超声波器件单元、超声波探头以及超声波装置.pdf

1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201810144925.1 (22)申请日 2018.02.12 (30)优先权数据 2017-055813 2017.03.22 JP (71)申请人 精工爱普生株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 吉田一辉 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 代理人 张永明 玉昌峰 (51)Int.Cl. A61B 8/00(2006.01) (54)发明名称 超声波器件单元、 超声波探头以及超声波装 置 (57)摘要 一种超声波器件单元、 超声波探头

2、以及超声 波装置， 该超声波器件单元具备： 超声波器件， 具 有器件侧端子； 加强板， 具有支承所述超声波器 件的支承面； 以及柔性印制电路板， 与所述超声 波器件连接， 所述柔性印制电路板具备： 连接部， 与所述器件侧端子连接； 弯曲部， 与所述连接部 连续， 向离开所述超声波器件的方向延伸设置； 以及外边缘部， 设置在所述弯曲部的延伸方向上 的端部， 所述加强板具备： 第一边， 沿着与所述延 伸方向交叉的第一方向， 并与所述弯曲部对置； 以及突出部， 设置在与所述支承面相反一侧的背 面， 在使所述柔性印制电路板沿着所述第一边在 所述弯曲部弯曲而弯折时， 所述外边缘部与所述 突出部相接触。

3、权利要求书2页 说明书19页 附图16页 CN 108618805 A 2018.10.09 CN 108618805 A 1.一种超声波器件单元， 其特征在于， 具备： 超声波器件， 具有器件侧端子； 加强板， 具有支承所述超声波器件的支承面； 以及 柔性印制电路板， 与所述超声波器件连接， 所述柔性印制电路板具备： 连接部， 与所述器件侧端子连接； 弯曲部， 与所述连接部连续， 向离开所述超声波器件的方向延伸设置； 以及 外边缘部， 设置在所述弯曲部的延伸方向上的端部， 所述加强板具备： 第一边， 沿着与所述延伸方向交叉的第一方向， 并与所述弯曲部对置； 以及 突出部， 设置在与所述支承面

4、相反一侧的背面， 在使所述柔性印制电路板沿着所述第 一边在所述弯曲部弯曲而弯折时， 所述外边缘部与所述突出部相接触。 2.根据权利要求1所述的超声波器件单元， 其特征在于， 所述突出部设置有多个， 在使所述柔性印制电路板沿着所述第一边在所述弯曲部弯曲 而弯折时， 所述外边缘部与多个所述突出部相接触。 3.根据权利要求1或2所述的超声波器件单元， 其特征在于， 所述加强板是矩形， 并具有沿着所述第一方向的第三边、 与所述第一边及所述第三边 交叉的第二边及第四边， 在使所述超声波器件支承于所述支承面时， 所述器件侧端子分别位于从所述第一边隔 开第一距离的第一位置以及从所述第三边隔开第二距离的第二位

5、置， 所述柔性印制电路板包含作为所述连接部的第一连接部和第二连接部， 所述第一连接 部与位于所述第一位置的器件侧端子连接， 所述第二连接部位于所述第二位置， 所述柔性印制电路板包含作为所述弯曲部的第一弯曲部和第二弯曲部， 所述第一弯曲 部与所述第一连接部连续且向离开所述超声波器件的第一延伸方向延伸设置， 所述第二弯 曲部与所述第二连接部连续且向离开所述超声波器件的第二延伸方向延伸设置， 所述柔性印制电路板包含作为所述外边缘部的第一外边缘部和第二外边缘部， 所述第 一外边缘部沿从所述第一连接部向朝向所述第一弯曲部的第一延伸方向设置， 所述第二外 边缘部沿从所述第二连接部朝向所述第二弯曲部的第二延

6、伸方向设置， 所述加强板具备作为所述突出部的第一突出部和第二突出部， 在使所述柔性印制电路 板沿着所述第一边在所述第一弯曲部弯曲而弯折时， 所述第一外边缘部抵接于所述第一突 出部， 在使所述柔性印制电路板沿着所述第三边在所述第二弯曲部弯曲而弯折时， 所述第 二外边缘部抵接于所述第二突出部。 4.根据权利要求3所述的超声波器件单元， 其特征在于， 所述柔性印制电路板具有切口， 所述切口在开口边缘包含： 第一端部边缘， 是沿着所述 第一连接部及所述第一弯曲部的第一延伸方向的端部边缘； 第二端部边缘， 是沿着所述第 二连接部及所述第二弯曲部的第二延伸方向的端部边缘； 以及对置边缘， 与所述第一端部

