电子元件供给装置和具有该装置的电子元件安装装置.pdf

一种便宜的电子元件供给装置，可以实现电子元件的吸附位置的稳定，同时不需要高精度的链轮齿。在该装置中，将元件供给单元(6)固定在调整夹具上，使识别照相机(91)移动到元件吸附位置，拍摄链轮齿(38)外周部的各进给齿(38A)，通过识别处理部进行识别处理，求出各进给齿(38)的位置。对通过确认窗(92)确认的每个对应前述各进给齿(38A)的号码，使用输入装置在存储器(93)中存储为前述识别处理部的识别处理结果的各进给齿(38A)的位置数据。在结束元件供给单元(6)的调整动作以后，在电子元件安装装置中固定各元件供给单元(6)。驱动XY载物台(12)，使头单元(3)面对元件供给单元(6)，CPU(85)对吸附喷嘴(18)的吸附位置进行校正。

1、  一种电子元件供给装置，通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：
其设置存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器。

2、  一种电子元件供给装置，通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：
其设置存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果。

3、  一种电子元件安装装置，具有电路元件供给装置，该电路元件供给装置通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：
所述电子元件供给装置包括：
存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果；以及
控制装置，进行控制，以根据存储在该存储器中的各进给齿的位置数据而对吸附喷嘴的元件吸附位置进行校正。

4、  一种电子元件安装装置，具有电路元件供给装置，该电路元件供给装置通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：
所述电子元件供给装置包括：
存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果；以及
控制装置，进行控制以与介由在单元框架中开设的识别窗识别的所述各进给齿对应，按照使用基于所述链轮齿所附带的标号的位于元件吸附位置的进给齿是哪一个的输入装置的指示，根据与存储在所述存储器的各进给齿对应的位置数据来对吸附喷嘴的元件吸附位置进行校正。

5、  一种电子元件安装装置，具有电路元件供给装置，该电路元件供给装置通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：
所述电子元件供给装置包括：
存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果；
原点确认传感器，用于检测所述链轮齿附带的标记；以及
控制装置，进行控制，以根据基于该传感器进行的所述标记的识别的位于存储在该存储器中的吸附位置的各进给齿的位置数据，对吸附喷嘴的元件吸附位置进行校正。

电子元件供给装置和具有该装置的电子元件安装装置
技术领域
本发明涉及通过链轮齿(sprocket)外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置的电子元件供给装置和具有电子元件供给装置的电子元件安装装置。
背景技术
以往，这种电子元件供给装置公开在特开平10-41686号公报(专利文献)等中，在一般供给微小芯片元件时，为了实现吸附位置的稳定，同时以高精度供给存储带，需要进行定位，但是实际上依赖于链轮齿的加工精度。
专利文件
特开平10-41686号公报(日本)
因此，在不能以规定的精度定位时，通过更换满足该精度的链轮齿来应对。因此，需要高精度的链轮齿，这不仅价格昂贵，而且需要长时间来调整电子元件供给装置。
发明内容
由此，本发明以提供便宜的电子元件供给装置和具有电子元件供给装置的电子元件安装装置为目的，可以实现电子元件的吸附位置的稳定，同时不需要高精度的链轮齿。
