一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备.pdf

1、10申请公布号CN104120401A43申请公布日20141029CN104120401A21申请号201310149342522申请日20130426C23C14/56200601C23C16/5420060171申请人汉能新材料科技有限公司地址101407北京市怀柔区雁栖工业开发区五区36号72发明人张超梁敏敏彭侃54发明名称一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备57摘要本发明公开了一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备，其中，所述线列式多片传输系统包括支撑架和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架和支架传送装置，所述支架传送装置滑动内嵌于所述支撑架内，

2、所述支架传送装置带动所述承载支架做线性运动；且在所述支撑架上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器。使用所述线列式多片传输系统的薄膜沉积设备可以一次投入多片待沉积基板，解决了现有技术中一次只能投放一片而造成的生产效率低下的问题，可有效提高生产效率、降低生产成本，且结构简单，应用前景广阔。51INTCL权利要求书1页说明书2页附图2页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图2页10申请公布号CN104120401ACN104120401A1/1页21一种线列式多片传输系统，其特征在于包括支撑架（1）和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固

3、连的承载支架（2）和支架传送装置（3），所述支架传送装置（3）滑动内嵌于所述支撑架（1）内，所述支架传送装置（3）带动所述承载支架（2）做线性运动；且在所述支撑架（1）上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器（4）。2根据权利要求1所述的线列式多片传输系统，其特征在于在所述装载单元上设有用于检测工件（10）安全状况的辅助光电传感器（5）。3一种使用权利要求1所述的线列式多片传输系统的薄膜沉积设备，包括上片机、进载台、预处理腔、沉积腔、冷却腔、出载台和下片机，其特征在于在所述上片机和所述进载台之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述上片机向所述进载

4、台运动，且在所述线列式多片传输系统的所述支撑架（1）上设有检测所述装载单元运动状态的限位传感器。4根据权利要求3所述的薄膜沉积设备，其特征在于在所述出载台和所述下片机之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述出载台向所述下片机运动。权利要求书CN104120401A1/2页3一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备技术领域0001本发明涉及一种基材传输系统，具体地讲是涉及一种可一次传输多片基材的传输系统及使用其的薄膜沉积设备。背景技术0002线列式薄膜沉积设备是一种应用广泛的薄膜沉积生产设备，现有的线列式薄膜沉积设备的工作过程为通过人工或者机械手将需要镀膜

5、的基板放到进载台上，进载台根据设备的工艺进行状况，按时将玻璃送入预处理腔进行预处理，然后由预处理腔送入沉积腔内完成薄膜的沉积，完成沉积之后的基板被送入冷却腔进行冷却，冷却完成的基板被送入到出载台，出载台再将基板送入回传模块中，经回传模块送回进载台，最后由人工或者机械手将成品取出。现有的线列式薄膜沉积设备每次只能将一片玻璃送入到进载台，当多台设备同时工作时，则需要多人或者多台机械手配合工作以保证正常生产，不利于节约生产成本和提高生产效率。发明内容0003本发明的目的是提供一种能大幅提高生产效率、降低生产成本的线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备。0004为实现上述目的，本发明采用以下技术方案

6、一种线列式多片传输系统，包括支撑架和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架和支架传送装置，所述支架传送装置滑动内嵌于所述支撑架内，所述支架传送装置带动所述承载支架做线性运动；且在所述支撑架上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器。该所述线列式多片传输系统可以一次运输多片基材，一个系统可以对应多个进载台的工作，可有效提高基材的运输效率、降低生产成本。0005进一步地，为了监控每一个所述装载单元内的工件的具体情况，在所述装载单元上设有用于检测工件安全状况的辅助光电传感器。0006本发明还公开了一种使用上述线列式多片传输系统的薄膜沉积设备，包括上片机、进载台、预处理

7、腔、沉积腔、冷却腔、出载台和下片机，在所述上片机和所述进载台之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述上片机向所述进载台运动，且在所述线列式多片传输系统的所述支撑架上设有检测所述装载单元运动状态的限位传感器。0007进一步地，为了提高加工后的成品的取出效率，在所述出载台和所述下片机之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述出载台向所述下片机运动。0008本发明的线列式多片传输系统由于包括多个装载单元，可一次性运输多片基板，从而可以实现利用一个所述线列式多片传输系统对应多个进载台的工作模式，且结构简单，可大大降低人工或机械成本、

8、有效提高工作效率，并通过所述光电传感器检测处于两端说明书CN104120401A2/2页4的所述承载支架的装载状况，从而有效保证系统工作的可靠性；将所述线列式多片传输系统应用在薄膜沉积设备上，可有效提高设备的进片和出片效率，大幅降低生产成本，且实用性强，具有广阔的应用前景。附图说明0009下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。0010图1是本发明所述的线列式多片传输系统的结构示意图；图2是本发明所述的线列式多片传输系统的支架传送装置的局部结构示意图；图3是本发明所述的使用所述线列式多片传输系统的薄膜沉积设备的原理示意图，图中1、支撑架；2、承载支架；3、支架传送装置；4、光电传

9、感器；5、辅助光电传感器；6、驱动电机；7、承载支架滚动轮；8、承载支架导轨；9、支架连接器；10、工件。具体实施方式0011实施例1如图1、图2所示的线列式多片传输系统，包括支撑架1和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架2和支架传送装置3，所述支架传送装置3滑动内嵌于所述支撑架1内，所述支架传送装置3带动所述承载支架2做线性运动；且在所述支撑架1上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器4。为了监控每一个所述装载单元内的工件10的具体情况，在所述装载单元上还设有用于检测所述工件10安全状况的辅助光电传感器5。0012其中，所述支架传送装置3的动力由驱动电机6

10、提供，所述承载支架2的背部安装有承载支架滚动轮7，所述承载支架滚动轮7在承载支架导轨8上滑动，从而保证承载支架2的流畅、稳定运动。所述承载支架2是通过支架连接器9固定于所述支架传送装置3上的，工件10置于所述承载支架2上。0013实施例2如图3所示的使用实施例1中所述线列式多片传输系统的薄膜沉积设备原理图，该设备包括上片机、进载台、预处理腔、沉积腔、冷却腔、出载台和下片机，在所述上片机和所述进载台之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述上片机向所述进载台运动，且在所述线列式多片传输系统的所述支撑架1上设有检测所述装载单元运动状态的限位传感器。进一步地，为了提

11、高加工后的成品的取出效率，在所述出载台和所述下片机之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述出载台向所述下片机运动,且在该所述线列式多片传输系统的所述支撑架上也设有检测所述装载单元运动状态的限位传感器。0014以上实施例仅用于对本发明进行具体说明，其并不对本发明的保护范围起到任何限定作用，本发明的保护范围由权利要求确定。根据本领域的公知技术和本发明所公开的技术方案，可以推导或联想出许多变型方案，所有这些变型方案，也应认为是本发明的保护范围。说明书CN104120401A1/2页5图1图2说明书附图CN104120401A2/2页6图3说明书附图CN104120401A