再生装置以及再生方法.pdf

本发明提供一种再生装置以及再生方法。在清洗等处理中，在使用清洗液的同时，可以对使用过的清洗液进行再生，作为再生清洗液来再次使用。提供一种液体再生装置，其具备：对使用清洗液的处理装置的使用过的清洗液进行回收的回收单元；对回收的使用过的清洗液进行再生的再生单元；向所述处理装置供给所述再生清洗液的供给单元；以及控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元的控制单元。为了使所述处理装置和所述再生单元可以同时运转，还可以具备在它们之间供给使用过的清洗液以及所述再生清洗液的连接单元。

1.  一种液体再生装置，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液即使用过的清洗液，并对其进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液即再生后的清洗液，该液体再生装置的特征在于，
包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一以及第二机构，
各机构包含：
回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收；
再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液并对其进行再生；
贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的再生清洗液；以及
供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，
在所述第一机构正在回收所述使用清洗液时，所述第二机构能够再生预先回收的使用清洗液。

2.  根据权利要求1所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及第二机构中，进一步具备对所述回收单元、所述再生单元、所述贮存单元以及所述供给单元进行控制的控制单元。

3.  根据权利要求2所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元具备对回收的所述使用清洗液进行贮存的再生罐以及设置在该再生罐中的能够对所述使用清洗液进行加热的加热器。

4.  根据权利要求3所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，进一步具备与所述再生罐上部连接的、用于进行排气·减压的排气单元。

5.  根据权利要求2至4的任何一项所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元和/或所述供给单元具备能够检测贮存液量的检测单元。

6.  根据权利要求5所述的液体再生装置，其特征在于，
所述控制单元能够根据所述第一以及所述第二机构的所述检测单元检测出的所述使用清洗液和/或所述再生清洗液的量，控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元。

7.  根据权利要求3或4所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，进一步具备与所述再生罐底部连接的、提取并废弃所述使用清洗液的再生后残渣的废弃单元。

8.  根据权利要求1所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，前再生单元具备对所述使用清洗液的蒸馏部分进行冷却液化，做成所述再生清洗液的冷却单元。

9.  根据权利要求7所述的液体再生装置，其特征在于，
进一步具备给所述第一以及所述第二机构的所述冷却单元供给冷却水的冷却水供给单元。

10.  一种清洗液再生方法，该清洗液再生方法使用液体再生装置，
该液体再生装置具备：回收单元，对使用清洗液的处理装置的使用清洗液进行回收；再生单元，对回收的所述使用清洗液进行再生，贮存再生清洗液；供给单元，向所述处理装置供给所述再生清洗液；以及控制单元，控制所述回收单元、再生单元、以及所述供给单元，
该清洗液再生方法的特征在于，
包含：
通过所述回收单元向所述再生单元供给使用清洗液的工序；
通过所述再生单元将所述使用清洗液再生为再生清洗液的工序；以及
通过所述供给单元向所述处理装置供给所述再生清洗液的工序，
掌握各工序的清洗液的处理状况来进行控制以便能够同时进行这些工序。

11.  一种清洗液再生方法，从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液，该清洗液再生方法的特征在于，
通过对进行所述使用清洗液的回收以及再生、和所述再生清洗液的供给的多个清洗液再生处理流程进行组合，连续地回收所述使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给所述再生清洗液。

12.  根据权利要求11所述的清洗液再生方法，其特征在于，
所述多个清洗液再生处理流程至少包含：由所述使用清洗液的回收工序、再生工序以及所述再生清洗液的供给工序构成的第一流程；
与所述第一流程同步的，由所述使用清洗液的再生工序、所述再生清洗液的供给工序以及所述使用清洗液的回收工序构成的第二流程；以及
与所述第一流程同步的，由所述再生清洗液的供给工序、所述使用清洗液的回收工序以及再生工序构成的第三流程。

13.  根据权利要求12所述的清洗液再生方法，其特征在于，
所述第一、第二以及第三流程的各个工序，按某个流程的对象工序前后的工序可与另一流程中的与所述对象工序对应的对应工序前后的工序重叠的方式进行控制。

14.  一种液体再生系统，其具有：通过清洗液清洗被处理部件的处理装置；以及回收来自该处理装置的使用清洗液，并对其进行再生的液体再生装置，在该处理装置以及该液体再生装置之间连续地使所述使用清洗液以及再生清洗液循环，该液体再生系统的特征在于，
所述液体再生装置包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液的供给的第一以及第二机构，
各机构包含：
回收单元，与所述处理装置相连地设置，回收所述使用清洗液；
再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液，并对其进行再生；
贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的再生清洗液；
供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，
在所述第一机构正在回收所述使用清洗液时，所述第二机构能够再生预先回收的使用清洗液。

15.  根据权利要求14所述的液体再生系统，其特征在于，
进一步具备同样构成的第三以及第四机构。

16.  根据权利要求14或15所述的液体再生系统，其特征在于，
进一步具备对所述处理装置以及所述液体再生装置进行控制的控制单元，该控制单元在所述处理装置和所述液体再生装置之间相互地进行通信，同时控制液体再生装置的各个机构中的所述回收工序、所述再生工序、所述供给工序。

17.  一种液体再生装置，其特征在于，
具备：
回收单元，回收使用清洗液的处理装置的使用清洗液；
再生单元，对回收的所述使用清洗液进行再生；
供给单元，向所述处理装置供给由所述再生单元再生的清洗液；以及
控制单元，控制所述回收单元、再生单元、以及所述供给单元。

18.  根据权利要求17所述的液体再生装置，其特征在于，
所述控制单元根据来自所述处理装置的清洗液使用预定信号，进行所述回收单元、所述再生单元、以及所述供给单元之间的容量调整。