因此本发明的第一方面的电子元件供给装置，通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：其设置存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器。
另外，本发明的第二方面的电子元件供给装置，通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：其设置存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果。
另外，本发明的第三方面的电子元件安装装置，具有电路元件供给装置，该电路元件供给装置通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：所述电子元件供给装置包括：存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果；以及控制装置，进行控制，以根据存储在该存储器中的各进给齿的位置数据而对吸附喷嘴的元件吸附位置进行校正。
本发明的第四方面的电子元件安装装置，具有电路元件供给装置，该电路元件供给装置通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：所述电子元件供给装置包括：存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果；以及控制装置，进行控制以与介由在单元框架中开设的识别窗识别的所述各进给齿对应，按照使用基于所述链轮齿所附带地标号的位于元件吸附位置的进给齿是哪一个的输入装置的指示，根据与存储在所述存储器的各进给齿对应的位置数据来对吸附喷嘴的元件吸附位置进行校正。
本发明的第五方面的电子元件安装装置，具有电路元件供给装置，该电路元件供给装置通过链轮齿外周部的进给齿啮合存储带上以固定间距设置的进给孔来间歇传送存储部中存储了电子元件的存储带，并将电子元件送到元件吸附位置，其特征在于：所述电子元件供给装置包括：存储了所述链轮齿的各进给齿的位置数据的存储器，所述各进给齿的位置数据是通过识别处理装置对识别照相机拍摄的位于所述元件吸附位置的所述链轮齿的进给齿的图像进行了识别处理的结果；原点确认传感器，用于检测所述链轮齿附带的标记；以及控制装置，进行控制，以根据基于该传感器进行的所述标记的识别的位于存储在该存储器中的吸附位置的各进给齿的位置数据，对吸附喷嘴的元件吸附位置进行校正。
附图说明
图1是电子元件安装装置的平面图。
图2是元件供给单元的侧视图。
图3是切除元件供给单元的一部分的侧视图。
图4是覆盖带剥离机构的放大图。
图5是图4的X-X断面图。
图6是快门(shutter)关闭状态的快门机构的侧视图。
图7是快门打开状态的快门机构的侧视图。
图8是快门已关闭状态的元件供给单元的主要部分平面图。
图9是快门已打开状态的元件供给单元的主要部分平面图。
图10是元件供给单元的链轮齿的进给齿的拍摄时的局部侧视图。
图11是电子元件安装装置的控制方框图。
图12是元件供给单元的主要部分的侧视图。
图13是另一实施方式的元件供给单元的主要部分的侧视图。
具体实施方式
以下，参照附图说明采用本发明的一实施方式的电子元件供给装置的电子元件安装装置。该电子元件安装装置是所谓的多功能芯片安装器(チップマウンタ)，可以将各种电子元件A安装到印刷基板P上。
图1是电子元件安装装置的平面图。电子元件安装装置1具有底盘2、在该底盘2中央部向左右方向延伸的传送机(conveyer)部3、分别配置在底盘2的前部(图示的下侧)和后部(图示的上侧)的2组元件安装部4、4和2组元件供给部5、5。而且，在元件供给部5中可自由拆装地组装作为电子元件供给装置的多个元件供给单元6。
前述传送机部3具有中央的设置台(set table)8、左侧的供给传送机9和右侧的排出传送机10。将印刷基板P从供给传送机9提供给设置台8，其在设置台8中为了接收电子元件的安装而被设置在不能移动并且为规定的高度。然后，完成了电子元件的安装的印刷基板P通过排出传送机10从设置台8排出到下流侧装置。
在各元件安装部4中，配置了可自由移动地装载了头单元(head unit)13的XY载物台(stage)12，同时配置了元件识别照相机14和喷嘴座(nozzlestocker)15。在头单元13中，装载应用吸附和安装电子元件的2组安装头16、16，以及应用识别基板P的1台基板识别照相机17等。而且，通常两元件安装部4、4的XY载物台12、12交替运转。
