流延装置及溶液制膜方法.pdf

1、(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201110216850.1 (22)申请日 2011.07.29 171921/2010 2010.07.30 JP C08J 5/18(2006.01) (73)专利权人 富士胶片株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 八牧孝介 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 夏斌 陈萍 CN 101146659 A,2008.03.19,说明书第2页 第 4 段 - 第 3 页第 4 段 , 第 10 页最后一段 - 第 16 页第 4 段 , 图 2. TW 200510472 A,2005.03.16,说明

2、书第2页 最后一段 - 第 3 页第 2 段 , 第 4 页第 4 段 . (54) 发明名称 流延装置及溶液制膜方法 (57) 摘要 本发明提供一种流延装置及溶液制膜方法， 溶液制膜设备 (10) 的流延装置 (15) 具备带 (30) 和第 1 上游域供排气单元 (41)。带 (30) 是形成 为环状的无端的流延支撑体。第 1 上游域供排气 单元 (41) 具有供气部 (61) 和 1 对遮风板 (62)。 供气部 (61) 具有供气导管 (66)。供气导管 (66) 在与带 (30) 对置的底面具有多个喷嘴 (67)。供 气部 (61) 从多个喷嘴 (67) 在相对于流延膜 (36) 的

3、膜面垂直的方向上吹出气体。 各遮风板(62)配 设于流延膜 (36) 侧缘的通过管路上或者比该通 过管路更靠近宽度方向的内侧。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. (56)对比文件 审查员 刘央央 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 权利要求书2页 说明书12页 附图5页 CN 102344576 B 2016.02.17 CN 102344576 B 1/2 页 2 1.一种流延装置， 其特征在于， 具备 ： 环状流延支撑体， 所述流延支撑体在流延浓液的流延面形成流延膜， 所述流延支撑体 在长边方向上连续行进， 并以从剥下所述流延膜的剥离位置返回流延所述浓液的流延

4、位置 的方式循环 ； 第1上游域供排气单元， 在所述流延面朝上而所述流延支撑体行进的第1行进区域中， 设置于在所述流延支撑体的行进方向上比所述流延位置更靠近下游 ； 以及 剥离辊， 将所述剥离位置保持为恒定， 对溶媒含有率为20质量以上50质量以下的 范围的所述流延膜进行剥离 ； 所述第 1 上游域供排气单元具备 ： 第 1 供气部， 送出已加热气体， 所述第 1 供气部从与所述流延支撑体对置的供气开口 送出所述气体， 所述第 1 供气部向相对于所述流延膜的膜面垂直的方向送出所述气体， 所 述第 1 供气部具有供气导管和多个喷嘴， 所述供气导管的底面与所述流延支撑体对置而配 设， 以便覆盖所通

5、过的所述流延膜， 所述喷嘴向所述供气导管的所述底面突出而设置， 所述 多个喷嘴在所述流延支撑体的行进方向上隔开间隔而排列， 所述供气开口设置于所述喷嘴 的前端， 所述供气开口为沿所述流延支撑体的宽度方向延伸的狭缝状 ； 排气部， 从多个吸引开口吸引所述流延膜周边的气氛， 所述多个吸引开口与各个所述 喷嘴和所述喷嘴之间对置而设置 ； 1 对第 1 遮风部件， 沿着所述流延支撑体的行进路延伸， 所述第 1 遮风部件配设于所述 流延膜侧缘的通过管路上或比所述通过管路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧， 所 述第 1 遮风部件抑制所述气体从所述流延膜的膜面附近向所述流延支撑体侧部的露出部 分流出 ；

6、 以及 送风喷嘴， 设置在所述流延位置与所述第 1 供气部之间， 从朝向所述行进方向的下游 的开口流动气体 ； 所述第 1 遮风部件设置于距所述流延面的高度低于所述供气导管的位置， 所述排气部 设置在高于所述第 1 遮风部件的位置。 2.如权利要求 1 所述的流延装置， 其特征在于， 还具备如下 ： 第 2 供气部， 送出已加热气体， 所述第 2 供气部夹着所述流延支撑体且与 所述第 1 供气部对置而设置， 所述第 2 供气部从与所述流延支撑体对置的开口送出所述气 体， 所述第 2 供气部向相对于所述流延支撑体垂直的方向送出所述气体 ； 及 第2遮风部件， 沿所述流延支撑体的行进路延伸， 所述

7、第2遮风部件夹着所述流延支撑 体且与所述第 1 遮风部件对置而设置， 所述第 2 遮风部件抑制所述气体从所述第 2 供气部 向非流延面中与所述露出部分对应的侧部流出， 所述非流延面是所述流延面的相反侧的表 面。 3.如权利要求 1 所述的流延装置， 其特征在于， 在所述第 1 供气部的下游具备第 3 供气部， 所述第 1 供气部设置于所述流延支撑体使 所述流延面朝上而行进的第 1 行进区域， 所述第 3 供气部具有朝向所述流延支撑体的行进 方向上的上游侧的开口， 所述第 3 供气部从所述开口送出成为与所通过的所述流延膜的膜 面并行的逆流的气体。 4.如权利要求 3 所述的流延装置， 其特征在于

