旋转角传感器、电动机、旋转角检测装置和电动动力转向装置.pdf

1、10申请公布号CN102032863A43申请公布日20110427CN102032863ACN102032863A21申请号201010289589322申请日20100919200921880020090924JPG01B7/30200601H02K11/00200601B62D5/0420060171申请人株式会社捷太格特地址日本大阪府72发明人酒井和也74专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人李伟王轶54发明名称旋转角传感器、电动机、旋转角检测装置和电动动力转向装置57摘要本发明提供旋转角传感器、电动机、旋转角检测装置和电动动力转向装置。本发明的旋转角传感器包括磁转子

2、，其沿着周向形成有多个磁极；以及三个传感器器件33，其在该磁转子的同心圆上以均等角度间隔配置。各传感器器件33具有三个半桥电路38，该半桥电路38具有以自旋固定层的磁化方向为反向的方式串联连接的一对自旋阀型磁阻元件37A、37B。而且，各传感器器件33构成为，基于随着磁转子的旋转产生的磁通变化，各半桥电路38输出的传感器信号VU、VV、VW，相互间电角具有120的相位差。30优先权数据51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书8页附图11页CN102032866A1/1页21一种旋转角传感器，其包括磁铁转子，其沿着周向形成有多个磁极；以及三个传感器器件，

3、其输出基于随着所述磁铁转子的旋转产生的磁通变化的传感器信号，其中，所述三个传感器器件在所述磁铁转子的同心圆上以均等角度间隔配置，所述各传感器器件具有三个桥电路，该桥电路具有以自旋固定层的磁化方向为反向的方式串联连接的一对自旋阀型磁阻元件，并且，该各桥电路输出的所述传感器信号，相互间电角具有120的相位差。2如权利要求1所述的旋转角传感器，其中，所述自旋阀型磁阻元件是隧道磁阻效应型元件。3如权利要求1或2所述的旋转角传感器，其中，所述桥电路为半桥电路。4一种电动机，其具有权利要求1或2所述的旋转角传感器。5一种旋转角检测装置，其具有权利要求1或2所述的旋转角传感器，其包括检测器，该检测器基于从所

4、述旋转角传感器输入的所述传感器信号检测与所述磁铁转子一体旋转的旋转轴的旋转角，其中，所述检测器基于对从所述旋转角传感器输入的各传感器信号按照每个重复的相位进行平均化而生成的三相的主信号，检测所述旋转角。6一种电动动力转向装置，其具有权利要求5所述的旋转角检测装置，其中，通过所述旋转角检测装置检测电动机的旋转角。权利要求书CN102032863ACN102032866A1/8页3旋转角传感器、电动机、旋转角检测装置和电动动力转向装置0001将2009年9月24日在日本提出的专利申请NO2009218800号的包括说明书、附图、摘要的全部内容引入本申请作为参考。技术领域0002本发明涉及旋转角传感

5、器、具有该旋转角传感器的电动机和旋转角检测装置、以及电动动力转向装置。背景技术0003电动动力转向装置EPS等，在要求顺利的旋转和高稳定性的用途中，通常对于各相U、V、W线圈，分别对电角设置120的相位差而进行正弦波通电，由此控制电动机的动作。因此，现有技术中，作为用作电动机旋转角传感器的电动机解算器，一般使用能够进行高精度的旋转角检测的绕组式的解算器。例如参照日本特开平11160099号公报。0004但是，绕组式的解算器，因为具有绕组所以难以小型化，存在制造成本高的问题。近年来，提出了代替这样的绕组式的解算器的能够进行高精度的旋转角检测的磁旋转角传感器。0005例如，在日本特开2003751

6、08号公报中，提出了将霍尔元件作为传感器元件而形成传感器器件，并且将该传感器器件沿磁铁转子的周向配置于多个位置，使用各传感器器件输出的多个传感器信号进行修正，由此提高其检测精度的方法。0006此外，日本专利第4273363号公报的旋转角检测装置形成有全桥电路，该全桥电路具有以自旋固定层的磁化方向为反向的方式串联连接的一对自旋阀型磁阻元件，并且使用两个该全桥电路，由此，形成传感器器件，该传感器器件能够基于伴随磁铁转子的旋转的磁通变化，输出电角具有90的相位差的二相的传感器信号。在该例中，形成有作为自旋阀型磁阻元件使用巨磁阻元件GMRGIANTMAGNETICRESISTANCE的全桥电路。而且，