前述各XY载物台12通过Y轴电动机12A将横杆(beam)11向Y方向移动，沿着该横杆11通过X轴电动机12B，将前述头单元13向X方向移动，其结果是头单元13向XY方向移动。
各元件供给部5可在单元基座19上并列并且可自由拆装地包括多个元件供给单元6。在各元件供给单元6中装载以一定间隔容纳了多个电子元件的后述的存储带C，通过间歇地传送储存带C，从元件供给单元6的前端向元件安装部4每次提供一个电子元件。而且，在该电子元件安装装置1中，表面安装元件等比较小的电子元件，主要从元件供给单元6提供，而比较大的电子元件主要从未图示的托盘形式的元件供给装置提供。
基于该电子元件安装装置1中的存储部中存储的NC数据的运转，首先驱动XY载物台12，使头单元13面对元件供给单元6以后，使安装头16下降，通过吸附喷嘴18拾取希望的电子元件。接着，从使安装头16上升开始，驱动XY载物台12使电子元件移动，直至元件识别照相机14的正上方，识别其吸附姿态和相对于吸附喷嘴18的位置偏差。接着，使安装头16直至移动到设置台8的基板P的位置，用基板识别照相机17识别了基板P的位置以后，通过根据前述元件识别照相机14和基板识别照相机17的识别结果，使XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A和吸附喷嘴18的θ轴电动机18A进行校正移动，驱动Z轴电动机18B，使吸附喷嘴18下降而将电子元件A安装到印刷基板P上。
而且，在实施方式的XY载物台12中也可以装载2个安装头(吸附喷嘴18)16、16，连续吸附2个电子元件，将其连续安装到印刷基板P上。另外，虽然未图示，但是可以在装载具有多个吸附喷嘴的安装头时，连续吸附多个电子元件并且安装。
接着，根据图2和图3对元件供给单元6进行说明。元件供给单元6可以处理例如在16mm宽度下4mm间距、8mm间距、12mm间距和16mm间距4种储存带C。该元件供给单元6由以下部件构成：单元框架(frame)21、在该单元框架21中自由旋转地安装的存储带卷筒(未图示)、将以缠绕在该存储带卷筒的状态依次输出的储存带C间歇送出直到电子元件A的拾取位置(吸附取出位置)的带传送机构22、在拾取位置的前面将储存带C的覆盖带Ca剥离的覆盖带剥离机构23和将被送入拾取位置的电子元件A的上方打开，使电子元件A的拾取成为可能的快门(shutter)机构24。
从前述存储带卷筒输出的储存带C潜入在拾取位置的前面的带路径中设置的抑制器(suppressor)27(参考图8和图9)，并被送到拾取位置。在该抑制器27中开设拾取用的开口27A，在该部分中组装后述的快门机构24和快门77。而且，在抑制器27中形成缝隙28并位于快门77的前面，从该缝隙28开设存储带C的覆盖带Ca被剥离，被收集到后述的覆盖带剥离机构23的存储部65中。即，储存带C中装载的电子元件A在剥离了覆盖带Ca的状态下，面对开闭拾取用的开口27A的快门77。
如图3所示，前述带传送机构22有以下部件构成：其输出轴上设置了齿轮31的驱动电动机32；在一个端部具有与该齿轮31咬合的齿轮33，在两个两支持体34中可旋转地被支撑的旋转轴35；具备与在该旋转轴35的中间部设置的蜗杆齿轮36咬合的蜗轮37；以及与储存带C上以固定间距形成的送给孔Cb咬合并传送它的链轮齿38。因此，如果前述驱动电动机32驱动，则旋转轴35介由齿轮31和齿轮33旋转，链轮齿38介由蜗杆齿轮36和蜗轮37通过规定角度间歇旋转，介由送给孔间歇传送储存带C。
如图3到图5所示，前述覆盖带剥离机构23由以下部件构成：在其输出轴上设置了蜗杆齿轮41的驱动电动机42；具有在周边与齿轮45和前述蜗杆齿轮41咬合的齿轮43，介由固定在单元框架21上的支撑体44中的支轴46A可以旋转地支撑的第一旋转体46；具有在周围与接触部51和前述齿轮45咬合的齿轮47，通过介由单元框架21中的安装体48固定的支撑体49中的50A可旋转地支撑的第二旋转体50；具有在周围通过前述接触部51和弹簧55靠上接触的接触部52，通过介由单元框架21中的支轴53可摇动的安装体54中的支轴56A可旋转地支撑的第三旋转体56；引导覆盖带Ca的滚筒57；以及具有引导在介由单元框架21的支轴58可摇动的5供给传送机9的端部通过滚筒57引导的覆盖带Ca的滚筒60，同时通过弹簧61靠上，用于在覆盖带Ca上附加张力的张力施加体62。另外，63是限制前述安装体59的摇动的限制器。