再生装置以及再生方法
相关技术的交叉引用
本申请基于先前在2006年12月27日递交的PCT申请号PCT/JP2006/326079，并享受其优先权的好处，其全部内容被收容于本申请中，以资参考。
技术领域
本发明涉及在液晶或半导体等中使用的清洗液以及其他液体的液体再生装置以及再生方法。
背景技术
目前，清洗液等一旦被使用过后就原样地被废弃，或者可以将其贮存在废弃罐中进行另外的再生处理，作为相同的清洗液等来使用，或者用于其他的用途。例如，在使用狭缝喷嘴进行涂敷的方法中，在涂敷工序中为了清洗不需要涂敷的部分或装置，至今仍使用大量的清洗液，将使用完的清洗液贮存在预定的贮存罐中，并实施另外的处理。该处理的结果，可以作为再生清洗液用于以下的场合。
即，需要始终清洗表面的底漆涂敷辊(priming roller)使用大量的清洗液来进行清洗，当只通过未使用的清洗液来进行清洗时，需要使用大量的清洗液以及废弃大量的使用过的清洗液，所以是与节省资源相违背的。因此，例如在专利文献1中，把已经用于清洗底漆涂敷辊的清洗液(上述进行了另外再生处理后的清洗液)用于预备清洗，把干净的清洗液(未使用过的清洗液)用于精洗，由此来谋求尽可能地削减使用的清洗液。
但是，即使对预备清洗以及精洗使用各自不同的清洗液，但仍然要废弃某种清洗液，结果需要大量的清洗液。传统上，一直是废弃已经使用过的清洗液，但出于环境的考虑或者为了削减清洗液的成本，在本公司配备大型的再生装置(专利文献2)，或者最近还委托再循环利用业者进行再生利用。假设即使在贮存已使用过的清洗液，通过另外的提炼装置进行再利用时，仍然需要贮存量较大的清洗液。此外，还销售如果放入数公升的已使用过的清洗液，则在数小时后能得到再生清洗液的单体的清洗液再循环利用机构。但是，因为该清洗液再循环利用机构是可以批量处理少量的清洗液的程度的机构，所以虽然也许能用于涂敷现场等，但是不适用于连续使用大量清洗液的工厂等。
专利文献1：特开2005-329340号公报
专利文献2：特开平9-49093号公报
发明内容
在本公司内配备有大型的清洗液再生装置时，或者在由再循环利用业者进行再生时，对从所有工序排出的清洗液进行回收，并进行再生。因此，除了清洗液之外还混入了数种类的处理液，为了像专利文献2那样能够分离低沸点污染成分和高沸点污染成分，需要使用具备蒸发部以及精馏部的复杂的结构。在本公司不具备大型的清洗液再生装置的工厂中，必须贮存已经使用过的清洗液，并定期地交给再循环利用业者，这样需要确保用于贮存的空间，并且因为到再生为止需要某种程度的时间，所以必须准备相当量的清洗液。
本发明是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于提供一种可以即时自动地对处理装置排出的已使用过的清洗液进行再生处理，并且再次自动地向处理装置供给再生后的清洗液的装置和方法。
为了解决上述课题，提供一种液体再生装置，其包含：回收已使用过的液体(包含清洗液)的回收单元；对该已使用过的液体进行再生使其成为再生液体的液体再生装置。作为具体的应用例，提供一种液体再生装置，在具备清洗功能的处理装置中包含：对用于清洗后的结果的，包含其他种类的化合物的已使用过的清洗液(以下称为“使用清洗液”)进行回收的回收单元；对使用清洗液进行再生，生成再生后的清洗液(以下称为“再生清洗液”)的再生单元；以及向所述处理装置供给该再生清洗液的供给单元。通常，从一个处理装置排出的清洗液没有包含太多的不同的成分。因此，不需要复杂的功能，可以作为专用的液体再生器与各处理装置连接使用。
该液体再生装置具备：回收所述使用清洗液的回收单元；对所述回收单元回收的使用清洗液进行蒸馏分离生成再生清洗液的再生单元；以及为了清洗等，再次向处理装置供给该再生清洗液的供给单元。
此外，还可以把包含以下工序的再生方法作为一实施方式，这些工序是：回收使用清洗液的工序；对使用清洗液进行再生生成再生清洗液的工序；以及再次向处理装置供给该再生清洗液的工序。
更具体地说，可以提供以下的技术。
(1)可以提供一种液体再生装置，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的已使用过的清洗液(以下称为“使用清洗液”)，并对其进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液，包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一以及第二机构，各机构包含：回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收；再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液并对其进行再生；贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的清洗液(以下称为“再生清洗液”)；供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，在所述第一机构回收所述使用清洗液时，可以由所述第二机构再生预先回收的使用清洗液。
在此，清洗液只要是通过再生单元作为再生清洗液可以从使用清洗液中分离并可以再利用(再循环)的清洗液即可。例如可以包含所谓的溶剂或分散固体的分散介质等。此外，还可以包含作为清洗的结果而混入的污染物质(或成分)。使用清洗液的处理装置可以包含清洗单元，该清洗单元可以包含能够将清洗液喷射到底漆涂敷辊上的喷射装置。该喷射装置可以包含用于喷射的喷嘴。此外，所述回收单元以及所述再生单元可以包含在以下的说明中使用的回收部以及再生部。此外，该回收部可以包含管路和阀门，所述再生部可以包含容器(例如，贮存罐等)，还可以包含管路等。此外，作为压缩或减压单元可以包含泵。所述供给单元可以包含供给部，该供给部可以包含能够贮存再生清洗液的贮存罐。并且，还可以包含用于压力输送该再生清洗液的泵和管路。此外，所述控制单元可以包含控制装置，该控制装置例如可以包含微型计算机、个人计算机、顺控器等所有既有的处理器。关于容量调整可以表示：在所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元的各个单元中，分别考虑能够对成为处理对象的清洗液(可以包含使用清洗液以及再生清洗液)进行贮存的容量、该清洗液的处理速度(单位时间的处理容量)、以及能够供给的供给速度(单位时间的供给量)，调整所述回收单元、所述再生单元、以及所述供给单元的处理效率、运转率等，以使所述回收单元、所述再生单元、以及所述供给单元成为一体进行最为理想的清洗液处理。
所述第二机构，其结构可以与所述第一机构相同，或者还可以将基本结构做成共通，但清洗液的贮存容量或处理速度等不同。即便仅仅通过所述第一以及第二机构中的某个机构，也可以从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液，对其进行再生，并再次向处理装置供给再生清洗液。此外，所述第一以及第二机构可以各自独立地工作。
此外，所述再生单元可以包含能够进行使用清洗液的所谓蒸馏工序的蒸馏单元。该蒸馏单元能够对应回收的已使用过的液体的特性，进行包含最高温度的温度调整。此外，该蒸馏单元可以包含加热器以及温度调节装置。
所述贮存单元可以包含贮存部，该贮存部可以包含贮存罐那样的容器。此外，所述供给单元可以包含供给部，供给部可以从鼓风机或储气瓶等压力输送AIR(空气)或N₂气体这样的气体来进行供给。
(2)可以提供一种以在所述第一以及第二机构中还具备对所述回收单元、所述再生单元、所述贮存单元以及所述供给单元进行控制的控制单元为特征的、在上述(1)中记载的液体再生装置。
如上述，所述控制单元可以包含控制部，该控制部可以包含控制装置。该控制装置可以控制后述的排气部、检测部、废弃部、以及冷却水供给部。控制部可以包含通过电磁的方法、油压的方法、以及其他通过人的知觉无法识别的方法连接处理装置以及所述液体再生装置的单元。控制部可以分别独立地控制所述第一以及第二机构。该控制部可以根据后述的检测部的信号进行控制，以便自动地进行回收→再生→供给的各个工序。因此，可以自动地进行从回收向再生、从再生向供给的切换。
(3)可以提供一种以在所述第一以及第二机构中，所述再生单元具备对回收的所述使用清洗液进行贮存的再生罐以及设置在该再生罐中的可以对所述使用清洗液进行加热的加热器为特征的、在上述(2)中记载的液体再生装置。
所述再生罐在其自身中具备所述加热器，可以直接或间接对贮存的使用清洗液进行加热。所述加热器可以通过所述控制单元进行开关的接通/关断以及输出调整，此外，还可以具备在异常信号时自动停止的功能。
(4)可以提供一种以在所述第一以及第二机构中，还具备与所述再生罐上部连接的、用于进行排气·减压的排气单元为特征的、在上述(3)中记载的液体再生装置。
排气单元可以包含排气部。排气部可以包含真空泵等那样的减压单元。为了减压，所述再生罐最好具有密封结构。
(5)可以提供一种以在所述第一以及第二机构中，所述再生单元和/或所述供给单元具备可以检测贮存液量的检测单元为特征的、在上述(2)至(4)的某一项中记载的液体再生装置。
检测单元可以包含检测部。该检测部可以包含对液体再生装置以及处理装置的状态进行检测的传感器(例如温度传感器、液面高度传感器)。检测部可以提供控制部进行控制所需要的信息。
(6)可以提供一种以所述控制单元可以根据所述第一以及所述第二机构的所述检测单元检测出的所述使用清洗液和/或所述再生清洗液的量，控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元为特征的、在上述(5)中记载的液体再生装置。
所述检测单元可以检测清洗液的量以及该量随时间的变化以及随时间变化率。由此，可以进一步掌握能够贮存的清洗液的量，此外，可以预测贮存量的增减。
(7)可以提供一种以在所述第一以及所述第二机构中，还具备与所述再生罐底部连接的、提取并废弃所述使用清洗液的再生后残渣的废弃单元为特征的、在上述(3)或(4)中记载的液体再生装置。
在对所述使用清洗液进行再生时，在从使用清洗液中分离出预定量的再生清洗液的情况下，提取在再生罐内残留的再生残渣。通常，蒸汽压较低容易在残渣中包含较多的混入清洗液中的成分。此外，在蒸馏/分离工序中，在该残渣中也包含较多的高分子成分。因此，为了废弃这些残渣，在所述再生罐的底部具备废弃单元较为有效。
(8)可以提供一种以在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元具备对所述使用清洗液的蒸馏部分进行冷却使其液化，做成所述再生清洗液的冷却单元为特征的、在上述(1)中记载的液体再生装置。
(9)可以提供一种以还具备给所述第一以及第二机构的所述冷却单元供给冷却水的冷却水供给单元为特征的、在上述(7)中记载的液体再生装置。
在此，所述冷却单元可以包含冷却部。该冷却部可以包含被称为冷凝器的凝结器。该凝结器可以通过与从外部导入的冷却介质的热交换使蒸汽凝结来进行液化。一般具有将冷却水作为冷却介质的水冷方式和空冷方式。
提供一种以至少具备到此为止所述的第一以及第二机构以及同样包含回收单元、再生单元、贮存单元、以及供给单元的第三机构，所述控制单元至少控制第一、第二、第三单元各自的所述回收单元、所述再生单元、所述贮存单元以及所述供给单元，使交付时间(lead-time)最小化，使所述再生清洗液的供给最大化为特征的、在上述(2)至(7)的某一项中记载的液体再生装置。