8、， 权 利 要 求 书 CN 102344576 B 2 2/2 页 3 所述第 3 供气部设置于所述流延支撑体使所述流延面朝下而行进的第 2 行进区域。 5.一种溶液制膜方法， 其特征在于， 具备如下步骤 ： (A) 在沿长边方向连续行进的环状流延支撑体上流延浓液而形成流延膜 ； (B) 从所述流延支撑体剥下溶媒含有率达到 50 质量以下的所述流延膜并进行干燥， 对剥下所述流延膜之后的所述流延支撑体再次进行所述 A 步骤 ； (C) 在流延所述浓液的流延面朝上而所述流延支撑体行进的第 1 行进区域中， 在相对 于所述流延膜的膜面垂直的方向上喷吹气体并干燥所述流延膜 ； (D)在所述C步骤中进

9、行， 通过1对第1遮风部件抑制所述气体从所述流延膜的膜面附 近向所述流延支撑体侧部的露出部分流出， 所述 1 对第 1 遮风部件配设于所述流延膜侧缘 的通过管路上或比所述通过管路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧， 所述第 1 遮风 部件沿所述流延支撑体的行进路延伸 ； 在所述 C 步骤中具备以下工序 ： 从第 1 供气部的供气开口送出所述气体， 所述第 1 供气部具有供气导管和在前端形成 有所述供气开口的多个喷嘴， 所述供气导管的底面与所述流延支撑体对置而配设， 以便覆 盖所通过的所述流延膜， 所述喷嘴向所述供气导管的所述底面突出而设置， 所述多个喷嘴 在所述流延支撑体的行进方向上隔开间隔

10、而排列， 所述供气开口是沿所述流延支撑体的宽 度方向延伸的狭缝状， 所述第 1 遮风部件设置于距所述流延面的高度低于所述供气导管的 位置 ； 在高于所述第 1 遮风部件且与各个所述喷嘴和所述喷嘴之间对置的位置， 吸引所述流 延膜周边的气氛 ； 以及 从送风喷嘴的开口相对于所述流延膜作为顺风而流动气体， 所述送风喷嘴设置在所述 流延位置与所述第 1 供气部之间， 具备朝向所述行进方向的下游的所述开口。 6.如权利要求 5 所述的溶液制膜方法， 其特征在于， 还具备如下步骤 ： (E) 对正从所述第 1 供气部被喷吹所述气体的所述流延膜喷吹已加热气体来使所述流 延膜的温度升温， 所述气体向相对于非

11、流延面垂直的方向喷吹， 所述非流延面是所述流延 支撑体的所述流延面的相反侧的表面 ； 及 (F) 通过第 2 遮风部件抑制所述气体向所述非流延面中与所述露出部分对应的侧部流 出， 所述第2遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸， 所述第2遮风部件夹着所述流延支 撑体并与所述第 1 遮风部件对置而设置。 7.如权利要求 5 所述的溶液制膜方法， 其特征在于， 还具备如下步骤 ： (G) 在所述 C 步骤之后进行， 通过送出成为并行于所述膜面的逆流的气体来干燥所述 流延膜， 所述 C 步骤对使所述流延面朝上而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜进行。 8.如权利要求 7 所述的溶液制膜方法， 其特征在

12、于， 所述 G 步骤对使所述流延面朝下而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜进行。 权 利 要 求 书 CN 102344576 B 3 1/12 页 4 流延装置及溶液制膜方法 技术领域 0001 本发明涉及一种用于由浓液形成用作相位差膜的膜的流延装置及溶液制膜方法。 背景技术 0002 通常， 液晶显示器上使用相位差膜， 由于液晶显示器的大画面化和高精细化， 对相 位差膜所要求的质量也越来越严格。作为所要求的质量备受重视的是光学特性， 作为光学 特性有Re、 Rth、 慢轴的方向(取向角)的均匀性等。 其中， 对慢轴的方向的均匀性的要求非 常严格。具体而言， 要求在长形膜中的宽度方向上， 将

13、慢轴的偏离量 ( 以下称为轴偏离量 ) 相对于目的慢轴的方向抑制在 -1.5以上 1.5以内的范围， 进一步要求在膜整个区域将 轴偏离量抑制在-1以上1以内的范围， 优选抑制在-0.4以上0.4以内。 另外， Re是 膜面内的光学各向异性， Rth 是膜面内和膜厚方向的光学各向异性。对于连续进行膜制造 而得到的长形膜， 在将 nx 设为膜的长边方向的折射率、 ny 设为膜的宽度方向的折射率、 nz 设为膜的厚度方向的折射率、 d 设为膜的厚度时， 分别以如下公式求出 Re 和 Rth。 0003 Re (ny-nx)d 0004 Rth (ny+nx)/2-nz)d 0005 作为制造用作相位

