较大、 阀芯的气密性也不易下降的闸 阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。
本发明的第 1 技术方案的闸阀包括 ： 阀芯， 其被推压到用于搬入搬出被处理体的开口部的周围 ； 推压部， 其沿上述开口部呈环状地设置在上述阀芯上 ； 主滑动件， 其沿与上 述开口部的开口面平行的方向滑动 ； 推压机构， 其设置在上述主滑动件上， 用于推压上述 推压部 ； 上述推压机构由凸轮构成， 该凸轮包括用于将上述阀芯推压到上述开口部的周围 的突起部和自上述突起部呈下坡状 ( 高度自突起部降低 ) 形成的倾斜部， 上述推压机构在 使上述阀芯与上述开口部正对的状态下、 沿与上述开口部的开口面垂直的方向推压上述阀 芯， 从而将上述阀芯推压到上述开口部的周围。
本发明的第 2 技术方案的基板处理系统包括 ： 处理室， 其用于对被处理体实施处 理， 具有用于搬入搬出上述被处理体的开口部， 且能够将上述被处理体置于真空状态下 ； 加 载互锁真空室， 其用于交换处理前以及处理完毕的被处理体， 具有用于搬入搬出上述被处 理体的开口部， 且能够将上述被处理体置于大气状态下以及真空状态下 ； 输送室， 其用于在 上述加载互锁真空室与上述处理室之间输送上述被处理体， 具有用于搬入搬出上述被处理 体的开口部， 且能够将上述被处理体置于真空状态下 ； 该基板处理系统使用上述第 1 技术 方案的闸阀作为用于开闭上述处理室、 上述加载互锁真空室以及上述输送室中至少任意一 个的开口部的闸阀， 该开口部用于搬入搬出上述被处理体。
采用本发明， 能够提供一种即使阀芯的尺寸较大、 阀芯的气密性也不易下降的闸 阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。 附图说明
图 1 是概略地表示使用了一实施方式的闸阀的基板处理系统的一例的俯视图。 图 2 是概略地表示一实施方式的闸阀的推压机构的一例的侧视图。 图 3 是概略地表示一实施方式的闸阀的推压机构的一例的侧视图。 图 4 是概略地表示一实施方式的闸阀的脱离机构的一例的侧视图。 图 5 是概略地表示一实施方式的闸阀的脱离机构的一例的侧视图。 图 6 是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的侧视图。 图 7 是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的侧视图。 图 8 是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的侧视图。 图 9 是表示推压部的配置例的图。 图 10 是概略地表示一实施方式的闸阀的一例的俯视图。 图 11 是自图 10 中的箭头 11 的方向观察后得到的主视图。 图 12 是本发明的一实施方式的一变形例的闸阀的剖视图。具体实施方式
下面， 参照附图说明本发明的实施方式。 对于所参照的所有附图中的相同部分， 标 注相同的附图标记。
在本说明中， 将用于制造太阳能电池、 FPD 的大型玻璃基板列举为被处理体的一 例， 且以用于对该玻璃基板实施规定处理、 例如蚀刻处理或成膜处理等的基板处理系统为 例进行说明。
图 1 是概略地表示使用了本发明的一实施方式的闸阀的基板处理系统的俯视图。
如图 1 所示， 一实施方式的基板处理系统 1 包括 ： 处理室， 其用于对基板 G 实施处理， 且在本例中为多个处理室 10a、 10b ； 加载互锁真空室 20， 其用于交换处理前以及处理完 毕的基板 G ； 共用输送室 30， 其用于在加载互锁真空室 20 与处理室 10a 之间、 或加载互锁真 空室 20 与处理室 10b 之间以及处理室 10a 与处理室 10b 之间输送基板 G ； 输送装置 40， 其 设置在共用输送室 30 中， 用于输送基板 G。