所述第三机构，其结构可以和所述第一机构的结构相同，或者还可以将基本结构做成共通，但清洗液的贮存容量或处理速度等不同。即便仅仅通过所述第一、第二或者第三机构中的某个机构，也可以从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液，对其进行再生，并再次向处理装置供给再生清洗液。此外，所述第一、第二以及第三机构可以各自独立地工作。所述控制单元可以控制这些机构的各个回收单元、再生单元、贮存单元以及供给单元，相互不同地执行各个机构中的回收工序、再生工序、贮存工序以及供给工序。在各个机构中可以按照所述回收工序、所述再生工序、所述贮存工序、以及所述供给工序这样的顺序来执行上述工序，并且，三个机构，可以一边在各个机构中错开各工序，一边高效地处理使用清洗液或再生清洗液。此时，考虑最好在各个机构之间不完全同时地执行同一工序。其原因在于，当同时需要由至少两个机构处理的使用清洗液，此外，会同时生成作为结果而得到的再生清洗液，因此，在处理液收支方面有可能无法充分进行平滑化。细节将在后面叙述。
此外，关于在此所说的交付时间，例如在再生工序中，即使接通加热器的开关，但使用清洗液并不能立即成为预定的处理温度，所以可以将直到成为预定处理温度为止的时间叫做交付时间。即，因为在成为预定温度之前的升温的时间还无法进行使用清洗液的回收，此外，也没有产生足够的蒸汽，所以实质上也无法进行再生。因为这样的时间只不过是空转时间，所以为了提高循环效率，最好使其最小化。此外，使再生清洗液的供给最大化是指由于在液体再生装置中不具备巨大的贮存单元，理想的是从使用清洗液流入之后开始到对该清洗液进行再生，作为再生清洗液进行供给为止的时间较短。如此，还可以把从用于处理的使用清洗液导入之后开始，到作为再生清洗液提供给处理装置为止的时间称为交付时间。
(10)可以提供一种清洗液再生方法，该清洗液再生方法使用液体再生装置，该液体再生装置具备：回收单元，对使用清洗液的处理装置的使用清洗液进行回收；再生单元，对所述使用清洗液进行再生，贮存再生清洗液；供给单元，向所述处理装置供给所述再生清洗液；以及控制单元，控制所述回收单元、再生单元、以及所述供给单元，该清洗液再生方法的特征在于，包含：通过所述回收单元向所述再生单元供给使用清洗液的工序；通过所述再生单元将所述使用清洗液再生为再生清洗液的工序；以及通过所述供给单元向所述处理装置供给所述再生清洗液的工序，掌握各工序的清洗液的处理状况来进行控制以便可同时进行这些工序。
在此，所谓的同时进行回收工序、再生工序、贮存工序以及供给工序与其说是各个机构同时进行某个工序，还不如说是相互不同地进行这些工序更为确切。其原因在于，因为同一工序处理相同的使用清洗液等，产生相同的再生清洗液，所以能够产生在这些机构中的相互争夺材料以及相互推挤生成物的情况。因此，例如，恰当地进行控制，如果在第一机构正进行回收工序时，第二机构进行再生工序(并行地进行贮存工序)，在第三机构正进行供给工序的情况下，在下一个生产节拍中，第一机构进行再生工序，第二机构进行供给工序，第三机构进行回收工序，则实质上可以连续地处理来自处理装置的使用清洗液。如此，具有掌握各个机构的各个工序的处理状况，使各个工序高效地发挥作用的特征。具体地说，考虑各个工序的处理速度，并且考虑临时贮存能力，来调整清洗液的体积平衡。例如，可以在贮存罐等贮存装置中进行贮存速度的监视(测定各时间的贮存量，运算单位时间的贮存速度等)。
(11)可以提供一种清洗液再生方法，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液，其特征在于，通过对进行所述使用清洗液的回收以及再生，以及所述再生清洗液的供给的清洗液再生处理流程进行组合，连续地回收所述使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给所述再生清洗液。
通过与相互不同地组合上述多个机构中的各个工序相同地适当组合多个流程，作为整体可以进行高效的处理。
(12)提供了一种以所述多个清洗液再生处理流程至少包含：由所述使用清洗液的回收工序、再生工序以及所述再生清洗液的供给工序构成的第一流程；与所述第一流程同步，由所述使用清洗液的再生工序、所述再生清洗液的供给工序以及所述使用清洗液的回收工序构成的第二流程；以及与所述第一流程同步，由所述再生清洗液的供给工序、所述使用清洗液的回收工序以及再生工序构成的第三流程为特征的、在上述(11)中记载的清洗液再生方法。
通过上述那样的流程的组合，在第一流程中进行回收的期间，在第二流程中再生使用清洗液，在第三流程中向处理装置供给再生清洗液。即，该处理装置可以在排出使用清洗液的同时，接受与其平衡程度的再生清洗液的供给。因此，在该清洗液再生方法中，在所述处理装置内不需要具有那么多的未使用的清洗液或再生清洗液的存量。
(13)提供一种以对所述第一、第二以及第三流程的各个工序，按其对象工序前后的工序能够与另一流程中的与所述对象工序对应的对应工序前后的工序重叠的方式进行控制为特征的、在上述(12)中记载的清洗液再生方法。
如上所述，例如在通过加热器加热使用清洗液需要花费时间时，可以在结束回收工序之前，切换为再生工序，同时使用加热器进行加热。一般，各个工序的重叠有可能使执行其前后的工序变得困难，或者使效率降低，所以最好避免工序的重叠。但是，如果该加热器初期开始加热是在使用清洗液的温度变得足够高，并且产生较多的蒸汽之前，则难以认为阻碍再生工序或回收工序。如此，最好在研究了各个工序的阻碍原因之后，再进行工序的重叠。
(14)提供一种液体再生系统，其具有：通过清洗液清洗被处理部件的处理装置；以及回收来自该处理装置的使用清洗液，并对其进行再生的液体再生装置，在该处理装置以及该液体再生装置之间连续地使所述使用清洗液以及再生清洗液循环，所述液体再生装置包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一以及第二机构，各机构包含：回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收；再生单元，与所述回收单元相连地设置，对所述使用清洗液进行再生；贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存再生清洗液；供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，在所述第一机构回收所述使用清洗液时，可以由所述第二机构再生预先回收的使用清洗液。
(15)可以提供一种以进一步具备同样构成的第三以及第四机构为特征的、在上述(14)中记载的液体再生系统。
(16)可以提供一种以进一步具备对所述处理装置以及所述液体再生装置进行控制的控制单元，该控制单元在所述处理装置和所述液体再生装置之间相互地进行通信，同时控制液体再生装置的各个机构中的所述回收工序、所述再生工序、所述供给工序为特征的、在上述(14)或(15)中记载的液体再生系统。
在这样的液体再生系统中，不仅是对清洗液的再生，对再生清洗液的使用也可以同时进行控制，所以作为整个装置，可以在减少未处理以及再生清洗液的存量的同时，提高清洗等处理的效率。
(17)可以提供一种液体再生装置，其具备：回收单元，回收使用清洗液的处理装置的已使用过的清洗液(以下称为“使用清洗液”)；再生单元；对回收的所述使用清洗液进行再生；供给单元，向所述处理装置供给由所述再生单元再生的清洗液；以及控制单元，控制所述回收单元、再生单元、以及所述供给单元。
(18)可以提供一种以所述控制单元对应来自所述处理装置的清洗液使用预定信号，进行所述回收单元、所述再生单元、以及所述供给单元之间的容量调整为特征的、在上述(17)中记载的液体再生装置。
根据本发明，因为能够当场自动地对从处理装置排出的已使用过的清洗液进行回收、再生、再利用，所以不需要操作者进行定期的切换作业。此外，除了自动地进行全部与再生有关的工序，例如，在底漆涂敷清洗中还自动地追加未使用的清洗液，所以不需要始终进行监视。此外，不需要像委托再循环利用业者时那样要准备大量的清洗液。因为本发明可以针对一个处理装置作为专用设备使用，所以不会像从多种处理装置回收的清洗液的再生装置那样需要复杂的分离功能。(通常，从一个处理装置产生的已使用过的清洗液为2种的混合液。)因此，当变更加热温度、加热时间、废弃量等设定时，可以用于所有的处理装置。还无需在工厂内设置大型的清洗液再循环利用装置，可以根据需要与各个处理装置连接，所以可以灵活地对应产业规模的变更或布局的变更等。可以提供一种再生装置，其在用于底漆涂敷清洗时，在进行底漆涂敷清洗处理的同时，自动地对混合了涂敷液的清洗液进行再生，以便能够再次利用。由此，可以削减清洗液的费用，无需烦操作者帮助就可以进行新的清洗液的追加、再生后的清洗液的供给、废液的处理。因为底漆涂敷辊的清洗液的价格高，所以如果能够再次利用则可以得到有效使用资源、削减费用这样的理想的效果，并且对环境也有好处。
附图说明
图1是表示底漆涂敷辊清洗装置的一例的结构图。
图2是表示液体再生装置的一例的结构图。
图3是液体再生装置的方框图。
图4是表示清洗液的再生程序的例子的流程图。
图5是表示罐监视程序的例子的流程图。
图6是表示再生处理程序的例子的流程图。
图7是表示再生清洗液的供给请求监视程序的例子的流程图。
图8是表示液体再生装置的另一个例子的结构图。
图9是表示使用作为另一个例子的液体再生装置的清洗液的再生程序的例子的流程图。
图10是表示图9的机构作用设定例行程序的流程图。
图11是表示图9的罐监视·例行程序的流程图。
图12是表示图9的供给请求监视·例行程序的流程图。
图13是表示图9的再生处理例行程序的流程图。
图14表示两个系统的液体处理装置的时序图。
图15表示三个系统的液体处理装置的时序图。
图16表示液体再生系统的结构的一例。
符号说明
10c控制部；11、31、35管路；12a、12b、12c、12d、23a、23b、23c、23d、25a、25b、25c、25d、28a、28b、28c、28d、33a、33c、33d、34a、34b、34c、34d、41a、41b、41c、41d阀门；13a、13b、13c、13d再生罐；21a、21b、21c、21d加热器；22a、22b、22c、22d管道；24冷却塔(冷却箱)；26a、26b、26c、26d清洗液罐；27真空泵；32、36过滤器；42废液罐；90底漆涂敷辊清洗装置；91狭缝喷嘴；92底漆涂敷辊；93清洗槽；94、95、96喷嘴；97清洗液排出管；99再生清洗液导入管；200液体再生装置；300液体再生系统；311回收管路；317供给管路；318机构；320控制装置
具体实施方式
以下使用抗蚀剂涂敷装置，根据附图更加详细地说明本发明的优选实施方式。该优选实施方式是用于说明本发明的实施方式，并非是将本发明的内容限定为以下的实施方式。此外，对于相同或者相同种类的要素使用相同或者具有关联性的符号，并省略重复的说明。
(实施例1)
