阀装置及多层基板.pdf

本发明提供一种阀装置及多层基板，其相对于多层基板电接合时操作性优良，且通过简化装置结构而实现装置的小型化，同时降低制造成本。一种阀装置(1)，其固定于形成有流体的流路(流入路25、阀室26、流出路27)和电气配线形成的多层基板(2)，具备：配置于能够将流路开闭位置的振动膜(10)、使振动膜(10)往复移动而将流路开闭的步进电动机(5)、在阀装置(1)被固定于多层基板(2)时保持振动膜(10)处于被夹持在其和多层基板(2)之间的状态的底座(3)，其中，将能够与电气配线电接合的端子部设置在相对于多层基板(2)固定的固定面的附近。

1、  一种阀装置，其固定于形成有流体的流路与电气配线的多层基板，其特征在于，具备：
阀体，其配置于能够将所述流路开闭的位置；
致动器，其使所述阀体往复移动而将所述流路开闭；
箱体，其在所述阀装置被固定于所述多层基板时，保持所述阀体处于被夹持在该箱体与所述多层基板之间的状态，
其中，
将与所述电气配线电接合的端子部设置在相对于所述多层基板固定的固定面的附近。

2、  如权利要求1所述的阀装置，其特征在于，
所述箱体在夹持所述阀体的位置具有突出部。

3、  如权利要求2所述的阀装置，其特征在于，
将所述突出部设为环状，
在所述阀体设有移动限制部，该移动限制部配置于环状的该突出部的外侧而对所述阀体的移动进行限制。

4、  如权利要求1所述的阀装置，其特征在于，
所述箱体具有用于插入所述多层基板中的凸部。

5、  如权利要求4所述的阀装置，其特征在于，
将所述箱体的所述凸部设为环状。

6、  如权利要求1所述的阀装置，其特征在于，
将所述阀装置的所述端子部软钎焊在所述多层基板的所述电气配线上。

7、  如权利要求1所述的阀装置，其特征在于，
所述箱体具有用于将被固定于所述多层基板的位置进行定位的多个轴。

8、  一种多层基板，其特征在于，
在与所述箱体对应的位置具有突出部，该突出部用于与权利要求1所述的阀装置一同夹持所述阀体。

9、  一种多层基板，其特征在于，
为了将权利要求4所述的阀装置插入，在与所述箱体的所述凸部对应的位置设有凹部。

10、  一种多层基板，其特征在于，
设有用于让权利要求7所述的所述箱体的所述轴插入的多个定位孔。

阀装置及多层基板
技术领域
本发明涉及阀装置及多层基板，特别涉及对形成在多层基板的层内的流路进行开闭的阀装置以及安装有该阀装置的多层基板。
背景技术
以往提出了这样一种阀装置，其适用于燃料电池系统等的阀机构，且在用于将燃料电池内积存的水或气体等流体排出的流路中对该流路进行开闭(例如参照专利文献1)。专利文献1记载的阀装置由形成有初级侧、次级侧流路的主体、具有作用力的受压部件、由电磁致动器动作的节流开度可变机构等构成。在该阀装置中，初级侧、此次侧的流路形成在阀装置本体上。
专利文献1：日本特开2005—195145号公报
专利文献2：日本特开2007—16935号公报
另一方面，在小型的燃料电池系统中，要求这种现有阀装置用于对形成在基板的层内的流路进行开闭。如果阀装置能够实现对形成在基板的层内的流路进行开闭，则无需将上述初级侧、次级侧流路设置在阀装置本体上，从而能够实现阀装置的小型化，同时降低制造成本。然而，在上述现有示例中，将具有弹性部件并能伸缩的受压部件设置在流路内，难以将初级侧、次级侧流路与阀装置本体分开，不易实现小型化。
另外，在阀装置对形成在基板的层内的流路进行开闭的场合下，与流路形成在阀装置本体内的场合不同，必须实施使阀装置的端子部与形成在基板上的电气配线电接合的操作。因而，要求这种接合操作的操作性优良的阀装置。
