半导体发光器件 【技术领域】
本发明涉及一种半导体发光器件。背景技术 III-V 族半导体已经被广泛地应用于诸如蓝色和绿色发光二极管 (LED) 这样的光 学器件、诸如金属半导体场效应晶体管 (MOSFET) 和高电子迁移率晶体管 (HEMT) 这样 的高速开关器件、以及照明装置或者显示装置的光源。 特别地,使用 III 族氮化物半导体 的发光器件具有与从可视射线到紫外线的区域相对应的直接跃迁带隙并且能够实现高效 率光辐射。
氮化物半导体主要被用于 LED 或者激光二极管 (LD),并且已经继续地进行研究 以提高氮化物半导体的光效率或者制造处理。
发明内容 实施例提供一种半导体发光器件,该半导体发光器件包括在多个化合物半导体 层下的第二电极层和其外侧中的第一电极。
实施例提供一种半导体发光器件,该半导体发光器件包括第二电极层,该第二 电极层被设置在发光结构下 ;绝缘体,该绝缘体被设置在第二电极层的一侧上 ;以及第 一电极,该第一电极被设置在绝缘体上。
实施例提供一种半导体发光器件,该半导体发光器件包括 :第一导电半导体 层 ;在第一导电半导体层下的有源层 ;在有源层下的第二导电半导体层 ;在第二导电半 导体层下的第二电极层 ;第二电极层的一侧上的绝缘体 ;以及绝缘体上的被电连接到第 一导电半导体层的一端的第一电极。
实施例提供一种半导体发光器件,该半导体发光器件包括 :发光结构,该发光 结构包括第一导电半导体层、在第一导电半导体层下的有源层、以及在有源层下的第二 导电半导体层 ;在发光结构下的第二电极层 ;在发光结构的外侧的被电连接到第一导电 半导体层的第一电极 ;以及在第一电极和第二电极之间的绝缘体。
在附图和下面的描述中提出一个或者多个实施例的细节。 根据描述和附图以及 权利要求,其它的特征将会是显然的。
附图说明
图 1 是根据一个实施例的半导体发光器件的侧截面图。
图 2 是示出布线与图 1 的第一电极相接合的示例的图。
图 3 至图 8 是示出根据一个实施例的制造半导体发光器件的处理的图。
图 9 是根据另一实施例的半导体发光器件的侧截面图。具体实施方式
现在详细地参考本公开的实施例,在附图中示出其示例。
在下面的描述中,将会理解的是,当层 ( 或膜 ) 被称为在另一层或衬底 “上” 时,它能够直接地在另一层或者衬底上,或者还可以存在中间层。 此外,将会理解的 是,当层被称为在另一层 “下” 时,它能够直接地在另一层下,并且还可以存在一个或 者多个中间层。 另外,还将会理解的是,当层被称为两个层 “之间” 时,它能够是两个 层之间的唯一层,或者还可以存在一个或者多个中间层。
图 1 是根据一个实施例的半导体发光器件的侧截面图。 图 2 是示出布线与图 1 的第一电极相接合的示例的图。
参考图 1,半导体发光器件 100 包括第一导电半导体层 110、有源层 120、第二导 电半导体层 130、第二电极层 140、导电支撑构件 150、绝缘体 160、以及第一电极 170。
半导体发光器件 100 包括使用 III-V 族化合物半导体的发光二极管 (LED)。 LED 可以是发射诸如蓝色光、红色光或者绿色光这样的有色光的有色 LED,或者可以是紫外 线 (UV)LED。 在实施例的精神和范围内可以不同地实现 LED 的发光。
第 一 导 电 半 导 体 层 110 可 以 从 例 如 GaN、 AlN、 AlGaN、 InGaN、 InN、 InAlGaN、 AlInN、 AlGaAs、 GaP、 GaAs 以及 GaAsP 的 III-V 族元素的化合物半导体中 选择。 第一导电掺杂剂被掺杂在第一导电半导体层 110 中。
当第一导电半导体层 110 是 N 型半导体层时,第一导电掺杂剂包括诸如 Si、 Ge、 Sn、 Se 以及 Te 这样的 N 型掺杂剂。 第一导电半导体层 110 可以用作电极接触层, 并且可以被形成在单层或者多层中,但是不限于此。
第一电极 170 被电连接到第一导电半导体层 110 的一端 115。 第一电极 170 可以 被设置在第一导电半导体层 110 的一端 115 下,或者可以被布置在外侧的行中。 具有第一 极性的电源被施加给第一电极 170。 在此,特定形状的粗糙 ( 未示出 ) 可以被形成在第一 导电半导体层 110 的整个表面上,并且在实施例的精神和范围内可以进行添加或者修改。
