促动器.pdf

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1、10申请公布号CN102062130A43申请公布日20110518CN102062130ACN102062130A21申请号201010556182222申请日20101112200925943920091113JPF15B15/14200601F16H21/0820060171申请人SMC株式会社地址日本国东京都千代田区外神田四丁目14番1号秋叶原UDX15楼72发明人深野喜弘杉山亨宫原正树74专利代理机构上海市华诚律师事务所31210代理人梅高强54发明名称促动器57摘要一种促动器10配备有缸体12，在缸体12的内部布置有用于在其中移位的活塞58。连接到活塞58的活塞杆40从缸体12的端。

2、部向外突出到外面。具有引导体94和一对导向杆98A，98B的引导单元26可拆卸地布置在缸体12上，引导体94附接至缸体12，而一对导向杆98A，98B布置为相对于引导体94可移位地。另外，通过经连接板100使引导单元26的导向杆98A，98B与活塞杆40互相连接，当活塞杆40在轴向上移位时，活塞杆40被一对导向杆98A，98B引导。30优先权数据51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书8页附图10页CN102062139A1/1页21一种促动器，包含本体12，162；移位机构20，所述移位机构20具有可移位体40，152，154，所述可移位体40，15。

3、2，154布置在所述本体12，162中，用于沿着所述本体12，162的轴向移位；和导向机构26，168，所述导向机构26，168具有附接至所述本体12，162的主体部94、大致与所述可移位体40，152，154平行布置的引导轴98A，98B和使所述引导轴98A，98B与所述可移位体40，152，154互联的连接构件100，所述引导轴98A，98B沿着所述轴向可移位地相对于所述主体部94被支撑；其中所述导向机构26，168相对于所述本体12，162可拆卸地布置。2如权利要求1所述的促动器，其特征在于，所述引导轴98A，98B包含一对引导轴98A，98B，该对引导轴98A，98B以所述可移位体40。

4、，152，154为中心等间距分开。3如权利要求1所述的促动器，其特征在于，所述主体部94包含定位单元，所述定位单元用于进行所述主体部94相对于所述本体12，162的定位。4如权利要求1所述的促动器，其特征在于，所述主体部94包括凹陷，所述本体12，162安装在该凹陷中，并且所述可移位体40，152，154和引导轴98A，98B在大致相同的高度沿水平方向平行排列。5如权利要求1所述的促动器，其特征在于，所述主体部94包含通孔108，所述通孔108在垂直于所述引导轴98A，98的轴线的方向上贯穿，其中用于拉紧构件109的螺纹结合的螺纹部108A形成在所述通孔108中。6如权利要求1所述的促动器，其。

5、特征在于，所述主体部94包含大致平行于所述移位体40，152，154而贯穿的支撑孔96A，96B，所述支撑孔96A，96B沿着轴向可移位地引导所述引导轴98A，98B。7如权利要求1所述的促动器，其特征在于，所述促动器10包含布置在所述本体12上的驱动部16和用于将所述驱动部16的驱动力传递到所述可移位体40的传动机构22，所述驱动部16在供应到其的电力的作用下被驱动，所述可移位体40由所述驱动力移位。8如权利要求1所述的促动器，其特征在于，所述促动器150包含形成所述本体162内的端口158，160和排列在所述本体162的内部中的所述可移位体152，154，加压流体通过所述端口158，160。

6、被供给和排出，其中所述可移位体152，154通过将所述加压流体供应到所述本体162的内部而被移位。权利要求书CN102062130ACN102062139A1/8页3促动器技术领域0001本发明涉及一种促动器，在该促动器中，通过将来自驱动部的驱动力传递到可移位体上，该可移位体被移位给定的行程。背景技术0002迄今为止，作为用于传输工件等的手段，例如存在一种已经广泛使用的促动器，在该促动器中，进给螺母通过诸如电动机等的旋转驱动源的旋转驱动力而被旋转驱动，由此使滑块移位而传输工件。0003正如日本公开专利公报NO2007089275所公开的，本发明的受让人已经提出一种促动器，该促动器配备有诸如电动。