7、公开有将具有这样的结构的两个传感器器件配置于在磁铁转子的周向相互离开换算为电角时为90N“N”为整数的位置的结构。0007通过采用这样的结构，各传感器器件输出的相位不同的两个传感器信号分别与另一方的传感器器件所输出的两个传感器信号相位重复。于是，通过将该相位重复的双方的传感器信号按照每个该重复的相位进行平均化，能够除去波形变形。而且，通过基于该整形后的二相的主信号检测旋转角，能够大幅提高其检测精度。0008但是，即使采用这样的结构，仍然存在需要解决的问题。通常，在将磁旋转角传感器用于电动机解算器时，根据其用途磁铁转子的磁极数改变。具体地说，在要求高转矩的用途中进行多极化，另一方面在要求高速旋转

8、的用途中容易设定为较小的磁极数。相对于这样的磁极数的变更，上述的换算为电角时为90N的两个传感器器件的位置关系并非一定一样。因此，在上述现有的结构中，配合其磁极数的变更，也不得不改变各传感器器件的配置，在这一点上还存在改善的余地。说明书CN102032863ACN102032866A2/8页4发明内容0009本发明的一个目的在于提供一种能够以简单的结构进行高精度的旋转角检测，并且对于磁极数的变更具有高适应性的磁旋转角传感器、具有该旋转角传感器的电动机和旋转角检测装置、以及电动动力转向装置。0010本发明的一个方式的旋转角传感器包括磁铁转子，其沿着周向形成有多个磁极；以及三个传感器器件，其输出基

9、于随着上述磁铁转子的旋转产生的磁通变化的传感器信号。上述三个传感器器件在上述磁铁转子的同心圆上以均等角度间隔配置。上述各传感器器件具有三个桥电路，该桥电路具有以自旋固定层的磁化方向为反向的方式串联连接的一对自旋阀型磁阻元件，并且，该各桥电路输出的上述传感器信号，相互间电角具有120的相位差。0011在传感器器件中，使用作为传感器元件的自旋阀型磁阻元件的桥电路，能够使用半导体工艺形成。因此，它们输出的各传感器信号间的相位差，能够高精度地控制为电角为120。0012以机械角为120的均等角度间隔在磁铁转子的同心圆上配置的各传感器器件，无论该磁铁转子的磁极数为多少，换算为电角的间隔均为120N。00

10、13根据上述结构，能够使各传感器器件输出的三相传感器信号分别与其它的传感器器件输出的传感器信号的某个重复，通过按照每个该重复的相位进行平均化，能够得到与磁铁转子的旋转对应的没有变形的三相正弦波形。结果，能够以简单的结构进行更高精度的旋转角检测，并且对于磁极数的变更也具有更高的适应性。而且，在各传感器器件的某个发生故障的情况下，也能够活用多路复用的优点，利用剩下的两个传感器器件输出的各传感器信号继续进行旋转角检测。结果，能够提高其可靠性。0014上述实施方式中的上述自旋阀型磁阻元件可以为隧道磁阻效应型元件。0015根据上述结构，与使用巨磁阻元件作为自旋阀型磁阻元件的情况相比，能够提高信号强度。结

11、果，能够进行更高精度的检测。0016在上述实施方式中，上述桥电路可以是半桥电路。0017根据上述结构，通过结构的简化，能够实现装置的小型化和低成本化。0018可以将上述实施方式的旋转角传感器应用于电动机。0019根据上述结构，能够进行更高精度的旋转角检测。结果，能够减小转矩波动，实现更顺利的电动机旋转和高稳定性。0020也可以将上述实施方式的旋转角传感器应用于旋转角检测装置。该旋转角检测装置具有旋转角传感器，和检测器，该检测器基于从上述旋转角传感器输入的上述传感器信号检测与上述磁铁转子一体旋转的旋转轴的旋转角。上述检测器基于对从上述旋转角传感器输入的各传感器信号按照每个重复的相位进行平均化而生