此外,透明电极层 ( 未示出 ) 可以被形成在第一导电半导体层 110 上,并且将具 有第一极性的通过第一电极 170 施加的电源扩散给整个区域。 透明电极层可以包括铟锡 氧化物 (ITO)、铟锌氧化物 (IZO)、铟锌锡氧化物 (IZTO)、铟铝锌氧化物 (IAZO)、铟镓 锌氧化物 (IGZO)、铟镓锡氧化物 (IGTO)、铝锌氧化物 (AZO)、锑锡氧化物 (ATO)、镓 锌氧化物 (GZO)、 IrOx、 RuOx、 RuOx/ITO、 Ni/IrOx/Au 以及 Ni/IrOx/Au/ITO 中的至 少一个。
有源层 120 被形成在第一导电半导体层 110 下,并且有源层 120 可以被形成在单 量子阱结构或者多量子阱结构中。 有源层 120 通过使用 III-V 族元素的化合物半导体材料 可以形成阱层和阻挡层的周期,例如,InGaN 阱层 /GaN 阻挡层的周期或者 AlGaN 阱层 / GaN 阻挡层的周期。
有源层 120 可以由具有根据发射光的波长的带隙能的材料形成。 有源层 120 可 以包括发射诸如具有蓝色波长的光、具有红色波长的光以及具有绿色波长的光这样的有 色光的材料。 导电包覆层可以被形成在有源层 120 上和 / 或下,并且可以以 AlGaN 层形 成。
第二导电半导体层 130 被形成在有源层 120 下,并且可以由例如 GaN、 AlN、AlGaN、 InGaN、 InN、 InAlGaN、 AlInN、 AlGaAs、 GaP、 GaAs 以及 GaAsP 的 III-V 族 元素的化合物半导体中的至少一个形成。第二导电掺杂剂被掺杂在第二导电半导体层 130 中。 当第二导电半导体层 130 是 P 型半导体层时,第二导电掺杂剂可以包括诸如 Mg 和 Ze 这样的 P 型掺杂剂。 第二导电半导体层 130 可以用作电极接触层、并且可以被形成在 单层或者多层中,但是不限于此。
在此,第一导电半导体层 110、有源层 120 以及第二导电半导体层 130 可以被定 义为发光结构 135。 此外,第一导电半导体层 110 可以由 P 型半导体形成,并且第二导 电半导体层 130 可以由 N 型半导体形成。 第三导电半导体层,例如, N 型半导体层或者 P 型半导体层,可以被形成在第二导电半导体层 130 下。 因此,发光结构 135 可以包括 N-P 结结构、 P-N 结结构、 N-P-N 结结构以及 P-N-P 结结构中的至少一个。
第二电极层 140 被形成在第二导电半导体层 130 下。 第二电极层 140 可以由反 射电极材料形成,或者可以由 Ag、 Ni、 Al、 Rh、 Pd、 Ir、 Ru、 Mg、 Zn、 Pt、 Au、 Hf 和它们的选择性组合组成的材料中的至少一个形成。 在此,反射电极材料可以由具有其 中反射率等于或者高于 50%的特性的材料组成。
其中以矩阵形或 / 和层式而形成多个图案的欧姆接触层 ( 未示出 ) 可以被形成 在第二电极层 140 中。 欧姆接触层包括诸如 ITO、 IZO、 AZO、 IZTO、 IAZO、 IGZO、 IGTO 以及 ATO 这样的材料中的至少一个。 在此,第二电极层 140 可以与第二导电半导体层 130 肖特基接触或者欧姆接触。 当欧姆接触层存在时,第二电极层 140 与第二导电半导体层 130 肖特基接触,并且欧姆接 触层与第二导电半导体层 130 欧姆接触。 因此,第二电极层 140 和欧姆接触层可以分开 被施加给第二导电半导体层 130 的电流,因为它们具有不同的电特性。
第二电极层 140 用作电极,该电极将具有第二极性的电源稳定地提供给发光结 构 135,并且反射通过第二导电半导体层 130 入射的光。
导电支撑构件 150 被形成在第二电极层 140 下。 导电支撑构件 150 可以由铜 (Cu)、金 (Au)、镍 (Ni)、钼 (Mo)、铜钨 (Cu-W) 以及诸如 Si、 Ge、 GaAs、 ZnO、 SiC 等这样的载具晶圆中的至少一个形成。在电镀处理中可以形成导电支撑构件 150,但是不 限于此。