14、差膜的膜的方法， 从上述那样的光学特性观点出发， 可以说溶 液制膜方法为较佳。 相位差膜的市场越来越扩大， 随着该市场的扩大， 溶液制膜中膜的制造 效率也需要提高。 0006 溶液制膜方法在工业上以连续方式进行。即， 连续进行流延浓液而作为流延膜并 剥离流延膜为止的流延工序和对已剥离的流延膜即膜进行干燥的干燥工序。 流延工序和干 燥工序中提高流延工序中的速度关系到制造效率的提高。 0007 因此， 为了提高流延膜的干燥速度， 以往使风像日本专利公开昭 61-110520 号公 报或日本专利公开昭64-055214号公报那样流动。 在日本专利公开昭61-110520号公报中， 使干燥风相对于流延

15、膜平行地流动， 并使其干燥风以相对于流延膜的行进方向成为逆流或 顺风的方式流动。另外， 在日本专利公开昭 64-055214 号公报中， 对在行进的支撑体上由特 定浓液形成的流延膜喷吹垂直于流延膜的干燥风。 0008 此外， 在日本专利公开昭 64-055214 号公报中， 为了干燥而对流延膜喷吹风， 将风 的方向与支撑体表面所成的角设为 45 80或 90。在日本专利公开 2003-103544 号 公报中， 将从喷嘴朝向流延膜送出的风的方向设为 45 90。 0009 然而， 通过吹送风而使流延膜干燥的方法中， 为了有效果甚至高效率地进行其干 燥， 加热作为风喷吹的空气并使其变暖。如此，

16、若将已加热的空气吹送至流延膜， 则支撑体 中未形成有流延膜的露出部分会慢慢升温。若支撑体的露出部分的温度过度升高， 则流延 膜的各侧部的温度也过度上升， 产生起泡。 0010 因此， 为了防止因向流延膜喷吹的风引起这种支撑体侧部的露出部分的温度上 升， 在日本专利公开 2005-047141 号公报中， 设置遮风板， 以免风接触到支撑体的露出部 分。 说 明 书 CN 102344576 B 4 2/12 页 5 0011 然而， 使风相对于流延膜平行地流动的方法与不喷吹风的情况相比， 干燥速度较 快， 但存在在流延膜上产生向流延方向延伸的细小条纹之类的问题。 并且， 在日本专利公开 2003

17、-103544 号公报中， 若对流延膜垂直地喷吹风， 则导致在风接触到流延膜之后朝向上游 侧。被指出因该流动而引起膜厚变得不均匀的情况。 0012 在此， 日本专利公开 2003-103544 号公报的方法中， 为了进一步加快干燥速度就 要提高所喷吹的气体的温度。但是， 若如此提高气体温度， 则在反复进行流延和剥离期间， 有时支撑体的温度在宽度方向上变得不均匀， 所得到的膜的光学特性、 尤其是轴偏离量变 得较大且在宽度方向上不均匀， 或者支撑体的侧部逐渐翘曲。 支撑体一旦开始翘曲， 则其翘 曲随着继续行进而慢慢变大， 行进中的矫正几乎是不可能的。并且， 近年来， 还有对膜的宽 幅化的要求， 以

18、上的问题在伴随膜的宽幅化的支撑体的宽幅化或用于谋求进一步提高制造 效率的支撑体的长形化上， 变得更加显著。另外， 在日本专利公开 2005-047141 号公报的方 法中， 气体相对于流延膜并行地流动于 1 对遮风板的一方与另一方之间， 因此， 气体的温度 在流延膜的宽度方向上变得不均匀。由于气体的温度在流延膜的宽度方向上变得不均匀， 存在膜的光学特性中尤其是轴偏离量在宽度方向上变得不均匀的问题。 发明内容 0013 因此， 鉴于上述问题， 本发明的目的在于提供一种为了提高基于溶液制膜的膜制 造效率而谋求进一步提高流延膜的干燥速度， 并且谋求膜的慢轴的方向在宽度方向上的均 匀化， 从而防止支撑

19、体的翘曲的流延装置和溶液制膜方法。 0014 为了解决上述课题， 本发明的流延装置具备流延支撑体、 第 1 供气部及 1 对第 1 遮 风部件。流延支撑体为环状。所述流延支撑体在流延浓液的流延面形成流延膜。所述流延 支撑体向长边方向连续行进， 并以从剥离位置返回流延位置的方式循环。剥离位置是剥下 所述流延膜的位置。所述流延位置是流延所述浓液的位置。所述第 1 供气部送出已加热气 体。所述第 1 供气部从与所述流延支撑体对置的开口送出所述气体。所述第 1 供气部向相 对于所述流延膜的膜面垂直的方向送出所述气体。所述 1 对第 1 遮风部件沿所述流延支撑 体的行进路延伸。所述第 1 遮风部件配设于