因此，在剥离覆盖带Ca时，如果驱动前述驱动电动机42，则介由蜗杆齿轮41和齿轮43旋转第一旋转体46，如果该第一旋转体46旋转，则介由齿轮45和齿轮47旋转第二旋转体50，如果该第二旋转体50旋转，则通过弹簧55靠上的接触部52和接触部51等以夹持覆盖带Ca的状态旋转第三旋转体56，存储带C的覆盖带Ca从抑制器27的缝隙28剥离1个芯片的部分，然后不产生松弛，收集到该元件供给单元6的端部设置的存储部65内。
如图6和图7所示，前述快门机构24由以下部件构成：将在支撑体70中支撑端部的输出轴作为螺栓轴的驱动电动机71；固定在螺合到前述螺栓轴的螺母体72上的动作体73；以及在折曲片77A中设置与该动作体73上突出设置的销74配合的沟75，同时形成与抑制器27上设置引导沟27B配合的配合片76并在抑制器27上可滑动设置的快门77。因此，在由于快门77的移动拾取用的开口27A开闭时，如果前述驱动电动机71驱动，则通过螺合到螺栓轴的螺母体72和动作体73移动，配合片76沿着引导沟27B移动，快门77因为开口27A的开闭而移动。
快门77在移动到闭塞位置的状态下(参照图8)，闭塞开口27A以使得被送入拾取位置的电子元件A不从剥离了覆盖带Ca的存储带C的存储部D中跳出，在移动到开放位置的状态下(参照图9)，快门77从电子元件A的上方后退，以便可以进行吸附喷嘴18的拾取。
而且，前述存储部D为了存储电子元件而具有一定余量稍大地形成。66是电源线，用于向前述驱动电动机32、42、71等提供电源。
接着，说明存储带C的进给、覆盖带Ca的剥离和快门77的开闭的相互定时。如果通过带传送机构22间歇地进给存储带C一次，则与此同步覆盖带剥离机构23对覆盖带Ca进行一次的间歇传送部分的剥离。接着，如果带传送机构22和覆盖带剥离机构23停止工作，则快门机构24进行开放动作(参照图8和图9)，对送入拾取位置的电子元件A开放快门77。
然后，如果快门77进行开放动作，则进行安装头16的电子元件A的拾取，接着快门77关闭，但这时同时进行下一个储存带C的间歇进给和覆盖带Ca的剥离等。
这里，如前所述，前述元件供给单元6可以处理4mm(毫米)间距、8mm间距、12mm间距、16mm间距4种储存带C。因此，抑制器27的拾取用开口27A设置为可以满足存储在16mm间距的储存带C中的电子元件A的尺寸，存储在4mm间距的储存带C中的小的电子元件的吸附喷嘴18的吸附位置在前述开口27A的中央部。
而且，80是在前述元件供给单元6的底面的前后设置的定位销，通过使前述定位销80分别插入底盘2中设置的定位孔(未图示)来装配到电子元件安装装置上。
接着，说明图11的电子元件安装装置的控制方框图。85是作为统一控制电子元件安装装置1的电子元件的取出和安装动作的控制装置的CPU，86是作为存储装置的RAM(random access memory)，87是ROM(read onlymemory)。然后CPU85根据前述RAM86中存储的数据，按照前述ROM87中存储的程序，介由界面88和驱动电路89对电子元件安装装置的电子元件的取出和安装动作统括控制各驱动源。
在前述RAM86中，按每个步骤号码(安装顺序)存储X坐标、Y坐标、安装角度、前述元件供给部5的元件配置号码等组成的安装数据，以及存储每个电子元件的X尺寸、Y尺寸、使用吸附喷嘴18的号码等组成的元件等。
90是介由接口88连接到CPU85的识别处理装置，在识别处理装置90中进行通过前述元件识别照相机14拍摄取得的图像的识别处理和通过前述基板识别照相机17拍摄取得的图像的识别处理，处理结果被送到CPU85。即，CPU85向识别处理装置90输出指示，使得一边识别处理(计算位置偏差量等)元件识别照相机14拍摄的图像，一边识别处理基板识别照相机17拍摄的图像的，同时CPU85从识别处理装置90接受识别处理结果。
即，如果通过识别处理装置90的识别处理而掌握位置偏差量，则向CPU85发送其结果，CPU85根据元件识别处理和基板识别处理结果，通过Y轴电动机12A和X轴电动机12B的驱动使吸附喷嘴18向XY方向移动，或者通过θ轴电动机18A使θ旋转，由此进行X、Y方向以及到垂直轴线附近的旋转角度位置的校正。