在本例中， 处理室 10a、 10b、 加载互锁真空室 20 以及共用输送室 30 为真空装置， 且 分别具有能将基板 G 置于规定的降压状态下的气密的容器主体 50a、 50b、 50c 或 50d。在容 器主体 50a、 50b、 50c 或 50d 上设有用于搬入搬出基板 G 的开口部 51a、 51b、 51c 或 51d。
设置在处理室 10a、 10b 的容器主体 50a、 50b 上的开口部 51a、 51b 借助闸阀室 60 与设置在共用输送室 30 的容器主体 50c 上的开口部 51c 相连接。同样， 设置在加载互锁真 空室 20 的容器主体 50d 上的开口部 51d 借助闸阀室 60 与设置在共用输送室 30 的容器主 体 50c 上的开口部 51c 相连接。
本例中的闸阀室 60 与开口部 51a、 51b、 51c 或 51d 相连通， 且具有能供基板 G 通过 的开口部 61a、 61b、 61c 或 61d， 在闸阀室 60 的内部收容有闸阀的阀芯 62。利用阀芯 62 开 闭开口部 61a、 61b 以及 61d。在本例中， 阀芯 62 与设置在闸阀室 60 的处理室侧或加载互锁 真空室侧的开口部 61a、 61b 以及 61d 的周围紧密接触， 从而能够气密地密封容器主体 50a、 50b、 50c 以及 50d。但本发明并不限于此， 也可以使阀芯 62 与设置在共用输送室 30 侧的开 口部 61c 的周围紧密接触， 从而气密地密封容器主体 50a、 50b、 50c 以及 50d。 另外， 加载互锁真空室 20 具有开放于大气侧、 即基板处理系统 1 的外部的开口部 51e。开放于外部的开口部 51e 用于装载处理前的基板 G、 卸载处理后的基板 G， 利用开放于 大气状态下的阀芯 62 开闭该开口部 51e。
接下来， 一一说明本发明的一实施方式的闸阀的各构件。
图 2 以及图 3 是概略地仅表示本发明的一实施方式的闸阀的阀芯推压机构的一例 的侧视图。上述侧视图是自图 1 中箭头 II 所示的方向观察后得到的图， 以设置在处理室 10a 与共用输送室 30 之间的闸阀为例详细说明上述推压机构。另外， 图 2 表示使阀芯与开 口面正对的状态 ( 解除了对阀芯的推压的状态 )， 图 3 表示关闭了闸阀的状态 ( 推压阀芯的 状态 )。
如图 2 以及图 3 所示， 一实施方式的闸阀 6A 包括阀芯 62 和推压机构 63 ； 上述阀 芯 62 被推压到用于搬入搬出基板 G 的处理室 10a 侧的开口部 61a 的周围 ； 上述推压机构 63 用于将阀芯 62 推压到开口部 61a 的周围。
推压机构 63 在使阀芯 62 与开口部 61a 正对的状态 ( 参照图 2) 下、 沿与开口部 61a 的开口面 64 垂直的方向 A 推压阀芯 62( 参照图 3)， 从而将阀芯 62 推压到开口部 61a 的周 围。
闸阀 6A 具有主滑动件 66， 该主滑动件 66 沿与开口面 64 平行的方向 B 滑动、 在本 例中为上下移动， 在该主滑动件 66 上设有推压机构 63。 推压机构 63 由凸轮构成， 该凸轮含 有用于将阀芯 62 推压到开口部 61a 的周围的突起部 67 以及自突起部 67 向下形成为下坡 状的倾斜部 68。
在阀芯 62 上设有被推压机构 63 推压的推压部 69。推压部 69 具有用于与推压机 构 63 接触的辊 70。辊 70 随着推压机构 63 的滑动 ( 在本例中为上下移动 ) 而在突起部 67 与倾斜部 68 之间沿突起部 67 的表面以及倾斜部 68 的表面滚动。