7、机等的驱动源、设置在主体外壳内的传动机构和位移机构，该传动机构连接到驱动源并且来自驱动源的驱动力通过该传动机构传递，该位移机构连接到外壳，来自传动机构的驱动力被传递到该位移机构以使位移机构移动给定的行程。发明内容0004本发明的主要目的在于提供一种促动器，该促动器能够通过以可拆卸的方式设置导向机构来使可移位体沿着轴向稳定移位，使得与需要负载的尺寸相对应地被优化的导向机构被选定。此外，根据这种结构，促动器的强度和刚度可以被提高。0005本发明的特征在于本体、具有可移位体的位移机构和具有主体部的导向机构、引导轴和连接构件，该可位移体布置在本体内以便沿着本体的轴向移位，主体部附接至本体，引导轴大致平。

8、行于可移位体设置并且沿轴向可相对于主体部移位地被支撑，连接构件互联引导轴和可移位体，其中导向机构相对于本体可拆卸地设置。0006根据本发明，导向机构包含主体部、引导轴和连接构件，引导轴沿着轴向可相对于主体部移位地被支撑，连接构件互联引导轴和可移位体，该导向机构相对于配备有位移机构的本体可拆卸地设置。另外，当构成位移机构的可移位体沿着本体的轴向移位时，可移位体与经由连接构件连接到可移位体上的引导轴一起移位，由此可移位体被沿着轴向引导。0007因此，通过相对于本体安装导向机构，可移位体能够在组成导向机构的引导轴的引导作用下以稳定的方式沿着轴向移位，与此同时，相对于沿垂直于轴向的方向施加到可移位体上。

9、的负载，足够的刚度可以被获得。0008从下面结合附图进行的说明中，本发明的上述及其他目标、特征和优点将变得更明显，附图中通过说明性实例显示了本发明优选实施例。附图说明0009图1是显示根据本发明第一实施例的促动器的外部透视图；0010图2是显示引导单元从图1的促动器拆除并且与之分离情况的分解透视图；0011图3是图1所示促动器的总体垂直剖视图；说明书CN102062130ACN102062139A2/8页40012图4是促动器的正视图；0013图5是沿图3的线VV的剖视图；0014图6是沿图3的线VIVI的剖视图；0015图7是沿图4的线VIIVII的剖视图；0016图8是显示根据本发明第二实。

10、施例的促动器的外部透视图；0017图9是显示引导单元从图8的促动器拆除并且与之分离情况的分解透视图；0018图10是图8所示促动器的总体垂直剖视图。具体实施方式0019如图1到4所示，根据本发明第一实施例的线性促动器10包括纵向尺寸沿轴向箭头A和B方向延伸的缸体本体12、连接至缸体12的一端的盖单元14、通过电信号可旋转地驱动并且大致平行于缸体12布置的驱动部16、布置在缸体12内部的移位机构20、该移位机构20具有能够通过来自驱动部16的驱动力移位经过给定行程的移位螺母18，配备有将来自驱动部16的驱动力传递到移位机构20的驱动力传动机构传动机构22的驱动单元24、和附接至构成驱动单元24的。

11、缸体12的一端的引导单元引导机构26，该引导单元26沿着轴向引导移位机构20。0020更具体地说，上述驱动单元24形成电促动器，该电促动器能够根据向驱动部16提供电能而使位移机构20移位。0021在缸体12中，横截面大致呈圆形开口的孔28在轴向箭头A和B方向上穿过缸体12。在缸体12的一端，壳体30被螺纹连接，盖单元14的适配器32和它一起被设置，该适配器32通过壳体30使缸体12和驱动部16互联。在壳体30的内部，一对第一轴承34平行排列，这些轴承由轴承保持器54保持在原位。0022另一方面，在缸体12的另一端，筒形杆套36被容纳在孔28的内部。在轴向箭头A和B的方向上，杆套36被止动环38。