20、所述流延膜侧缘的通过管路上或比所述通过管 路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧。所述第 1 遮风部件抑制所述气体从所述流延 膜的膜面附近向所述流延支撑体侧部的露出部分流出。 0015 优选所述第 1 供气部具有供气导管和多个喷嘴。所述供气导管的底面与所述流延 支撑体对置而配设， 以便覆盖所通过的所述流延膜。所述喷嘴向所述供气导管的所述底面 突出而设置。所述多个喷嘴在所述流延支撑体的行进方向上隔开间隔而排列。所述开口设 置于所述喷嘴的前端。所述开口为向所述流延支撑体的宽度方向延伸的狭缝状。所述遮风 部件设置于距所述流延面的高度低于所述供气导管的位置。 0016 优选流延装置还具备排气部。排气部

21、从多个开口吸引所述流延膜周边的气氛。所 述排气部设置于高于所述遮风部件的位置。 排气部的所述多个开口在各个所述喷嘴与所述 喷嘴之间对置而设置。 0017 优选流延装置具备第2供气部和第2遮风部件。 所述第2供气部送出已加热气体。 所述第 2 供气部夹着所述流延支撑体并与所述第 1 供气部对置而设置。所述第 2 供气部从 与所述流延支撑体对置的开口送出所述气体。所述第 2 供气部向相对于所述流延支撑体垂 说 明 书 CN 102344576 B 5 3/12 页 6 直的方向送出所述气体。所述第 2 遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸。所述第 2 遮 风部件夹着所述流延支撑体并与所述第 1 遮

22、风部件对置而设置。所述第 2 遮风部件抑制所 述气体从所述第 2 供气部向非流延面中对应于所述露出部分的侧部流出。所述非流延面为 所述流延面的相反侧表面。 0018 优选流延装置在所述第 1 供气部的下游具备第 3 供气部。所述第 1 供气部设置于 所述流延支撑体使所述流延面朝上而行进的第 1 行进区域。所述第 3 供气部具有朝向所述 流延支撑体的行进方向上的上游侧的开口。所述第 3 供气部从所述开口送出成为与所通过 的所述流延膜的膜面平行的逆流的气体。 0019 优选所述第3供气部设置于所述流延支撑体使所述流延面朝下而行进的第2行进 区域。 0020 本发明的溶液制膜方法具备流延膜形成步骤

23、(A 步骤 )、 剥离后的干燥步骤 (B 步 骤 )、 剥离前的干燥步骤 (C 步骤 ) 及抑制步骤 (D 步骤 )。A 步骤， 在向长边方向连续行进的 环状流延支撑体上流延浓液而形成流延膜。 B步骤， 从所述流延支撑体剥下所述流延膜并进 行干燥。对剥下所述流延膜之后的所述流延支撑体再次进行所述 A 步骤。C 步骤在相对于 所述流延膜的膜面垂直的方向上喷吹气体来对所述流延膜进行干燥。D 步骤在所述 C 步骤 中进行。D 步骤通过 1 对第 1 遮风部件抑制所述气体从所述流延膜的膜面附近向所述流延 支撑体侧部的露出部分流出。所述 1 对第 1 遮风部件配设于所述流延膜侧缘的通过管路上 或比所述通

24、过管路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧。所述第 1 遮风部件沿所述流 延支撑体的行进路延伸。 0021 优选从具有供气导管和在前端形成有开口的多个喷嘴的第 1 供气部的所述开口 送出所述气体。所述供气导管的底面与所述流延支撑体对置而配设， 以便覆盖所通过的所 述流延膜。所述喷嘴向所述供气导管的所述底面突出而设置。所述多个喷嘴在所述流延支 撑体的行进方向上隔开间隔而排列。所述开口为向所述支撑体的宽度方向延伸的狭缝状。 所述遮风部件设置于距流延面的高度低于所述供气导管的位置。 所述流延面是所述流延支 撑体中流延所述浓液的表面。 0022 优选在高于所述第 1 遮风部件且与各个所述喷嘴与所述喷嘴

25、之间对置的位置， 吸 引所述流延膜周边的气氛。 0023 优选溶液制膜方法还具备以下 E 步骤和 F 步骤。E 步骤对正从所述第 1 供气部被 喷吹所述气体的所述流延膜喷吹已加热气体来使所述流延膜的温度升温。该 E 步骤的所述 气体向相对于非流延面垂直的方向喷吹。 所述非流延面是所述流延支撑体的所述流延面的 相反侧的表面。F 步骤通过第 2 遮风部件抑制所述气体向所述非流延面中对应于所述露出 部分的侧部流出。所述第 2 遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸。所述第 2 遮风部件 夹着所述流延支撑体并与所述第 1 遮风部件对置而设置。 0024 优选溶液制膜方法具备以下 G 步骤。G 步骤在所述