如图 2 所示， 在辊 70 与倾斜部 68 接触时， 阀芯 62 处于自开口部 61a 的周围离开 的状态， 如图 3 所示， 在辊 70 与突起部 67 接触时， 突起部 67 沿与开口面 64 垂直的方向 A 推压辊 70， 从而使阀芯 62 处于被推压到了开口部 61a 的周围的状态。另外， 在开口部 61a 的周围设有未图示的密封构件、 例如 O 型密封圈， 提高了气密性。
如图 9 的 A 所示， 沿开口部 61a 的周围呈环状地配置推压部 69。由此， 不仅能够推 压阀芯 62 的侧部， 还能推压阀芯 62 的上部和下部。
接下来， 说明阀芯 62 的脱离机构 ( 阀芯复位机构 ) 以及铅垂压靠机构 ( 保持引导 机构 )。
使用了连杆机构的闸阀采用拉伸弹簧为阀芯的脱离机构、 即用于使阀芯从关闭状 态 ( 被推压的状态 ) 返回到打开状态 ( 解除了推压的状态 ) 的机构。 也就是说， 在闸阀处于 关闭状态时， 使拉伸弹簧伸长而对阀芯施加拉力， 从而呈使阀芯处于被拉回到底座的状态。 在打开闸阀时， 拉伸弹簧收缩而将阀芯拉回到底座。
这样， 在采用拉伸弹簧作为阀芯的脱离机构且闸阀处于关闭状态时， 使拉伸弹簧 始终作用有拉力。因此， 可能导致拉伸弹簧变差而断掉。
因此， 在一实施方式的闸阀中， 进行了如下改良。 图 4 和图 5 是概略地仅表示一实施方式的闸阀的阀芯复位机构的一例的侧视图。 与图 2 和图 3 相同， 图 4、 图 5 也是自图 1 中箭头 II 所示的方向观察后得到的侧视图。另 外， 图 4 表示关闭了闸阀的状态， 图 5 表示使阀芯与开口面正对的状态 ( 解除了对阀芯的推 压的状态 )。
如图 4 和图 5 所示， 与图 2 和图 3 所示的闸阀 6A 相比， 闸阀 6B 还具有用于使阀芯 62 自开口部 61a 的周围脱离的脱离机构 80。脱离机构 80 具有在阀芯 62 关闭的状态下处 于收缩状态的能伸缩的伸缩体 81， 该伸缩体 81 的具体的一例为压缩弹簧。
在将阀芯 62 推压到开口部 61a 的周围时， 伸缩体 81 如图 4 所示那样收缩， 在使阀 芯 62 自开口部 61a 的周围脱离时， 伸缩体 81 如图 5 所示那样伸长而使阀芯 62 自开口部 61a 的周围脱离。
作为具体的一例， 闸阀 6B 具有副滑动件 82， 该副滑动件 82 配置在阀芯 62 与主滑 动件 66 之间， 且沿与开口部 61a 的开口面 64 平行的方向 B 滑动。在该副滑动件 82 上设有 脱离机构 80。
此外， 在副滑动件 82 上还设有保持引导机构 83， 该保持引导机构 83 用于保持阀芯 62、 并且将阀芯 62 的推压方向以及阀芯 62 的脱离方向规定为与开口面 64 垂直的方向 A。 作为保持引导机构 83 的结构的一例， 可以包括引导开口 84 和轴 85 ； 上述引导开口 84 设置 在副滑动件 82 上， 且沿与开口面 64 垂直的方向 A 开口 ； 上述轴 85 贯穿该引导开口 84， 且 安装在阀芯 62 上。由于轴 85 沿引导开口 84 前后移动， 因此能够将阀芯 62 的移动方向规 定为与开口面 64 垂直的方向 A。
此外， 在轴 85 的与阀芯 62 的相反侧的顶端设有凸缘部 86。在本例中， 将伸缩体 81 配置在副滑动件 82 的与主滑动件 66 相对的相对面 87 以及设置在该相对面 87 上的凸缘 部 86 之间。
