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薄膜微机械锚
    一、技术领域

    本发明涉及微电子机械部件，尤其涉及一种薄膜微机械锚。

    二、背景技术

    在微电子机械系统(MEMS)中，锚是很常用的微结构，其作用是对连接在它上面的悬浮微结构(如悬臂梁或者桥等)提供机械支撑。锚的刚度极大的影响了悬浮微结构的性能。普通设计的锚与衬底的有效接触面积较小，厚度偏低，因而不能向连接在它上面的悬浮微结构的边界条件离固支要求很远。而策电子机械系统设计建模时一般假设微结构的边界条件为固支边界条件。所以变通设计的锚使实际状况与预期假设偏差很大，结果导致整个微电子机械系统工程性能失败。

    三、技术内容

    1、技术问题：本发明提供一种能够提高整体刚度的薄膜微机械锚，它能在不增加版图的条件下，向连接在其上的悬浮结构提供更大的支撑强度和固支的边界条件。

    2、技术方案：一种涉及微电子机械的薄膜微机械锚，包括锚体1，在锚体1上设有支撑提供面3，该锚体1设在衬底2上，锚体1由锚体内层11和锚体外层12组成，锚体内层11设在衬底2上，锚体外层12包覆于锚体内层11上。

    3、技术效果：①由于本发明的锚体由锚体内层薄膜和锚体外层薄膜组合而成，所以在厚度上得到增加，整体刚度得以提高，不仅能够向连接在其上地微结构提供更大上限的支撑力，也因为整体结构刚度的增加而提供了更接近于固支的支撑边界条件。并且，本发明不需要增加额外的版图，只需采用普通锚制作所用的双层掩膜版技术。②因为本发明具有两个突出的支脚，使其在支撑提供面附近有更多与衬底接触的面积，增加了与衬底的有效接触面积，所以，这一技术措施可以进一步提高本发明的整体刚度，并使本发明更接近于固支的支撑边界条件。

    四、附图说明

    图1是本发明的结构立体图。

    图2是本发明实施例的俯视图。

    图3是本发明实施例的A-A剖视图。

    图4是本发明另一实施例的A-A剖视图。

    图5是本发明实施例的B-B剖视图。

    图6是本发明实施例的C-C剖视图。

    五、具体实施方案

    一种涉及微电子机械的薄膜微机械锚，包括锚体1，在锚体1上设有支撑提供面3，该锚体1设在衬底2上，锚体1由锚体内层11和锚体外层12组成，锚体内层11设在衬底2上，锚体外层12包覆于锚体内层11上，锚体1在支撑提供面3的侧旁设有支脚4，支脚4由支脚内层41和支脚外层42组成，支脚外层42包覆于支脚内层41，上述锚体内层11和支脚内层41均可以是由二氧化硅、磷硅玻璃等牺牲层材料制成的薄膜层，锚体外层12和支脚外层42均可以是由多晶硅等结构层材料制成的薄膜层。