12、闩锁并保持在原位，在某种程度上与孔28的台阶相结合。杆封装RODPACKING42和衬套BUSH44布置在杆套36的内周表面上，后面提到的活塞杆可移位体40能够相对于其滑动接触。与之一起，在杆套36的端面上，由弹性材料例如橡胶、氨基甲酸乙酯制成的缓冲器被安装成面朝缸体12的一端侧。0023更进一步地，在缸体12的另一端，当稍后描述的引导单元26被附接至其上时，定位销46被插入其中的一对销孔48和两对螺钉孔50A，50B分别形成在缸体12的底壁上，两对螺钉孔50A，50B在本体的长度方向上分开预定距离并且以销孔48为中心。螺钉孔50A，50B用于与稍后描述的联接螺栓52A，52B螺纹结合。002。

13、4另一方面，在孔28的内周表面上形成有槽56见图6，槽56沿轴向箭头A和B的方向延伸并且在径向向外的方向上凹陷。布置在稍后描述的移位机构20的活塞58上的旋转止动构件60被插入槽56中。0025盖单元14连接至缸体12的一端和驱动部16的端部，并进一步包括适配器32和安装到适配器32的开放区域并且关闭该开发区域的皮带轮盖62，驱动力传动机构22被容纳在适配器32的内部。更具体地说，缸体12和驱动部16通过盖单元14大致并行地互相连接在一起。0026驱动部16由例如像直流马达、步进电机等等的旋转驱动源64构成，驱动部16由说明书CN102062130ACN102062139A3/8页5从未示出的。

14、电源通过电源线供应的电流而被可旋转地驱动。驱动部16通过适配器32连接至缸体12的一端，该适配器32形成在驱动部16的该端部上，并且驱动力传动机构22的驱动皮带轮68装配在旋转驱动源64的驱动轴66上。0027位移机构20包括容纳在缸体12内部的螺杆轴70、与螺杆轴70螺纹结合的移位螺母18、安装在移位螺母18的外圆周侧的活塞58、连接到活塞58的一端的活塞杆40和安装到活塞杆40一端并关闭该端的管套72。0028螺杆轴70在其外圆周侧具有刻在其中的螺纹，该螺纹沿着螺杆轴70的轴向箭头A和B的方向纵向形成。螺杆轴70的一端布置在缸体12的一端侧在箭头A的方向上，并且连接器74连接到该螺杆轴70。

15、的一端。0029连接器74的外周表面被第一第二轴承34，76可旋转地保持。更进一步地，构成驱动力传动机构22的一部分的从动皮带轮78与连接器74的端部螺纹结合并且连接至该端部。更具体地说，螺杆轴70的一端通过连接器74被第一和第二轴承34，76保持在可旋转的状态。0030另一方面，螺杆轴70的另一端侧在箭头B的方向上插入活塞杆40的内部，环形的支撑环82通过保持器80布置在螺杆轴70的另一端上。0031移位螺母18形成为圆柱形并且在其中央部中具有沿轴向的螺纹孔未显示。螺杆轴70相对于未示出的螺纹孔螺纹结合。另外，在螺杆轴70的旋转作用下，缸体12的内部沿着轴向在箭头A和B的方向上移位。0032。

16、活塞58形成为圆柱形，移位螺母18被容纳并连接在其内部，活塞58的一端相对于活塞杆40连接。更进一步地，磁体84通过环形槽安装在活塞58的外圆周侧。来自磁体84的磁力被安装在缸体12的外侧的位置检测传感器未显示检测，由此活塞58在促动器10中的位置被限制。0033旋转止动构件60具有凸出部未显示，该凸出部从旋转止动构件60的外圆周侧在径向向外的方向上突出。通过将旋转止动构件60连同活塞58插入缸体12的内部，凸出部被分别插入槽56中。结果，活塞58和包含旋转止动构件60在内的移位螺母18被防止在缸体12内沿旋转方向移位。0034活塞杆40形成为具有预定长度的圆柱形管25。其一端与活塞58螺纹结。