26、 C 步骤之后进行。G 步骤通过 送出成为与所述膜面平行的逆流的气体来对所述流延膜进行干燥。所述 C 步骤对使所述流 延面朝上而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜进行。 0025 优选所述 G 步骤对使所述流延面朝下而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜 进行。 0026 发明的效果 说 明 书 CN 102344576 B 6 4/12 页 7 0027 根据本发明， 由于提高基于溶液制膜的膜制造效率， 因此能够谋求进一步提高流 延膜的干燥速度， 并且慢轴在膜的宽度方向上变得均匀而轴偏离量降低， 并且防止支撑体 的翘曲。 附图说明 0028 本领域技术人员通过参考附图并阅读优选实施例的详细说明

27、， 可以容易理解上述 目的及优点。 0029 图 1 是溶液制膜设备的概要图。 0030 图 2 是第 1 上游域供排气单元的侧面概要图。 0031 图 3 是第 1 上游域供排气单元的俯视概要图。 0032 图 4 是沿图 3 及图 4 的 IV-IV 线的截面图。 0033 图 5 是第 2 上游域供排气单元的侧面概要图。 具体实施方式 0034 优选通过图 1 所示的溶液制膜设备 10 实施本发明的第 1 实施方式。溶液制膜设 备 10 从上游侧依次具备流延装置 15、 第 1 拉幅机 17、 辊干燥装置 21、 第 2 拉幅机 23、 分切 机 26 及卷取装置 27。流延装置 15

28、由聚合物溶解于溶剂中的浓液 11 形成聚合物膜 ( 以下， 仅称为 “膜” )12。第 1 拉幅机 17 以作为保持机构的夹子 16 保持膜 12 的各侧部的同时进 行膜 12 的干燥。辊干燥装置 21 以多个辊 20 支撑膜 12 的同时进行干燥。第 2 拉幅机 23 以作为保持机构的夹子 22 保持膜 12 的各侧部， 对膜 12 赋予宽度方向上的张力。分切机 26 切除通过第 1 拉幅机 17 的夹子 16 和第 2 拉幅机 23 的保持机构 22 保持的各侧部的保持痕 迹。卷取装置 27 将膜 12 卷绕于卷芯上， 并作成辊状。 0035 另外， 在本说明书中， 溶剂含有率 ( 单位

29、； ) 是干量基准的值。具体而言， 将溶 剂的质量设为 x、 膜 12 的质量设为 y 时， 溶剂含有率 ( 单位 ； ) 为以 x/(y-x)100 求 出的百分率。 0036 流延装置15具备形成为环状的作为无端流延支撑体的带30、 沿周向旋转的第1辊 31 及第 2 辊 32。带 30 卷绕于第 1 辊 31 和第 2 辊 32 的周面上。第 1 辊 31 和第 2 辊 32 中 至少任意一方为具有驱动机构的驱动辊即可。 通过该驱动辊沿周向旋转来传送接触于周面 的带 30。通过该传送， 带 30 循环且向长边方向连续行进。 0037 在带 30 的上方具备流出浓液 11 的流延模 35。

30、通过从流延模 35 向被传送的带 30 连续流出浓液 11， 浓液 11 在带 30 上流延而形成流延膜 36。另外， 以下将浓液 11 开始接触 于带 30 的位置称为流延位置 PC。 0038 第 1 辊 31 和第 2 辊 32 分别具备控制周面温度的温度控制器 ( 未图示 )。第 1 辊 31 以周面温度成预定范围的方式冷却。通过冷却第 1 辊 31， 带 30 按每 1 周冷却。由此， 即 使连续行进而被后述的第 1 上游域供排气单元 41、 第 1 下游域供排气单元 42 及第 2 下游 域供排气单元 43 持续加热， 也可更可靠地防止带 30 的两侧部 30s( 参考图 3) 的

31、温度上升。 流延模 35 设置于第 1 辊 31 上的带 30 的上方， 流延位置 PC 设为第 1 辊 31 上。第 2 辊 32 以周面温度成为预定范围的方式加热。通过加热第 2 辊 32， 更有效地干燥流延膜 36。 0039 优选第 1 辊 31 的周面温度设为 3以上 30以下的范围， 更优选 5以上 25以 说 明 书 CN 102344576 B 7 5/12 页 8 下的范围， 进一步优选 8以上 20以下的范围。优选第 2 辊 32 的周面温度设为 20以 上50以下的范围， 更优选25以上45以下的范围， 进一步优选30以上40以下的范 围。 0040 流延模 35 不限于