发明内容
本发明就是鉴于这样的问题而提出的，其目的在于，提供一种阀装置，其对多层基板进行电接合时的操作性优良，通过简化装置结构而实现装置小型化，同时能够降低制造成本。
本发明的阀装置是一种固定于形成有流体流路和电气配线的多层基板的阀装置，具备：阀体，其配置于能够将上述流路开闭位置；致动器，其使上述阀体往复移动而将上述流路开闭；箱体，其在上述阀装置被固定于上述多层基板时，保持上述阀体处于被夹持在该箱体和上述多层基板之间的状态，其中，将与上述电气配线电接合的端子部设置在相对于上述多层基板固定的固定面的附近。
根据上述阀装置，在将阀装置固定在多层基板上时，阀体通过箱体而保持在被该箱体和多层基板夹持的状态，能够将阀体准确地定位在多层基板中所希望的位置，因此，能够防止阀体位置偏移或脱落，从而能够适当地对形成在多层基板上的流路进行开闭。其结果是，由于无需在阀装置内形成流路，所以通过简化装置的结构，能够实现装置的小型化，同时降低制造成本。而且，由于将能够与多层基板的电气配线电接合的端子部设置在相对于多层基板固定的固定面的附近，所以在将阀装置固定在多层基板时的操作工序中，能够简便地将端子部与电气配线电接合，因此，能够提供一种相对于多层基板电接合时操作性优良的阀装置。
在上述阀装置中，上述箱体在夹持上述阀体的位置具有突出部。此时，由于能够将阀体夹持在设于箱体的突出部与多层基板之间，因此，能够更可靠地将阀体定位于多层基板中的所希望的位置。
另外，在上述阀装置中，优选上述突出部设为环状，在该阀体设置有移动限制部，该移动限制部配置于环状的该突出部的外侧而对上述阀体的移动进行限制。此时，由于使设置在阀体上的移动限制部和环状的突出部的外侧部分接触，能够对阀体的移动进行限制，因此，在阀装置的驱动时，能够可靠地防止阀体偏移或脱落等事态。
另外，在上述阀装置中，优选上述箱体具有插入上述多层基板中的凸部。此时，由于利用设置在箱体上的凸部而将阀装置固定于多层基板，所以能够可靠地将阀装置固定在多层基板的规定位置。其结果是，被保持于箱体的阀体也能够定位在多层基板的所希望的位置。
另外，在上述阀装置中，优选上述箱体的凸部设为环状。此时，阀装置能够不接触(ぶれる)多层基板地固定，因此，能够可靠地防止因伴随着阀装置的驱动而产生的装置自身的振动所导致的阀体偏移或脱落等事态。
另外，在上述阀装置中，优选将上述阀装置的上述端子部软钎焊在上述多层基板的上述电气配线上。此时，采用软钎焊将阀装置和多层基板电接合，能够将阀装置相对于多层基板固定，因此，与由安装螺钉等将阀装置固定于多层基板的场合相比，能够减少固定在多层基板时所必需的面积。其结果是，能够增大多层基板中的安装密度。
另外，在上述阀装置中，优选上述箱体具有用于将被固定于上述多层基板的位置进行定位的多个轴。此时，由于能够由多个轴将被固定于多层基板的箱体的位置进行定位，所以能够可靠地将箱体定位在多层基板上的所希望的位置。
而且，为了与上述的阀装置一起夹持上述阀体，优选本发明的多层基板在与上述箱体对应的位置具有突出部。此时，在与箱体对应的位置具有突出部，能够保持阀体处于夹持在箱体和多层基板之间的状态，因此，能够可靠地将阀体定位在多层基板的所希望的位置。
而且，为了插入上述阀装置，优选本发明的多层基板在与上述箱体的上述凸部对应的位置设置有凹部。此时，利用箱体的凸部和多层基板的凹部的嵌合，能够将阀装置固定于多层基板，因此，能够可靠地将阀装置固定在多层基板的所希望的位置。
优选本发明的多层基板设置有用于让上述箱体的上述轴插入的多个定位孔。此时，利用箱体的轴和多层基板的定位孔，能够将阀装置固定在正确的位置。特别是，对应于箱体的多个轴的粗细而使孔的大小彼此不同，能够防止将阀装置以错误的朝向插入。