首先，使用图1说明在本发明中使用的底漆涂敷辊清洗装置。图1是表示底漆涂敷辊清洗装置的一例的结构图。图1所示的底漆涂敷辊清洗装置90具备：狭缝喷嘴91、作为被处理部件的底漆涂敷辊92、清洗槽93、喷嘴94、95、96以及清洗排出管97。在从狭缝喷嘴91向基板进行涂敷之前，在底漆涂敷辊清洗装置90中，从狭缝喷嘴91向底漆涂敷辊92喷出涂敷液98。底漆涂敷辊92需要在旋转一周的期间使表面变得干净，来为下一个虚拟涂敷(dummydispense)作准备，所以底漆涂敷辊92的涂敷区域以下的部分被清洗槽93覆盖。
(清洗工序)
在清洗槽93中，进行底漆涂敷辊92的清洗和干燥。首先，从喷嘴94向底漆涂敷辊92的表面喷涂预先再循环利用的清洗液。此时，还可以在清洗液中混入空气，通过较强的压力喷涂清洗液，或者摇动清洗液的喷嘴94也具有效果。并且，在底漆涂敷辊92的旋转方向D1(图中的顺时针方向)上，从配置在成为下游侧的位置上的喷嘴95喷涂未使用清洗液(没有使用过的清洗液)。此时，喷射式或者摇动式是有效的。最后，为了吹干清洗液，从喷嘴96喷出氮气(N₂)。通过以上的动作，底漆涂敷辊92的清洗、干燥完成。此时使用的清洗液(涂敷液和清洗液的混合液)通过设置在清洗槽93下方的清洗液排出管97，被输送给液体再生装置(清洗液再生机构)。
(液体再生装置的结构)
然后，说明液体再生装置。图2表示液体再生装置的结构的一个例子。通过回收部、再生部、贮存部、以及供给部构成一个机构。图2所示的液体再生装置具有两个机构。如果对第一机构进行叙述，则回收部由根据需要而配备的泵P1、管路11、阀门12a构成。再生部由再生罐A(13a)、加热器21a、管道22a、冷却塔24构成。贮存部由阀门25a、管路29a、清洗液罐A(26a)构成。供给部由清洗液罐A(26a)、管路35、35a、31a、阀门34a、阀门33a、过滤器36构成。另一方面，关于第二机构，回收部由根据需要而配备的泵P1、管路11、阀门12b构成。再生部由再生罐B(13b)、加热器21b、管道22b、冷却塔24构成。贮存部由阀门25b、管路29b、清洗液罐B(26b)构成。供给部由清洗液罐B(26b)、管路35、35b、31b、阀门34b、阀门33b、过滤器36构成。在把一方的机构作为回收机构使用时，把另一方机构作为再生机构使用。此外，图2所示的液体再生装置还具备：排气部、检测部、控制部(未图示)、废弃部、冷却水供给部。如果对第一机构进行叙述，则排气部由阀门28a、管路84、泵P2构成。检测部由液面高度传感器61a、62a、61b、62b构成。控制部具备控制器(未图示)，该控制器为了可以自由通信并且可以自由控制与液面高度传感器61a、61b、62a、62b、66a、65a、66b、65b、阀门12a以及12b、加热器21a、21b、阀门25a、25b进行电连接。废弃部由阀门41a、管路86a、废液罐42构成。冷却水供给部由51、阀门52a、52b、管路53a、53b构成。
液体再生装置的回收部回收从底漆涂敷辊清洗装置排出的混合了涂敷液和清洗液的混合液(即，使用清洗液)。再生部从该使用清洗液中分离清洗液成分，再生为再生清洗液。在从使用清洗液中分离再生清洗液的工序中，利用使用清洗液中的各成分(例如，清洗液以及涂敷液的成分)的沸点的不同。即，通过对使用清洗液进行加热蒸馏来进行分离。当在再生部的再生罐A(13a)以及再生罐B(13b)的上部连接了排气部的管路22a、22b时，可以在加热时对罐内进行减压。因此，因为可以降低沸点，所以具有促进蒸发的效果。贮存部对蒸馏、分离出的清洗液成分进行冷却，作为再循环利用的再生清洗液临时贮存在清洗液罐A(26a)以及清洗液罐B(26b)中。供给部通过鼓风机70等对各清洗液罐进行加压，把清洗液罐A(26a)以及清洗液罐B(26b)中贮存的再生清洗液提供给底漆涂敷辊清洗装置(处理装置)。检测部在再生部以及供给部各自的罐中，检测使用清洗液或再生清洗液的液量。控制部根据由检测部检测出的使用清洗液或再生清洗液的液量，控制回收部、再生部以及供给部。废弃部把从使用清洗液中蒸发并分离了大量的挥发性成分后的残留使用清洗液(残留一部分的清洗液等挥发性成分)作为废渣进行废弃。冷却水供给部向回收部、再生部、以及废弃部等需要冷却的地方供给冷却水。底漆涂敷辊清洗装置以及液体再生装置之间由通常的管路等来连接，使用清洗液以及再生清洗液在其中相互地移动。
此外，图2表示了液体再生装置的一个例子，只要是实现回收部、再生部、贮存部、供给部、排气部、检测部、控制部、废弃部、以及冷却水供给部的各个功能的，结构可以不同。
(再生处理)
然后，按照混合了涂敷液(抗蚀剂液体)和清洗液(稀释剂)的使用清洗液的分离部分的流程，说明各个构成要素。再生罐A以及B(13a、13b)经由管路11以及回收管路(未图示)与图1所示的清洗液排出管97连接。从底漆涂敷辊清洗装置的清洗槽93排出的使用清洗液，通过清洗液排出管97以及管路11积存在再生罐A或B(13a、13b)。在此，把以下条件作为前提来进行说明，该条件为：按照60秒一次100cc的比例，将使用清洗液回收到再生罐A或B(13a、13b)中，在再生罐A或B(13a、13b)中积存了预定量的使用清洗液。
(回收工序)
回收部从底漆涂敷辊清洗装置回收使用清洗液。具体地说，打开阀门12a(或阀门13b)，使使用清洗液随时流入到再生罐A(13a)(或再生罐B(13b))。在此，按照大约一分钟一次的比例，在比较短的时间内在再生罐A(13a)中贮存100cc的使用清洗液，在成为预定量(例如5L)之前持续进行(例如持续50分钟)。
(再生工序)
具体地说，当在再生罐A(13a)中积存了预定量的使用清洗液时，进行切换，以便关闭阀门12a，打开阀门12b，向再生罐B(13b)回收并流入使用清洗液。当阀门12a被关闭时，在再生罐A(13a)中通过加热器21a开始加热。通过加热器12a进行加热直到120度～140度为止，当检测出使用清洗液达到设定温度附近时，将到此为止关闭的阀门25a以及28a打开，通过真空泵27经由清洗液罐A(26a)的气体区域和冷却塔24开始再生罐A(13a)内的减压。通过真空泵27的动作，再生罐A(13a)、管道22a内，排出既有的空气等，充满了使用清洗液中的挥发性成分的蒸汽。如此，通过同时进行加热和减压，促进使用清洗液的挥发。在使用清洗液中，因为清洗液(稀释剂)的沸点低，所以使用清洗液的挥发性成分先开始蒸发。
此时，涂敷液的全部成分可以具有挥发性，但也可以包含一部分非挥发性或者高沸点的成分。此时，这样的成分不蒸发，留在再生罐A(13a)内。一般，清洗液的全部成分具有挥发性，在此，进行蒸发大部分排出到再生罐A(13a)的外部。但是，清洗液的一部分也可以包含非挥发性或高沸点的分成。如上所述，这样的成分留在再生罐A(13a)内。
(残渣的废弃)
在通过液面高度传感器等判断出再生罐A(13a)内的使用清洗液的剩余量少于预定量时(例如，在成为最初的使用清洗液的液量的大约20％时)，结束再生处理。由于该再生处理结束，关闭阀门25a以及28a，并打开阀门23a释放再生罐A(13a)内的残余压力。此外，打开与再生罐A(13a)的底部连接的阀门41a，废弃再生罐A(13a)内残留的使用清洗液。
(再生清洗液的贮存)
在管道22a、22b的中途具有冷却塔24，通过冷却水进行冷却。因此，对从使用清洗液蒸发的成分进行冷却使其液化，作为再生清洗液从冷却塔24通过管道29a、29b下落并贮存在清洗液罐A(26a)(或者清洗液罐B(26b))中。
(冷却水)
通过打开阀门51，并调整阀门52a以及52b的开闭，通过管道53a、53b向冷却塔24以及废液罐42供给冷却水。此外，通过管道54a、54b回收使用过的冷却水。使用过的冷却水(冷却水返回)通过与再生清洗液的热交换变成高温，所以设置用于对使用过的冷却水进行冷却的冷水机(冷却装置)，并且为了把该冷却后的冷却水再次作为冷却水进行供给，最好将冷却水供给单元做成循环器(液体循环装置)。
(供给工序)
然后，自动地打开阀门33a以及34a，通过从鼓风机70经由阀门72输送的空气，从管道31经由过滤器32通过管道31a，并通过阀门34a被打开的供给管35a将再循环利用的清洗液压力输送到图1的底漆涂敷辊清洗装置的喷嘴94。在再生罐A(13a)中对使用清洗液进行再生处理的过程中，无法从清洗液罐A(26a)向喷嘴94供给再生清洗液。
(泄露)
在以上那样的装置中，在最底下配置泄漏盘74，接收意外泄漏的清洗液等，在根据需要进行了收集后，根据液面高度传感器76打开泄露阀78，向系统外部废弃漏液。
(总结)
如以上说明的那样，通过切换使用回收·再生罐A以及B(13a、13b)的机构功能，可以连续地进行使用清洗液的回收和清洗液的再生，通过切换地使用清洗液罐A以及B(26a、26b)，可以连续地向底漆涂敷洗装置进行供给。在此，为了方便说明，表示了两个再生罐的例子，但也可以具有三个再生罐或三个以上的再生罐。如果清洗液罐最少为两个，则可以连续地进行供给，同样三个以上也可以。最好分别在再生罐A以及B(13a、13b)和清洗液罐A以及B(26a、26b)中设定检测液面高度的液面高度传感器61a、61b、62a、62b、66a、66b、65a、65b，通过检测液面高度的上限值、下限值来进行控制，以便自动地进行阀门12a、25a、23a、41a、28a、38a、34a、12b、25b、23b、41b、28b、33b、34b的开闭，由此可以使再生罐A以及B(13a、13b)、清洗液罐A以及B(26a、26b)的切换等作业自动化，可以并行地执行全部的工序。
例如，当传感器62a检测到再生罐A(13a)的液面高度达到上限值时，关闭阀门12a、打开阀门12b，开始向再生罐B(13b)回收使用清洗液，能够自动地进行再生罐A以及B(13a、13b)的切换。在此，在再生罐A(13a)中，在加热器21a开始加热后，当传感器61a检测到回收·再生罐A(13a)的液面高度达到下限值时，停止加热器21a的加热并且关闭阀门25a以及28a，打开阀门23a以及41a，向废液罐42输送残留在回收·再生罐A(13a)中的、对再生清洗液进行分离后的残留的使用清洗液，由此能够自动地进行从再生罐A以及B(13a、13b)废弃涂敷液的步骤。与上述相同地设定再生罐B(13b)。
根据试验的结果，得知从使用清洗液中分离出的清洗液即使进行50次的再生也可以没有问题地使用，认为对削减清洗液的使用费用具有很大的贡献。如此，通过使用本实施例的液体再生装置，可以再生大约8成的在底漆涂敷辊清洗中使用过的清洗液。
如此，通过使用以上说明的液体再生装置，可以回收在虚拟涂敷中产生的涂敷液和清洗液的混合液(即，使用清洗液)，并对其进行蒸馏，把分离出的再生清洗液再次用于清洗底漆涂敷辊。由此，因为可以削减清洗液的使用量，所以可以有效地利用资源以及可以削减经费。
(液体再生装置的方框图)
图3是表示回收以及分离系统的结构的方框图。通过控制部10c控制上述的操作。具体地说，在再生罐A系统10a中，接收到来自液面高度传感器61a、62a的信号的控制部10c按照后述那样的程序，关闭阀门12a。对应真空泵27的动作，根据来自控制部10c的指令打开阀门25a、28a。当分离工序开始时，根据来自控制部10c的指令恰当地控制加热器21a以及阀门41a。此外，紧急控制部10e作为安全装置工作，在液面高度传感器61a没有反应时，断开加热器21a的开关，可以避免干烧。同样地，在通过液面高度传感器62a检测到再生罐A(13a)已满时，关闭阀门12a防止再生罐的溢流。