第二电极层 140 和导电支撑构件 150 可以被用作将具有第二极性的电源提供给发 光结构 135 的第二电极构件,并且第二电极构件可以被形成在单层或者多层中。 在此, 具有单层的第二电极构件可以利用粘合剂而被附接在第二导电半导体层 130 下。
在发光结构 135 的外侧中存在被蚀刻的区域 A1,其可以被设置在比第二电极层 140 的边缘更加向内。
第一电极 170 通过绝缘体 160 而与层 120、130 以及 140 绝缘,并且被电连接到 第一导电半导体层 110。 第一电极 170 可以由 Ti、 Al、 In、 Ta、 Pd、 Co、 Ni、 Si、 Ge、 Ag 以及 Au 中的至少一个形成,但是不限于此。
绝缘体 160 包括侧壁部分 161 和 162、底部 163、以及支撑部分 164。 绝缘体 160 可以由 SiO2、 Si3N4、 Al2O3 以及 TiO2 中的至少一个形成。 绝缘体 160 的侧壁部分 161 和 162 被形成在第一电极 170 的外表面中,并且可以以圆形或者多角形形成。 在这样的情况 下,可以以圆形或者多角形形成第一电极 170。
侧壁部分 161 和 162 的内侧壁部分 161 被设置在第一电极 170 与第二导电半导体 层 130 以及有源层 120 的外侧之间,并且将第一电极 170 的内侧表面与层 120 和 130 绝 缘。 此外,内侧壁部分 161 被延伸到第一导电半导体层 110 的一端 115 的下部,并且能 够电断开第一电极 170 和有源层 120。 第一导电半导体层 110 的一端 115 被形成以部分地 重叠在第一电极 170 上。
侧壁部分 161 和 162 的外侧壁部分 162 绝缘在芯片的沟道区域中的第一电极 170 的另一侧表面,并且防止第一电极 170 的外侧被暴露。
底部 163 被形成在第一电极 170 和第二电极层 140 之间,并且被设置在侧壁部分 161 和 162 下。 底部 163 被形成在第二电极层 140 的一侧上,并且电绝缘第一电极 170 和 第二电极层 140。
被延伸到底部 163 的内侧的支撑部分 164 被设置在第二导电半导体层 130 和第二 电极层 140 之间,并且防止绝缘体 160 从芯片分离。
钝化层 165 可以被形成在第二电极层 140 的顶部周围。 钝化层 165 具有环状或 者带状,并且可以被连接到绝缘体 160 的底部 163。 钝化层 165 的材料可以与绝缘体 160 的相同。 即,绝缘体 160 可以进一步包括钝化层 165。 此外,钝化层 165 可以以不同于绝缘体 160 的材料而被形成,例如导电材料。 例 如,钝化层 165 可以包括 ITO、 IZO、 AZO、 IZTO、 IAZO、 IGZO、 IGTO 以及 ATO 中 的至少一个。 钝化层 165 可不被形成。
钝化层 165 将发光结构 135 与第二电极层 140 分离,并且因此,能够防止从第二 电极层 140 向发光结构 135 的侧壁传递的影响。
第一电极 170 通过绝缘体 160 被设置在发光结构 135 的外侧并且在第二电极层 140 的一侧上,被电连接到第一导电半导体层 110,并且与层 120、130 以及 140 电断开。
参考图 2,布线 180 被接合在第一电极 170 上。 在这样的情况下,布线 180 被连 接到设置在半导体发光器件 100 的外侧中的第一电极 170,并且因此,可以被设置在半导 体发光器件 100 外。
具有第一极性的电源通过第一电极 170 被提供给第一导电半导体层 110,并且具 有第二极性的电源通过导电支撑构件 150 和第二电极层 140 被提供。 在正向方向中照射 从半导体发光器件 100 的有源层 120 照射的光。
这时,在第一导电半导体层 110 的顶表面中不存在障碍物,因此减少了阻隔光 L1 的传播的障碍物。