发明效果
根据本发明，在将阀装置固定在多层基板上时，阀体通过箱体而保持处于被夹持在该箱体和多层基板之间的状态，能够将阀体适当地定位在多层基板的所希望的位置，因此，能够防止阀体的位置偏移或脱落，从而能够适当地对形成在多层基板的层内的流路进行开闭。其结果是，由于无需在阀装置内形成流路，所以通过简化装置的结构而能够实现装置的小型化，同时能够降低制造成本。而且，由于将能够与多层基板的电气配线电接合的端子部设置在相对于多层基板固定的固定面的附近，因此，在将阀装置固定于多层基板时的操作工序中，能够简便地将端子部与电气配线电接合，从而，能够提供一种相对于多层基板电接合时操作性优良的阀装置。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的阀装置的外观的立体图；
图2是上述实施方式的阀装置的俯视图；
图3是用于说明依据上述实施方式的阀装置以及固定有该阀装置的多层基板的内部结构的立体图；
图4是用于说明上述实施方式的阀装置以及固定有该阀装置的多层基板的内部结构的剖面图；
图5是用于说明将上述实施方式的阀装置固定于多层基板时的振动膜的状态的图；
图6是用于说明将上述实施方式的阀装置固定于多层基板时的振动膜的状态的图；
图7是表示上述实施方式的阀装置被固定于多层基板时的振动膜的周边的构成部件的状态的剖面图；
图8是表示利用上述实施方式的阀装置关闭形成于多层基板的流路的状态的剖面图。
附图标号说明
1 阀装置  2 多层基板  21～24 连接部  25 流入路  25a 流入孔26a 流出孔  26 阀室  27 流出路  28 槽部  29 突出部  3 底座  31a、31b 支承片  32 突出部  33 开口部  34 台阶部  35 空间  36 突出部4 壳体  5 电动机(步进电动机)  51 轴部  51～54 输入端子  55 驱动轴  61～64 输入端子  7 柔性印刷基板  8 减速机构  81、82 旋转体9 变换机构  91 导螺杆(lead screw)  91a 轴部  91b 本体部  91c 突出片91d 连结轴部  10 振动膜  10a 突出部  10b 卡合孔部  10c 变形部10d 厚壁部
具体实施方式
以下，将参照附图对本发明的一个实施方式进行详细说明。而且，本发明的阀装置例如适用于燃料电池系统等中，在开闭用于将燃料电池内积存的水或气体等排出的流路时使用。然而，本发明的阀装置的用途并不限定于此，可以适用于任何装置。
图1是表示本发明的一实施方式的阀装置1的外观的立体图，图2是本实施方式的阀装置1的俯视图。如图1所示，本实施方式的阀装置具有大致圆柱状，其下端部被固定在多层基板2上。多层基板2由将多个形成有适宜凹部、槽图案或孔图案的板层叠接合了的多层基板构成，在其表面形成有电气配线，并且在层内复杂地形成有流体的流路。例如，将多个阀装置1应用于燃料电池系统时，能够对直接燃料型或改性型燃料电池内的必不可少的水(包含水蒸气)、空气、氢气、或改性后生成氢的酒精、乙醚等液体燃料等流体的流量进行控制。
阀装置1通常具备：载置在多层基板2上的底座3、配置在该底座3的上方的壳体4、配置在该壳体4的上方的步进电动机(以下，称作电动机)5。连接所述构成部件而构成的阀装置1相对于多层基板2而被固定。而且，底座3构成阀装置1的箱体，电动机5构成致动器。