12、成的三相的主信号，检测上述旋转角。0021根据上述结构，能够使各传感器器件输出的三相的传感器信号分别与其它的传感器器件输出的传感器信号的某个重复，基于由按照每个该重复的相位进行平均化而得到的与磁铁转子的旋转对应的没有变形的三相正弦波形，能够进行旋转角检测。结果，能够以简单的结构进行更高精度的旋转角检测，并且，对于磁极数的变更也能够具有高适应性。而说明书CN102032863ACN102032866A3/8页5且，在各传感器器件的某个发生故障的情况下，也能够活用多路复用的优点，利用剩下的两个传感器器件输出的各传感器信号继续进行旋转角检测。结果，能够提高可靠性。0022也可以将上述实施方式的旋转角

13、检测装置应用于电动动力转向装置，在电动动力转向装置的旋转角检测中使用。0023根据上述结构，能够减小电动机的转矩波动，实现高稳定性和优异的转向感。附图说明0024本发明的上述特征和优点以及其它的特征和优点，通过参考附图的下述实施方式的说明会变得更为明确，在附图中对于相似的元件标注相同的符号。0025图1是电动动力转向装置的概要结构图；0026图2是电动机的概略结构图；0027图3A是电动机解算器旋转角传感器的平面图；0028图3B是电动机解算器旋转角传感器的截面图；0029图4A是说明使用一对自旋阀型磁阻元件的半桥电路的结构及其作为传感器元件的作用的说明图；0030图4B是说明使用一对自旋阀型

14、磁阻元件的半桥电路的结构及其作为传感器元件的作用的说明图；0031图5是传感器器件的概略结构图；0032图6A是传感器器件输出的三相的传感器信号的波形图；0033图6B是传感器器件输出的三相的传感器信号的波形图；0034图6C是传感器器件输出的三相的传感器信号的波形图；0035图7是表示各传感器器件输出的传感器信号间的相位的重复的波形图；0036图8是通过每个重复的相位的平均化除去了波形变形的主信号的波形图；0037图9是另一例子的传感器器件的概略结构图；0038图10是另一个例子的传感器器件的概略结构图；0039图11是另一个例子的传感器器件的概略结构图；以及0040图12是另一个例子的传感

15、器器件的概略结构图。具体实施方式0041以下依据附图说明本发明的一实施方式。0042如图1所示，在本实施方式的电动动力转向装置EPS1中，固定有转向装置2的转向轴3经由齿轮齿条机构4与齿条轴5连结，伴随转向操作的转向轴3的旋转，由齿轮齿条机构4变换为齿条轴5的往复直线运动。转向轴3通过连结柱轴3A、中间轴3B和齿轮轴3C而成。而且，伴随该转向轴3的旋转的齿条轴5的往复直线运动，经由连结于该齿条轴5的两端的联杆6传递至未图示的转向节，由此变更转向轮7的转角即车辆的行驶方向。0043EPS1包括EPS致动器10，其为对转向系统施加用于辅助转向操作的辅助力的转向力辅助装置；以及ECU11，其为控制该

16、EPS致动器10的动作的控制单元。0044EPS致动器10构成为作为驱动源的电动机12经由减速机构13与柱轴3A驱动并连结的转向柱助力型的EPS致动器。作为减速机构13采用公知的蜗轮蜗杆结构。另外，作说明书CN102032863ACN102032866A4/8页6为电动机12采用无刷电机，该电动机12通过接受来自ECU11的三相U、V、W的驱动电力的供给而旋转。并且，EPS致动器10构成为，通过使该电动机12的旋转减速并传递至柱轴3A，将该电动机转矩作为辅助力施加于转向系统。0045在ECU11上连接有转矩传感器14和车速传感器15。ECU11基于由转矩传感器14和车速传感器15分别检测出的转

17、向转矩和车速V，运算应施加于转向系统的辅助力目标辅助力，详细地说，对该检测出的转向转矩越大且车速V越低，则对应向转向系统施加更大的辅助力的目标辅助力进行运算。0046ECU11基于设置在电动机12的电动机解算器17输出的传感器信号，检测该电动机12的旋转角电角。在本实施方式中，利用这些电动机解算器后述的旋转角传感器35和ECU11，构成旋转角检测装置。为了产生与上述目标辅助力相当的电动机转矩，基于该检测出的旋转角，对电动机12的各相进行正弦波通电，由此对以该电动机12为驱动源的EPS致动器10的动作即施加于转向系统的辅助力进行控制。0047接着，说明本实施方式的使用电动机和电动机解算器的旋转角