17、合，由此管套72被安装到另一端内并关闭该另一端。更进一步地，螺杆轴70容纳在活塞杆40的内部中，使得支撑环82与内周表面滑动接触，杆封装42和衬套44可与活塞杆40的外周表面滑动接触。0035另外，活塞杆40布置成在活塞58的移位作用下，活塞杆40与活塞58一起在轴向上移位，以便能够从缸体12的另一端侧在箭头B的方向上突出到外面。0036如图1，3和5所示，驱动力传动机构22包括驱动皮带轮68、从动皮带轮78和正时皮带90，驱动皮带轮68被容纳在适配器32和皮带轮盖62的内部中并且连接到旋转驱动源64的驱动轴66，从动皮带轮78中安装有连接至螺杆轴70的连接器74，正时皮带90绕着并延伸经过驱。

18、动皮带轮68和从动皮带轮78两者。0037更进一步地，驱动皮带轮68通过螺纹结合的、从外圆周侧面朝中心方向的螺栓销92被固定到被限制不与驱动轴66发生相对移位的状态，类似的，从动皮带轮78通过螺纹结合的、从外圆周侧面朝中心方向的螺栓销92被固定到被限制不与连接器74发生相对移位说明书CN102062130ACN102062139A4/8页6的状态。0038另外，多个轮齿设置在驱动皮带轮68和从动皮带轮78的外圆周侧，驱动皮带轮68和从动皮带轮78与设置在正时皮带90的内周表面上的轮齿相啮合。由于这一点，驱动部16的旋转驱动力经由正时皮带90被从驱动皮带轮68传递到从动皮带轮78，这引起螺杆轴7。

19、0旋转，与之相伴，与螺杆轴70螺纹结合的移位螺母18能够沿着轴向在箭头A和B的方向上被移位。0039引导单元26包括横截面形成U形的引导体主体部94、一对导向杆引导轴98A，98B和使导向杆98A，98B与活塞杆40互联的连接板连接构件100，导向杆98A，98B插通设置在引导体94内的一对杆孔支承孔96A，96B。0040引导体94由基部102和一对引导部104A，104B构成，基部102例如由诸如铝合金等的金属材料形成并且组成驱动单元24的缸体12被安装在其中，引导部104A，104B在竖直方向上从基部102的相反侧竖立。0041基部102形成为具有恒定厚度的类似平板的形状，并且进一步形成。

20、有沿缸体12的轴向在箭头A和B的方向上的预定长度，形成为在宽度方向上相对于缸体12的宽度尺寸略大。另外，一对定位销46被沿基部102的轴向箭头A和B的方向粗略地安装在基部102的中央，定位销46从基部102的上表面突出预定高度。更进一步地，与定位销46分开预定距离的两对螺栓孔106A，106B被形成在基部102上。用于使引导单元26和缸体互联的联接螺栓52A，52B分别通过螺栓孔106A，106B插入。更进一步地，螺栓孔106A，106B分别相对于定位销46形成在基部102的一端侧在箭头A的方向上和另一端侧在箭头B的方向上，更进一步地，沿基部102的宽度方向平行形成。0042引导部104A，1。

21、04B被联接到基部102的相对端部侧，并且相对于基部102形成在预定高度。另外，当缸体12被安装在基部102上时，引导部104A，104B的内侧壁面朝缸体12并且形成为相对于缸体12的侧面略微隔开。0043更进一步地，在引导部104A，104B中，杆孔96A，96B分别沿着引导体94的长度方向，更具体地沿着缸体12的轴向穿过其中，与之相伴，当缸体12被安装在基部102上时，引导部104A，104B布置在与活塞杆40高度大致相同的位置处。0044此外，在引导部104A，104B上，两对通孔108形成为垂直于杆孔96A，96B，并且分别在向下的方向上从引导部104A，104B的上表面穿透。0045。