32、设置在位于第 1 辊 31 上的带 30 的上方的形态。例如， 可以设置 在从第 1 辊 31 朝向第 2 辊 32 的带 30 的上方。此时， 优选在从第 1 辊 31 朝向第 2 辊 32 的 带 30 的下方配设辊 33， 并在由辊 33 支撑的带 30 的上方配设流延模 35。 0041 关于从流延模 35 至带 30 的浓液 11、 即所谓液珠， 虽然在带 30 的行进方向上的上 游设置减压室， 但省略图示。该减压室吸引从流延模 35 流出的浓液 11 的上游侧区的气氛 并对所述区进行减压。 0042 将流延膜 36 固化至可向第 1 拉幅机 17 传送的程度之后， 以包含溶剂的状态

33、从带 30 剥下。优选在溶剂含有率优选为 20 质量以上 50 质量以下的范围、 更优选为 25 质 量以上 45 质量以下的范围进行剥离。通过在达到 50 质量这样的低溶剂含有率之后 剥离， 与以大于 50 质量的溶剂含有率剥离时相比， 能够使慢轴的方向更可靠地均匀。另 外， 以20质量以上剥离时， 与以不到20质量剥离时相比， 能够更可靠地提高制造效率。 0043 剥离时， 用剥离用辊 ( 以下， 称为剥离辊 )37 支撑膜 12， 将从带 30 剥下流延膜 36 的剥离位置 PP 保持为恒定。剥离辊 37 也可以是具备驱动机构并沿周向旋转的驱动辊。另 外， 剥离在第 1 辊 31 上的带

34、 30 上实施。若带 30 循环而从剥离位置 PP 返回到流延位置 PC， 则再次流延新的浓液 11。 0044 带 30 的行进路中流延浓液 11 的带 30 的流延面朝上而行进的第 1 行进区域， 包含 流延膜形成区域中的上游域。流延膜形成区域为从流延位置 PC 至剥离位置 PP 的区域。另 外， 带 30 的行进路中带 30 使流延面朝下而行进的第 2 行进区域， 包含流延膜形成区域中的 下游域。 0045 在带 30 的第 1 行进区域中比流延位置 PC 更靠近下游处具备第 1 上游域供排气单 元 41。该第 1 上游域供排气单元 41 的下游具备有 2 个下游域供排气单元， 即第 1

35、 下游域供 排气单元 42 和第 2 下游域供排气单元 43。如此， 沿着带 30 的行进路， 从上游侧依次设置 有第 1 上游域供排气单元 41、 第 1 下游域供排气单元 42 及第 2 下游域供排气单元 43。另 外， 下游域供排气单元的数量并不限定于 2， 也可以是 1 或 3 以上。对第 1 上游域供排气单 元 41， 将利用其他附图进行后述。 0046 第1下游域供排气单元42具备流出已干燥气体的供气部46、 吸引气体并排气的排 气部 47 及控制器 48。控制器 48 向供气部 46 送出气体， 并独立调整其气体的温度、 湿度、 来 自供气部 46 的流量及排气部 47 中的吸引

36、力。第 2 下游域供排气单元 43 也与第 1 下游域 供排气单元相同， 具备供气部 49、 排气部 50 及控制器 51。 0047 供气部 46、 49 配设于带 30 的第 2 行进区域中比剥离位置 PP 更靠近上游的位置。 排气部 47 配设于供气部 46 的上游， 排气部 50 配设于供气部 49 的上游。流出气体的供气 部46、 49的各流出口46a、 49a和吸引气体的排气部47、 50的各吸引口47a、 50a均为向带30 的宽度方向延伸的狭缝状开口。供气部 46、 49 以流出口 46a、 49a 朝向带 30 行进方向上的 上游侧的方式配设。排气部 47、 50 以吸引口

37、47a、 50a 与带 30 对置的方式配设。 0048 通过如上配设供气部46、 49和排气部47、 50， 来自供气部46、 49的气体以相对于被 传送而通过的流延膜 36 的膜面平行的逆流方式流动。通过设为逆流， 能够比顺风更有效地 说 明 书 CN 102344576 B 8 6/12 页 9 干燥流延膜 36。 0049 从第2辊32朝向剥离位置PP的带30因为在朝向下方的带面上形成有流延膜36， 所以无法用支撑机构从下方支撑。因此， 从第 2 辊 32 朝向剥离位置 PP 的带 30 采取因自重 而向下突出的行进路径。另外， 在干燥效率这一点上， 向相对于流延膜 36 垂直的方向喷

38、吹 气体的情况比并行流动的情况更优异。然而， 为了以比并行流动时更能提高干燥效率的程 度的流量向垂直方向喷吹气体， 需要在流延膜 36 的下方设置较多的供气机构。供气机构配 设得越多， 供气机构与带 30 相接触的担忧就越高。因此， 通过将供气部 46、 49 均配设于从 第 2 辊 32 朝向剥离位置 PP 的带 30 的下方， 以平行的逆流气体对从第 2 辊 32 朝向剥离位 置 PP 的流延膜 36 进行干燥。 0050 但是， 用于流出相对于流延膜 36 平行的逆流气体的下游域供排气单元的数量， 并 不像本实施方式那样限定于 2， 也可以是 1 或 3 以上。 0051 本实施方式中，