18、传感器的结构。0048如图2所示，电动机12包括定子21，其固定在形成为大致圆筒状的壳体20的内周；和转子22，其旋转自由地被支承在该定子21的径向内侧。0049定子21是在从壳体20的内周向径向内径延伸设置的多个齿23上卷绕电动机线圈24而形成的。转子22通过在与旋转轴25一体旋转的电动机芯26的外周固定磁铁而形成。详细地说，转子22通过将以沿其周向极性N/S不同的磁极交替形成的方式磁化的环状磁铁27外嵌于电动机芯26而形成。旋转轴25轴支承于设置在壳体20的轴承28、29，由此该转子22被旋转自由地支承于上述定子21的径向内径。0050这样作为无刷电机构成的电动机12，通过向电动机线圈24

19、通电而在定子21侧形成旋转磁场，于是基于该旋转磁场与环状磁铁27所形成的励磁磁通的关系，转子22旋转。此外，在电动机12中，通过使上述旋转轴25的一端突出至壳体20的外部，而形成输出部30。经由该输出部30，能够将由该转子22的旋转产生的电动机转矩输出至外部。0051在旋转轴25上，在比上述电动机芯26在轴向上更靠近输出部30侧该图中为上侧的位置，固定有形成为圆环状的作为磁铁转子的磁转子31。上述电动机解算器17构成为，基于该磁转子31与旋转轴25一体旋转而产生的磁通变化，检测电动机12的旋转角。0052下面进行详细叙述。在壳体20内，在其轴向上的上述电动机芯26与磁转子31之间的位置，收纳有

20、电路基板32。在该电路基板32上图2中，面向上侧的安装面32A，安装有传感器器件33，该传感器器件33伴随配置在与其相对的位置的上述磁转子31的旋转，输出与磁通变化对应的传感器信号。0053具体地说，如图3A、图3B所示，在具有规定的径向宽度而形成为圆环状的磁转子31，沿其周向极性N/S不同的磁极交替形成。该磁转子31中总合其N极和S极的磁极数设定为“10”。另外，在该图3A、图3B中，为了说明的方便，省略了将磁转子31以能够与旋转轴25一体旋转的方式支承于旋转轴25的部件的图示。0054在电路基板32上，在与安装面32A相对配置的上述磁转子31的同心圆上，详细地说，在与其径向宽度的大致中央部

21、相当的径向位置图3A中虚线所示的同心圆L上，以均等角度间隔120间隔配置有三个传感器器件33A、33B、33C。在电动机中，利用这些磁说明书CN102032863ACN102032866A5/8页7转子31和传感器器件3333A、33B、33C，形成构成上述电动机解算器17的磁旋转角传感器35。0055进一步详细叙述的话，传感器器件3333A、33B、33C将桥电路作为传感器元件，该桥电路具有以自旋固定层的磁化方向为反向的方式串联连接的一对自旋阀型磁阻元件，输出伴随与其相对配置的磁转子31的旋转而变化为正弦波状的传感器信号。0056自旋阀型磁阻元件中，相对于自旋固定层的固定的磁化方向，自旋自由

22、层的磁化方向根据通过磁通的方向而变化，由此其阻值改变。具体地说，具有该通过磁通的方向与自旋固定层的磁化方向越接近，其阻值越低的特性。此外，如图4A、图4B所示，以该自旋固定层的磁化方向各图中，实线的各箭头所示的方向为反向的方式使一对自旋阀型磁阻元件37A、37B串联连接，形成半桥电路38，由此，该连接点38A的电压基于两者的阻值被分压。0057即，根据该通过磁通的方向，构成半桥电路38的两个自旋阀型磁阻元件37A、37B的阻值发生变化，于是该连接点38A的电压也发生变化。通过将该连接点38A的电压作为传感器信号从输出端子38B输出，该半桥电路38能够发挥作为传感器元件的功能。0058具体地说，

23、图4A、图4B所示的半桥电路38中，电源端子38C侧的自旋阀型磁阻元件37A以其自旋固定层的磁化方向为从上述连接点38A侧朝向电源端子38C侧的方向的方式配置。因此，该自旋阀型磁阻元件37A的阻值，如图4A所示，在该通过的磁通的方向各图中虚线的箭头所示的方向为从接地端子38D侧朝向电源端子38C侧的方向时最小化。0059接地端子38D侧的自旋阀型磁阻元件37B，以其自旋固定层的磁化方向为从上述连接点38A侧朝向接地端子38D侧的方向的方式配置。因此，该自旋阀型磁阻元件37B的阻值，如图4B所示，在该通过的磁通的方向为从电源端子38C侧朝向接地端子38D侧的方向时最小化。0060由此，从该半桥电