在将阀芯 62 推压到开口部 61a 的周围时， 凸缘 86 如图 4 所示那样压缩伸缩体 81， 在使阀芯 62 自开口部 61a 的周围脱离时， 凸缘 86 如图 5 所示那样自被压缩了的伸缩体 81
接受伸长力， 从而使阀芯 62 自开口部 61a 的周围脱离。
另外， 优选在脱离机构 80 的伸缩体 81 处于伸长状态时， 凸缘部 86 不与主滑动件 66 接触。在本实施方式中， 在主滑动件 66 上设有未图示的开口部， 从而能够在脱离机构 80 的伸缩体 81 处于伸长状态时防止凸缘部 86 与主滑动件 66 接触。
另外， 在本实施方式中， 说明了在保持引导机构 83 上安装有脱离机构 80 的例子， 但也可以分别独立地设置保持引导机构 83 和脱离机构 80。
接下来， 详细说明阀芯 62 的包括退避机构在内的整体结构以及动作。
在阀芯 62 自开口部 61a 的周围脱离后， 阀芯 62 自开口部 61a 的正面退避， 以能够 搬入搬出基板 G。例如， 阀芯 62 可以相对于开口部 61a 退避到上方、 或下方、 或右方、 或左 方。在本实施方式中， 阀芯 62 相对于开口部 61a 退避到上方。
图 6 ～图 8 是概略地表示本发明的一实施方式的闸阀的一例的侧视图。与图 2 以 及图 3 相同， 上述侧视图也是例如自图 1 中箭头 II 所示的方向观察后得到的图。另外， 图6 表示关闭了闸阀的状态， 图 7 表示使阀芯与开口面正对的状态 ( 解除了对阀芯的推压的状 态 )， 图 8 表示打开了闸阀的状态 ( 阀芯退避后的状态 )。另外， 图 10 是概略地表示本发明 的一实施方式的闸阀的一例的俯视图， 图 11 是自图 10 中箭头 11 所示的方向 ( 自共用输送 室 30 侧朝向处理室 10a 的方向 ) 观察后得到的主视图。其中， 在图 10 中省略了配置在阀 芯 62 的上部 ( 以及下部 ) 的中央部的推压部 69 以及与该推压部 69 相对应的推压机构 63 的图示。 如图 6 ～图 8 所示， 一实施方式的闸阀 6C 具有止动件 90， 该止动件 90 用于使副滑 动件 82 停止沿与开口部 61a 的开口面 64 平行的方向 B 滑动。止动件 90 例如设置在闸阀 室 60 的底壁 91 上。
另外， 在图 6 ～图 8 所示的闸阀 6C 中， 主滑动件 66 具有用于卡挂副滑动件 82 的 卡挂部 92。卡挂部 92 例如为突起部， 该突起部位于被设置在副滑动件 82 上的开口 93 的内 部。
另外， 如图 10 和图 11 所示， 主滑动件 66 具有铅垂引导机构 101， 该铅垂引导机构 101 在与副滑动件 82 相对的相对面 107 侧用于使主滑动件 66 相对于副滑动件 82 滑动、 在 本例中为上下移动， 借助该铅垂引导机构 101 将副滑动件 82 与主滑动件 66 连结起来。另 外， 在图 6 ～图 8 中省略表示铅垂引导机构 101。作为铅垂引导机构 101 的结构的一例， 该 铅垂引导机构 101 可以由导轨 102 和连结构件 103 构成 ； 上述导轨 102 沿与开口面 64 平行 的方向 B 设置在副滑块 82 的相对面 87 上 ； 上述连结构件 103 安装在主滑动件 66 的与副滑 动件 82 相对的相对面 107 上。利用导轨 102 和连结构件 103， 能够使主滑动件 66 在始终与 副滑动件 82 相连结的状态下相对于副滑动件 82 滑动。
