洁净室.pdf

1、10申请公布号CN102865640A43申请公布日20130109CN102865640ACN102865640A21申请号201210363872522申请日20120926F24F7/007200601F24F13/28200601E04H5/0220060171申请人深圳市华星光电技术有限公司地址518000广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1第一层B区72发明人蒋运芍吴俊豪林昆贤汪永强舒志优郭振华74专利代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所普通合伙44280代理人何青瓦54发明名称洁净室57摘要本发明公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室包括排风口、

2、第一风机滤器单元以及第二风机滤器单元，其中，该排风口设于该洁净室的底部；该第一风机滤器单元设于该洁净室的顶部，用于向该洁净室提供洁净空气；该第二风机滤器单元设于该洁净室的底部，用于与该第一风机滤器单元配合形成垂直气流以减小该洁净室内的涡流现象。本发明公开的洁净室可以解决现有技术中由于涡流现象造成洁净室内的微尘粒子不易排出的问题。51INTCL权利要求书1页说明书4页附图3页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书4页附图3页1/1页21一种洁净室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述洁净室包括排风口，设于所述洁净室的底部；第一风机滤器单元，设于所述洁净室的顶部，用于向

3、所述洁净室提供洁净空气；第二风机滤器单元，设于所述洁净室的底部，用于与所述第一风机滤器单元配合形成垂直气流以减小所述洁净室内的涡流现象。2根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室包括顶板、侧板以及底板，所述第一风机滤器单元设于所述顶板上，所述排风口设于所述底板上，所述第二风机滤器单元设于所述排风口上。3根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于，所述第一风机滤器单元与所述第二风机滤器单元的安装位置上下相对应。4根据权利要求3所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室包括储位架，所述储位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。5根据权利要求4所述的洁净室，其特征在于，所述

4、洁净室包括导轨，所述导轨设于所述底板上。6根据权利要求5所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室包括自动化搬运设备，所述自动化搬运设备设于所述导轨上。7根据权利要求6所述的洁净室，其特征在于，所述自动化搬运设备包括搬运叉，所述搬运叉用于叉取所述储位架上的所述卡匣。8根据权利要求7所述的洁净室，其特征在于，所述导轨为双轨，所述双轨将所述底板分隔为导轨内区和导轨外区。9根据权利要求8所述的洁净室，其特征在于，所述第二风机滤器单元设于所述导轨内区内和/或所述导轨外区内。10根据权利要求9所述的洁净室，其特征在于，所述第一风机滤器单元和所述第二风机滤器单元均包括预过滤器，用于对吸入的空气进行预过滤；进风管

5、，所述进风管的一端与所述预过滤器相连接；壳体，所述进风管的另一端与所述壳体的顶面相连接；电机，对应于所述进风管的位置设于所述壳体内；叶轮，与所述电机相装配；气流均衡装置，设于所述叶轮下方，用于均衡气流；过滤器，设于所述气流均衡装置下方，用于再次过滤空气；金属防护网，作为所述壳体的底面；插脚，设于所述壳体的底面，用于与所述顶板、所述底板相固定；控制元件，用于启动所述电机。权利要求书CN102865640A1/4页3洁净室技术领域0001本发明涉及液晶面板生产制造技术领域，特别是涉及一种洁净室。背景技术0002洁净室亦称为无尘室或清净室，洁净室最主要之作用在于控制产品（如玻璃基板）所接触之空气的洁

6、净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。0003在现有技术中，洁净室的清洁是通过洁净室的顶板上的风机滤器单元向洁净室内吹出洁净空气，将洁净室内的污染空气（含微尘粒子等）从排风口排出。0004然而，在实际过程中，洁净室的顶板上的风机滤器单元向洁净室内吹出洁净空气时，易受洁净室内的自动化搬运设备、洁净室的底板以及侧板回风导致涡流现象，造成洁净室内的微尘粒子不易排出，易污染卡匣内的玻璃基板。发明内容0005本发明主要解决的技术问题是提供一种洁净室，以解决现有技术中由于涡流现象造成洁净室内的微尘粒子不易排出的问题。0006为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是提供一种洁净室，用