7、边缘及所述第二端部边缘对置， 所述切口的从所述第一端部边缘到所述对置边缘的宽度尺寸比所述第二突出部的所 述第一方向上的宽度尺寸大， 权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 108618805 A 2 所述切口的从所述第二端部边缘到所述对置边缘的宽度尺寸比所述第一突出部的所 述第一方向上的宽度尺寸大。 5.根据权利要求4所述的超声波器件单元， 其特征在于， 在使所述柔性印制电路板沿着所述第一边在所述第一弯曲部弯曲而弯折时， 所述切口 的所述开口边缘中的所述第一延伸方向的开口端及所述第二延伸方向的开口端位于所述 第一突出部和所述第二突出部之间。 6.一种超声波探头， 其特征在于， 具备： 权利要

8、求1至5中任一项所述的超声波器件单元； 以及 收纳所述超声波器件单元的壳体。 7.一种超声波装置， 其特征在于， 具备： 权利要求1至5中任一项所述的超声波器件单元； 以及 控制所述超声波器件单元的控制部。 权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 108618805 A 3 超声波器件单元、 超声波探头以及超声波装置 技术领域 0001 本发明涉及一种超声波器件单元、 超声波探头以及超声波装置。 背景技术 0002 以往， 已知具有配置多个进行超声波的发送接收的超声波元件的超声波元件阵列 的超声波器件单元(例如， 参照专利文献1)。 0003 专利文献1的超声波器件单元具备设有分别与多个超声

9、波元件对应的端子的超声 波器件， 该超声波器件经由柔性印制电路板(柔性板)而与装置终端连接。 0004 该柔性板相对于中心线在一端侧设置有第一平板部， 在该第一平板部上固定有超 声波器件。 另外， 柔性板相对于中心线在另一端侧设置有第二平板部， 在该第二平板部上设 置有与超声波器件的各端子连接的连接器。 0005 现有技术文献 0006 专利文献 0007 专利文献1： 日本特开2016-92592号公报 0008 但是， 在上述专利文献1所记载的超声波器件单元中， 为了在壳体内收纳连接有柔 性板的超声波器件， 将柔性板以与超声波器件重叠的方式进行穿插(弯曲)。 此时， 如果柔性 板的弯曲位置

10、不同， 则存在柔性板超过超声波器件的尺寸而变大的问题。 发明内容 0009 本发明的目的在于， 提供一种以简单的结构就能够小型化的超声波器件单元、 超 声波探头以及超声波装置。 0010 根据本发明的一应用例的超声波器件单元， 具备： 超声波器件， 具有器件侧端子； 加强板， 具有支承所述超声波器件的支承面； 以及柔性印制电路板， 与所述超声波器件连 接， 所述柔性印制电路板具备： 连接部， 与所述器件侧端子连接； 弯曲部， 与所述连接部连 续， 向离开所述超声波器件的方向延伸设置； 以及外边缘部， 设置在所述弯曲部的延伸方向 上的端部， 所述加强板具备： 第一边， 沿着与所述延伸方向交叉的第

11、一方向， 并与所述弯曲 部对置； 以及突出部， 设置在与所述支承面相反一侧的背面， 在使所述柔性印制电路板沿着 所述第一边在所述弯曲部弯曲而弯折时， 所述外边缘部与所述突出部相接触。 0011 在本实施例中， 柔性印制电路板的连接部与超声波器件的器件侧端子连接， 使与 连接部连续的弯曲部弯曲。 此时， 使柔性印制电路板的外边缘部在加强板的背面抵接于突 出部。 由此， 柔性印制电路板以使外边缘部位于适当位置的方式被弯曲。 0012 也就是说， 在没有设置突出部的情况下， 难以使柔性印制电路板以不使布线断路 的方式沿第一边使弯曲部弯曲。 例如， 如果在弯曲部以第一边带角度地强力折入， 则有可能 使

12、与器件侧端子连接的布线断路。 另外， 如果为了抑制断路而使弯曲部弯曲而折入， 则存在 相对第一边倾斜而折入弯曲部的情况。 在该情况下， 因柔性印制电路板的外边缘部的一部 分比加强板的外边缘更向外侧突出等， 弯折柔性印制电路板时的超声波器件单元的尺寸变 说 明 书 1/19 页 4 CN 108618805 A 4 大。 0013 与此相对， 在本实施例中， 外边缘部与突出部相接触而进行定位， 因此能够使弯曲 部沿着第一边弯曲， 从而能够布线的断路。 另外， 柔性印制电路板通过突出部来进行定位， 能够在适当的位置进行弯曲， 从而柔性印制电路板的一部分不比加强板的外边缘更向外侧 突出， 实现超声波