24、路38输出的传感器信号的电平输出电压，在通过两个自旋阀型磁阻元件37A、37B的磁通的方向为图4A所示的方向该图中为向上时最大，在该通过磁通的方向为图4B所示的方向时该图中为向下时最小。0061旋转角传感器35中，具有这样的半桥电路38的各传感器器件3333A、33B、33C如上所述配置在磁转子31的同心圆上参照图3A。伴随磁转子31的旋转，向通过该半桥电路38的磁通的方向旋转，由此各传感器器件3333A、33B、33C分别输出变化为正弦波状的传感器信号。0062进一步详细叙述的话，如图5所示，传感器器件33具有与图4A、图4B所示的半桥电路38结构相同的三个半桥电路38U、38V、38W。0

25、063对这些半桥电路38U、38V、38W而言，配置于其接地端子38D侧的各自旋阀型磁阻元件37B的一端通过星形连线三相连接。这些半桥电路38U、38V、38W以连接点N为中心，以均等角度间隔120间隔配置。由此，该各半桥电路38U、38V、38W输出的各传感器信号VU、VV、VW相互间电角具有120的相位差。0064另外，在这些半桥电路38U、38V、38W中，作为一对自旋阀型磁阻元件37A、37B，使用隧道磁阻效应型元件TMRTUNNELMAGNETICRESISTANCE。在传感器器件33中，利用半导体工艺形成上述各半桥电路38U、38V、38W。0065如图3A所示，各传感器器件33A

26、、33B、33C在电路基板32上，分别以直线状延伸的半桥电路38U的延伸方向与朝向磁转子31的径向外侧的方向一致的方式配置。此时的“半说明书CN102032863ACN102032866A6/8页8桥电路38U的延伸方向”是指，图5中所示的半桥电路38U中，从该连接点N朝向电源端子38C的方向。由此，在旋转角传感器35中，各传感器器件33A、33B、33C输出的三相的传感器信号VU1、VV1、VW1VU2、VV2、VW2VU3、VV3、VW3的相位，如图6A、图6B、图6C所示，电角分别各错开120N“N”为整数。0066如图3A所示，在磁转子31顺时针方向旋转时，若以传感器器件33A为基准，

27、则其它的传感器器件33B、33C分别配置在从传感器器件33A开始在旋转方向前进侧各离开120机械角的位置。因此，这些各传感器器件33A、33B、33C的换算为电角的间隔，与磁转子31的磁极数无关，为120N。由此，传感器器件33B输出的各传感器信号VU2、VV2、VW2和传感器器件33C输出的各传感器信号VU3、VV3、VW3，相对于传感器器件33A输出的各传感器信号VU1、VV1、VW1，其相位如图6A、图6B、图6C所示，电角各错开120N。0067对ECU11输入这样的各传感器信号VU1、VV1、VW1、VU2、VV2、VW2、VU3、VV3、VW3。基于各传感器信号，检测该电动机12的

28、旋转角。0068接着，说明本实施方式的利用ECU11的旋转角的检测方法。0069如上所述，传感器器件33A输出的各传感器信号VU1、VV1、VW1、传感器器件33B输出的各传感器信号VU2、VV2、VW2和传感器器件33C输出的各传感器信号VU3、VV3、VW3，其相位以电角表示分别各错开120N。0070这些各传感器器件33A、33B、33C输出的三相的传感器信号，如图7所示，分别具有与其它的传感器器件输出的某一个传感器信号重复的相位。0071具体地说，传感器器件33A的U相传感器信号VU1，相对于传感器器件33B的V相传感器信号VV2和传感器器件33C的W相传感器信号VW3，具有相互重复的