底座3由绝缘性的树脂材料而成形，一般形成为扁平的箱状体。底座3呈中空构成，后述的振动膜10配置在其内部。一对支承片31a、31b(支承片31b在图1中未图示，参照图3)设置在底座3的上面，其具有与壳体4的外周面大致一致的外周面，并对壳体4进行支持。另外，输入端子61～64(输入端子64在图1中未图示，参照图2)插入成形在底座3上，使所述输入端子61～64的一部分从底座3的四角部分露出。输入端子61～64的下端部配置在本阀装置1相对于多层基板2固定的固定面的附近。输入端子61～64分布在底座3的内部，其端部在一面(图1所示的左方侧、图2所示的下方侧的面3a)被拉出。
在底座3的下面形成有：安装于后述的多层基板2的槽部28的突出部32和插入于多层基板2的孔30a、30b中的两个轴(未图示)。这些轴用于对底座3进行定位而使用。特别是，这些轴呈不同的粗细构成，从而发挥防止底座3以错误的方向而被安装的作用。
壳体4由绝缘性的树脂材料而成形，通常具有圆筒状。后述的减速机构8和变换机构9收容在壳体4的内部。如图2所示，壳体4中与底座3的面3a相向的一部分的周面呈被切口了的状态，能够将后述的柔性印刷基板(FPC)7相对于多层基板2大致垂直地配置。另外，在壳体4的下端部配置有插入于底座3的支承片31a、31b的内侧的小径部。例如，通过在将该小径部插入于支承片31a、31b的内侧的状态下进行粘接固定，壳体4相对于底座3而被固定。
电动机5在使其驱动轴收容在壳体4的内部的状态下被安装成对壳体4的上方开口部进行闭塞。例如，通过将电动机5的下端面和壳体4的上端面粘接固定，而将电动机5固定于壳体4上。输入端子51～54设置在电动机5中与底座3的面3a对应的部分上。这些输入端子51～54从电动机5的外周面向一定方向突出。然后，柔性印刷基板(FPC)7被配置成与这些输入端子51～54和设置在底座3上的输入端子61～64的端部连接。通过该柔性印刷基板7，能够从外部将信号输入给电动机5。
具有这种结构的阀装置1通过软钎焊而固定在多层基板2的表面上。此时，在本实施方式的阀装置1中，设置在底座3上的输入端子61～64的下端部分别软钎焊在设置在多层基板2上的连接部21～24(连接部24在图1中未图示，参照图2)上。如上所述，通过将输入端子61～64软钎焊在设置在多层基板2上的连接部21～24上，将阀装置1固定于多层基板2，并且使阀装置1和多层基板2处于电接合的状态。另外，连接部21～24与多层基板2内的未图示的配线图案连接，在输入端子61～64像上述那样接合的状态下，能够经由这些输入端子61～64将从外部输入的电动机驱动信号输入给输入端子51～54。
在本实施方式的阀装置1中，通过将输入端子61～64软钎焊在连接部21～24上，将装置自身固定在多层基板2上。这里，例如，在采用安装螺钉等将阀装置1固定在多层基板2上的情况下，由于在多层基板2上必须具有用于固定安装螺钉的区域，所以多层基板2中的安装密度降低。与其相对，如本实施方式的阀装置1那样的状态下，在将阀装置1固定在多层基板2上的情况下，与采用安装螺钉等固定阀装置1的情况相比，能够减少固定在多层基板2上时所必需的面积。也就是说，如图2所示，能够以比底座3稍大的面积将阀装置1固定在多层基板2上。因此，能够增大多层基板2中的安装密度。
以下，将对本实施方式的阀装置1和固定有阀装置1的多层基板2的内部结构进行说明。图3和图4分别是用于说明本实施方式的阀装置1以及固定有该阀装置1的多层基板2的内部结构的立体图及剖面图。在图3和图4中，示出了图2所示的点划线中的剖面。