7、于存放玻璃基板，其中，所述洁净室包括0007排风口，设于所述洁净室的底部；0008第一风机滤器单元，设于所述洁净室的顶部，用于向所述洁净室提供洁净空气；0009第二风机滤器单元，设于所述洁净室的底部，用于与所述第一风机滤器单元配合形成垂直气流以减小所述洁净室内的涡流现象。0010根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括顶板、侧板以及底板，所述第一风机滤器单元设于所述顶板上，所述排风口设于所述底板上，所述第二风机滤器单元设于所述排风口上。0011根据本发明一优选实施例，所述第一风机滤器单元与所述第二风机滤器单元的安装位置上下相对应。0012根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括储位架，所述储位架放

8、置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。0013根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括导轨，所述导轨设于所述底板上。0014根据本发明一优选实施例，所述洁净室包括自动化搬运设备，所述自动化搬运设备设于所述导轨上。0015根据本发明一优选实施例，所述自动化搬运设备包括搬运叉，所述搬运叉用于叉取所述储位架上的所述卡匣。0016根据本发明一优选实施例，所述导轨为双轨，所述双轨将所述底板分隔为导轨内区和导轨外区。0017根据本发明一优选实施例，所述第二风机滤器单元设于所述导轨内区内和/或所说明书CN102865640A2/4页4述导轨外区内。0018根据本发明一优选实施例，所述第一

9、风机滤器单元和所述第二风机滤器单元均包括0019预过滤器，用于对吸入的空气进行预过滤；0020进风管，所述进风管的一端与所述预过滤器相连接；0021壳体，所述进风管的另一端与所述壳体的顶面相连接；0022电机，对应于所述进风管的位置设于所述壳体内；0023叶轮，与所述电机相装配；0024气流均衡装置，设于所述叶轮下方，用于均衡气流；0025过滤器，设于所述气流均衡装置下方，用于再次过滤空气；0026金属防护网，作为所述壳体的底面；0027插脚，设于所述壳体的底面，用于与所述顶板、所述底板相固定；0028控制元件，用于启动所述电机。0029本发明的有益效果是区别于现有技术的情况，本发明提供的洁净

10、室可以解决现有技术中由于涡流现象造成洁净室内的微尘粒子不易排出的问题，本发明提供的洁净室在其底板上增设有风机滤器单元，该风机滤器单元与洁净室的顶板上的风机滤器单元配合形成垂直气流，可以减小该洁净室内的涡流现象，由此可避免涡流卷带微尘粒子扬起污染玻璃基板，提高产品良率。附图说明0030为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中0031图1为根据本发明一优选实施例的洁净室的前视截面示意图；0032图2为

11、根据本发明一优选实施例的洁净室的俯视截面示意图；0033图3为根据本发明一优选实施例的洁净室的第一风机滤器单元的立体结构示意图；0034图4为图3所示的第一风机滤器单元的构造原理图。具体实施方式0035下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。0036请一并参阅图1和图2，其中，图1为根据本发明一优选实施例的洁净室的前视截面示意图；图2为根据本发明一优选实施例的洁净室的俯视截面示

12、意图。0037如图1和图2所示，本发明提供一种洁净室10，用于存放玻璃基板，该洁净室10包括排风口102、第一风机滤器单元200以及第二风机滤器单元300。说明书CN102865640A3/4页50038其中，该排风口102设于该洁净室10的底部；该第一风机滤器单元200设于该洁净室10的顶部，用于向该洁净室10提供洁净空气；该第二风机滤器单元300设于该洁净室10的底部，用于与该第一风机滤器单元200配合形成垂直气流以减小该洁净室10内的涡流现象。0039区别于现有技术的情况，本发明提供的洁净室10可避免涡流卷带微尘粒子扬起污染玻璃基板，提高产品良率，亦可减少洁净室10的清洁保养次数，节约生

13、产维护成本。0040具体而言，本发明实施例提供的洁净室10由顶板110、侧板120以及底板130围合形成，该洁净室10包括储位架140、导轨150、自动化搬运设备160、第一风机滤器单元200以及第二风机滤器单元300。0041其中，该顶板110可由多块板材拼接而成，该顶板110上设有多个安装开口，该第一风机滤器单元200对应设于该安装开口上，将吸入的空气经过滤后从该安装开口吹入该洁净室10内。0042该第一风机滤器单元200可采用市面上现有的FFU（FANFILTERUNITS），FFU是将风机和过滤器（高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA）组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备