在再生罐B系统10b中，也同样地控制阀门12b、25b、28b、以及加热器21b，此外，紧急控制部10f作为安全装置，根据液面高度传感器61b、62b来工作。通过显示部10d显示这样的控制内容，操作者可以观察这样的控制内容。
(液体再生装置的处理流程)
图4至图6表示了控制图2的液体再生装置的程序的一例。当开始了再生程序时，首先，在图4所示的主程序中，进行后述的对罐进行监视的工序(步骤(以下记载为S)11)。而后，并行地进行后述的来自底漆涂敷辊清洗装置的供给请求的监视(S11-1)。接着，检查是否产生了再生信号(S12)。并且，在没有产生再生信号的情况下(S12，NO)，接着进行决定使用再生罐A或B中的哪一个的A/B信号判定步骤(S14)。另一方面，在产生了再生信号的情况下(S12，Yes)，开始再生处理(S13)，处理再次返回主流，转移到A/B信号判定步骤(S14)。
在A/B信号判定步骤中，在判断为发出了A信号时(S14、A信号)，打开阀门12a(S15)。此外，在发出了A信号以及B信号双方时，编程为使A信号优先。此外，还可以与打开阀门12a一起，发出再生罐A的开始信号。由此，可以向控制装置通知再生罐A的生产节拍时间的开始，用于各种工序的时间管理。根据液面高度传感器62a的信号，随时监视再生罐A(13a)是否变满(S16)。当判断为未满时(S16，NO)，构成用监视器再次进行监视的例行程序。如果判断为再生罐A(13a)变满(S16，Yes)，则判断再生罐B(13b)是否不是再生模式(S17)。在再生罐B(13b)为再生模式时，即再生罐B(13b)的再生信号不是OFF时(S17，No)，因为无法使用以回收为目的的再生罐A以及B(13a、13b)双方，所以发出异常警报(S18)。在再生罐B(13b)不是再生模式时，即，再生罐B(13b)的再生信号为OFF时(S17，Yes)，关闭阀门12a(S19)。然后，判断是否从手动输入装置(例如停止按钮)输入了结束信号(S20)，在输入了结束信号时(S20，Yes)，进行停止液体再生装置的一连串的处理(S21)。在没有输入结束信号时(S20，No)，为了循环进行使用清洗液的回收·再生循环，使处理返回到罐监视(S11)。
在A/B信号判定处理(S14)中，在判断为发出了信号B时(S14，B信号)，打开阀门12b(S35)。以下与上述相同，所以简单地叙述。构成根据液面高度传感器62b等的信号，随时监视再生罐B(13b)是否变满(S36)，当判断为未满时(S36，No)，构成再次进行监视的例行程序。如果判断为再生罐B(13b)变满(S36，Yes)，则判断再生罐B(13a)是否不是再生模式(S37)。在再生罐A(13a)的再生信号不是OFF时(S37，No)，发出异常警报(S18)。在再生罐A(13a)的再生信号为OFF时(S37，Yes)，关闭阀门12b(S39)。然后，判断是否从手动输入装置(例如停止按钮)输入了结束信号(S40)，在输入了结束信号时(S40，Yes)，进行停止液体再生装置的一连串的处理(S21)。在没有输入结束信号时(S40，No)，为了循环进行使用清洗液的回收·再生循环，使处理返回到罐监视(S11)。
(罐监视)
图5图解对罐进行监视的工序(S11)。首先，进行变量的初始化(S111)。然后，调查再生罐A(13a)是否可以接纳使用清洗液(S112)。在再生罐A(13a)可以贮存使用清洗液时(S112，Yes)，发出A信号(S121)。在无法贮存使用清洗液时(S112，No)，通过液面高度传感器62a判定再生罐A(13a)是否已经充满了使用清洗液(S112-1)。在未充满时(S112-1，No)，因为由于某种原因再生罐A(13a)无法贮存使用清洗液，所以发出异常信号，并且发出停止信号以便停止程序(S115)。在已充满时(S112-1，Yes)，为了研究是否可以进行再生处理，判断清洗液罐A(26a)是否可以接纳再生清洗液(S112-2)。在不能接纳时(S112-2，No)，因为无法对使用清洗液进行再生，所以发出异常信号，并且发出停止信号以便停止程序(S115)。在可以接纳时(S112-2，Yes)，发出罐A再生信号，使之能够对贮存的使用清洗液进行再生(S113)。
然后，与发出信号A时(S121)的流程汇合，调查再生罐B(13b)是否可以接纳使用清洗液(S114)。在再生罐B(13b)可以贮存使用清洗液时(S114，Yes)，发出B信号(S124)，返回主程序。在无法贮存使用清洗液时(S114，No)，通过液面高度传感器62b判定再生罐B(13b)是否已经充满了使用清洗液(S141-1)。在未充满时(S114-1，No)，因为由于某种理由再生罐B(13b)无法贮存使用清洗液，所以发出异常信号，并且发出停止信号以便停止程序(S115-2)。在已充满时(S114-1，Yes)，为了研究是否可以进行再生处理，判断清洗液罐B(26b)是否可以接纳再生清洗液(S114-2)。在不能接纳时(S114-2，No)，因为无法对使用清洗液进行再生，所以发出异常信号，并且发出停止信号以便停止程序(S115-2)。在可以接纳时(S114-2，Yes)，发出罐B再生信号，使之能够对贮存的使用清洗液进行再生(S123)。然后，返回主程序。
(再生处理)
图6是图解再生处理工序(S13)的流程图。在再生处理工序中，首先，判断在进行罐监视的工序中发出的再生信号是罐A再生信号还是罐B再生信号(S201)。如果判断为罐A再生信号(S201，A再生信号)，则关闭阀门12a(S202)，开启再生罐A(13a)的加热器21a开始进行加热(S203)，并进行加热直到使用清洗液成为设定温度为止(S204)。如果检测到使用清洗液达到设定温度(S204，Yes)，则打开阀门25a、28a(S205)。然后，开启真空泵27(S206)，排出再生罐A(13a)内以及管道22a内的既有的空气来进行减压。即使通过减压排出既有的空气，大体下降到预定的压力，产生的蒸汽也会被冷却塔24的冷凝器液化，所以使该再生清洗液滴落到(或者落到)清洗液罐A(26a)中。通过液面高度传感器61a检测到使用清洗液的剩余量下降到了预定量(S207，Yes)，关闭再生罐A的加热器(S208)，关闭阀门25a、28a(S209)，打开阀门23a(S210)来释放残余压力。
从EXH输入外界气体，使再生罐A(13a)内大体为大气压(S211)，停止真空泵27的动作(S212)，打开阀门41a(S213)，排出在再生罐A(13a)中残留的使用清洗液。通过使阀门41a打开预定时间来排出残留的使用清洗液(S214)。对再生罐A(13a)的液面高度传感器61a在所述阀门41a的打开时间内进行了反应进行确认(S215，Yes)，关闭再生罐A(13a)的再生信号(S216)，关闭阀门41a进行使其他的设定返回初始状态的处理(S217)。由此，再生罐A(13a)可以再次贮存回收的清洗液等使用清洗液。然后，使处理返回到等待再生信号。
此外，在判断是罐A再生信号还是罐B再生信号的步骤(S201)中，如果判断为罐B再生信号(S201，B再生信号)，则关闭阀门12b(S222)。然后，开启再生罐B(13b)的加热器21b(S223)，进行加热直到使用清洗液达到设定温度为止(S224)。如果检测到使用清洗液达到设定温度(S224，Yes)，则打开阀门25b、28b(S225)。然后，开启真空泵27(S226)，排出再生罐B(13b)内以及管道22b内的既有的空气来进行减压。即使排出既有的空气，大体下降到预定的压力，产生的蒸汽也会被冷却塔24的冷凝器液化，所以使该再生清洗液滴落到(或者落到)清洗液罐26b中。
在再生罐B(13b)的混合清洗液的剩余量减少到预定量时(S227，Yes)，关断再生罐B的加热器21b的开关，停止加热(S228)。然后，关闭阀门25b、28b，打开阀门23b(S230)从EXH输入外界气体，使再生罐B(13b)内大致为大气压(S231)，停止真空泵27的动作(S232)。之后，打开阀门41b(S234)，排出在再生罐B(13b)中残留的使用清洗液。通过使阀门41b打开预定时间来排出残留的使用清洗液，对清洗液罐B(26b)的液面高度传感器65b在所述阀门41b的打开时间内进行了反应进行确认(S235，Yes)，关闭再生罐B(13b)的再生信号(S236)，进行使其他的设定返回初始状态的处理(S237)。由此，再生罐B(13b)可以再次贮存回收的清洗液等使用清洗液。然后，使处理返回到等待再生信号。
(供给请求监视)
图7时表示通过管路35、35a、35b等向底漆涂敷辊清洗装置(处理装置)供给再生清洗液的供给请求监视程序的一例的流程图。首先，判断是否从底漆涂敷辊清洗装置请求了再生清洗液的供给(S502)。在没有请求供给时(S502，No)，进一步判定是否存在结束信号(例如，操作者对装置的停止按钮的操作)，如果具有结束信号(S503，Yes)，则进行结束程序的处理(S504)。另一方面，如果没有结束信号(S503，No)，则程序再次判断是否请求了再生清洗液的供给(S502)。如果具有供给请求(S502，Yes)，然后判定能否从清洗液罐A(26a)供给再生清洗液(S505)。例如，作为液面高度传感器65a、66a的检测结果，在判定为再生清洗液不充足时，无法从清洗液罐A(26a)供给再生清洗液(S505，No)，转移到能否从清洗液罐B(26b)供给再生清洗液的判断工序(S515)。在能够从清洗液罐A(26a)供给再生清洗液时，(S505，Yes)，打开阀门72、33a、34a，对清洗液罐A(26a)的气体区域进行加压，从管路35a压出再生清洗液，并通过管路35、过滤器36提供给底漆涂敷辊清洗装置(S506)。在该期间，随时监视清洗液罐A(26a)能否供给再生清洗液，在判断为不能时(S507，No)，关闭各个阀门72、33a、34a(S509)。只要判断为清洗液罐A(26a)能够供给再生清洗液(S507，Yes)，确认是否请求了再生清洗液的供给，在已请求时(S508，，Yes)，进行清洗液罐A(26a)能否供给再生清洗液的判断。在没有请求再生清洗液的供给时(S508，No)，关闭各个阀门72、33a、34a(S509)。然后，再次判断是否请求了再生清洗液的供给(S502)。
在上述的能否从清洗液罐B(26b)供给再生清洗液的判断工序(S515)中，在判断为不能供给时(S515，No)，因为清洗液罐A(26a)以及清洗液罐B(26b)双方都不能供给，所以发出异常警报(S520)。在判断为能够供给时(S515，Yes)，打开各个阀门72、33b、34b，对清洗液罐B(26b)的气体区域进行加压，从管路35b压出再生清洗液，并通过管路35、过滤器36提供给底漆涂敷辊清洗装置(S516)。在该期间，随时监视清洗液罐B(26b)能否供给再生清洗液，在判断为不能时(S517，No)，关闭各个阀门72、33b、34b(S519)。只要判断为清洗液罐B(26b)能够供给再生清洗液(S517，Yes)，确认是否请求了再生清洗液的供给，在已请求时(S518，，Yes)，进行清洗液罐B(26b)能否供给再生清洗液的判断。在没有请求再生清洗液的供给时(S518，No)，关闭各个阀门72、33b、34b(S519)。然后，再次判断是否请求了再生清洗液的供给(S502)。
(实施例2)
在实施例1中说明了具有两个再生罐(13a以及13b)的情况，但再生罐也可以为三个以上，还可以切换各个再生罐来贮存使用清洗液。因为在底漆涂敷辊92的清洗次数较多时会产生更多的使用清洗液，所以在使再生罐为三个以上时，对于来不及分离使用清洗液的情况是有效的。以下说明使再生罐为三个以上的情况。