39、 通过控制器 48 和控制器 51 分别独立地控制第 1 下游域供排气单 元 42 和第 2 下游域供排气单元 43， 但也可以通过 1 个控制器 ( 图示 ) 独立地控制。 0052 来自供气部 46、 49 的气体通过控制器 48、 51 加热。通过使如此加热的温风在流延 膜 36 上流动， 加热流延膜 36， 并进行干燥。 0053 在流延装置 15 与第 1 拉幅机 17 之间的传送路上也可配设送风装置 ( 未图示 )。 通过来自该送风装置的送风来进行膜 12 的干燥。 0054 用剥离辊 37 剥离流延膜 36。被剥离的流延膜 36、 即膜 12 被引导至第 1 拉幅机 17。 00

40、55 第 1 拉幅机 17 用夹子 16 保持膜 12 并沿长边方向传送， 同时赋予宽度方向上的张 力， 扩展膜 12 的宽度。第 1 拉幅机 17 上从上游侧依次形成有预热区、 拉伸区及松弛区。另 外， 也可没有松弛区。 0056 第 1 拉幅机 17 具备 1 对导轨 ( 未图示 ) 及链条 ( 未图示 )。导轨设置于膜 12 的 传送路两侧， 1 对导轨以预定间隔分隔而配设。该导轨间隔在预热区中为恒定， 在拉伸区中 随着朝向下游而逐渐变宽， 在松弛区中为恒定。 另外， 松弛区的导轨间隔也可随着朝向下游 而逐渐变窄。 0057 链条架设于驱动链轮及从动链轮(未图示)， 且沿导轨移动自如地安

41、装。 多个夹子 16 以预定间隔安装于链条上。通过驱动链轮的旋转， 夹子 16 沿导轨循环移动。 0058 夹子 16 在第 1 拉幅机 17 的入口附近开始保持被引导过来的膜 12， 并朝向出口移 动， 在出口附近解除保持。解除保持的夹子 16 再次移动至入口附近， 保持重新引导过来的 膜 12。 0059 预热区、 拉伸区及松弛区根据来自导管 54 的干燥风的送出而作为空间形成， 并没 有明确的边界。导管 54 设置于膜 12 的传送路上方。导管 54 具有送出干燥风的狭缝， 从送 风机 ( 未图示 ) 供给。送风机将调整为预定温度或湿度的干燥风送至导管 54。导管 54 以 狭缝与膜 1

42、2 的传送路对置的方式配设。各狭缝为沿膜 12 的宽度方向较长地延伸的形状， 在传送方向上相互隔开预定间隔而形成。另外， 可将具有相同结构的导管设置在膜 12 的传 送路的下方， 也可设置在膜 12 的传送路的上方和下方双方。 0060 在该第 1 拉幅机 17 中， 边传送膜边通过来自导管 54 的干燥风进行干燥， 同时通过 夹子 16 在预定时刻改变宽度。 说 明 书 CN 102344576 B 9 7/12 页 10 0061 优选拉伸区中膜 12 的溶剂含有率为 7 质量以上 30 质量以下。优选拉伸处理 时的拉伸率 ER1( ( 拉伸后的宽度 )/( 拉伸前的宽度 )100) 大于

43、 5且在 30以下。 优选拉伸处理中膜 12 的温度在 80以上 160以下。 0062 辊干燥装置 21 的内部气氛， 其温度或湿度等通过空调机 ( 未图示 ) 调节。在辊干 燥装置 21 中， 膜 12 被卷绕于多个辊 20 上而被传送。在辊干燥装置 21 中， 也从膜 12 蒸发 溶剂。优选在辊干燥装置 21 中， 干燥工序进行至溶剂含有率成为 5 质量以下。 0063 另外， 当从辊干燥装置 21 送出的膜 12 卷曲时， 可在辊干燥装置 21 与第 2 拉幅机 23 之间设置卷曲矫正装置 ( 未图示 )。卷曲矫正装置矫正卷曲， 并使膜 12 平坦。 0064 第2拉幅机23向宽度方向

44、拉伸膜12。 通过该拉伸， 成为具有所希望的光学特性的 膜 12。所得的膜 12 例如作为相位差膜利用。第 2 拉幅机 23 具有与第 1 拉幅机 17 相同的 结构。另外， 设置于第 2 拉幅机 23 的导管 55 从狭缝 ( 未图示 ) 流出加热成预定温度的干 燥风， 并朝向膜 12 流动。 0065 优选第 2 拉幅机 23 中的拉伸时的拉伸率 ER2( ( 拉伸后的宽度 )/( 拉伸前的 宽度 )100) 大于 10以上且在 40以下。优选拉伸开始时膜 12 的溶剂含有率在 3 质 量以下。优选拉伸时膜 12 的温度在 130以上 200以下。 0066 根据作为制造目的的膜 12 的