接着，对前述元件供给单元6调整时的动作进行说明。首先，将元件供给单元6固定在调整夹具(未图示)上。接着，如图10所示，使识别照相机91移动到存储部(未图示)中预先存储的元件吸附位置，拍摄链轮齿38外周部的各进给齿38A，通过识别处理部(未图示)进行识别处理，求出各进给齿38A的位置。
这时，在前述链轮齿38中对应外周部的各进给齿38A记录号码，而且为了操作者确认位于吸附位置的前述进给齿38A是哪一个，在单元框架21的侧壁21A中设置矩形的识别窗92(参照图12)。由此，对于每一个介由识别窗92识别的前述各进给齿38A，即对应各进给齿38A的标号的每一个号码，利用未图示的输入装置，在元件供给单元6内的印刷基板PP上安装的存储器93中存储根据前述识别照相机91的各进给齿38A的摄像的前述识别处理部的处理结果的各进给齿38A的位置数据。对于这样一连串的动作，基于未图示的微型计算机等的控制，依次使链轮齿38每次一个间距的旋转，在前述存储器93中对每一个各进给齿38A存储各进给齿38A的位置数据。
对元件供给单元6的链轮齿38的全部进给齿38A进行这样的处理，而且对电子元件安装装置1中使用的全部的元件供给单元6进行这样的处理。
在结束上述的元件供给单元6的调整动作以后，将定位销80分别插入底盘2上设置的定位孔，将装填了储存带C的各元件供给单元6固定在电子元件安装装置上。
然后在进行电子元件安装动作时，驱动XY载物台12，使头单元13面对元件供给单元6，根据前述那样在存储器93中存储的前述链轮齿38的位置数据，CPU85校正吸附喷嘴18的吸附位置。即，对于每一个各元件供给单元6，操作者介由识别窗92识别为了接着取出电子元件A而使用的链轮齿38的进给齿38A是哪一个，使用监视器94和键盘95，介由键盘驱动器96进行输入，预先存储到前述RAM86中。然后，驱动XY载物台12，使头单元13面对元件供给单元6，吸附喷嘴18从元件供给单元6取出电子元件时，CPU85根据前述RAM86中存储的接着使用的进给齿38A是哪一个的数据和存储在存储器93中的与该进给齿38A对应的位置数据，使前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A进行校正移动，准确地取出电子元件A。
即，通过识别照相机91拍摄链轮齿38的各进给齿38A，作为通过识别处理部的识别处理结果的各进给齿38A的位置数据，将链轮齿38的旋转方向，即各进给齿38A的移动方向的位置预先存储到存储器93中。然后根据与各进给齿38A对应的位置数据，通过校正移动前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A，校正各进给齿38A的移动方向的误差的间距的微小误差，可以使存储带的传送精度提高，使元件的取出精度提高。
而且，预先将链轮齿38的旋转方向和直角方向的各进给齿38A的位置作为各进给齿38A的位置数据存储到存储器93。然后根据对应各进给齿38A的位置数据，通过使前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A进行校正移动，还可以校正链轮齿38的例如稍稍的偏差等的链轮齿38的旋转方向和直角方向的各进给齿38A的误差，即各进给齿38A的移动方向和直角方向的稍稍的误差，可以提高存储带的传送精度，进一步提高元件的取出精度。
在上述电子元件的取出以后，如前所述，驱动XY载物台12，使电子元件移动直到元件识别照相机14的正上部，识别它的吸附姿态和对于吸附喷嘴18的位置偏差。接着，使安装头16移动直到设置台8上的基板P的位置，在以基板识别照相机17识别了基板P的位置以后，根据基于前述元件识别照相机14和17的摄像的识别处理装置90的识别结果，使前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A进行校正移动，将电子元件A安装到基板P。
接着，根据图13说明第二实施方式。如前所述，将元件供给单元6固定在调整夹具(未图示)上，通过识别照相机91拍摄链轮齿38外周部的各进给齿38A，通过识别处理部(未图示)进行识别处理，求出各进给齿38A是位置。