13、器件单元的小型化。 0014 在本应用例的超声波器件单元中， 优选的是， 所述突出部设置有多个， 在使所述柔 性印制电路板沿着所述第一边在所述弯曲部弯曲而弯折时， 所述外边缘部与多个所述突出 部相接触。 0015 在本应用例中， 在将柔性印制电路板沿第一边弯折时， 利用多个突出部对外边缘 部进行定位。 因此， 能够更适当地将柔性印制电路板以不相对于第一边倾斜的方式进行弯 折。 0016 在本应用例的超声波器件单元中， 优选的是， 所述加强板是矩形， 具有沿着所述第 一方向的第三边、 与所述第一边及所述第三边交叉的第二边及第四边， 在使所述超声波器 件支承于所述支承面时， 所述器件侧端子分别位于

14、从所述第一边隔开第一距离的第一位 置、 以及从所述第三边隔开第二距离的第二位置， 所述柔性印制电路板包含作为所述连接 部的第一连接部和第二连接部， 所述第一连接部与位于所述第一位置的器件侧端子连接， 所述第二连接部位于所述第二位置， 所述柔性印制电路板包含作为所述弯曲部的第一弯曲 部和第二弯曲部， 所述第一弯曲部与所述第一连接部连续且向离开所述超声波器件的第一 延伸方向延伸设置， 所述第二弯曲部与所述第二连接部连续且向离开所述超声波器件的第 二延伸方向延伸设置， 所述柔性印制电路板包含作为所述外边缘部的第一外边缘部和第二 外边缘部， 所述第一外边缘部沿从所述第一连接部向朝向所述第一弯曲部的第一

15、延伸方向 设置， 所述第二外边缘部沿从所述第二连接部朝向所述第二弯曲部的第二延伸方向设置， 所述加强板具备作为所述突出部的第一突出部和第二突出部， 当使所述柔性印制电路板沿 着所述第一边在所述第一弯曲部弯曲而弯折时， 所述第一外边缘部抵接于所述第一突出 部， 当使所述柔性印制电路板沿着所述第三边在所述第二弯曲部弯曲而弯折时， 所述第二 外边缘部抵接于所述第二突出部。 0017 在本应用例中， 将柔性印制电路板沿着矩形的加强板的对置的第一边及第三边弯 折。 此时， 由于设置有在将柔性印制电路板沿第三边弯折时与第二外边缘部相接触的第二 突出部， 因此与上述实施例相同地， 能够将柔性印制电路板以不倾

16、斜的方式沿第三边弯折。 0018 在本应用例的超声波器件单元中， 优选的是， 所述柔性印制电路板具有切口， 所述 切口在开口边缘包含： 第一端部边缘， 是沿着所述第一连接部及所述第一弯曲部的第一延 伸方向的端部边缘； 第二端部边缘， 是沿着所述第二连接部及所述第二弯曲部的第二延伸 方向的端部边缘； 以及对置边缘， 与所述第一端部边缘及所述第二端部边缘对置， 所述切口 的从所述第一端部边缘到所述对置边缘的宽度尺寸比所述第二突出部的所述第一方向上 的宽度尺寸大， 所述切口的从所述第二端部边缘到所述对置边缘的宽度尺寸比所述第一突 出部的所述第一方向上的宽度尺寸大。 0019 如上所述， 在将柔性印制

17、电路板沿加强板的彼此对置的第一边及第三边来进行弯 折的情况下， 从第一边侧弯折的柔性印制电路板覆盖第二突出部， 从第三边侧弯折的柔性 印制电路板覆盖第一突出部。 与此相对， 在本应用例中， 设置有切口， 所述切口的从第一端 说 明 书 2/19 页 5 CN 108618805 A 5 部边缘到对置边缘的距离比第二突出部的第一方向上的宽度尺寸大， 从第二端部边缘到对 置边缘的距离比第一突出部的第一方向上的宽度尺寸大。 因此， 在沿着第一边及第三边弯 折柔性印制电路板时， 第一突出部、 第二突出部插入切口内， 能够抑制柔性印制电路板覆盖 第一突出部及第二突出部的不良情况。 0020 在本应用例的