例如,如果第一电极被设置在第一导电半导体层的顶部中并且布线被接合,那 么可能出现下述限制。 第一电极和布线可以用作阻隔被提取到第一导电半导体层的顶表 面的光路径的障碍物。 即,可能出现如下限制 :被设置在第一导电半导体层的顶表面中 的第一电极和布线吸收光。
第一电极 170 被设置在半导体发光器件 100 的侧面中,并且因此,布线 180 没有 经过半导体发光器件 100 的上部。 因此,能够提高光提取效率。
图 3 至图 8 是示出根据一个实施例的制造半导体发光器件的处理的图。
参考图 3,在其上多个化合物半导体层被堆叠的发光结构 135 被形成在衬底 101 上。 发光结构 135 可以包括被顺序地堆叠的第一导电半导体层 110、有源层 120 以及第二
导电半导体层 130。
可以从蓝宝石衬底 (Al2O3)、 GaN、 SiC、 ZnO、 Si、 GaP、 InP 以及 GaAs 组成 的组中选择衬底 101。 凹凸图案可以被形成在衬底 101 上,但是不限于此。
III-V 族化合物半导体可以生长在衬底 101 上。 在此,通过电子束蒸镀机、物理 气相沉积 (PVD)、化学气相沉积 (CVD)、等离子体激光沉积 (PLD)、复式热蒸镀机、溅 射以及金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 可以实现化合物半导体的生长设备,但是不限 于此。
缓冲层 ( 未示出 ) 或 / 和未掺杂的半导体层 ( 未示出 ) 可以被形成在衬底 101 上。 缓冲层可以由单晶缓冲层或者 III-V 族化合物半导体形成,并且减小与衬底 110 的晶格常 数差。 未掺杂的半导体层可以由 GaN 基半导体形成。 在薄膜的生长之后,衬底 101、 缓冲层以及未掺杂的半导体层可以被分离或者被移除。 在此,单独的图案化的金属材料 ( 未示出 ) 可以被形成在第一导电半导体层 110 和衬底 101 之间以用于保护有源层 120。
第一导电半导体层 110 被形成在衬底 101 上。 例如,第一导电半导体层 110 可以从化合物半导体,例如, GaN、 AlN、 AlGaN、 InGaN、 InN、 InAlGaN、 AlInN、 AlGaAs、 GaP、 GaAs 以及 GaAsP 中选择。 第一导电掺杂剂被掺杂在第一导电半导体层 110 中。 当第一导电半导体层 110 是 N 型半导体层时,第一导电掺杂剂包括诸如 Si、 Ge、 Sn、 Se 以及 Te 这样的 N 型掺杂剂。
在第一导电层 110 上,有源层 120 由 III-V 族化合物半导体形成,并且具有单量 子阱结构或者多量子阱结构。 有源层 120 可以包括发射诸如具有蓝色波长的光、具有红 色波长的光以及具有绿色波长的光这样的有色光的材料。 导电包覆层可以被形成在有源 层 120 上和 / 或下并且可以以 AlGaN 层形成,但是不限于此。
第二导电半导体层 130 被形成在有源层 120 上,并且可以由例如 GaN、 AlN、 AlGaN、 InGaN、 InN、 InAlGaN、 AlInN、 AlGaAs、 GaP、 GaAs 以及 GaAsP 的 III-V 族 元素的化合物半导体中的至少一个形成。第二导电掺杂剂被掺杂在第二导电半导体层 130 中。 当第二导电半导体层 130 是 P 型半导体层时,第二导电掺杂剂可以包括诸如 Mg 和 Ze 这样的 P 型掺杂剂。
第三导电半导体层,例如,N 型半导体层或者 P 型半导体层,可以被形成在第二 导电半导体层 130 上。 因此,发光结构 135 可以包括 N-P 结结构、P-N 结结构、N-P-N 结结构以及 P-N-P 结结构中的至少一个。
参考图 4,在第一台面蚀刻处理中暴露第二导电半导体层 110 的一侧区域 167。 在此,在第二导电半导体层 130 的部分中执行第一台面蚀刻处理,直到在干或 / 和湿蚀刻 处理中暴露第一导电半导体层 110。 在实施例的精神和范围内可以更改蚀刻处理。