此外， 如图 10 和图 11 所示， 闸阀 6C 还具有铅垂引导机构 110， 该铅垂引导机构 110 用于使主滑动件 66 滑动、 在本例中为上下移动。另外， 在图 6 ～图 8 中省略表示铅垂引导 机构 110。铅垂引导机构 110 使主滑动件 66 沿与开口部 61a 的开口面 64 平行的方向 B 上 下移动。铅垂引导机构 110 的结构可以与铅垂引导机构 101 相同。即、 如图 10 和图 11 所 示， 铅垂引导机构 110 可以由导轨 104 和连结构件 105 构成 ； 上述导轨 104 沿与开口面 64 平行的方向 B 设置在闸阀室 60 的内壁上 ； 上述连结构件 105 安装在主滑动件 66 上。
此外， 如图 10 和图 11 所示， 闸阀 6C 还具有驱动机构 120， 该驱动机构 120 用于驱
动主滑动件 66 移动， 在本例中使主滑动件 66 上下移动。可以利用例如气缸或液压缸等构 成驱动机构 120。驱动机构 120 借助连接接头 121 与主滑动件 66 相连结。一边利用铅垂引 导机构 110 沿与开口面 64 平行的方向 B 引导主滑动件 66、 一边利用驱动机构 120 使主滑动 件 66 上下移动。另外， 在图 6 ～图 8 中省略表示驱动机构 120 以及连接接头 121。
接下来， 使用图 6 ～图 8 详细说明本发明的闸阀的动作。
如图 8 所示， 在闸阀 6C 打开的状态 ( 阀芯 62 自开口部 61a 的正面退避后的状态 ) 下， 利用设置在主滑动件上的卡挂部 92 支承副滑动件 82。 另外， 如上所述， 利用设置在副滑 动件 82 上的保持引导机构 83 支承阀芯 62。利用驱动机构 120 以及设置在主滑动件 66 上 的铅垂引导机构 110 使主滑动件 66 在支承着副滑动件 82 的状态下沿与开口面 64 平行的 方向 B 下降。
如图 7 所示， 在主滑动件 66 下降至使阀芯 62 与开口部 61a 正对的位置时， 利用止 动件 90 使副滑动件 82 停止下降， 从而使阀芯也停止下降。在副滑动件 82 停止下降后， 利 用铅垂引导机构 101 只使主滑动件 66 沿铅垂引导机构 110 进一步下降。由此， 推压机构 63 的突起部 67 代替倾斜部 68 借助推压部 69 将阀芯 62 推压到开口部 61a 的周围。此时， 利 用保持引导机构 83 沿与开口面 64 垂直的方向 A 推压阀芯 62， 从而不会使阀芯 62 相对于开 口面 64 发生偏离地形成将闸阀关闭的状态 ( 参照图 6)。
然后， 为了使闸阀自该关闭状态变为打开状态 ( 参照图 8)， 首先， 利用驱动机构 120 使主滑动件 66 上升。在主滑动件 66 上升时， 如图 7 所示， 辊 70 自突起部 67 滚动到倾 斜部 68， 伸缩体 81 沿与开口面 64 垂直的方向 A 拉拽阀芯 62， 从而阀芯 62 被拉向副滑动件 82， 自开口部 61a 的周围脱离。
在主滑动件 66 进一步上升时， 如图 7 所示， 卡挂部 92 与副滑动件 82 的开口 93 的 边缘抵接。在进一步使主滑动件 66 上升时， 卡挂部 92 与在限动部 90 的作用下停止滑动的 副滑动件 82 的开口 93 卡挂， 从而带动副滑动件 82 以及阀芯 62 上升。由此， 如图 8 所示， 能够使阀芯 62 自开口部 61a 的正面退避、 即退避到开口部 61a 的上方， 从而能够经由开口 部 61a 搬入搬出基板 G。
