TFT玻璃基板单面蚀刻的方法.pdf

1、(10)申请公布号 CN 103359949 A (43)申请公布日 2013.10.23 CN 103359949 A *CN103359949A* (21)申请号 201310312200.6 (22)申请日 2013.07.24 C03C 15/00(2006.01) (71)申请人 惠晶显示科技 （苏州） 有限公司 地址 215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇 双龙村惠晶显示科技 （苏州） 有限公司 (72)发明人 阮军 舒滔 (74)专利代理机构 张家港市高松专利事务所 ( 普通合伙 ) 32209 代理人 孙高 (54) 发明名称 TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法 (57) 摘要

2、本发明涉及 TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法， 包括如下步骤 ： a、 将需要单面薄化的液晶玻璃基 板进行清洗烘干处理 ； b、 将需要保护的液晶玻璃 基板面进行贴耐酸膜保护 ； c、 将液晶玻璃基板和 耐酸膜的夹缝之间点耐酸紫外线胶水， 并使用紫 外线进行照射， 将胶水固化 ； d、 采用蚀刻装置将 处理过的液晶玻璃基板进行蚀刻处理 ； e、 将单面 蚀刻后的液晶玻璃基板边缘的紫外线胶使用对应 特定溶液清洗掉 ； f、 将液晶玻璃基板进行脱耐酸 膜处理 ； g、 将脱膜后的液晶玻璃基板清洗干净。 利用本发明方法加工液晶玻璃基板可以有效解决 现有技术中液晶玻璃基板单面薄化过程中边缘漏 液的问题，

3、 该方法同样适用于其他需要单面蚀刻 的玻璃。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 (10)申请公布号 CN 103359949 A CN 103359949 A *CN103359949A* 1/1 页 2 1.TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法， 其特征在于 ： 包括如下步骤 ： a、 将需要单面薄化的液 晶玻璃基板进行清洗烘干处理 ； b、 将需要保护的液晶玻璃基板面进行贴耐酸膜保护 ； c、 将 液晶玻璃基板和耐酸膜的夹缝之间点耐酸紫外线胶水， 并使用紫外线

4、进行照射， 将胶水固 化 ； d、 采用蚀刻装置将处理过的液晶玻璃基板进行蚀刻处理 ； e、 将单面蚀刻后的液晶玻璃 基板边缘的紫外线胶使用对应特定溶液清洗掉 ； f、 将液晶玻璃基板进行脱耐酸膜处理 ； g、 将脱膜后的液晶玻璃基板清洗干净。 权 利 要 求 书 CN 103359949 A 2 1/2 页 3 TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法 技术领域 0001 本发明涉及到玻璃蚀刻的技术领域， 特别是指一种 TFT 玻璃基板单面蚀刻的方 法。 背景技术 0002 OLED 是一种极具发展前景的平板显示技术， 它具有十分优异的显示性能， 特别是 自发光、 结构简单、 超轻薄、 响应速度快、

5、宽视角、 低功耗及可实现柔性显示等特性， 被誉为 “梦幻显示器” ， 再加上其生产设备投资远小于 TFT-LCD， 得到了各大显示器厂家的青睐， 已 成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。 0003 出于 OLED 显示器追求轻薄短小的原则， 现有 OLED 显示器都使用双面同样厚度的 玻璃基板薄化后使用， 但是如果显示器玻璃基底过薄， 会影响 OLED 显示器的强度 ； 如果显 示器显示面过厚， 会影响 OLED 显示器的显色效果。现有趋势是使用单面蚀刻的技术， 将不 需要薄化的玻璃基底使用耐酸膜保护起来， 而显示面可以蚀刻到任意的目标厚度。 0004 现单面蚀刻主要有两个研究方向， 一

6、个在玻璃基底表面丝印耐酸油墨， 然后进行 蚀刻， 此方法由于油墨表面存在不可避免的空隙， 造成玻璃表面被刻蚀， 形成点状不良 ； 另 一个方法为在液晶玻璃基板 1 表面贴合耐酸膜 2， 如图 2 所示， 但是主要的问题是蚀刻过程 中玻璃基底侧向蚀刻， 酸液会渗入到玻璃基底和耐酸膜 2 中间， 导致边缘过蚀刻。 发明内容 0005 本发明所要解决的技术问题是 ： 提供一种能有效解决现有技术中液晶玻璃基板单 面薄化过程中边缘漏液的问题的 TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法。 0006 为解决上述问题， 本发明采用的技术方案是 ： TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法， 包括 如下步骤 ： a、 将需要单面薄

7、化的液晶玻璃基板进行清洗烘干处理 ； b、 将需要保护的液晶玻 璃基板面进行贴耐酸膜保护 ； c、 将液晶玻璃基板和耐酸膜的夹缝之间点耐酸紫外线胶水， 并使用紫外线进行照射， 将胶水固化 ； d、 采用蚀刻装置将处理过的液晶玻璃基板进行蚀刻 处理 ； e、 将单面蚀刻后的液晶玻璃基板边缘的紫外线胶使用对应特定溶液清洗掉 ； f、 将液 晶玻璃基板进行脱耐酸膜处理 ； g、 将脱膜后的液晶玻璃基板清洗干净。 0007 本发明的有益效果是 ： 本发明使用一种耐酸膜贴合在需要保护的玻璃基底表面， 同时使用一种特殊的耐酸紫外线胶水封闭耐酸膜和玻璃基底之间的间隙 ； 待紫外线胶水固 化后进行正常蚀刻，

8、蚀刻完成后使用特殊的溶剂溶解紫外线胶水， 脱膜后可得到合格的产 品。 附图说明 0008 图 1 是本发明的示意图 ； 0009 图 2 的背景技术中所述的目前单面蚀刻的方法示意图 ； 0010 图中 ： 1、 液晶玻璃基板， 2、 耐酸膜， 3、 紫外线胶水。 说 明 书 CN 103359949 A 3 2/2 页 4 具体实施方式 0011 下面通过具体实施例对本发明所述的 TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法作进一步的 详细描述。 0012 如图 1 所示， TFT 玻璃基板单面蚀刻的方法， 包括如下步骤 ： a、 将需要单面薄化的 液晶玻璃基板 1 进行清洗烘干处理 ； b、 将需要保护的

9、液晶玻璃基板 1 面进行贴耐酸膜 2 保 护 ； c、 将液晶玻璃基板 1 和耐酸膜 2 的夹缝之间点耐酸紫外线胶水 3， 并使用紫外线进行照 射， 将胶水固化 ； d、 采用蚀刻装置将处理过的液晶玻璃基板 1 进行蚀刻处理 ； e、 将单面蚀刻 后的液晶玻璃基板 1 边缘的紫外线胶水 3 使用对应特定溶液清洗掉 ； f、 将液晶玻璃基板 1 进行脱耐酸膜 2 处理 ； g、 将脱膜后的液晶玻璃基板 1 清洗干净。 0013 利用本发明方法加工液晶玻璃基板可以有效解决现有技术中液晶玻璃基板单面 薄化过程中边缘漏液的问题， 该方法同样适用于其他需要单面蚀刻的玻璃。 0014 上述的实施例仅例示性说明本发明创造的原理及其功效， 以及部分运用的实施 例， 而非用于限制本发明 ； 应当指出， 对于本领域的普通技术人员来说， 在不脱离本发明创 造构思的前提下， 还可以做出若干变形和改进， 这些都属于本发明的保护范围。 说 明 书 CN 103359949 A 4 1/1 页 5 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 103359949 A 5