导电膜蚀刻剂及蚀刻方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN00136167.8

申请日:

2000.12.27

公开号:

CN1311350A

公开日:

2001.09.05

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的视为撤回|||公开|||实质审查的生效申请日:2000.12.27

IPC分类号:

C23F1/16

主分类号:

C23F1/16

申请人:

珠海道元科技发展有限公司;

发明人:

张青; 廖显伯

地址:

519070广东省珠海市前山金钟花园6栋

优先权:

专利代理机构:

三高专利事务所

代理人:

吴凤英

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内容摘要

本发明涉及一种导电膜蚀刻剂及蚀刻方法,其特征在于它由盐酸、增稠剂、增塑剂、消泡剂和水组成,通过化学反应使导电膜的In+3和Sn+4被盐酸溶解,用丝网印刷方法,蚀刻出电极图形,再经冲洗处理即可,该产品蚀刻的电极图形清晰,无污染,提高了电子制产品质量和性能。

权利要求书

1: 导电膜蚀刻剂,其特征在于它是由下述重量配比的原料制成 的涂料: 盐酸   20-30份 增稠剂 0.2-50份 增塑剂 8-12份 消泡剂 3-4份 水     80-90份。
2: 根据权利要求1所述的蚀刻剂,其特征在于所述的增稠剂是 甲基纤维素、羟丙基纤维素、羟甲基纤维素、黄原胶、淀粉其中任意 一种。
3: 根据权利要求1所述的蚀刻剂,其特征在于所述的增塑剂是 邻苯二甲酸二甲酯、癸二酸二丁酯、乙二酸二辛酯、磷酸三甲酚酯其 中的任意一种。
4: 根据权利要求1所述的蚀刻剂,其特征在于所述的消泡剂是 十四醇、乙二醇壬醚、B173、NoPco/600B、磷酸三丁酯其中任意一种。
5: 如权利要求1所述的蚀刻剂的蚀刻方法,其特征在于将蚀刻 剂用屏蔽网制成图形用丝印的方法印在导电膜上,放入空气中自然反 应,时间为2小时,或放入烘箱内烘烤,其温度为60℃±2,时间3-5分钟 即可蚀刻导电膜,然后在清水中冲洗或浸泡4小时,即刻蚀成透明的电 极图形。

说明书


导电膜蚀刻剂及蚀刻方法

    本发明涉及一种导电膜蚀刻剂,用于制造电子产品的电极图形,特别适用于制作弱光型非晶硅电池的透明电极的电极图形。

    本发明还涉及刻蚀剂的蚀刻方法。

    导电膜是由SnIno2制作的导电材料,溅射在玻璃板成膜,过去制作弱光型非晶硅电池的电极图形是用耐酸油墨,通过丝网印刷覆盖在导电膜上,未覆盖的部分用盐酸溶解,覆盖部分保留下来即为电极图形,其缺点是制作的电极图形线条不清晰,外观不整洁,电极导电膜易污染,成本高。

    本发明的目的正是为了克服上述已有技术的缺点与不足,而提供一种通过化学反应采用印刷的方法的一种导电膜蚀刻剂,从而可得到优良的电极图形,提高产品质量。

    本发明的另一目的是提供刻蚀剂的蚀刻方法。

    本发明的技术是利用导电膜的SnIno2可与盐酸迅速反应的原理而研制的蚀刻剂。其化学反应为,再加入一些辅助材料制成涂料式的蚀刻剂。

    本发明目的是通过下列技术方案实现的:

    导电膜蚀刻剂,其特征在于它是由下述重量配比的原料制成的涂料:

    盐酸   20-30份

    增稠剂 0.2-50份

    增塑剂 8-12份

    消泡剂 3-4份

    水     80-90份。

    增稠剂是甲基纤维素、羟丙基纤维素、羟甲基纤维素、黄原胶、淀粉其中任意一种。

    增塑剂是邻苯二甲酸二甲酯、癸二酸二丁酯、乙二酸二辛酯、磷酸三甲酚酯其中的任意一种。

    消泡剂是十四醇、乙二醇壬醚、B173、NoPco.600B、磷酸三丁酯其中任意一种。

    本发明的蚀刻剂地刻蚀方法为:将蚀刻剂用屏蔽网制成图形用丝印的方法印在导电膜上,放入空气中自然反应,时间为2小时,或放入烘箱内烘烤,其温度为60℃±2,时间3-5分钟即可蚀刻导电膜,然后在清水中冲洗或浸泡4小时,即刻蚀成透明的电极图形。

    由于采取上述技术方案,使本发明技术与已有技术相比具有如下优点及效果:

    a)本发明的蚀刻剂具有溶解速度快、蚀刻线条清晰,外观整洁,一致性好,不损伤导电膜,不污染导电膜表面,从而可提高电子产品的质量和性能;

    b)蚀剂剂组方简单,配方合理科学,产品成本低,气味小,污染小;

    c)蚀刻方法简单,省工省力,适用范围广。

    实施例1:

    取盐酸20g,甲基纤维素0.2g,邻苯二甲酸二甲酯12g,十四醇3g,水80g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。

    实施例2:

    取盐酸25g,羟丙基纤维素0.5g,癸二酸二丁酯10g,乙二醇壬醚4g,水25g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。

    实施例3:

    取盐酸30g,羟甲基纤维素1.0g,乙二酸二辛酯11g,B1733g,水90g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。

    实施例4:

    取盐酸22g,黄原胶20g,磷酸三甲酚酯10g,NoPco.600B4.5g,水88g,将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。

    实施例5:

    取盐酸28g,淀粉50g,磷酸三甲酚酯8g,磷酸三丁酯3.5g,水85g。将上述原料依次加入容器内经搅拌制成本发明的蚀刻剂。

    用实施例1蚀刻剂对4个单元电池组成的外联弱光型非晶硅光电池的透明电极图形时,把屏蔽网作成外联形状,通过丝印方法,把它印在沉积有导电膜的玻璃上,在涂有蚀刻剂的部分即被溶解,未溶解部分即保留下来,成为电极图形。

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本发明涉及一种导电膜蚀刻剂及蚀刻方法,其特征在于它由盐酸、增稠剂、增塑剂、消泡剂和水组成,通过化学反应使导电膜的In+3和Sn+4被盐酸溶解,用丝网印刷方法,蚀刻出电极图形,再经冲洗处理即可,该产品蚀刻的电极图形清晰,无污染,提高了电子制产品质量和性能。。

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