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本发明涉及二维检流计式扫描器中图像失真校正数据的生成方法,包含设有(2N+1)2个采样点的校正模板,N为自然数,所述方法包括以下步骤:(1)在软件程序中设置扫描范围和校正模板的点数,所述校正模板上所有采样点构成的标准图形与所述扫描范围大小一致,根据所述扫描范围计算所述校正模板上每个采样点的坐标值,将计算出的采样点坐标值作为校正前的数据保存;(2)扫描所述校正模板上的采样点,通过软件程序控制移动光束。