22、如图6所示，通孔108分别形成在一个引导部104A和另一个引导部104B中，基部102居于其间。螺纹部108A形成在其下侧的内周表面上。另外，例如通过将引导单元26布置在类似平板形状的另一材料P上，并且通过使拉紧螺栓拉紧部件109插入并螺纹结合到通孔108中，另一材料P介于其间，引导单元26相对于另一材料P固定。0046而且，引导单元26也可以通过拉紧螺栓109从上方相对于通孔108插入并且通过拉紧螺栓109在形成于另一材料P中的螺钉孔的螺纹结合而相对于另一材料P固定。0047一对杆套110A，110B分别布置在杆孔96A，96B中，在其开放的相对端部附近，环状密封垫112安装在形成稍后描述的。

23、它的连接板100侧的一端侧。另外，当导向杆98A，98B被插入杆孔96A，96B的内部时，导向杆98A，98B由一对杆套110A，110B支撑，以沿着轴向致箭头A和B的方向上移位，与之相伴，作为密封垫112与导向杆98A，98B的外周表面滑动接触的结果，在这种外周表面上的灰尘和垃圾等附着物被消除。杆套110A，110B可以由例说明书CN102062130ACN102062139A5/8页7如滑动轴承、球衬套轴承等形成。0048更进一步地，在沿杆孔96A，96B的轴向的长度较短的情况下，不需要设置一对杆套110A，110B，而是在这种情况下可以仅设置单个杆套。0049导向杆98A，98B由具有恒。

24、定半径的轴构成，从而在导向杆98A，98B被通过杆孔96A，96B插入的时侯，其两端侧被布置成从杆孔96A，96B向外突出。0050导向杆98A，98B的纵向尺寸被设定到一定长度，使得当活塞杆40沿着轴向移位时，导向杆98A，98B能够始终被一对杆套110A，110B支撑。另外，连接板100通过连接螺栓114连接到导向杆98A，98B的端部。0051连接板100形成为具有矩形形状的横截面，其纵向尺寸水平指向。依靠大致通过其中心插入的连接螺栓114，装配在活塞杆40上的管套72连接到连接板100。另一方面，在连接板100的相对端附近，两个导向杆98A，98B以活塞杆40为中心分开相等距离，并且通。

25、过连接螺栓114分别连接到连接板100上。而且，一对导向杆98A，98B和活塞杆40经由连接板100沿着大致水平方向上的直线排列。0052由于这一点，两个导向杆98A，98B整体移位并且经由连接板100与活塞杆40一致。0053根据本发明的第一实施例的促动器基本上像如上所述那样构造。接着，将解释引导单元26相对于缸体12安装的情况。0054首先，例如，引导单元26的引导体94被放置在地板表面等上，从而其引导部104A，104B被向上指向，驱动单元24从上方移动到相对于引导单元26附近，并且被放置在基部102上，同时被插在一个引导部104A和另一个引导部104B之间。缸体12的具有销孔48的底壁。

26、侧向下定位，或者更具体地，相对于基部102面朝引导单元26的那侧。0055另外，通过将设置在基部102上的定位销46分别插入缸体12的销孔48，驱动单元24和引导单元26相对彼此定位，其后，通过从下方通过螺栓孔106A，106B插入联接螺栓52A，52B并且通过其螺纹结合而分别进入螺钉孔50A，50B，引导单元26在适当定位的状态下见图3相对于驱动单元24连接。0056在这时候，设置在引导单元26上的一对导向杆98A，98B和设置在缸体12上的活塞杆40排列成使得其在高度方向上的位置彼此大致相符，安装被进行，使得缸体12端部和引导体94端部的位置彼此大致相符。0057接着，连接板100经由连接。