(装置结构)
图8是表示实施例2的液体再生装置的示意图。与图2所示的液体再生装置(双系统)不同，实施例2的液体再生装置并行设置了四个系统的机构。但是，部件的连接关系实质上相同，所以对共通的部件分配了相同的编号。关于实施例2的液体再生装置200的第三以及第四机构，对各个部件编号附加“c”、“d”来分配编号。这些机构分别相同地具备回收部、再生部、贮存部、以及供给部。并且，该液体再生装置200具有排气部、检测部、控制部、废弃部以及冷却水供给部。由这些各个部分构成的结构，实质上与图2所示的结构相同，因此省略重复的说明。此外，在供给部上设置了N₂气体供给部71来代替鼓风机70。
液体再生装置200，对于作为共通部件的冷却罐24、废液罐42、N₂气体供给部71、冷却水供给部等，以及回收作为混合液的使用清洗液的管路11以及供给再生清洗液的管路35，分别并联连接了各个结构，根据需要通过各个对应的阀门等来隔开。因此，虽然可以通过图2的液体再生装置200的第一以及第二结构进行再生，但也可以通过从该液体再生装置200的第一至第四机构中任意选择出的两个机构来进行再生。可以通过该液体再生装置200的附加了从A至D中任意选择出的两个字母的各个再生罐以及清洗液罐，实质上连续地进行回收工序、再生工序、贮存工序、供给工序。
此外，例如可以将四个机构(以下称为机构A、B、C、D)分为两组，例如，机构A以及B作为图2的第一机构工作，机构C以及D作为图2的第二机构工作。如果这样分类，则在底漆涂敷辊清洗装置这样的处理装置中，就可以容易地应对所使用的清洗液的单位时间的量较少的情况以及较多的情况。即，在较少时，可以通过机构A和C进行回收·再生·贮存·供给循环，另一方面，在较多时，可以通过机构A以及B、机构C以及D来进行相同的循环。在理论上，通过这样做会变成大约两倍的处理能力。
但是，因为希望在该循环中处理的清洗液的量均衡，所以通过机构A、B、C的分组以及机构D来进行相同的循环，不太理想。这是因为从总体看，效率会降低。此外，表示了使四系统的机构与双系统相同来进行循环的例子，但也可以通过三系统或者四系统进行循环。例如，在双系统中，是错开1/2循环对机构进行操作，但在四系统中，可以按每1/4循环错开来对机构进行操作。此时，理想的是，必须留意要能够操作共通的部件，设置在切换时用于缓冲的临时贮存单元。
此外，在使用超过四个的机构时，如果机构数量为偶数，则可以将全部的机构分为两个组，与上述双系统时相同地使液体再生装置工作。另一方面，在为奇数时，可以将一个机构作为预备机构，在某个机构发生了故障时进行替换。可以将剩余的机构与上述偶数时相同分为两个组，与上述双系统时相同地使液体再生装置工作。
(再生程序)
图9、10、11、12、13是表示使用本发明实施例2的液体再生装置的清洗液的再生程序的例子的流程图。在图9中表示主程序。在此，主要对于使用清洗液的回收以及回收后的使用清洗液的贮存，进行编程使其可以应对多个种类的系统。当程序开始时，首先设定所安装的各个机构的作用(S302)。然后，按照其作用，调查各罐的状况(S311)。同时，检查是否具有来自底漆涂敷辊清洗装置的再生清洗液的供给请求，在具有时，向底漆涂敷辊清洗装置供给再生清洗液(S303)。
(作用设定程序)
图10是设定各个机构的作用的子程序。程序最初进行运转模式的设定(S352)。具体地说，催促操作者进行双系统(简单light)、双系统(复杂heavy)、三系统、或四系统的选择输入。然后，检查所使用的各个机构的状况(S354)。然后，如果在各个机构中都没有问题(S356，Yes)，则设定各个机构的驱动开始顺序(S360)，并使程序返回到主程序。此外，如果在各个机构中存在某种问题(S356，No)，则显示各个机构的状况(S358)，等待运转模式的输入。
(罐监视程序)
图11表示使用四个机构时的罐监视程序的一例。如果不使用不需要的数据，则不特别限于使用四个机构的情况，还可以用于使用两个机构的情况。最初，进行初始值清零(S411)。然后，检查再生罐A(13a)是否可以贮存回收的使用清洗液(S412a)。当判断为可以贮存时(S412a，Yes)，产生A信号(S416a)，通知可以在再生罐A(13a)中贮存，然后转移到下一个再生罐B(13b)的状况的检查。此外，当判断为在再生罐A(13a)中不能贮存时(S412a，No)，检查再生罐A(13a)是否被使用清洗液充满(S413a)。在假定没有被充满时(S413a，No)，判断为因非正常的理由的不能贮存，所以发出异常信号(S417a)，安全地停止程序。如果再生罐A(13a)被使用清洗液充满(S413a，Yes)，则应该通过再生程序将使用清洗液再生为再生清洗液，所以发出再生罐A(13a)的再生信号(S415a)。然后，程序转移到下一个再生罐B(13b)的状况的检查。
在此，检查再生罐B(13b)是否可以贮存回收的使用清洗液(S412b)。当判断为可以贮存时(S412b，Yes)，产生B信号(S416b)，通知可以在再生罐B(13b)中贮存，然后转移到下一个再生罐C(13c)的状况的检查。此外，当判断为在再生罐B(13b)中不能贮存时(S412b，No)，检查再生罐B(13b)是否被使用清洗液充满(S413b)。在没有被充满时(S413b，No)，判断为因非正常的理由的不能贮存，所以发出异常信号(S417b)，安全地停止程序。如果再生罐B(13b)被使用清洗液充满(S413b，Yes)，则应该通过再生程序将使用清洗液再生为再生清洗液，所以发出再生罐B的再生信号(S415b)。然后，程序转移到下一个再生罐C(13c)的状况的检查。
然后，检查再生罐C(13c)是否可以贮存回收的使用清洗液(S412c)。当判断为可以贮存时(S412c，Yes)，产生C信号(S416c)，通知可以在再生罐C(13c)中贮存，然后转移到下一个再生罐D(13d)的状况的检查。此外，当判断为在再生罐C(13c)中不能贮存时(S412c，No)，检查再生罐C(13c)是否被使用清洗液充满(S413c)。在没有被充满时(S413c，No)，判断为因非正常的理由的不能贮存，所以发出异常信号(S417c)，安全地停止程序。如果再生罐C(13c)被使用清洗液充满(S413c，Yes)，则应该通过再生程序将使用清洗液再生为再生清洗液，所以发出再生罐C的再生信号(S415c)。然后，程序转移到下一个再生罐D(13d)的状况的检查。
然后，检查再生罐D(13d)是否可以贮存回收的使用清洗液(S412d)。当判断为可以贮存时(S412d，Yes)，产生D信号(S416d)，通知可以在再生罐D(13d)中贮存，然后返回到主程序。此外，当判断为在再生罐D(13d)中不能贮存时(S412d，No)，检查再生罐D(13d)是否被使用清洗液充满(S413d)。在没有被充满时(S413d，No)，判断为因非正常的理由的不能贮存，所以发出异常信号(S417d)，安全地停止程序。如果再生罐D(13d)被使用清洗液充满(S413d，Yes)，则应该通过再生程序将使用清洗液再生为再生清洗液，所以发出再生罐D的再生信号(S415d)。然后，程序返回到主程序。
(再生清洗液供给程序)
与罐监视(S311)并行地进行有无再生清洗液供给请求的检查以及再生清洗液的供给(S303)。如图12所示，调查是否具有来自底漆涂敷辊清洗装置的再生清洗液的供给请求(S552)，如果没有(S552，No)，则调查有无结束信号(S553)。如果有结束信号(S553，Yes)，则结束处理(S554)。如果没有(S553，No)，则再次检查是否具有再生清洗液的供给请求(S552)。如果具有再生清洗液的供给请求(S552，Yes)，则检查清洗液罐A是否可以供给所贮存的再生清洗液(S505a)，如果不能供给(S505a，No)，则转移到对清洗液罐B的检查。如果能够供给(S505a，Yes)，则进行以下的步骤以便从清洗液罐A供给再生清洗液。各个机构的该步骤基本与图7相同。首先，为了从N₂气体供给装置71压力输送N₂气体，打开阀门72、33a、34a(S506a)。由此，通过管路(35a、35)向底漆涂敷辊清洗装置压力输送再生清洗液。在该期间，监视清洗液罐A是否能够进行供给，例如监视清洗液罐A的再生清洗液是否充足，是否没有什么异常等(S507a)，在无法供给时(S507a，No)，关闭阀门72、33a、34a(S509a)。此外，即使在能够供给时(S507a，Yes)，也继续监视是否发出了再生清洗液的供给请求(S508a)，如果发出了供给请求(S508a，Yes)，则继续供给再生清洗液，同时再次监视清洗液罐A是否能够供给再生清洗液(S507a)。如果没有发出(S508a，No)，则关闭阀门72、33a、34a(S509a)，并使程序返回到供给请求监视程序的最初的步骤。
在清洗液罐A无法供给再生清洗液时(S505a，No)，检查清洗液罐B是否能够供给再生清洗液(S505b)。如果清洗液罐B不能供给(S505b，No)，则转移到对清洗液罐C的检查。如果能够供给(S505b，Yes)，则进行以下的步骤以便从清洗液罐B供给再生清洗液。该机构B中的该步骤基本与机构A中的步骤相同。首先，为了从N₂气体供给装置71压力输送N₂气体，打开阀门72、33b、34b(S506b)。由此，通过管路35b、35向底漆涂敷辊清洗装置压力输送再生清洗液。在该期间，监视清洗液罐B是否能够进行供给，例如监视清洗液罐B的再生清洗液是否充足，是否没有什么异常等(S507b)，在无法供给时(S507b，No)，关闭阀门72、33b、34b(S509b)。此外，即使在能够供给时(S507b，Yes)，也继续监视是否发出了再生清洗液的供给请求(S508b)，如果发出了供给请求(S508b，Yes)，则继续供给再生清洗液，同时再次监视清洗液罐B是否能够供给再生清洗液(S507b)。如果没有发出(S508b，No)，则关闭阀门72、33b、34b(S509b)，并使程序返回到供给请求监视程序的最初的步骤。
在清洗液罐B无法供给再生清洗液时(S505b，No)，检查清洗液罐C是否能够供给再生清洗液(S505c)。如果清洗液罐C不能供给(S505c，No)，则转移到对于清洗液罐D的检查。如果能够供给(S505c，Yes)，则进行以下的步骤以便从清洗液罐C供给再生清洗液。该机构C中的该步骤基本与机构A中的步骤相同。首先，为了从N₂气体供给装置71压力输送N₂气体，打开阀门72、33c、34c(S506c)。由此，通过管路35c、35向底漆涂敷辊清洗装置压力输送再生清洗液。在该期间，监视清洗液罐C是否能够进行供给，例如监视清洗液罐C的再生清洗液是否充足，是否没有什么异常等(S507c)，在无法供给时(S507c，No)，关闭阀门72、33c、34c(S509c)。此外，即使在能够供给时(S507c，Yes)，也继续监视是否发出了再生清洗液的供给请求(S508c)，如果发出了供给请求(S508c，Yes)，则继续供给再生清洗液，同时再次监视清洗液罐C是否能够供给再生清洗液(S507c)。如果没有发出(S508c，No)，则关闭阀门72、33c、34c(S509c)，并使程序返回到供给请求监视程序的最初的步骤。
