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1、10申请公布号CN101968226A43申请公布日20110209CN101968226ACN101968226A21申请号201010522959322申请日20101026F23G7/0020060171申请人陕西天宏硅材料有限责任公司地址712038陕西省咸阳市渭城区正阳镇河堤路东段72发明人姜静刘毅唐明元王绍祖魏彬屈杰54发明名称多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺57摘要本发明涉及一种多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺。它将多晶硅生产过程中，排出含有氯硅烷三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅及金属氯化物的废气、废液，在燃烧炉内，用天然气作为燃料，在9001000的高温和。
2、001006BARG的压力条件下，将废气、废液中的氯硅烷高温水解，生成容易处理的SIO2、HCL和少量CL2等物质。此工艺流程将有毒、难处理的氯硅烷，燃烧高温水解为容易处理的SIO2、HCL和少量CL2等物质，可以克服水解碱吸收和石灰乳CAOH2中和沉淀处理不彻底，氯离子没办法去除，二次污染严重，产生大量废水、废渣，运行成本高等难题。同时基本不产生废水、废渣，实现了有用资源的回收利用。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图1页CN101968226A1/1页21一种多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺，其特征在于它将多晶硅生产过程中，。
3、排出含有氯硅烷三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅及金属氯化物的废气、废液，在燃烧炉内，用天然气作为燃料，在9001000的高温和001006BARG的压力条件下，将废气、废液中的氯硅烷高温水解，生成容易处理的SIO2、HCL和少量CL2等物质。2如权利要求1所述的多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺，其特征在于多晶硅生产中的废气首先进入废气缓冲罐，然后通过压力调节阀进入燃烧炉燃烧处理；多晶硅生产中的废液首先进入废液暂存罐，然后根据燃烧炉的运行工况，用压缩氮气送入燃烧炉系统燃烧处理，助燃天然气提供热量，以达到需要的9001000的燃烧温度；助燃空气提供富余氧气，使含氯硅烷在燃烧过程中充分高温。
4、水解，然后在余热锅炉回收蒸汽；在过滤器中回收二氧化硅SIO2；在四级循环增浓塔中回收盐酸HCL和少量CL2；剩余烟气经二级碱洗塔、气水分离器后排放。权利要求书CN101968226A1/2页3多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺一、技术领域0001本发明涉及多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺，它属于多晶硅生产过程中排出含有氯硅烷废气、废液的燃烧处理的工艺。此工艺是将多晶硅生产过程中排出含有氯硅烷三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅及金属氯化物的废气、废液，在燃烧炉内，用天然气和助燃空气，通过高温水解反应，生成容易处理的SIO2、HCL和少量CL2等物质。二、背景技术0002随着多晶。
5、硅产业飞速发展，规模、产量的不断扩大，随之而来的多晶硅生产过程中排出含氯硅烷废气、废液的安全和环保问题日益突出，已成为整个多晶硅产业链中急需解决的瓶颈之一。0003目前国内外多晶硅行业对含氯硅烷废气、废液的处理，通常采用以下几种方法00041水解碱吸收法将生产过程中各工序排放的氯硅烷废气、废液，全部分别用管道送入淋洗塔，用10NAOH溶液连续洗涤，出塔底的淋洗液，经过滤后，渣外运填埋，过滤液用泵送入废水处理工序继续处理，余气经烟囱排放。00052用常规的石灰乳CAOH2中和沉淀法用石灰乳CAOH2水解中和处理含氯硅烷的废气、废液。由于氯化钙在水中的溶解度高，氯离子仍存在于水中，处理后的水是含盐。
6、水，这种含盐水是不能排放的，导致处理效果不好。0006上述两种方法，虽然基本上都能处理含氯硅烷的废气、废液，但是水解碱吸收法产生大量的废水、废渣，尤其是碱消耗量大，容易结渣导致设备不能正常运行；石灰乳CAOH2中和沉淀法需要很大的占地面积，现场操作环境很差。0007随着国家对环境保护的日益重视，如何有效、环保、节能地处理多晶硅生产排出含氯硅烷废气、废液硅，已成为多晶硅行业能否健康发展的主要瓶颈之一。三、发明内容0008本发明的目的是提供一种多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺，是将多晶硅生产过程中排出含有氯硅烷三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅及金属氯化物的废气、废液，在燃烧炉内，用天然气。
7、和助燃空气，通过高温水解反应，生成容易处理的SIO2、HCL和少量CL2等物质，它可以克服水解碱吸收和石灰乳CAOH2中和沉淀处理不彻底，氯离子没办法去除，二次污染严重，产生大量废水、废渣，运行成本高等缺点。0009本发明的目的是这样来完成的多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺，它将多晶硅生产过程中，排出含有氯硅烷三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅及金属氯化物的废气、废液，在燃烧炉内，用天然气作为燃料，在9001000的高温和001006公斤的压力条件下，将废气、废液中的氯硅烷高温水解，生成容易处理的SIO2、HCL和少量CL2等物质。0010废气首先进入废气缓冲罐，然后通过压力调节阀进入。
8、燃烧炉燃烧处理；废液首先说明书CN101968226A2/2页4进入废液暂存罐，然后根据燃烧炉的运行工况，用压缩氮气送入燃烧炉系统燃烧处理。助燃天然气提供热量，以达到需要的9001000的燃烧温度；助燃空气提供富余氧气，使含氯硅烷在燃烧过程中充分高温水解，然后在余热锅炉回收蒸汽；在过滤器中回收二氧化硅SIO2；在四级循环增浓塔中回收盐酸HCL和少量CL2；剩余经二级碱洗塔、气水分离器后排放。0011本发明多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺的特点在于将有毒、难处理的氯硅烷，燃烧高温水解为容易处理的SIO2、HCL和少量CL2等物质，解决了常规方法处理不彻底，氯离子没办法去除的难题。同时。
9、基本不产生废水、废渣，实现了有用资源的回收利用。四、附图说明0012附图1多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺流程图。五、具体实施方式0013实施例一0014将生产中含氯硅烷的废气首先进入废气缓冲罐，然后通过压力调节阀进入燃烧炉燃烧处理；将生产中含氯硅烷的废液首先进入废液暂存罐，分别以天然气作为燃料，助燃空气提供富氧，在950的高温下，助燃空气提供富余氧气，使含氯硅烷在燃烧过程中充分高温水解，然后在余热锅炉回收蒸汽；在过滤器中回收二氧化硅SIO2；在四级循环增浓塔中回收盐酸HCL和少量CL2；剩余经二级碱洗塔、气水分离器后排放。0015本发明多晶硅生产中含氯硅烷废气、废液的燃烧处理工艺，在我公司处理多晶硅生产过程中排放的废气、废液，氯硅烷的破除率达到了99以上，处理效果较好。说明书CN101968226A1/1页5图1说明书附图。