根据上述说明可知， 采用本发明的闸阀， 设置在主滑动件 66 上的推压机构 63 在使 阀芯 62 与开口部 61a 正对的状态下沿与开口面 64 垂直的方向 A 推压阀芯 62， 从而能够将 阀芯 62 均匀地推压到开口部 61a 的周围。另外， 主滑动件 66 借助引导机构 110 与闸阀室 60 的内壁相连结， 从而在与开口面 64 垂直的方向 A 上将主滑动件 66 支承在闸阀室 60 的 内壁上。因此， 即使在阀芯 62 上施加有反压时， 推压机构 63 也能沿与开口面 64 垂直的方 向 A 持续推压阀芯 62 的推压部 69， 导致在阀芯 62 上施加有反压的情况如下 ： 例如在处理 室 10a 中以比共用输送室 30 的压力高的压力进行处理时、 对处理室 10a 进行维护而卸下该 处理室 10a 时等。而且， 推压机构 63 仅滑动、 在本例中仅上下移动， 并不倾斜移动。也就是 说， 推压机构 63 即使受到反压也不会倾斜移动， 只是沿与开口面 64 垂直的方向 A 均匀且持 续地对推压部 69 进行推压。因此， 即使在阀芯 62 受到了反压时、 特别是在阀芯 62 的尺寸 较大而受到了较大的反压时， 也不易使阀芯 62 自开口部 61a 的周围脱离， 从而能够获得即 使阀芯的尺寸较大、 气密性也不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。
另外， 在专利文献 1 所述的闸阀中， 为了维持闸阀的关闭状态而必须使液压缸持 续工作。 但本发明的闸阀的推压机构 63 由于利用凸轮推压阀芯 62， 因此在想要维持闸阀的关闭状态时， 并不需要另外施加驱动力。由此， 即使在因维护等而停止供给驱动用的气体、 电力的状态下， 仍能维持闸阀的关闭状态。
此外， 在利用了连杆机构的闸阀中， 利用被设置在阀芯的两例面的连杆支承阀芯。 在阀芯的重量增加时， 担心连杆不能完全承受阀芯的重量而发生变形。采用本发明的一实 施方式的闸阀， 利用被设置在副滑动件 82 上的保持引导机构 83 支承阀芯 62， 因此能够将保 持引导机构 83 设置在副滑动件 82 的任意位置上。例如， 可以将保持引导机构 83 设置在副 滑动件 82 的中央部， 可以设置许多个保持引导机构 83。另外， 用于保持副滑动件 82 的、 设 置在主滑动件 66 上的卡挂部 92 也同样只要是设置在与副滑动件 82 的开口 93 相对应的位 置， 就可以设置在主滑动件 66 的任意位置。由此， 即使阀芯 62 的尺寸变大、 阀芯的重量增 加， 也能支承阀芯 62， 从而能够应对阀芯 62 的尺寸的大型化。
此外， 通过将保持引导机构 83 设置在副滑动件 82 上， 还能沿与开口面 64 垂直的 方向准确地推压阀芯 62。而且， 由于副滑动件 82 借助铅垂引导机构 101 与主滑动件 66 相 连结， 因此副滑动件 82 不会相对于开口面 64 倾斜地偏离。由此， 能够获得可进一步确保气 密性不易下降的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。
此外， 采用本发明的一实施方式的闸阀， 在脱离机构 80 中使用伸长状态稳定的伸 缩体 81， 从而能够在关闭了闸阀的状态下使压缩力作用于伸缩体 81。由此， 与在闸阀处于 关闭状态时使拉力始终作用于伸缩体的情况相比， 能够避免伸缩体断掉。 由此， 能够获得可 以避免发生例如因在基板的处理过程中伸缩体断掉而使阀芯 62 无法自开口部 61a 的周围 脱离那样的不良的闸阀以及使用了该闸阀的基板处理系统。 图 12 的 A 以及图 12 的 B 是本发明的一实施方式的变形例的闸阀的剖视图。图 12 的 A 所示的剖面表示沿图 12 的 B 中 12A-12A 的纵剖面。图 12 的 B 所示的剖面表示沿图 12 的 A 中 12B-12B 的横剖面。另外， 在图 12 的 A 以及图 12 的 B 所示的一变形例中， 省略表示 副滑动件 82， 但自不必说本发明也能应用在具有副滑动件 82 的情况。