在清洗液罐C无法供给再生清洗液时(S505c，No)，检查清洗液罐D是否能够供给再生清洗液(S505d)。如果清洗液罐D不能供给(S505d，No)，则所有的清洗液罐都不能进行供给，所以发出异常警报(S520)，安全地停止装置。如果能够供给(S505d，Yes)，则进行以下的步骤以便从清洗液罐D供给再生清洗液。该机构D中的该步骤基本与机构A中的步骤相同。首先，为了从N₂气体供给装置(71)压力输送N₂气体，打开阀门72、33d、34d(S506d)。由此，通过管路35d、35向底漆涂敷辊清洗装置压力输送再生清洗液。在该期间，监视清洗液罐D是否能够进行供给，例如监视清洗液罐D的再生清洗液是否充足，是否没有什么异常等(S507d)，在无法供给时(S507d，No)，关闭阀门72、33d、34d(S509d)。此外，即使在能够供给时(S507d，Yes)，也继续监视是否发出了再生清洗液的供给请求(S508d)，如果发出了供给请求(S508d，Yes)，则继续供给再生清洗液，同时再次监视清洗液罐D是否能够供给再生清洗液(S507d)。如果没有发出(S508d，No)，则关闭阀门72、33d、34d(S509d)，并使程序返回到供给请求监视程序的最初的步骤。
(使用清洗液回收程序)
再次返回图9来说明罐监视(S311)之后的工序。通过罐监视程序，检测了在某一个再生罐中贮存了应该再生的使用清洗液，具有等待进行再生的再生罐。根据该结果，检查是否对某一个再生罐发出了表示应该进行再生的再生信号(S312)。如果发出了，则通过再生处理(S313)进行后述的再生处理。并且，无论是否有无再生信号，程序根据在上述结构作用设定工序(S302)中设定的运转模式，来划分情况(S312-1)。在运转模式为双系统轻型模式(S312-2)时，进行使用机构A以及C的双系统的再生处理。此外，在运转模式为双系统重型模式(S312-3)时，将机构A以及B作为一组，将机构C以及D作为另一组来使用，进行双系统的再生处理。此外，在运转模式为三系统模式(S312-5)时，例如进行使用机构A、B以及C的三系统的再生处理。此外，在运转模式为四系统轻型模式(S312-7)时，进行使用机构A、B、C以及D的四系统的再生处理。在该运转模式判定工序中，进行与各个模式相适合的生产节拍时间(takt time)设定以及管理。具体地说，设定与所设定的运转模式最适合的各个工序以及由这些工序组成的一个循环的理想的时间间隔等，并进行时间管理，以便按照该时间间隔或者时钟来进行以下的各个工序。
(双系统轻型模式)
当把运转模式设定为双系统轻型模式(S312-2)时，程序转移到判定是否是A/C某一个信号的工序(S314)。以后的工序与图4所示的工序实质上相同，所以在此省略说明。在此，设为与打开阀门12a或12c(S315或S335)一起，发出再生罐A或C(13a或13c)的开始信号。由此，可以向控制装置通知再生罐A或C的生产节拍时间，用于各种工序的时间管理。
(双系统重型模式)
在把运转模式设定为双系统重型模式(S312-2)时，用机构A以及B作成一个组，用机构C以及D作成另一组(S312-4)。机构A以及B成为一体同时进行运转，机构C以及D也成为一体，所以通过两个组可以起到与上述双系统轻型模式的A/C完全相同的作用。因此，在此省略说明。
(三系统模式)
当把运转模式设定为三系统模式(S312-5)时，一个机构(例如机构D)变为停机(S312-6)。在该模式下相当于从下面的四系统模式中除去一个机构，所以在此省略说明。
(四系统模式)
在把运转模式设定为三系统模式(S312-5)时，在运转模式判定工序(S312-1)中，进行构成一个循环的四个工序的时间设定和管理。即，根据事先输入的数据，或者通过在与底漆涂敷辊清洗装置相适合地使用的过程中监视清洗液的流量，来进行最佳的工序的时间设定以及管理。该设定·管理的目的在于，使回收、贮存、再生、供给的各个工序、以及通过底漆涂敷辊清洗装置进行的清洗这样的一连串的作业最佳化。具体地说，在分别使用了具有再生罐A、B、C、D的机构A、B、C、D时，进行发送A信号的时间管理，该A信号对上述各个工序的开始进行触发。例如，如果在机构A、B、C、D中，分别应该在T1、T2、T3、T4开始回收工序，则在时刻T1，从S312-1向S312-8发送A信号，启动通过A信号触发的机构A。并且，通过在时刻T2、T3、T4分别发送B、C、D信号，可以在各自的时刻启动机构B、C、D。启动后的工序与图4或双系统轻型模式的工序实质上相同，所以省略详细的说明。在此，使之在打开在某一个再生罐中实质地开始回收/贮存使用清洗液的阀门12a、12b、12c、12d的同时，发出该再生罐的开始信号。由此，可以向控制装置通知该再生罐的生产节拍时间的开始，用于各种工序的时间管理。此外，如图6所示，使用清洗液进行再生通过各自的再生信号(在罐监视工序中产生)开始，并且自动地停止，所以不需要特别进行操作。因为一般在使用清洗液的再生处理中容易花费时间，所以该再生处理容易成为决定整体的处理速度的原因。此外，还可以根据图12的流程，并且根据供给请求信号、贮存再生清洗液的各罐的状态，自动地向底漆涂敷辊清洗装置供给再生清洗液。
(使用清洗液再生程序)
图13对再生处理(S313)的程序进行图解。在再生处理中，首先根据阀门12a、12b、12c、12d中的某个阀门的最初的打开操作，来检测是否从各个再生罐开始了贮存(S601)。此外，将该时刻存储在控制装置所具备的存储器中，调整以后的操作的定时。在此，对包含进行了接收到的所述打开操作的再生罐的每个机构进行分支来进行再生处理的各个工序。以下，说明包含再生罐A的结构A，但在包含其他再生罐的结构中也进行相同的工序。
在开始贮存再生罐A的回收的使用清洗液后，经过了预定的时间时(S602，Yes)接通再生罐A的加热器21a的开关(S603)。因为通过加热器的加热使贮存的使用清洗液升温需要花费时间，所以从较早的时候接通加热器的开关。该时刻可以根据贮存量、加热器容量以及其他的要素、在运转模式的输入时刻决定。保持接通加热器开关21a不变，继续进行贮存，等待输入罐A再生信号(S604)。然后，在再生罐A充满(S413a)，清洗液罐A(26a)可以贮存再生后的使用清洗液时(S416a)，发出罐A再生信号(S415a)，接收该信号(S604a，Yes)，转移到下一个工序(S605)。
在下一工序中，即使在确保了再生所需要的、被再生的使用清洗液的贮存罐时，也要检查真空泵27等共通的管路、阀门、装置等是否可以使用，以及检查其他个别的事项等(S605)。由此，为了使用上述共通的设备等，在调整需要稍微错开时间等具体的事由，能够平顺地进行再生工序时，在以后的工序中，对包含各自的再生罐的结构单独地发送阀门操作等的指令。例如，在除了再生罐A(13a)之外没有准备贮存使用清洗液的罐或临时贮存装置时，或者在真空泵27用于其他机构的减压时，可以进行等待直到准备好贮存使用清洗液的罐或临时贮存装置或者其他的机构结束使用为止，或者可以进行停止从清洗装置排出使用清洗液的操作(S605)。在已准备好，并且可以使用共通设备时，转移到下一工序，关闭阀门12a(S606a)，打开阀门25a、28a(S607a)，开启真空泵27(S608a)。然后，在减压的状态下继续进行蒸馏，检查再生罐A中的使用清洗液是否变为例如20％以下(S609a)。当变为20％以下(S609a，Yes)时，关闭加热器(S610a)，并关闭阀门25a、28a(S611a)。由此，使再生罐A系统与真空泵27的减压系统隔离，为了恢复为大气压，打开阀门23a以及EXH泄漏阀，并且关闭真空泵27(S612a)。然后，打开相当于再生罐A的泄漏阀的阀门41a，排出从使用清洗液中再生清洗液后残留的残渣(S613a)。当经过预定时间，排渣完成时(S614a，Yes)，将罐A的再生信号设为关闭(S615a)。然后，将临时使用的各种变量重新设定为初始值(S616a)，程序转移到再生处理的例行程序的顶部。
(双系统时间图)
图14特别着眼于使用清洗液的回收以及再生，对每个机构表示了使实施例2的装置运转时的时间图。纵轴为在运转的机构中使用的再生罐的类别，横轴为时间。此外，机构的组合、时间仅是用于说明的示例，并不限定本发明的范围。对回收的使用过的清洗液进行等分，贮存在并行设置的再生罐A以及B(13a、13b)中。在图中标注为回收，但对于各个再生罐来说是贮存的意思。在图14中，在开始回收后，例如在5分钟后，接通加热器21a、21b的开关，开始加热。然后，例如在20分钟后再生罐A以及B(13a、13b)变满，关闭阀门12a、12b。通过管路11中具备的作为补充设备的临时贮存装置411继续贮存回收的使用清洗液。大约5分钟之后，并行设置的再生罐C以及D(13c、13d)也成为能够贮存的状态，该临时贮存装置411连接到再生罐C以及D，如果再生罐C以及D(13c、13d)的准备就绪，立即向再生罐C以及D(13c、13d)输送临时贮存的再生清洗液。
当再次回到再生罐A以及B(13a、13b)时，从开始回收经过20分钟后，由于加热器21a、21b的加热使用过的清洗液达到高温的预定温度，打开阀门25a、25b以及阀门28a、28b，使真空泵27进行工作。从再生罐A以及B(13a、13b)逐渐蒸发的清洗液通过冷却罐24被冷却，将液化后的清洗液贮存在清洗液罐A以及B(26a、26b)中。例如，当20分钟后再生罐A以及B(13a、13b)中的使用清洗液从减压蒸发开始时变为20％左右时，关闭阀门25a、25b以及阀门28a、28b停止真空泵27。然后，打开阀门23a、23b，打开还作为真空泵27的泄漏阀的阀门EXH，使再生罐A以及B(13a、13b)成为大气压。然后，打开阀门41a、41b大约10分钟，向废液罐42排出残渣。由此，同时进行再生罐A以及B(13a、13b)的排热。之后(从开始经过50分钟后)，关闭阀门23a、23b、41a、41b，在变得能够重新开始贮存时，打开阀门12a、12b，重新开始贮存。此时，从临时贮存装置411接收临时贮存的使用清洗液。
在从开始经过25分钟后开始了回收/贮存的再生罐C以及D(13c、13d)进行与再生罐A以及B(13a、13b)相同的工序，也同样在75分钟后开始第二次的回收/贮存。如此，在发出结束信号，通过图9中的结束处理(S321)结束之前，液体再生装置连续地运转。如上所述，当开始进行各个机构中的回收时，按照一定的生产节拍执行再生工序。并且，在各个机构中包含的再生罐被用于下一个回收工序。另一方面，对应液体再生装置的状况以及清洗装置一侧的再生清洗液的要求，自动地执行再生清洗液的供给工序，所以仅留意共通设备的冲突和贮存罐等的容量，无需特别进行控制。
在此，可以使再生罐A以及B(13a、13b)的容量相同，也可以使其容量有大小之分。此时，还使对应的各个再生罐C以及D(13c、13d)也有大小之分。此外，还使对应的清洗液罐A、B、C、D分别成为对应的容量。如此，在用于小规模的清洗装置时，可以进行基于作为小容量机构的组合的机构B以及机构D的回收、贮存、再生、供给。此外，在用于中等规模的清洗装置时，可以进行基于作为大容量机构的组合的机构A以及C的回收、贮存、再生、供给。此外，在用于大规模的清洗装置时，可以进行基于全部机构A、B、C、D的回收、贮存、再生、供给。
(三系统时间图)