如图3和4所示，电动机5在将驱动轴55收容于壳体4内的状态下而固定在壳体4上。在壳体4的内部配设有：将对驱动轴55的旋转进行减速的减速机构8；将由该减速机构8减速了的旋转运动转换为直线运动的转换机构9。减速机构8由行星齿轮机构构成，该行星齿轮机构包括：与驱动轴55连结的旋转体81、经由行星齿轮(未图示)与旋转体81连动的旋转体82。转换机构9由形成于旋转体82的内壁的螺纹槽(未图示)和导螺杆91构成，该导螺杆91具有与该螺纹槽啮合的螺纹牙，并与旋转体82的旋转相对应而沿图3和图4所示的上下方向往复移动。
对应于电动机5的驱动，导螺杆91在壳体4和底座3之间沿上下方向往复移动。在设置于该导螺杆91的下端部的轴部91a安装有作为阀体的振动膜10。振动膜10由非磁性体并具有弹性的材料构成，且从上面观察大概具有圆形。振动膜10在中央部附近具有向如图3和图4所示的下方侧突出的后述的突出部10a，伴随导螺杆91的往复移动，从而发挥对形成在多层基板2的层内的流路进行开闭的作用。
这里，如果由步进电动机构成电动机5，不仅能够发挥单纯的开闭流路的功能，还由于对应于输入的阶跃数来决定设置于导螺杆91的下端部的轴部91a的位置，所以能够实现流量的多级别控制。在将未图示的流量传感器配置在阀装置1的下游侧的情况下，根据由流量传感器测量到的流量，使导螺杆91上下，通过迅速且高精度地改变从后述的流入路25流入到流出路27的流体的流量，从而能够进行适当的流量控制。
另外，在多层基板2的层内形成有从图3及图4所示的右方侧的端面朝向内侧水平延伸的流入路25。流入路25具有在多层基板2的中央附近向上方侧弯曲并与阀室26连接的流入孔25a。阀室26由设置在多层基板2的上面的圆状的凹部构成(参照图5)。另一方面，在多层基板2的层内形成有从阀室26向图3及图4所示的左方侧的端面水平延伸的流出路27。流出路27具有在多层基板2的中央附近向上方侧弯曲并与阀室26连接的流出孔27a。而且，由这些的流入路25、阀室26及流出路27构成多层基板2的流路。
另外，在多层基板2的上面形成有圆环状的槽部28。槽部28形成在从阀室26离开一定距离的位置。如后述详述那样，在槽部28安装有形成于底座3的下面并具有圆环状的突出部32。这样，通过将突出部32安装在槽部28内，能够进行阀装置1相对于多层基板2的定位。
此处，对将本实施方式的阀装置1固定于多层基板2时的振动膜10的状态进行说明。图5和图6是用于说明将本实施方式的阀装置1固定在多层基板2时的振动膜10的状态的图。图5是本实施方式的阀装置1的振动膜10的周边的构成部件及多层基板2的分解立体图。图6是沿形成于多层基板2的流路将图5所示的阀装置1的构成部件及多层基板2切断了的剖面图。而且，在图5和图6中，作为振动膜10的周边构成部件，仅示出了底座3、输入端子61～64和导螺杆91，省略了其他部件。
如图5和6所示，导螺杆91具有：轴部91a设置在下端部的本体部91b、在该本体部91b的上端部向侧方突出形成的三个突出片91c、形成在本体部91b的上面部中央的连结轴部91d。在导螺杆91中，螺纹牙形成在连结轴部91d的侧面，并与构成减速机构8的旋转体82连结。
在底座3的中央形成有让导螺杆91的本体部91b能够插入的圆形的开口部33。另外，该开口部33的周围形成有台阶部34。台阶部34形成为具有能够收容导螺杆91的突出片91c的尺寸，且伴随导螺杆91的上下移动，突出片91c能够进入台阶部34。在开口部33的下方设有收容振动膜10的空间35(图5中未图示，参照图6)形成。在该空间35的上面形成在开口部33附近向下方侧突出形成的圆环状的突出部36。
振动膜10具有：在下面设有突出部10a并且在上面设有与导螺杆91的轴部91a卡合的卡合孔部10b的薄壁的变形部10c、设置在该变形部10c的周缘部上的厚壁部10d。而且，该厚壁部10d起移动限制部的作用。厚壁部10d的外周的直径稍微大于底座3的空间35的内周面的内径，厚壁部10d的内周的直径稍微比突出部36的外周部分的直径小。如后述所述，在将振动膜10收容在空间35内的情况下，厚壁部10d被压入到空间35的内周面和突出部36之间。