如图 12 的 A 以及图 12 的 B 所示， 通常在阀芯 62 的周围安装有密封构件 130， 该阀 芯 62 被推压机构 63 推压到开口面 64 上。通过将密封构件 130 推压到开口面 64 上， 能够 密封开口 61a。密封构件 130 例如为 O 型密封圈。在处理过程中， 有时自开口 61a 对阀芯 62 施加有反压。利用阀芯 62 本身的刚性和自主滑动件 66 输出的推压机构 63 的推压力超 出上述反压， 从而使密封构件 130 与开口面 64 紧密接触， 由此能够保持闸阀的气密性。
另外， 在一实施方式的闸阀中， 在主滑动件 66 的后侧例如配置有导轨 104， 安装在 主滑动件 66 上的连结构件 105 以能沿该导轨 104 滑动的状态与该导轨 104 相连结。沿开 口 61a 的侧部配置上述导轨 104。 因此， 在自阀芯 62 对主滑动件 66 施加有反压时， 导轨 104 作为接受自主滑动件 66 输出的反压的部分而发挥作用， 起到限制主滑动件 66 沿开口 61a 的侧部发生弹性变形的作用。
另外， 如上所述， 一实施方式的闸阀具有有利于应对阀芯大型化的结构。 例如即使 开口 61a 的 1 边为米数量级、 该开口 61a 的尺寸例如为数米 × 数米， 一实施方式的闸阀也 能应对该情况。在开口 61a 的 1 边为米数量级时， 阀芯 62 的 1 边的大小也为米数量级。
这样， 在阀芯 62 的尺寸变大时， 所接受的反压也变得相当大。承受了相当大的反 压的阀芯 62 沿开口 61a 的上部、 下部对主滑动件 66 施加使该主滑动件 66 变形的力。 结果， 引发主滑动件 66 的弹性变形。
即使承受了反压的阀芯 62 发生的是微弱的变形， 但在阀芯 62 的 1 边为例如米数 量级的大小时， 在开口 61a 上部的中央部分以及开口 61a 下部的中央部分上的变形却非常 大。
但是， 在一实施方式的闸阀中， 在沿开口 61a 的上部、 下部的部分上并未设置导轨 104 那样的用于承受自主滑动件 66 输出的反压的部分。
如果阀芯 62 的、 开口 61a 上部的中央部分以及开口 61a 下部的中央部分的变形大 于密封构件 130 的压缩量， 则密封构件 130 脱离开口面 64 而使气密性下降。
因此， 在一变形例中， 在主滑动件 66 的与阀芯 62 相反的一侧、 在与开口 61a 上部 的中央部分相对应的位置以及与开口 61a 下部的中央部分相对应的位置设有用于限制主 滑动件 66 的弹性变形量的阻挡部 131。在本例中， 将阻挡部 131 设置在共用输送室 30 侧的 开口 51c、 61c 各自的上部中央部分、 下部中央部分上。在本例中， 阻挡部 131 被固定安装在 共用输送室 30 的壁面上， 且可被卸下， 在将该阻挡部 131 安装在上述壁面上时， 阻挡部 131 不容易活动。例如， 可以利用螺栓紧固的方式安装阻挡部 131。
这样， 通过在与开口 61a 上部的中央部分相对应的位置以及在与开口 61a 下部的 中央部分相对应的位置设置阻挡部 131， 即使在主滑动件 66 上施加有来自阀芯 62 的反压， 也能利用阻挡部 131 限制主滑动件 66 的弹性变形。 通过限制主滑动件 66 的弹性变形， 能够 阻止阀芯 62 的、 开口 61a 上部的中央部分以及开口 61a 下部的中央部分发生变形。例如， 在比能损坏密封构件 130 的压缩量小地设定主滑动件 66 与阻挡部 131 的顶端部分 132 之 间的分开距离时， 能够抑制阀芯 62 的、 开口 61a 上部的中央部分以及开口 61a 下部的中央 部分发生大于密封构件 130 的损坏压缩量的变形。具体的数值例根据阀芯 62 的大小、 所设 想的反压的大小的不同而变化， 若列举一例， 如下所述。 在阀芯 62 封闭处理室 10a、 10b 的容器主体 50a、 50b 时