29、相位。此外，传感器器件33A的V相传感器信号VV1，相对于传感器器件33B的W相传感器信号VW2和传感器器件33C的U相传感器信号VU3，具有相互重复的相位。而且，传感器器件33A的W相传感器信号VW1，相对于传感器器件33B的U相传感器信号VU2和传感器器件33C的V相传感器信号VV3，具有相互重复的相位。0072构成检测器的ECU11，将从电动机解算器17旋转角传感器35输入的各传感器信号VU1、VV1、VW1、VU2、VV2、VW2、VU3、VV3、VW3，按照每个重复的相位进行划分。然后，对于每个相位，使用以下的13式进行平均化，由此如图8所示，得到除去了波形变形的三相的主相号SU、S

30、V、SW。0073SUVU1VV2VW3/310074SVVV1VW2VU3/320075SWVW1VU2VV3/330076在磁旋转角传感器中，由磁铁转子形成的空间磁通密度分布的变形、或者构成传感器元件的各个磁检测元件间温度特性的偏差等引起的输出波形的变形成为问题。于是，通过按照每个重复的相位进行平均化，能够修正该波形变形。然后，基于该施加了修正后的三相主信号SU、SV、SW，运算电动机12旋转轴25的旋转角。0077具体地说，首先，利用下面的式4运算主信号SU、SV、SW的振幅A。00780079其中，该式4中的“2”表示“平方”。0080ECU11基于由上述式4得到的振幅A和各主信号SU

31、、SV、SW的值，通过求解以下说明书CN102032863ACN102032866A7/8页9的57式，运算电动机12的旋转角。0081SUASIN50082SVASIN2/360083SWASIN4/370084此外，ECU11对于各传感器器件33A、33B、33C，通过监视由使用各自输出的三相的传感器信号VU、VV、VW的下述式8得到的均方根值B，对其故障进行判定。00850086而且，在某个传感器器件发生故障的情况下，通过使用剩下的两个传感器器件输出的各传感器信号VU、VV、VW，能够继续进行旋转角的检测。0087如上所述，本实施方式具有以下的效果。00881旋转角传感器35包括磁转子3

32、1，其沿周向形成有多个磁极；以及三个传感器器件3333A、33B、33C，其在磁转子31的同心圆上以均等角度间隔配置。此外，各传感器器件33具有半桥电路3838U、38V、38W，该半桥电路38具有以自旋固定层的磁化方向为反向的方式串联连接的一对自旋阀型磁阻元件37A、37B。而且，各传感器器件33构成为，基于伴随磁转子31的旋转的磁通变化，各半桥电路38输出的传感器信号VU、VV、VW相互间电角具有120的相位差。0089在传感器器件33中，使用作为传感器元件的自旋阀型磁阻元件37A、37B的各半桥电路3838U、38V、38W，能够使用半导体工艺形成。它们输出的各传感器信号VU、VV、VW

33、间的相位差，能够高精度地控制成电角为120。于是，以机械角120的均等角度间隔在磁转子31的同心圆上配置的各传感器器件33A、33B、33C，无论该磁转子31的磁极数如何，换算为电角的间隔都为120N。0090根据上述结构，各传感器器件33A、33B、33C输出的三相的传感器信号，分别能够与其它传感器器件输出的传感器信号的某个重复，通过按照每个重复的相位进行平均化，能够得到与磁转子31的旋转对应的没有变形的三相的正弦波形。结果，能够以简单的结构进行更高精度的旋转角检测，并且，对于磁极数的变更也具有更高的适应性。而且，即使在各传感器器件33A、33B、33C中的某个发生故障时，也能够活用多路复用

34、的优点，利用剩下的两个传感器器件输出的各传感器信号继续进行旋转角检测。结果，能够提高其可靠性。00912作为构成传感器元件的自旋阀型磁阻元件37A、37B，使用隧道磁阻效应型元件TMR。0092根据上述结构，不需要使作为传感器元件的桥电路全桥化，也能够得到足够的信号强度。由此，能够使其结构简单化，并且，与使用巨磁阻元件GMR作为该自旋阀型磁阻元件的情况相比较，能够进行更高精度的检测。0093另外，上述实施方式也可以进行以下的变更。0094在上述实施方式中，将本发明具体化为构成设置在EPS用的电动机12中的电动机解算器17的旋转角传感器35，但也可以应用于电动机解算器以外的旋转角传感器。此外，在