18、超声波器件单元中， 优选的是， 当使所述柔性印制电路板沿着所述 第一边在所述第一弯曲部弯曲而弯折时， 所述切口的所述开口边缘中的所述第一延伸方向 的开口端及所述第二延伸方向的开口端位于所述第一突出部和所述第二突出部之间。 0021 在本应用例中， 在沿着第一边及第三边弯折柔性印制电路板时， 切口的开口端越 过第一突出部、 第二突出部而位于第一突出部与第二突出部之间。 即， 第一突出部、 第二突 出部插入切口。 由此， 能够更可靠地抑制柔性印制电路板覆盖第一突出部、 第二突出部的不 良情况。 0022 根据本发明的一应用例的超声波探头， 具备上述的超声波器件单元和收纳所述超 声波器件单元的壳体。

19、 0023 在本应用例的超声波探头中， 在壳体内收纳上述超声波器件单元， 通过使该超声 波探头与被检测体接触， 能够实施针对被检测体的超声波测量。 并且， 如上所述， 在超声波 器件单元中， 能够使柔性印制电路板容易地变形为抑制布线的断路并能够沿超声波器件的 第一边弯折且适于节省空间的形状。 因此， 在超声波探头的有限的空间内， 能够适当地配置 超声波器件单元， 也能够实现超声波探头的小型化。 0024 根据本发明的一应用例的超声波装置， 具备上述的超声波器件单元和用于控制所 述超声波器件单元的控制部。 0025 在本实施例中， 通过控制上述超声波器件单元， 能够实施与超声波测量的测量结 果对

20、应的各种超声波处理(例如， 针对被检测体的超声波测量、 针对被检测体的超声波治疗 等)。 并且， 如上所述， 由于可以使超声波器件单元小型化， 因此在超声波器件中也能够实现 装置的小型化。 附图说明 0026 图1是示出本发明的一实施方式的超声波测量装置的简要结构的立体图。 0027 图2是示出本实施方式的超声波探测器的外观的立体图。 0028 图3是以图2的A-A线剖切而得的超声波探测器的剖视图。 0029 图4是以图2的B-B线剖切而得的超声波探测器的剖视图。 0030 图5是示出本实施方式的超声波基板的简要结构的俯视图。 0031 图6是以图5的C-C线剖切而得的超声波基板的剖视图。 0

21、032 图7是示出本实施方式的布线基板的简要结构的俯视图。 0033 图8是示出本实施方式的柔性板的表面的简要结构的俯视图。 0034 图9是示出本实施方式的柔性板的布线结构的图。 0035 图10是示出对超声波器件的各发送接收列施加的驱动电压的电压值的图。 0036 图11是本实施方式的第一加强板的俯视图、 主视图以及侧视图。 0037 图12是本实施方式的第二加强板的俯视图、 主视图以及侧视图。 0038 图13是在本实施方式中使柔性板沿X方向弯曲时的立体图。 说 明 书 3/19 页 6 CN 108618805 A 6 0039 图14是在图13中从背面侧观察柔性板的立体图。 0040

22、 图15是从第一弯折部侧观察本实施方式的超声波器件单元的侧视图。 0041 图16是从第二弯折部侧观察本实施方式的超声波器件单元的侧视图。 0042 图17是在设置有突出部的位置处以YZ平面剖切一个变形例的第一加强板的定位 块的剖视图。 0043 图18是在设置有突出部的位置处以YZ平面剖切另一变形例的第一加强板的定位 块的剖视图。 0044 附图标记说明 0045 1超声波测量装置(超声波装置)、 2超声波探测器(超声波探头)、 3电缆、 4 超声波器件单元、 5超声波器件、 6柔性板(柔性印制电路板)、 6A第一外边缘部、 6B 第二外边缘部、 10控制装置(控制部)、 21壳体、 51超

23、声波基板、 53布线基板、 54声 透镜、 61器件连接部、 62第一连接器部、 63第二连接器部、 64第一弯折部、 65第二 弯折部、 71第一加强板、 71A第一边、 71B第二边、 71C第三边、 71D第四边、 211收 纳部、 213器件设置部、 531第一器件侧端子、 531A第一位置、 532第二器件侧端子、 532A第二位置、 611开口部、 612第一布线部、 612A第一负侧端部边缘、 612B第一 正侧端部边缘、 613第二布线部、 613A第二负侧端部边缘、 613B第二正侧端部边缘、 614第一连接部、 614A连接边、 615第一弯曲部、 616第一器件层积部、

24、617第二连 接部、 617A连接边、 618第二弯曲部、 619第二器件层积部、 641第一切口、 641A第 一对置边缘、 641B第一切口端部边缘、 641C第一切口端部边缘、 642第一连结部、 651第二切口、 651A第二对置边缘、 651B第二切口端部边缘、 651C第二切口端部边 缘、 652第二连结部、 711定位块、 711A第一基准面、 711B第二基准面、 711C第三基 准面、 711D第四基准面、 711E引导面、 712固定面、 713台阶、 714背面、 714A凹 部、 714B载置面、 715对置端面、 717第一突出部、 717A第一定位面、 718第二突