· 下方的阻挡部 131L 的顶端部分 132 与主滑动件 66 之间的分开距离 DL 为 0.3mm ～ 0.35mm。
· 上方的阻挡部 131U 的顶端部分 132 与主滑动件 66 之间的分开距离 DU 为 0.5mm ～ 0.55mm。
在阀芯 62 封闭加载互锁真空室 20 的容器主体 50d 时
· 下方的阻挡部 131L 的顶端部分 132 与主滑动件 66 之间的分开距离 DL 为 0.4mm ～ 0.45mm。
· 上方的阻挡部 131U 的顶端部分 132 与主滑动件 66 之间的分开距离 DU 为 0.6mm ～ 0.65mm。
根据阀的构成构件的在可动时的接触等风险决定上述数值范围的下限值， 根据在 施加有反压时能保持气密性的容许极限决定上述数值范围的上限值。
例如在阀芯 62 的 1 边的尺寸为米数量级时、 或在所设想的反压较大时， 上述一变 形例尤其有效。
以上， 说明了本发明的一实施方式， 本发明并不限于上述一实施方式， 可以进行各 种变形。另外， 上述一实施方式也并非是本发明的唯一的实施方式。
例如， 在上述实施方式中， 阀芯 62 的被推压机构 63 推压的推压部 69 可以设置在 阀芯 62 的任意位置上。例如， 在使用了连杆机构时， 则变成利用被设置在阀芯的两侧面上
的连杆推压阀芯。相对于此， 推压部 69 也可以配置在阀芯 62 的上部以及下部。因此， 如图 9 的 A 所示， 不仅能够推压阀芯的侧部， 还能推压阀芯的上部以及下部。
另外， 推压部 69 可以配置在阀芯 62 的表面内。因此， 例如图 9 的 B 所示， 能够沿 最容易使阀芯 62 受到压力的开口部 61a 的内侧呈环状地配置推压部 69。
此外， 如图 9 的 C 所示， 还可以与开口部 61a 的中央部分相对应地配置推压部 69。
这样， 通过将推压部 69 配置在开口部 61a 的内侧， 能够以阻止使阀芯 62 相对于阀 芯 62 所承受的反压发生变形的方式推压阀芯 62。由此， 能够获得即使阀芯的尺寸变大、 也 能进一步确保气密性不易下降的闸阀。
另外， 特别是在沿开口部 61a 的内侧呈环状地配置推压部 69、 且还与开口部 61a 的 中央部分相对应地配置推压部 69 时， 能够更好地获得该优点。
在图 9 的 A ～ C 中， 表示了在阀芯 62 的各边分别设置 3 个推压部 69、 沿开口部 61a 呈环状地共设置 8 个推压部 69、 或在阀芯 62 的中央加设 1 个而共设置 9 个推压部 69 的例 子， 但本发明并不限于此。例如， 也可以在阀芯 62 的各边分别设置 4 个、 共 12 个推压部 69、 或在阀芯 62 的中央加设 1 个而共设置 13 个推压部 69， 还可以设置上述数量以上的推压部 69。但是， 无论设置多少数量的推压部 69， 优选以均等的距离设置在阀芯 62 的各边上的推 压部 69， 从而能够均匀地推压阀芯 62。 另外， 在上述一实施方式中， 说明了使阀芯、 副滑动件以及主滑动件上下移动的例 子， 但也可以使上述构件左右移动。
此外， 在上述一实施方式中， 由包括突起部 67 和倾斜部 68 的凸轮构成推压机构 63、 由与凸轮接触的辊 70 构成推压部 69， 但也可以由辊构成推压机构、 由包括突起部和倾 斜部的凸轮构成推压部。
此外， 在上述一实施方式中， 将用于制造太阳能电池、 FPD 的玻璃基板作为被处理 体进行了说明， 但被处理体并不限于玻璃基板， 也可以是半导体晶圆等其他基板。