27、螺栓114相对于设置在活塞杆40端部的管套72连接，与之相伴，一对导向杆98A，98B的各个端部在连接板100的相对端部附近通过连接螺栓114被连接见图7。由于这一点，活塞杆40和导向杆98A，98B通过连接板100整体连接，它们端部的位置被连接来与缸体12的轴向相配。结果，引导单元26被整体装配到缸体12的另一端侧在箭头B的方向上。0058用这样的方式，在引导单元26已经通过一对定位销46定位在驱动单元24的底部侧以后，通过基部102插入的两对联接螺栓52A，52B被分别相对于缸体12螺纹结合，由此引导单元26可以容易地相对于驱动单元24的缸体12安装，与之相伴，构成引导单元26的一对导向杆。

28、98A，98B和促动器10的活塞杆40可以容易地通过连接板100互联。0059更具体地说，根据需要，期望的引导单元26能够相对于没有导向机构的促动器容易地附接。因此，当促动器10被驱动时，其活塞杆40的移位行程由引导单元26引导，使得说明书CN102062130ACN102062139A6/8页8这种移位能够顺利地以稳定的方式进行，与之相伴，可以依靠导向杆98A，98B和连接到活塞杆40的连接板100来提高强度和刚度。0060接着，将对其上安装有上述引导单元26的促动器10的操作和有利效果进行解释。如图2所示，该说明参考活塞杆40容纳在本体内部的状态来进行，作为其初始位置。0061在这样的初始。

29、位置，通过相对于驱动部16从未示出的电源供应电流，驱动皮带轮68经由旋转驱动源64的驱动轴66被可旋转地驱动，其旋转驱动力通过正时皮带90被传递到从动皮带轮78。0062另外，连接到从动皮带轮78的螺杆轴70被旋转，由此活塞58与移位螺母18一起朝缸体12的另一端侧在箭头B的方向上移位。0063更进一步地，因为安装在活塞58上的旋转止动构件60经由其凸起被插入缸体12的槽56中，活塞58和移位螺母18的旋转移位被限制，使得活塞58和移位螺母18可以只沿着轴向移位。0064由于这一点，活塞杆40与活塞58一起移位，活塞杆40的另一端侧在箭头B的方向上逐渐突出，以从缸体12的另一端露到外面。与之相。

30、伴，连接到活塞杆40的连接板100和同样连接到连接板100的一对导向杆98A，98B被整体移位并且与箭头B的方向相符。此时，因为活塞杆40通过在水平方向上平行布置的一对导向杆98A，98B沿着直线箭头B的方向上受到引导，能够以高精度进行移位，同时活塞杆40维持在稳定条件下。更进一步地，同时，因为活塞杆40与导向杆98A，98B经由连接板100相互连接，其强度和刚度能够被提高，移位能够以更大的稳定性进行。另外，例如，当具有大重量的工件等的移动和移动停止通过活塞杆40的移位力执行时，由于刚度被提高，能够避免活塞杆40的弯曲或扭曲，工件能够在期望的方向上移位或者这种移位能够被停止。0065另外，在活。

31、塞58已经移位到缸体12的另一端侧的移位终了位置，通过活塞58的端面抵靠着缓冲器上，施加到活塞58上的冲击被吸收和缓冲。0066另一方面，在活塞杆40移位到缸体12的另一端侧箭头A的方向上的情况下，组成驱动部16的旋转驱动源64在相反的方向上被旋转驱动，通过驱动皮带轮68和从动皮带轮78经由正时皮带90的在相反方向上的旋转，在螺杆轴70的旋转的作用下，移位螺母18和活塞58被移位到缸体12的一端侧在箭头A的方向上，伴随着活塞杆40以相同方式朝缸体12的一端侧在箭头A的方向上的移位。0067类似的，同样在此情况下，因为活塞杆40经由连接板100连接到一对导向杆98A，98B上，导向杆98A，98。