如上所述，在多层基板2中，在底面设有形成有流入孔25a及流出孔27a的圆环状的阀室26。在该阀室26的周围设有向上方突出形成的圆环状的突出部29。该突出部29的直径与设置在底座3的空间35内的突出部36的直径相同。另外，在突出部29的周围，在连接部21～24的内侧部分设有圆环状的槽部28。槽部28设置成直径与设置在底座3上的突出部32的直径大致相同，并能够收容突出部32。另外，该槽部28作为形成在多层基板2上的凹部发挥作用，突出部32作为形成在底座3上的凸部发挥作用。
在槽部28的外侧，在连接部22及连接部23的附近分别设有孔30a、30b(图6中未图示)。由于这些孔30a、30b能够让在底座3的下面设置的轴(未图示)插入，所以这些孔30a、30b用于对底座3进行定位。孔30a比孔30b小，底座3的轴也设置成与其对应的粗细。由此，能够防止以错误方向安装底座3，从而能够以正确的朝向来定位阀装置1。
图7是表示阀装置1被固定于多层基板2时的振动膜10的周边的构成部件的状态的剖面图。而且，为了便于说明，在图7中仅示出了图5和图6所示的构成部件及多层基板2，省略了其他构成部件。而且，在图7中，示出了由振动膜10的突出部10a打开流路的状态。此时，如图7所示，导螺杆91配置在本体部91b从开口部33稍微向上方退避的位置。导螺杆91的轴部91a配置在经由开口部33而向阀室26侧突出的位置。
此时，振动膜10以被压入到底座3的空间35内部的状态，即以厚壁部10d处于被夹持在空间35的内周面和突出部36的外周部分的状态而被收容并保持在空间35内。这样，导螺杆91的轴部91a卡合于被保持在底座3上的振动膜10的卡合孔部10b内。从而，通过轴部91a与卡合孔部10b卡合，振动膜10能够与导螺杆91一起沿上下方向往复移动。
这样，将保持振动膜10了的状态的底座3安装在多层基板2上。此时，底座3安装成使突出部32插入到多层基板2的槽部28内。这样，在将底座3安装在多层基板2上时，处于由底座3的突出部36和多层基板2的突出部29夹持振动膜10的状态。底座3的突出部36和多层基板2的突出部29在厚壁部10d的稍靠内侧部分来夹持振动膜10。由此，能够可靠地防止振动膜10偏离规定位置(图7所示位置)或脱落。
这样，在将底座3安装在多层基板2上的状态下，振动膜10的突出部10a的下面配置在与流入路25的流入孔25a隔着一定距离而对置的位置。而且，在突出部10a的下面设有向下方侧开口的凹部，以便堵塞流入孔25a并可靠地关闭流路。通过设置这样的凹部，能够覆盖流入孔25a，从而能够可靠地堵塞流入孔25a。
以下，将使用图7和图8说明由本实施方式的阀装置1对形成在多层基板2上的流路开闭的动作。图8示出了由本实施方式的阀装置1将形成在多层基板2上的流路关闭了的状态。而且，在图8中，为了便于说明，仅示出了与图7相同的构成部件及多层基板2，省略了其他构成部件。
在将形成于多层基板2的流路打开的状态下，如图7所示，电动机5使导螺杆91退避到上方侧的规定位置。此时，振动膜10的突出部10a的下面从流入孔25a离开。由此，流入路25、阀室26和流出路27处于相连的状态，能够使流体流过流路。
另一方面，在从图7所示的状态关闭流路的情况下，电动机5使导螺杆91向下方侧移动到规定位置。由此，对应于导螺杆91的下方移动，振动膜10的变形部10c向下方侧变形，突出部10a的下面下降到堵塞流入孔25a的位置。由此，流入路25和阀室26之间的流路被截断，对流体流过流路的状态进行限制。