25、出 部、 718A第二定位面、 Ar3第一弯曲区域、 Ar4第二弯曲区域。 具体实施方式 0046 以下， 对本发明的一实施方式进行说明。 0047 图1是示出超声波测量装置1的简要结构的立体图。 0048 超声波测量装置1相当于超声波装置， 并如图1所示， 具备： 超声波探测器2； 以及控 制装置10， 经由电缆与超声波探测器2电连接。 0049 该超声波测量装置1在将超声波探测器2接触于生物体(例如人体)的表面状态下， 从超声波探测器2向生物体内发送超声波。 另外， 利用超声波探测器2来接收被生物体内的 器官反射的超声波， 并基于该接收信号， 获取例如生物体内的内部层析图像、 测量生物体内

26、 的器官的状态(例如血液循环等)。 0050 1.控制装置的结构 0051 控制装置10相当于控制部， 例如如图1所示， 具备： 包含按钮、 触摸面板等的操作部 11、 和显示部12。 另外， 虽省略图示， 但控制装置10具备由存储器等构成的存储部、 由CPU (Central Processing Unit： 中央控制单元)等构成的运算部。 控制装置10通过使运算部执 行存储于存储部的各种程序来对超声波测量装置1进行控制。 例如， 控制装置10输出用于控 说 明 书 4/19 页 7 CN 108618805 A 7 制超声波探测器2的驱动的指令， 基于从超声波探测器2输入的接收信号， 形成

27、生物体的内 部结构的图像而使其显示于显示部12， 并且测量血流等生物体信号而使其显示于显示部 12。 作为这样的控制装置10， 例如能够使用平板终端、 智能手机、 计算机等终端装置， 也可以 使用用于操作超声波探测器2的专用终端装置。 0052 2.超声波探测器的结构 0053 图2是示出超声波探测器2的外观的立体图。 图3是以图2的A-A线(平面SA)剖切而 得的超声波探测器2的剖视图， 图4是以图2的B-B线(平面SB)剖切而得的超声波探测器2的 剖视图。 0054 超声波探测器2相当于超声波探头， 并如图1至图4所示， 具备壳体21、 和收纳于壳 体21的内部的超声波器件单元4。 另外，

28、 超声波器件单元4构成为具备超声波器件5、 柔性印 制电路板(柔性板6)、 第一加强板71和第二加强板72。 0055 以下， 对各结构进行详细说明。 0056 2-1.超声波器件5的结构 0057 如图3及图4所示， 构成超声波器件单元4的超声波器件5包含超声波基板51、 密封 板52、 布线基板53和声透镜54， 并通过布线基板53、 密封板52、 超声波基板51以及声透镜54 按照所列的顺序层积而构成。 在本实施方式中， 在从布线基板53、 密封板52、 超声波基板51 以及声透镜54的层积方向(Z方向)观察的俯视下， 超声波器件5例如形成为矩形。 0058 2-1-1.超声波基板51的

29、结构 0059 图5是示出本实施方式的超声波基板51的简要结构的俯视图。 0060 如图5所示， 多个超声波换能器Tr沿着X方向(第二方向： 扫描方向)及Y方向(第一 方向： 切片方向(slice direction)以二维阵列状配置于超声波基板51上。 在本实施方式 中， 通过沿Y方向配置的多个超声波换能器Tr(超声波元件)， 构成1CH(波道)的发送接收列 Ch(振动器)。 另外， 通过沿着X方向并列配置多个该1CH的发送接收列Ch， 构成二维阵列结构 的超声波基板51。 在此， 将超声波基板51中的配置有超声波换能器Tr的区域设为阵列区域 Ar1。 0061 需要说明的是， 在图5中为了

30、便于说明而减少了超声波换能器Tr的配置数量， 但实 际上配置有更多的超声波换能器Tr。 0062 图6是以图5的C-C线剖切超声波基板51时的简要剖视图。 0063 如图6所示， 超声波基板51构成为具备： 元件基板511； 支承膜512， 设置于元件基板 511上； 以及压电元件513， 设置于支承膜512上。 0064 元件基板511由例如Si等的半导体基板构成。 该元件基板511设置有与各超声波换 能器Tr对应的基板开口部511A。 在本实施方式中， 各基板开口部511A是贯通元件基板511的 基板厚度方向的通孔， 在该通孔的一端侧(密封板52侧)设置有支承膜512。 0065 另外，