这时，在前述链轮齿38中对应外周部的某个进给齿38A，开设作为标记的原点确认孔38B，根据未图示的微型计算机等的控制，依次使链轮齿38每次一个间距地旋转，在原点确认用传感器(未图示)确认了前述原点确认孔38B时，位于现在吸附位置的前述进给齿38A的号码变为所谓的“1”，通过前述识别照相机91拍摄该号码“1”的进给齿38A，将前述识别处理部的识别处理结果的该进给齿38A的位置数据利用未图示的输入装置存储。接着，根据前述微型计算机等的控制，依次使链轮齿38每次一个间距地旋转以后，在存储器93中以每一个各进给齿38A来存储其位置数据。
在结束了如上所述的元件供给单元6的调整动作以后，如前所述，将装填了储存带C的各元件供给单元6固定在电子元件安装装置中。
然后，在进行电子元件安装动作时，驱动XY载物台12，使头单元13面对元件供给单元6，如前所述那样基于供给传送机9中存储的前述链轮齿38的位置数据，CPU85校正吸附喷嘴18的吸附位置。即，在对每一个各元件供给单元6，依次使链轮齿38每次一个间距地旋转，原点确认用传感器(未图示)确认了前述原点确认孔38B时，位于现在吸附位置的前述进给齿38A的号码变为所谓的“1”，驱动XY载物台12使头单元13面对元件供给单元6，吸附喷嘴18从元件供给单元6取出电子元件时，CPU85根据与存储器93中存储的号码“1”的该进给齿38A对应的位置数据，使前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A校正移动，准确地取出电子元件A。
即，与第一实施方式一样，预先通过识别照相机91拍摄链轮齿38的各进给齿38A，通过识别处理部将链轮齿38的旋转方向的各进给齿38A的移动方向的位置作为各进给齿38A的位置数据存储到存储器93，根据与各进给齿38A对应的位置数据，通过使前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A校正移动，可以校正是各进给齿38A的移动方法的误差的间距的稍稍的误差，可以使元件的取出精度提高。
而且，预先将链轮齿38的旋转方向和直角方向的各进给齿38A的位置作为各进给齿38A的位置数据存储到存储器93，根据与各进给齿38A对应的位置数据，通过使前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A进行校正移动，还可以校正链轮齿38的例如为微小偏差等的链轮齿38的旋转方向和直角方向的各进给齿38A的稍稍的误差，可以进一步提高元件的取出精度。
在上述的电子元件A取出以后，如前所述，驱动XY载物台12使电子元件移动直到元件识别照相机14的正上部，识别其吸附位置和对于吸附喷嘴18的位置错位，使安装头16移动直到设置台8上的基板P的位置，以基板识别照相机17识别基板P的位置以后，根据基于元件识别照相机14和基板识别照相机17的摄像的识别处理装置90的识别结果，使前述XY载物台12的X轴电动机12B、Y轴电动机12A和吸附喷嘴18的θ轴电动机18A进行校正移动，将电子元件A安装到基板P。
如以上实施方式中所述的那样，通过预先将吸附位置的链轮齿的各进给齿的位置存储在存储器中，可以一边根据该位置数据进行校正，一边通过吸附喷嘴进行确实地吸附。
而且，也可以识别处理装置对识别照相机拍摄的表示元件吸附位置的指示链轮齿的进给齿的位置的指示部图像进行了识别处理的作为结果的各进给齿的位置数据存储在存储器中。这时，链轮齿自身中设置与各进给齿对应的标记，即使通过识别该标记，也可以得到同样的效果。再有，也可以在主带(master tape)中设置与各进给齿对应的标记来识别该标记。
而且，作为电子元件安装装置，以所谓XY移动型的多功能芯片安装器为了进行了说明，但是不限于此，也可以应用在旋转台(rotary table)型的高速型芯片安装器中。
虽然如上所述对本发明的实施方式进行了说明，但是根据上述的说明，本技术领域的技术人员可以进行有各种替代例、修正或者变形，在不超出的宗旨的范围的情况下，本发明包含前述的各种替代例、修正或者变形。
安装以上所述的本发明，可以实现电子元件的吸附位置的稳定，同时不需要高精度的链轮齿，可以提供便宜的电子元件供给装置。即，在一般提供微小芯片元件时，为了实现吸附位置的稳定，需要以高精度提供存储带，同时需要进行定位，但是这依赖于链轮齿的加工精度，不但价格非常高，而且还需要很长的电子元件供给装置的调整时间，按照本发明，可以解决以上的问题。