而且，在从图8所示的状态进而打开流路的情况下，由电动机5使导螺杆91向上方侧移动到图7所示的规定位置。由此，振动膜10的突出部10a的下面再次从流入孔25a离开，并且，流入路25、阀室26和流出路27处于相连的状态，从而能够使流体流过流路。
如上所述，根据本实施方式的阀装置1，在将阀装置1固定在多层基板2上时，振动膜10通过底座3而处于保持被夹持在该底座3与多层基板2之间的状态，能够将振动膜10适当地定位在多层基板2的所希望的位置，因此，能够防止振动膜10的位置偏移或脱落，从而能够适当地对形成在多层基板2的层内的流路进行开闭。其结果是，由于无需在阀装置1内形成流路，所以通过简化阀装置1的结构，能够实现阀装置1的小型化，同时降低制造成本。
特别是，在本实施方式的阀装置1中，将能够与形成在多层基板2上的电气配线电接合的输入端子61～64设置在相对多层基板2的固定面的附近，从而，在将阀装置1固定于多层基板2的操作工序中，能够简单地将输入端子61～64与电气配线电接合，因此，能够提供一种在相对多层基板2电接合时操作性优良的阀装置1。
另外，在本实施方式的阀装置1中，在底座3上，在夹持振动膜10地与形成在基板2上的突出部29对应的位置上设置突出部36。由此，能够将振动膜10夹持在基板2的突出部29和设置在与该突出部29对应位置的底座3的突出部36之间，从而能够更可靠地将振动膜10定位在基板2的所希望的位置。
另外，在本实施方式的阀装置1中，使多层基板2的突出部29和底座3的突出部36设为环状(在上述实施方式中为圆环状)，并在振动膜10上设置配置在突出部29及36的外侧，作为对振动膜10的移动进行限制的移动限制部的厚壁部10d。由此，通过使多层基板2的突出部29和底座3的突出部36的外侧部分与设置于振动膜10的厚壁部10d接触，能够对振动膜10的移动进行限制，因此，在阀装置1的驱动时，能够可靠地防止振动膜10偏移或脱落等事态。
另外，在本实施方式的阀装置1中，利用形成在多层基板2上的槽部28和设置在底座3上的突出部32，将阀装置1固定于多层基板2。由此，能够可靠地将阀装置1固定在多层基板2上的规定位置。其结果是，也能够将保持在底座3上的振动膜10定位在多层基板2上的所希望的位置。
特别是，在本实施方式的阀装置1中，使形成在多层基板2上的槽部28和设置在底座3上的突出部32为环状(在上述实施方式中为圆环状)。由此，通过将底座3的突出部32安装在多层基板2的槽部28内，能够使阀装置1相对于多层基板2不接触地加以固定，因此，能够可靠地防止因伴随着阀装置1(电动机5)的驱动而产生的装置自身的振动，振动膜10偏移或脱落。
而且，本发明并不局限于上述实施方式，而能够进行各种变更地实施。在上述实施方式中，关于附图所示的大小和形成不加以限定，可以在发挥本发明的效果范围内进行适当地改变。而且，只要在不脱离本发明目的的范围内，能够进行适合变更地实施。
例如，在上述实施方式中，以作为驱动阀装置1的振动膜10的驱动单元具备电动机5，并具备用于输入针对电动机5的电动机驱动信号的输入端子51～54的场合为例进行了说明。然而，对于驱动振动膜10的驱动单元的结构来说，并不局限于此，能够进行适合地变更。例如，也可以采用步进电动机之外的其他致动器。而且，如上所述，在使用其他致动器的情况下，根据需要，也可以具备这样的端子(输入输出端子)，即，一方面用于从外部对致动器输入信号的端子，另一方面设有对致动器的位置进行监视的传感器，并用于将来自该传感器的信号向外部输出的端子。