第一电极 170 被形成在第一导电半导体层 110 的一侧区域 167 中。 第一电极 170 可以由 Ti、 Al、 In、 Ta、 Pd、 Co、 Ni、 Si、 Ge、 Ag 以及 Au 中的至少一个形成,但是 不限于此。 第一导电半导体层 110 的一侧接触第一电极 170 的下表面,并且可以根据通 过第一台面蚀刻处理的蚀刻区域而更改接触区域的大小。
在此,第一电极 170 的底部可以被电连接到第一导电半导体层 110。
第一电极 170 的厚度 H1 高于或者低于第二导电半导体层 130 的顶表面。
第一电极 170 以特定的间隔与第二导电半导体层 130 和有源层 120 的侧表面分 离,并且可以以圆形、多角形或者线形形成。
参考图 5,绝缘体 160 被形成在第一电极 170 的外表面和顶表面中。 绝缘体 160 包括侧壁部分 161 和 162、底部 163 以及支撑部分 164,并且覆盖第一电极 170 的被暴露 的区域。 绝缘体 160 可以是由 SiO2、 Si3N4、 Al2O3 以及 TiO2 中的至少一个形成。
侧壁部分 161 和 162 被形成在第一电极 170 的外表面中。 内侧壁部分 161 将第 一电极 170 的内侧表面与第一导电半导体层 110、有源层 120 和第二导电半导体层 130 的 一侧绝缘。 外侧壁部分 162 绝缘在芯片的沟道区域中的第一电极 170 的另一侧表面。 因 此,侧壁部分 161 和 162 防止第一电极 170 的外侧被暴露。
底部 163 被形成在第一电极 170 的顶部中,并且绝缘第一电极 170 的顶表面。 被 延伸到底部 163 的内侧的支撑部分 164 支撑整个绝缘体 160。
沿着第二导电半导体层 130 的顶表面的外侧可以形成钝化层 165。 钝化层 165 具 有环状或者带状,并且可以被连接到绝缘体 160 的底部 163。 钝化层 165 的材料可以与绝 缘体 160 的相同。 即,绝缘体 160 可以进一步包括钝化层 165。
此外,钝化层 165 可以以不同于绝缘体 160 的材料而被形成,例如导电材料。 例 如,钝化层 165 可以包括 ITO、 IZO、 AZO、 IZTO、 IAZO、 IGZO、 IGTO 以及 ATO 中 的至少一个。 钝化层 165 可不被形成。
参考图 6,第二电极层 140 被形成在第二导电半导体层 130 和绝缘体 160 上,导 电支撑构件 150 被形成在第二电极层 140 上。
被设置在第二导电半导体层 130 的顶表面的周围的钝化层 165 将发光结构 135 与 第二电极层 140 分离,并且因此,能够防止从第二电极层 140 向发光结构 135 的侧壁传递 的影响。
第二电极层 140 可以由例如 Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、 Hf 以及由它们的选择性组合组成的材料这样的反射电极材料中的至少一个形成。 其中以 矩阵形或 / 和层式形成多个图案的欧姆接触层 ( 未示出 ) 可以被形成在第二电极层 140 和 第二导电半导体层 130 之间。 欧姆接触层包括诸如 ITO、 IZO、 AZO、 IZTO、 IAZO、 IGZO、 IGTO 以及 ATO 这样的材料中的至少一个。
第二电极层 140 用作电极,该电极将具有第二极性的电源稳定地提供给发光结 构 135。 在此,第二电极层 140 可以与第二导电半导体层 130 肖特基接触或者欧姆接触。 当存在欧姆接触层时,欧姆接触层和第二电极层 140 可以分开被施加给第二导电半导体 层 130 的电流,因为它们具有不同的电阻。
导电支撑构件 150 可以由 Cu、 Au、 Ni、 Mo、 Cu-W 以及诸如 Si、 Ge、 GaAs、 ZnO、SiC 等这样的载具晶圆中的至少一个形成。 在此,例如,在溅射处理中可以形成第 二电极层 140。 例如,在镀处理中可以形成导电支撑构件 150。 在实施例的精神和范围 内可以更改形成处理。
参考图 6 和图 7,衬底 101 被移除。 在这样的情况下,衬底 101 被布置向上并且 被移除。