图15特别着眼于使用清洗液的回收以及再生，对每个机构表示了使实施例2的装置运转时的时间图。纵轴为在运转的机构中使用的再生罐的类别，横轴为时间。此外，机构的组合、时间仅是用于说明的示例，并不限定本发明的范围。在此，使四个机构内的机构D停机，使用其他的机构。把回收的使用过的清洗液贮存在并行设置的再生罐A、B以及C(13a、13b、13c)内的再再生罐A(13a)中。在图中标注为回收，但对于各个再生罐来说是贮存的意思。
在图15中，在开始回收后，例如在5分钟后，接通加热器21a的开关，开始加热。然后，例如在20分钟后再生罐A(13a)被充满到预定量，打开再生罐B(13b)的阀门12b，继续贮存回收的使用清洗液。在该期间，也可以由两个再生罐进行贮存。并且，在25分钟之后，关闭再生罐A(13a)的阀门12a，在再生罐A(13a)中开始通过减压蒸馏进行的再生。此外，在25分钟后，开启再生罐B(13b)的加热器21b。
并且，在40分钟后，再生罐B(13b)被充满到预定量，打开再生罐C(13c)的阀门12c，继续贮存回收的使用清洗液。在该期间，也可以由两个再生罐进行贮存。并且，在45分钟后，关闭再生罐A(13a)的阀门25a、28a，打开阀门23a，打开EXH泄漏阀，并且关闭真空泵27，在再生罐A(13a)成为大气压时，打开阀门41a，排出残渣。此外，同样在45分钟后，关闭再生罐B(13b)的阀门12b，在再生罐B(13b)中开始通过减压蒸馏进行的再生。并且，同样在45分钟后，开启再生罐C(13c)的加热器21c。在再生罐B中通过加压蒸馏进行再生，并在再生罐C中贮存回收的使用清洗液的期间，在55分钟后，再生罐A(13a)的残渣排出结束，关闭阀门41a，成为能够再次贮存回收的使用清洗液的状态。
在此，在再生罐C(13c)中，在60分钟后已贮存了预定量的使用清洗液，打开再生罐A(13a)的阀门12a，继续贮存回收的使用清洗液。在该期间，还可以由两个再生罐进行贮存。并且，在65分钟后，关闭再生罐B(13b)的阀门25b、28b，打开阀门23b，打开EXH泄漏阀，并且关闭真空泵27，在再生罐B(13b)成为大气压时，打开阀门41b，排出残渣。此外，同样在65分钟后，关闭再生罐C(13c)的阀门12c，在再生罐C(13c)中开始通过减压蒸馏进行的再生。并且，同样在65分钟后，开启再生罐B(13b)的加热器21b。
如此，通过按顺序使用分别具备再生罐A、B以及C(13a、13b、13c)的机构A、B、C，在发出结束信号、通过图9中的结束处理(S321)结束之前，液体再生装置连续运转。如上所述，当开始了各个机构中的回收时，按照一定生产节拍执行再生工序。并且，各个机构中包含的再生罐当在再生后排出了残渣时，被用于下一个回收工序。另一方面，对应液体再生装置的状况以及清洗装置一侧的再生清洗液的要求，自动地执行再生清洗液的供给工序，所以仅留意共通设备的冲突和贮存罐等的容量，无需特别进行控制。
此外，虽然具有四个机构，但可以通过三个机构进行回收、贮存、再生、供给，所以即使某个机构发生故障，通过使停机的机构进行运转，也可以不停止整个系统地连续进行回收、贮存、再生、供给。此外，还可以按照在每个循环按顺序使四个机构A、B、C、D中的一个机构停机的方式组成轮换。
(包含多个机构的液体再生系统)
然后，根据图16，说明包含多个机构的液体再生系统。液体再生系统300是具备通过清洗液对被处理部件进行清洗的底漆涂敷辊清洗装置90、回收并再生来自该装置90的使用过的清洗液的液体再生装置310、以及控制这些装置90、310的控制装置320，连续地对使用清洗液进行再生，可以供给该再生清洗液的液体再生系统。
液体再生装置310具有多个机构318，该机构318由以下部分构成：回收使用清洗液的回收部312、包含贮存回收的使用清洗液的再生罐的再生部314、贮存再生后的清洗液的贮存部316、向所述底漆涂敷辊清洗装置90供给再生清洗液的供给部317。
通过清洗液排出管97经由回收管路311与管路11连接，将底漆涂敷辊清洗装置90与液体再生装置310连接。管路11与各个机构318连接。此外，各个机构318与用于供给的管路35连接，经由供给管路317与底漆涂敷辊清洗装置90连接。
控制装置320被连接成可以控制底漆涂敷辊清洗装置90以及液体再生装置310，并且各机构318的回收部312、再生部314、贮存部316以及供给部317被连接成了经由包含无线在内的通信线路322可以进行控制。
如图所示，可以直接控制地使用多个机构，所以能够容易地应对由各机构的组合所引起的处理清洗液容量的变化。例如，在将这些多个机构的各个再生罐中的每个再生罐的容量设为V时，由两个再生罐构成的机构组的容量为2×V，由三个再生罐构成的机构组的容量为3×V。此时，预先使不被使用的机构停机，在产生诸如运转机构的故障等不良情况时，可以用作预备机构。此外，关于在一个循环中未曾使用的机构，通过在下一循环中代替在上一循环中使用的机构来使用，还可以按循环期间轮换依次轮流待机的机构。
(总结)
如上所述，如果使底漆涂敷辊清洗装置这样的处理装置的技术规格与液体再生装置的技术规格良好地匹配，则可以构筑最佳的清洗液的使用/再生系统。例如，预先预测底漆涂敷辊清洗装置的清洗液的整体使用量、使用量的时间变化、再生清洗液的再利用量、以及再生清洗液的再利用量的时间变化，作为技术规格预先与该处理装置相关联地存储在数据库中。并且，作为液体再生装置，如果把单位时间的再生清洗液的通常以及最大生产量等再生处理能力、为此而需要的再生罐的容量和数量、再生罐的切换时间等技术规格与该液体再生装置相关联地存储在数据库中，则可以进行这些底漆涂敷辊清洗装置这样的处理装置以及液体再生装置的理想的选择。
权利要求书(按照条约第19条的修改)
1.一种液体再生装置，其从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液即使用过的清洗液，并对其进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液即再生后的清洗液，该液体再生装置的特征在于，
包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液供给的第一以及第二机构，
各机构包含：
回收单元，与所述处理装置相连地设置，对所述使用清洗液进行回收；
再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液并对其进行再生；
贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的再生清洗液；以及
供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，
在所述第一机构正在回收所述使用清洗液时，所述第二机构能够再生预先回收的使用清洗液。
2.根据权利要求1所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及第二机构中，进一步具备对所述回收单元、所述再生单元、所述贮存单元以及所述供给单元进行控制的控制单元。
3.根据权利要求2所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元具备对回收的所述使用清洗液进行贮存的再生罐以及设置在该再生罐中的能够对所述使用清洗液进行加热的加热器。
4.根据权利要求3所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，进一步具备与所述再生罐上部连接的、用于进行排气·减压的排气单元。
5.根据权利要求2至4的任何一项所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元和/或所述供给单元具备能够检测贮存液量的检测单元。
6.根据权利要求5所述的液体再生装置，其特征在于，
所述控制单元能够根据所述第一以及所述第二机构的所述检测单元检测出的所述使用清洗液和/或所述再生清洗液的量，控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元。
7.根据权利要求3或4所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，进一步具备与所述再生罐底部连接的、提取并废弃所述使用清洗液的再生后残渣的废弃单元。
8.(修正后)根据权利要求1所述的液体再生装置，其特征在于，
在所述第一以及所述第二机构中，所述再生单元具备对所述使用清洗液的蒸馏部分进行冷却液化，做成所述再生清洗液的冷却单元。
9.(修正后)根据权利要求8所述的液体再生装置，其特征在于，
进一步具备给所述第一以及所述第二机构的所述冷却单元供给冷却水的冷却水供给单元。
10.(删除)
11.一种清洗液再生方法，从处理装置回收对被处理部件进行清洗后的使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给再生清洗液，该清洗液再生方法的特征在于，
通过对进行所述使用清洗液的回收以及再生、和所述再生清洗液的供给的多个清洗液再生处理流程进行组合，连续地回收所述使用清洗液，进行再生，再次向处理装置供给所述再生清洗液。
12.根据权利要求11所述的清洗液再生方法，其特征在于，
所述多个清洗液再生处理流程至少包含：由所述使用清洗液的回收工序、再生工序以及所述再生清洗液的供给工序构成的第一流程；
与所述第一流程同步的，由所述使用清洗液的再生工序、所述再生清洗液的供给工序以及所述使用清洗液的回收工序构成的第二流程；以及
与所述第一流程同步的，由所述再生清洗液的供给工序、所述使用清洗液的回收工序以及再生工序构成的第三流程。
13.根据权利要求12所述的清洗液再生方法，其特征在于，
所述第一、第二以及第三流程的各个工序，按某个流程的对象工序前后的工序可与另一流程中的与所述对象工序对应的对应工序前后的工序重叠的方式进行控制。
14.一种液体再生系统，其具有：通过清洗液清洗被处理部件的处理装置；以及回收来自该处理装置的使用清洗液，并对其进行再生的液体再生装置，在该处理装置以及该液体再生装置之间连续地使所述使用清洗液以及再生清洗液循环，该液体再生系统的特征在于，
所述液体再生装置包含进行所述使用清洗液的回收、再生以及再生清洗液的供给的第一以及第二机构，
各机构包含：
回收单元，与所述处理装置相连地设置，回收所述使用清洗液；
再生单元，与所述回收单元相连地设置，接收由该回收单元回收的所述使用清洗液，并对其进行再生；
贮存单元，与所述再生单元相连地设置，贮存由该再生单元再生后的再生清洗液；
供给单元，与所述贮存单元以及所述处理装置相连地设置，向所述处理装置供给所述再生清洗液，
在所述第一机构正在回收所述使用清洗液时，所述第二机构能够再生预先回收的使用清洗液。
15.根据权利要求14所述的液体再生系统，其特征在于，
进一步具备同样构成的第三以及第四机构。
16.根据权利要求14或15所述的液体再生系统，其特征在于，
进一步具备对所述处理装置以及所述液体再生装置进行控制的控制单元，该控制单元在所述处理装置和所述液体再生装置之间相互地进行通信，同时控制液体再生装置的各个机构中的所述回收工序、所述再生工序、所述供给工序。
17.(删除)
18.(删除)
根据条约第19条修改时的声明
权利要求第8项，将“前再生单元”订正为了“所述再生单元”。
权利要求第9项，将“权利要求7所述”修正为了“权利要求8所述”，明确了“所述冷却单元”是指什么。
删除了权利要求第10项、17项以及18项。