35、应用于EPS中时，也不限于本实施方式的EPS1那样的转向柱助力型，也可以具体化为齿条助力型、齿轮助力型等其它形式的EPS。0095在上述实施方式中，作为构成传感器元件的自旋阀型磁阻元件37A、37B，使用了隧道磁阻效应型元件TMR，但也可以是使用巨磁阻元件GMR的结构。说明书CN102032863ACN102032866A8/8页100096在上述实施方式中，在各半桥电路3838U、38V、38W中，电源端子38C侧的自旋阀型磁阻元件37A以其自旋固定层的磁化方向为从上述连接点38A侧朝向电源端子38C侧的方向的方式配置。接地端子38D侧的自旋阀型磁阻元件37B以其自旋固定层的磁化方向为从上述

36、连接点38A侧朝向接地端子38D侧的方向的方式配置。0097但是，并不限定于此，只要两者的自旋固定层的磁化方向为反向，则例如像图9所示的传感器器件40那样，在形成各半桥电路3838V、38U、38W的两个自旋阀型磁阻元件37A、37B中，其自旋固定层的磁化方向也可以均为朝向连接点38A的方向。0098如图10所示的传感器器件41所示，各自旋阀型磁阻元件37A、37B的自旋固定层的磁化方向也可以与各半桥电路3838U、38V、38W的延伸方向该图中为从连接点N分别朝向电源端子C的方向正交。0099在上述实施方式中，将半桥电路3838U、38V、38W作为传感器元件构成传感器器件33。但并不限定于

37、此，也可以将全桥电路作为传感器元件构成传感器器件。这样，通过将全桥电路38UU、38VV、38WW作为传感器元件，能够提高信号强度。由此，能够达到检测精度的进一步提高。0100具体地说，例如，在图11所示的传感器器件42中，通过将自旋阀型磁阻元件37A、37B的串联电路和自旋阀型磁阻元件37A、37B的串联电路并联连接，形成三个全桥电路38UU、38VV、38WW。进一步，在各全桥电路38UU、38VV、38WW中，并联配置的自旋阀型磁阻元件37A、37A和自旋阀型磁阻元件37B、37B，以其自旋固定层的磁化方向沿着各串联电路的延伸方向该图中为从连接点N分别朝向电源端子38C的方向为反向的方式

38、配置。由此，在该例中，各全桥电路38UU、38VV、38WW，能够将从上述各串联电路的连接点38A、38A延伸的两个输出端子38B、38B的差动输出，作为其传感器信号进行输出。0101构成各全桥电路38UU、38VV、38WW的各自旋阀型磁阻元件37A、37B、37A、37B的配置，如图12所示的传感器器件43所示，其自旋固定层的磁化方向也可以为与各串联电路的延伸方向该图中为从连接点N分别朝向电源端子38C的方向正交的方向。0102接着，记载根据以上的实施方式能够掌握的技术思想和效果。0103一种旋转角检测方法，其使用旋转角传感器，该旋转角传感器具有磁铁转子，其沿周向形成有多个磁极；以及三个上

39、述传感器器件，其在上述磁铁转子的同心圆上以均等角度间隔配置，上述各传感器器件具有三个桥电路，该桥电路具有以自旋固定层的磁化方向为反向的方式串联连接的一对自旋阀型磁阻元件，并且，基于随着上述磁铁转子的旋转产生的磁通变化，该各桥电路输出的上述传感器信号，相互间电角具有120的相位差，该旋转角检测方法检测与上述磁铁转子一体旋转的旋转轴的旋转角，该旋转角检测方法的特征在于将上述各传感器器件输出的各传感器信号按照重复的相位进行划分，基于按照每个重复的相位进行平均化而得到的三相的主信号检测上述旋转角。由此，能够以简单的结构进行高精度的旋转角检测，并且能够确保对于磁极数的变更的高适应性。说明书CN10203

40、2863ACN102032866A1/11页11图1说明书附图CN102032863ACN102032866A2/11页12图2说明书附图CN102032863ACN102032866A3/11页13图3A图3B说明书附图CN102032863ACN102032866A4/11页14图4A图4B说明书附图CN102032863ACN102032866A5/11页15图5图6A说明书附图CN102032863ACN102032866A6/11页16图6B图6C说明书附图CN102032863ACN102032866A7/11页17图7图8说明书附图CN102032863ACN102032866A8/11页18图9说明书附图CN102032863ACN102032866A9/11页19图10说明书附图CN102032863ACN102032866A10/11页20图11说明书附图CN102032863ACN102032866A11/11页21图12说明书附图CN102032863A