在物理 / 化学处理中被设置在第一导电半导体层 110 下的衬底 101 被移除。 例 如,当具有特定区域的波长的激光射线被照射到衬底 101 时,热能被集中在衬底 101 和第一导电半导体层 110 之间的边界表面上,并且因此衬底 101 被分离。 此外,在从此衬底 101 已经被移除的第一导电半导体层 110 的表面上可以执行使用感应耦合等离子体 / 反应 离子蚀刻 (ICP/RCE) 处理的处理。
当非导电半导体层,例如,缓冲层和 / 或未掺杂的半导体层存在于衬底 101 和 第一导电半导体层 110 之间时,在蚀刻处理或者抛光处理中可以将其移除,但是不限于 此。
参考图 7 和图 8,第一导电半导体层 110 的一侧被设置在第一电极 170 和绝缘体 160 上。
特定形状的粗糙 ( 未示出 ) 可以被形成在第一导电半导体层 110 的顶部上。 此 外,透明电极层 ( 未示出 ) 可以被形成在第一导电半导体层 110 上,并且可以扩散电流。 透明电极层可以包括 ITO、 IZO、 IZTO、 IAZO、 IGZO、 IGTO、 AZO、 ATO、镓锌氧化 物 (GZO)、IrOx、RuOx、RuOx/ITO、Ni/IrOx/Au 以及 Ni/IrOx/Au/ITO 中的至少一个。
对发光结构 135 执行第二台面蚀刻处理。 在这样的情况下,被蚀刻的区域 A1 存 在于发光结构 135 的外周,其被设置比第二电极层 140 的边缘更加向内。 在此,区域 A1 可以不存在。 第二台面蚀刻处理可以使用湿或 / 和干蚀刻处理,并且可以在实施例的精神和 范围内进行更改。
当在第一导电半导体层 110 的一侧区域 D1 的部分中执行第二台面蚀刻处理时, 在第一导电半导体层 110 的该一侧中,第一电极 170 的顶部被暴露。
由于第一导电半导体层 110 的特定区域 D2 被设置以重叠在第一电极 170 上,所 以第一电极 170 被电连接到第一导电半导体层 110 的一端 115。
在半导体发光器件 100 中,第一电极 170 被设置在第一导电半导体层 110 的侧方 向中,并且被接合到第一电极 170 的布线可以被设置在半导体发光器件 100 的外侧中。 因 此,能够提高半导体发光器件 100 的光提取效率。
图 9 是根据另一实施例的半导体发光器件的侧截面图。 在另一实施例的描述 中,将会省略与所述一个实施例相同的关于相同元件的重复描述并且参考所述一个实施 例。
参考图 9,根据另一实施例的半导体发光器件 100A 包括第一导电半导体层 110、 有源层 120、第二导电半导体层 130、第二电极层 140、导电支撑构件 150、多个绝缘体 160 和 160A、以及多个第一电极 170 和 170A。
多个绝缘体 160 和 160A 分别被设置在发光结构 135 的两侧中,并且电绝缘第一 电极 170、170A 层与 120、130 和 140。 关于绝缘体 160 和 160A 的详细描述参考所述一 个实施例。
在多个第一电极 170 和 170A 中,其中第一导电半导体层 110 的一侧 115 和另一 侧 117 重叠的区域 D2 和 D3 可以相同或者相互不同。
通过被形成在第一导电半导体上的电极图案可以相互电连接多个第一电极 170 和 170A。
在半导体发光器件 100A 中,第一电极 170 和 170A 分别被设置在第一导电半导 体层 110 的两侧方向中,并且被接合到第一电极 170 和 170A 的多条布线可以被设置在半
导体发光器件 100A 的外侧中。 因此,半导体发光器件 100A 的光提取效率能够被提高。
实施例将第一电极设置在多个化合物半导体层的外侧中,从而解决由于第一电 极和布线引起的光吸收限制。
实施例能够提高光效率。
实施例能够提高半导体发光器件的可靠性。
虽然已经参照本发明的多个示例性实施例描述了实施例,但是应该理解,本领 域的技术人员可以想到多个其它修改和实施例,这将落入本发明原理的精神和范围内。 更加具体地,在本说明书、附图和所附权利要求的范围内的主要内容组合布置的组成部 件和 / 或布置中,各种变化和修改都是可能的。 除了组成部件和 / 或布置中的变化和修 改之外,对于本领域的技术人员来说,替代使用也将是显而易见的。