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本发明公开一种苯法顺酐装置尾气的催化氧化处理工艺,苯法顺酐尾气与空气混合经电加热器或蒸汽加热器加热后,采用贵金属蜂窝催化剂,在压力030kPa(G),入口温度为100500,出口温度为300750的催化氧化反应器中进行催化氧化反应,将有害的挥发性有机物转化为二氧化碳和水,最后进入尾气换热器回收热量后排入大气。本发明采用催化氧化反应处理苯法顺酐尾气,具有工艺简单、系统阻力小;操作范围宽广,工作稳定可。