31、在基板开口部511A的未设置支承膜512的一侧， 填充有具有与生物体相近的 声阻抗的声层515。 0066 而且， 在元件基板511的与支承膜512相反一侧的面设置有与元件基板511和声层 515相接的声透镜54。 该声透镜54是在将超声波器件单元4收纳于壳体21时， 从设置于壳体 21的传感器窗211B(参照图1等)露出的部分， 是在实施超声波测量时与被检测体相接的部 分。 该声透镜54与声层515相同地， 由具有与生物体相近的声阻抗的例如硅酮等构成， 并形 说 明 书 5/19 页 8 CN 108618805 A 8 成为以X方向为轴线的圆筒形状。 0067 支承膜512由例如SiO2及

32、ZrO2的层积体等构成， 被设置为覆盖元件基板511的整个 密封板52侧。 即， 支承膜512通过构成基板开口部511A的隔壁511B被支承， 封闭基板开口部 511A的密封板52侧。 该支承膜512的厚度尺寸是相对于元件基板511足够小的厚度尺寸。 0068 需要说明的是， 在本实施方式中， 对由Si构成的元件基板511的一面侧进行热氧化 处理而形成SiO2， 并且进一步层积ZrO2， 由此形成支承膜512。 在该情况下， 通过将包含SiO2 的支承膜512作为蚀刻限制件， 并对元件基板511进行蚀刻， 由此可以容易地形成基板开口 部511A及隔壁511B。 0069 压电元件513分别设置

33、在封闭各基板开口部511A的支承膜512上。 该压电元件513 由例如从支承膜512侧层积下部电极513A、 压电膜513B、 以及上部电极513C而成的层积体构 成。 0070 在此， 支承膜512中的封闭基板开口部511A的部分构成振动部512A， 并由该振动部 512A和压电元件513构成一个超声波换能器Tr。 0071 在这样的超声波换能器Tr中， 通过在下部电极513A与上部电极513C之间施加预定 频率的矩形波电压(驱动信号)， 压电膜513B弯曲而使振动部512A振动， 从而送出超声波。 另 外， 当振动部512A因从生物体反射的超声波(反射波)而振动时， 在压电膜513B的上下

34、产生 电位差。 由此， 通过检测产生于下部电极513A与上部电极513C之间的电位差， 便可以检测所 接收到的超声波。 0072 在本实施方式中， 如图5所示， 下部电极513A沿Y方向形成为直线状， 连接构成1CH 的发送接收列Ch的多个超声波换能器Tr。 该驱动端子513D经由设置于例如密封板52的贯通 电极而与布线基板53电连接。 0073 另外， 上部电极513C沿X方向形成为直线状， 连接沿X方向并列的超声波换能器Tr。 并且， 上部电极513C的X侧端部与共通电极线514连接。 该共通电极线514与沿Y方向配置 多个的上部电极513C彼此接线， 并在该共通电极线514的端部设置有与

35、布线基板53电连接 的共通端子514A。 该共通端子514A通过设置于例如密封板52的贯通电极而与布线基板53电 连接。 0074 2-1-2.密封板52的结构 0075 密封板52形成为从厚度方向观察时的平面形状例如与超声波基板51为相同的形 状。 另外， 密封板52在超声波基板51的支承膜512侧且在从基板厚度方向观察时与隔壁511B 重叠的位置， 通过例如树脂等固定部件而接合， 从而加强超声波基板51。 0076 在该密封板52上， 于与元件基板511的驱动端子513D及共通端子514A对置的位置 设置有未图示的开口， 该开口被将驱动端子513D和共通端子514A与布线基板53连接的例如

36、 贯通电极521(参照图7)贯穿。 0077 2-1-3.布线基板53的结构 0078 图7是示出布线基板53的简要结构的俯视图。 0079 如图7所示， 在布线基板53上与各驱动端子513D及各共通端子514A对置的位置设 置有器件侧端子(第一器件侧端子531及第二器件侧端子532)。 这些器件侧端子分别经由设 置于密封板52的贯通电极521而与驱动端子513D、 各共通端子514A连接。 0080 在本实施方式中， 驱动端子513D及共通端子514A设置在Y方向的两端部。 因此， 在 说 明 书 6/19 页 9 CN 108618805 A 9 布线基板53上， 于Y方向的两端部还设置有