32、B沿着杆孔96A，96B移位，由此活塞杆40能够以稳定的方式沿轴向移位。另外，随着活塞杆40变得逐渐容纳在缸体12的内部中，移位螺母18和活塞58被移位到缸体12的一端侧并且恢复到它们的初始位置见图3。0068以上述方式，利用第一实施例，配备有一对导向杆98A，98B的引导单元26相对于驱动单元24可拆卸地布置在促动器10中，通过将导向杆98A，98B被连接于其上的连接板100连接到构成驱动单元24的活塞杆40的一端，导向杆98A，98B能够与活塞杆40一起移位。结果，包含活塞杆40的驱动单元24能够稳定地移位给定的行程，另外，相对于在垂直于活塞杆40轴向的方向横向方向上施加在活塞杆40的负载。

33、，能够足够的强度和刚度。0069更进一步地，因为引导单元26能够容易地从驱动单元24拆卸，例如，当被促动器10传输或停止的工件的尺寸所需要的负载改变，通过换以与工件尺寸相对应的另外的说明书CN102062130ACN102062139A7/8页9引导单元26，对应于工件尺寸的引导能力和停止能力能够被可靠且容易地获得。0070除非另外指出，在根据现有技术的促动器中，在要被传输或停止的工件尺寸改变时，需要准备具有与工件尺寸相对应的引导能力和停止能力的不同的促动器。然而，利用本发明，不用准备单独的促动器，能够使用同一促动器10，只要更换附接到促动器10的引导单元26就足够了。0071结果，通过更换和。

34、变换成与所需负载传输能力和停止能力相对应的引导单元26，因为能够对于每种情况总是使用最优的促动器，能够相对于准备单独促动器的情况降低设备成本。更进一步地，通过使用具有最优的引导能力的引导单元26，能够避免引导单元26不必要的尺寸的增加，能够促进促动器10的尺寸减小和轻量条件。0072此外，因为包含活塞58和活塞杆40的驱动单元24和用于引导活塞杆40的行程移位的引导单元26单独构造，组成引导单元26的引导体94的长度尺寸能够被设定为与引导导向杆98A，98B所需的杆孔96A，96B的长度相对应。由于这一点，与其中包含导向杆的导向机构和驱动单元整体形成的促动器相比，引导单元26的长度尺寸能够被做。

35、得更小。结果，伴随这种引导单元26的尺寸和重量最小化，促动器10作为整体能够被制造得尺寸更小且重量更轻，同时，促动器10的制造成本能够降低。0073再更进一步地，通过切换到不同的引导单元26，这些引导单元26配备有长度尺寸已经改变的杆孔96A，96B和具有与杆孔96A，96B相对应的长度尺寸的导向杆98A，98B，活塞杆40通过引导单元26的引导能力能够被调节。更具体地说，通过增加杆孔96A，96B和导向杆98A，98B的长度尺寸，当组成引导单元24的活塞杆40移位时，能够在较宽的范围内进行引导，并伴随着活塞杆40能够沿着轴向更稳定地移位。0074再更进一步地，因为两对通孔108垂直于杆孔96。

36、A，96B的延伸方向形成，利用在通孔108下部该通孔108中形成的螺纹部108A，在引导单元26被装配在另一材料P上的状态下，连接螺栓109被紧固到通孔108的螺纹部分108中，并且通过对另一材料P紧固，引导单元26能够被可靠且稳固地相对于另一材料P固定。0075更具体地说，因为引导单元26直接附加在另一材料P上，负载和冲击仅被施加到引导单元26上，并且能够避免这种负载和冲击直接施加到驱动单元24上。另外，在损害引导单元26的情况下，这种损害能够简单地通过只替换引导单元26而被响应。0076更进一步地，在引导单元26被附加到另一材料P的情况下，仅驱动单元24能够被更换。0077下面，图8到10。