45、光学特性， 可以不使用第 2 拉幅机 23。例如， 在基于 第 1 拉幅机 17 的拉伸中显现作为目的的特性时， 可以不使用第 2 拉幅机 23。 0067 若膜 12 被引导过来， 则第 2 拉幅机 23 的下游的分切机 26 切除包含因第 1 拉幅机 17 或第 2 拉幅机 23 的各夹子 16、 22 产生的保持痕迹的侧部。将切除侧部的膜 12 送至卷取 装置 27， 并卷取成辊状。另外， 在流延装置 15 与第 1 拉幅机 17 之间或第 1 拉幅机 17 与辊 干燥装置 21 之间也可以设置分切机。 0068 参考图 2 图 4， 对第 1 上游域供排气单元 41 进行说明。另外，

46、为了避免图的繁杂 化， 在图 3、 图 4 中省略第 1 辊 31 的图示。 0069 第1上游域供排气单元41设置于流延位置PC的下游， 具备供气部61、 作为遮风部 件的遮风板 62 及排气部 63。供气部 61 向相对于在带 30 上形成的流延膜 36 的膜面垂直 的方向喷吹气体。如图 3 所示， 形成于流延模 35 的狭缝状的浓液流出口 35a 的长度小于带 30 的宽度。由此， 流延膜 36 形成于带 30 的宽度方向上的中央部 30c， 以便带 30 的侧部 30s 露出。遮风板 62 抑制气体从流延膜 36 的膜面附近向带 30 侧部的露出部分流出。排气部 63 吸引流延膜 36

47、 周边的气氛。以下分别对这些供气部 61、 遮风板 62、 排气部 63 进行详细 说明。 0070 供气部 61 具有供气导管 66、 设置于供气导管 66 上的多个喷嘴 67、 送风机 68 及送 风控制器 69。送风机 68 向供气导管 66 送出气体。送风控制器 69 控制从送风机 68 向供气 导管 66 送出的气体的温度、 湿度及流量。通过该控制调整来自喷嘴 67 的气体的流量及流 速。气体通过送风控制器 69 加热。通过将已加热气体作为温风并喷吹至流延膜 36 吹出来 进行流延膜 36 的干燥。 0071 供气导管 66 是底面 66a 与带 30 对置， 以便覆盖所通过的流延膜

48、 36 的箱状导管。 多个喷嘴 67 以在带 30 的行进方向上隔开间隔而排列的方式配设。各喷嘴 67 在带 30 的宽 度方向上成为较长形状， 使前端朝向带 30， 且向供气导管 66 的底面 66a 突出而设置。在与 带 30 对置的前端形成有将供气导管 66 中的气体送至外部的开口 67a。开口 67a 是在带 30 说 明 书 CN 102344576 B 10 8/12 页 11 的宽度方向上较长的狭缝状。 0072 通过从与带 30 对置的开口 67a 送出气体， 在相对于流延膜 36 的膜面垂直的方向 上送出气体。通过在垂直方向上喷吹气体， 能够比以与膜面并行的流向喷吹时更有效地

49、干 燥流延膜 36。因此， 膜 12 的制造效率提高。另外， 为了在垂直方向上送出气体， 可以不是来 自喷嘴 67 的送风， 例如可以是在供气导管 66 的底面 66a 形成开口 ( 未图示 ) 并从该开口 送出的风。 0073 另外， 通过在垂直方向上对膜面喷吹气体来提高干燥效率。由此， 能够进一步降 低剥离时的流延膜 36、 即流延膜 36 在剥离位置 PP 中的溶媒含有率， 甚至能够降低至 50 质 量以下。如此， 越是降低流延膜 36 在剥离位置 PP 中的溶媒含有率， 越能够使慢轴的方向 在膜 12 的宽度方向上的均匀。具体而言， 能够将与作为目的的慢轴的方向所成的角抑制 在 -1以上 1以下的范围， 甚至较小地抑制在 -0.4以上 0.4以下的范围。优选流延 膜 36 在剥离位置 PP 中的溶媒含有率设为 20 质量以上 50 质量以下的范围。通过以流 延膜 36 在剥离位置 PP 中的溶媒含有率成为 50 质量以下的方式进行干燥， 能够将慢轴的 轴偏离量更可靠地抑制在 -1以上 1以下的范围。 0074 优选开口 67a 的形状设为狭缝状， 但未必一定是狭缝。例如， 可以在喷嘴 67 的前 端以向带 30 的宽度方向排列的方