37、与这些驱动端子513D及共通端子514A对应的器 件侧端子。 在此， 将设置于-Y侧的器件侧端子称为第一器件侧端子531， 将设置于作为Y方向 的另一端侧的+Y侧的器件侧端子称为第二器件侧端子532。 0081 另外， 在本实施方式中， 第一器件侧端子531及第二器件侧端子532分别设置有n(n 为2以上的整数)个。 在此， 将配置在-X侧端部的第一器件侧端子设为第一个第一器件侧端 子531， 将配置在-X侧端部的第二器件侧端子设为第一个第二器件侧端子532， 将配置在+X 侧端部的第一器件侧端子设为第n个第一器件侧端子531， 将配置在+X侧端部的第二器件侧 端子设为第n个第二器件侧端子53

38、2。 从-X侧端部开始数， 配置在第 “i” 位的第一器件侧端子 531及第二器件侧端子532为第i个第一器件侧端子531及第i个第二器件侧端子532。 0082 这些第一器件侧端子531及第二器件侧端子532分别与柔性板6连接。 0083 2-2.柔性印制电路板(柔性板6)的结构 0084 图8是示出本实施方式的柔性板6的表面的简要结构的俯视图。 图9是示出柔性板 的布线结构的图。 0085 如图8所示， 柔性板6形成为例如在俯视下为矩形。 在此， 在以上说明中， 将柔性板6 中的-Y侧的外边缘(沿X方向的边)称为第一外边缘部6A， 将+Y侧的外边缘(沿X方向的边)称 为第二外边缘部6B。

39、0086 该柔性板6相对于X方向被划分为五个区域。 具体而言， 柔性板6具备： 配置于X方向 的中央部的器件连接部61、 位于比器件连接部61更靠-X侧处的第一连接器部62、 位于比器 件连接部61更靠+X侧处的第二连接器部63。 另外， 器件连接部61与第一连接器部62经由第 一弯折部64连结(连接)， 器件连接部61与第二连接器部63经由第二弯折部65连结(连接)。 0087 2-2-1.器件连接部61的说明 0088 器件连接部61是与超声波器件5连接的部分， 具有与声透镜54对应的大致矩形的 开口部611。 另外， 器件连接部61构成为包含： 设置于开口部611的-Y侧的第一布线部61

40、2、 和 设置于开口部611的+Y侧的第二布线部613。 0089 第一布线部612是配置有与第一器件侧端子531连接的布线的部分， 具备第一连接 部614、 第一弯曲部615和第一器件层积部616。 0090 第一连接部614设置于面对开口部611的沿着X方向的连接边614A， 并沿着该连接 边614A具有与各第一器件侧端子531连接的连接端子。 0091 第一弯曲部615是从第一连接部614向-Y侧(第一延伸方向)连续地延伸设置的部 分。 在后面进行详细说明， 在弯折柔性板6时， 该第一弯曲部615弯曲为圆弧状， 与包含第一 加强板71的第一边71A(参照图11)的截面(对置端面715)对

41、置。 0092 另外， 第一连接部614及第一弯曲部615的-X侧的第一负侧端部边缘612A(第一端 部边缘)构成设置于后述的第一弯折部64的第一切口641的开口边缘的一部分。 而且， 第一 连接部614及第一弯曲部615的+X侧的第一正侧端部边缘612B(第二端部边缘)构成设置于 后述的第二弯折部65的第二切口651的开口边缘的一部分。 0093 第一器件层积部616是将支承于第一加强板71的超声波器件5与柔性板6连接、 且 在沿第一加强板71将柔性板6沿第一弯曲部615弯折时与第一加强板71重合的部分。 0094 在本实施方式中， 如图9所示， 第一器件侧端子531中的与第一个到第k个第一

42、器件 侧端子531连接的布线(第一布线661)在第一器件层积部616上朝向第一连接器部62延伸设 说 明 书 7/19 页 10 CN 108618805 A 10 置。 另一方面， 第一器件侧端子531中的与第k+1个到第n个第一器件侧端子531连接的布线 (第三布线663)在第一器件层积部616上朝向第二连接器部63延伸设置。 0095 另外， 第一器件层积部616的-Y侧的端部边缘为第一外边缘部6A。 也就是说， 第一 外边缘部6A位于从第一连接部向第一弯曲部615的延伸方向(第一延伸方向)的端部。 0096 第二布线部613是配置有与第二器件侧端子532连接的布线的部分， 具有与第一布