37、中显示了根据第二实施例的促动器150。该第二实施例中与根据前述第一实施例的促动器10的结构元件相同的结构元件由相同的参考标记标注，并且省略对这种特征的详细说明。0078根据第二实施例的促动器150与根据第一实施例的促动器10的不同之处在于，代替其中活塞58和活塞杆40通过由供应到其的电力而被驱动的驱动部16的驱动力移位的驱动单元24，流体压力缸被用作驱动单元156，其中加压流体被提供给缸体本体162，活塞可移位体152和活塞杆可移位体154依靠加压流体的压力而移位。0079如图8到10所示，促动器150配备有驱动单元156，驱动单元156由具有第一和第二端口端口158，160的缸体162、关闭。

38、并密封缸体162一端的端盖164和布置在缸体162另一端的杆套166构成，加压流体通过第一和第二端口158，160被供应和排出，杆套166以说明书CN102062130ACN102062139A8/8页10可移位的方式支撑活塞杆154。在组成驱动单元156的缸体162的另一端，设置引导单元导向机构168，引导单元168使得包含活塞杆154的移位机构167能够被沿着轴向箭头A和B的方向上引导。0080在缸体162的外周面上，第一端口158形成在缸体162的一端侧，第二端口160形成在缸体162的另一端侧，第一和第二端口158，160分别与形成在缸体162内部的缸室170连接。第一和第二端口158。

39、，160经由未示出的管路连接到定向控制阀和加压流体供给源。0081端盖164通过止动环38固定到缸体162的一端，用于由此阻塞汽缸内腔170的端部。杆套166通过止动环38类似地固定到缸体162的另一端。而且，杆封装42被安装在杆套166的内周表面上，从而，通过与活塞杆154的外周面的滑动接触，维持缸室170内部的气密状态。0082活塞杆154的一端连接于其上的活塞152可滑动地布置在缸室170内。活塞封装172和磁体84经由活塞152外周面上的环形槽安装。通过活塞密封圈172在缸室170的内周表面上的滑动接触，保持了缸室170内部的气密性。0083构成引导单元168的引导体94通过一对定位销。

40、46和两对联接螺栓52A，52B被安装在缸体162的另一端上。更进一步地，连接板100连接到活塞杆154的从缸体162向外突出的端部，由此构成引导单元168的一对导向杆98A，98B分别连接到连接板100的相对端侧。0084另外，例如通过将加压流体从加压流体供给源供应到第一端口158，加压流体被引入缸室170的内部，活塞152被压向缸体162的另一端侧在箭头B的方向上。由于这一点，活塞杆154与活塞152一起在轴向上沿着缸体162移位给定的行程。在这时候，因为活塞杆154依靠沿水平方向平行布置的一对导向杆98A，98B沿着直线引导，能够以高精度实现移位，同时活塞杆154维持在稳定状态下。更进一。

41、步地，同时，因为活塞杆154与导向杆98A，98B经由连接板100相互连接，其强度和刚度能够被提高，移位能够以更大的稳定性进行。0085本发明不局限于上述实施例，不言而喻，各种修改或者附加的结构可以被用于其中而不偏离在所附权利要求中提出的本发明的本质和精神。说明书CN102062130ACN102062139A1/10页11图1说明书附图CN102062130ACN102062139A2/10页12图2说明书附图CN102062130ACN102062139A3/10页13图3说明书附图CN102062130ACN102062139A4/10页14图4说明书附图CN102062130ACN102062139A5/10页15图5说明书附图CN102062130ACN102062139A6/10页16图6说明书附图CN102062130ACN102062139A7/10页17图7说明书附图CN102062130ACN102062139A8/10页18图8说明书附图CN102062130ACN102062139A9/10页19图9说明书附图CN102062130ACN102062139A10/10页20图10说明书附图CN102062130A。