14、。确切地说是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以045M/S20的风速均匀送出。其中，高效过滤器对直径为03微米（头发直径的1/200）以上的微粒去除效率可达到9997以上，是烟雾、灰尘以及细菌等污染物最有效的过滤媒介。超高效过滤器对0102M的微粒、烟雾和微生物等尘埃粒子的过滤效率达到99999以上。0043该侧板120包括四块，该顶板110、四块侧板120以及底板130围合形成一矩形空间的洁净室10。其中，每一侧板120可由多块板材拼接而成。0044该底板130为相对地面的高架板，该底板130可由多块板

15、材拼接而成，该底板130上设有多个排风口102，如图2中所示，该底板130的中间部位设有三列排风口102，当然，该多个排风口102的设置方式并不限于图2所示。0045该储位架140放置于底板130上，该储位架140用于存放卡匣142，该卡匣142用于存放玻璃基板，如图1和图2中所示，洁净室10的两侧边各设有一储位架140，该储位架140可由多个架体拼接组合而成。0046该导轨150设于底板130上，该导轨150为双轨，该双轨将该底板130分隔为导轨内区152和导轨外区154。在优选实施例中，该导轨150可设于两个储位架140的中间。0047该自动化搬运设备160设于该导轨150上，该自动化搬运

16、设备160包括搬运叉162，该搬运叉162用于叉取该储位架140上的该卡匣142。0048该第二风机滤器单元300可采用与第一风机滤器单元200相同的FFU，或者，该第二风机滤器单元300可采用普通的抽风机。该第二风机滤器单元300设于排风口102上，当然，该第二风机滤器单元300的数量可以少于该排风口102的数量。通常，将底板130上的第二风机滤器单元300与顶板110上的第一风机滤器单元200的安装位置上下相对应，以便于形成垂直气流。0049在优选实施例中，该第二风机滤器单元300设于该导轨内区152内，如此可使得第二风机滤器单元300大致位于底板130的两储位架140的中间，其位置较佳，

17、且充分利用了导轨内区152的空间，不用占用洁净室10内的其他位置，给洁净室10内的其他设备让出空说明书CN102865640A4/4页6间。当然，在其他实施例中，该第二风机滤器单元300亦可设于该导轨外区154内，或者，该第二风机滤器单元300同时设于该导轨内区152内和该导轨外区154内。0050请一并参阅图3和图4，其中，图3为根据本发明一优选实施例的洁净室的第一风机滤器单元的立体结构示意图；图4为图3所示的风机滤器单元的构造原理图。0051如图3和图4所示，本发明实施例提供的第一风机滤器单元包括预过滤器202、进风管204、壳体206、电机208、叶轮210、气流均衡装置212、过滤器2

18、14、金属防护网216、插脚218以及控制元件220。0052其中，该预过滤器202用于对吸入的空气进行预过滤；该进风管204的一端与该预过滤器202相连接；该进风管204的另一端与该壳体206的顶面相连接；该电机208对应于该进风管204的位置设于该壳体206内；该叶轮210与该电机208相装配；该气流均衡装置212设于该叶轮210下方，用于均衡气流；该过滤器214设于该气流均衡装置212下方，用于再次过滤空气；该金属防护网216作为该壳体206的底面；该插脚218设于该壳体206的底面，用于与该顶板110、该底板130相固定；该控制元件220用于启动该电机208。0053综上所述，本领域技

19、人员容易理解，本发明提供的洁净室可以解决现有技术中由于涡流现象造成洁净室内的微尘粒子不易排出的问题，本发明提供的洁净室在其底板上增设有风机滤器单元，该风机滤器单元与洁净室的顶板上的风机滤器单元配合形成垂直气流，可以减小该洁净室内的涡流现象，由此可避免涡流卷带微尘粒子扬起污染玻璃基板，提高产品良率。0054以上所述仅为本发明的示例性实施例，并非因此限制本发明的专利保护范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。说明书CN102865640A1/3页7图1说明书附图CN102865640A2/3页8图2说明书附图CN102865640A3/3页9图3图4说明书附图CN102865640A