43、 线部612相同的结构。 也就是说， 第二布线部613构成为相对于通过开口部611的Y方向的中 心点且与X方向平行的Y中心轴线LY， 与第一布线部612大致线对称。 0097 具体而言， 第二布线部613具备第二连接部617、 第二弯曲部618、 第二器件层积部 619。 0098 第二连接部617沿着面对开口部611的沿着X方向的连接边617A而设置， 并沿着该 连接边617A具有与各第二器件侧端子532连接的连接端子。 0099 第二弯曲部618是从第二连接部617向+Y侧(第二延伸方向)延伸设置的部分， 在弯 折柔性板6时， 该第二弯曲部618与包含后述的第一加强板71的第三边71C的端

44、面(对置端面 715)对置。 0100 第二连接部617及第二弯曲部618的-X侧的第二负侧端部边缘613A(第一端部边 缘)构成设置于后述的第一弯折部64的第一切口641的开口边缘的一部分。 而且， 第二连接 部617及第二弯曲部618的+X侧的第二正侧端部边缘613B(第二端部边缘)构成设置于后述 的第二弯折部65的第二切口651的开口边缘的一部分。 0101 第二器件层积部619是在将固定于第一加强板71的超声波器件5与柔性板6连接、 且沿着第一加强板71将柔性板6的第二弯曲部618弯折时与第一器件层积部616一起与第一 加强板71重合的部分。 0102 设置于第二器件层积部619的布线

45、中的与第1个到第k个第二器件侧端子532连接 的布线(第二布线662)朝向第一连接器部62延伸设置。 另外， 与第k+1个到第n个第二器件侧 端子532连接的布线(第四布线664)朝向第二连接器部63延伸设置。 0103 另外， 第二器件层积部619的+Y侧的端部边缘为第二外边缘部6B。 也就是说， 第二 外边缘部6B位于从第二连接部617向第二弯曲部618的延伸方向(第二延伸方向)的端部。 0104 2-2-2.第一连接器部62及第二连接器部63的说明 0105 第一连接器部62及第二连接器部63设置在器件连接部61的X侧， 具有比器件连 接部61的X方向上的宽度尺寸小的宽度尺寸。 0106

46、 这些第一连接器部62及第二连接器部63具备设置有多个外部连接端子622、 632 (参照图9)的多个连接器621、 631。 在本实施方式中， 如图8及图9所示， 于第一连接器部62及 第二连接器部63分别设置有三个连接器621、 631。 另外， 在各连接器621、 631上设置有与布 线661、 662、 663、 664中任一个连接的外部连接端子622、 632。 0107 需要说明的是， 在本实施方式中， 示出了连接器621、 631分别设置有三个的例子， 但是不限于此， 可以是连接器621、 631分别设置有一个或两个， 也可以是连接器621、 631分 别设置有四个以上。 010

47、8 在此， 从第一个外部连接端子622到第k1(k1k)个外部连接端子622被配置于第一 连接器部62的三个连接器621中的位于+X侧的连接器621A。 另外， 在该连接器621A中， 在+X 侧端部配置第一个外部连接端子622， 在-X侧端部配置第k1个外部连接端子622。 说 明 书 8/19 页 11 CN 108618805 A 11 0109 从第k1+1个外部连接端子622到第k2(k1k2k)个外部连接端子622被配置于第 一连接器部62的三个连接器621中的位于X方向的中央部的连接器621B。 另外， 在该连接器 621B中， 在+X侧端部配置第k1+1个外部连接端子622，

48、在-X侧端部配置第k2个外部连接端子 622。 0110 从第k2+1个外部连接端子622到第k个外部连接端子622被配置于第一连接器部62 的三个连接器621中的位于-X侧的连接器621C。 另外， 在该连接器621C中， 在+X侧端部配置 第k2+1个外部连接端子622， 在-X侧端部配置第k个外部连接端子622。 0111 也就是说， 在第一连接器部62中， 从+X侧开始数第 “i(1ik)” 位的外部连接端 子622为第i个外部连接端子。 0112 并且， 在第i个外部连接端子622连接有与第i个第一器件侧端子531连接的第一布 线661、 及与第i个第二器件侧端子532连接的第二布线662。 0113 在此， 配置于第一连接器部62的第一布线661及第二布线662与器件连接部61同样 地， 相对于Y中心轴线LY大致线对称。 也就是说， 第一布线661中的从第一器件侧端子531到 外部连接端子622为止的布线长度与第二布线662中的从第二器件侧端子532到外部连接端 子622为止的布线长度为大致相同长度。 0114 另一方面， 从第k+1个外部连接端子632到第k3(k+1k3n)个外部连接端子632被 配置于第二连接器部63的三个连接器631中的位于+X侧的连接器631A。 另外， 在该连接器 631A中， 在+X侧端部配置第k+1个外部连接端子